WO2015099013A1 - フレーム付き蒸着マスクの製造方法、引張装置、有機半導体素子の製造装置及び有機半導体素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

フレームに「ねじれ」が抑制された蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクの製造方法、及びそのための蒸着マスクの引張装置を提供する。フレーム付き蒸着マスクの製造方法において、スリット１５が形成された金属マスク１０と当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が形成された樹脂マスク２０とが積層されてなる蒸着マスク１００を準備する準備工程と、準備工程で準備された蒸着マスクの一部を保持部材８０により保持し、保持部材８０によって保持された蒸着マスク１００をその外方に向かって引っ張る引張工程と、引張工程後に、貫通孔が形成されたフレーム６０に、引っ張られた状態の蒸着マスクを固定する固定工程と、を含み、引張工程では、引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、又は蒸着マスクを引っ張るとともに、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われる。

Description

フレーム付き蒸着マスクの製造方法、引張装置、有機半導体素子の製造装置及び有機半導体素子の製造方法

　本発明は、フレーム付き蒸着マスクの製造方法、引張装置、有機半導体素子の製造装置及び有機半導体素子の製造方法に関する。

　有機ＥＬ素子を用いた製品の大型化或いは基板サイズの大型化にともない、蒸着マスクに対しても大型化の要請が高まりつつある。そして、金属から構成される蒸着マスクの製造に用いられる金属板も大型化している。しかしながら、現在の金属加工技術では、大型の金属板に開口部を精度よく形成することは困難であり、開口部の高精細化への対応はできない。また、金属のみからなる蒸着マスクとした場合には、大型化に伴いその質量も増大し、フレームを含めた総質量も増大することから取り扱いに支障をきたすこととなる。

　このような状況下、特許文献１には、スリットが設けられた金属マスクと、金属マスクの表面に位置し蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクが提案されている。特許文献１に提案がされている蒸着マスクによれば、大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができ、また、高精細な蒸着パターンの形成を行うことができるとされている。

　蒸着マスクを用いて、蒸着加工対象物に蒸着パターンを形成するに際しては、一般的に金属材料や、セラミック材料等から構成されるフレームに蒸着マスクを固定してなるフレーム付き蒸着マスクが使用される。フレームへの蒸着マスクの固定に際しては、蒸着マスクの位置を正確にあわせた状態で行うことが重要であり、蒸着マスクの一部、例えば、蒸着マスクの対向する２辺（両端）を、例えば、クランプ等の保持部材により保持し、保持部材であるクランプ等に連結しているモーターやエアシリンダ等の駆動手段を作動させて蒸着マスクを引っ張った状態でフレームへの固定が行われる。

特許第５２８８０７２号公報

　フレームに蒸着マスクを固定すべく、蒸着マスクの一部、例えば、蒸着マスクの対向する２辺（両端）をクランプ等の保持部材で保持し、当該保持部材を蒸着マスク外方に向かって引っ張る際に、クランプ等の保持部材に蒸着マスクが正確に保持されていない場合、例えば、蒸着マスクの両端を平行に保持しているものの、蒸着マスクの両端を非対称に保持している場合や、蒸着マスクの両端を平行に保持していない場合、すなわち、蒸着マスクを斜めに傾いた状態で保持している場合には、図８（ａ）、図９（ａ）に示すように、蒸着マスクを引っ張ったときに、当該蒸着マスクに「ねじれ」が生ずる。上記特許文献１に提案がされている蒸着マスクは、樹脂マスクに蒸着作製するパターンに対応する開口部が形成されていることから、「ねじれ」によって開口部の寸法に変動が生じやすい。したがって、樹脂マスクに寸法精度の極めて高い開口部が形成されている場合であっても、当該樹脂マスクを含む蒸着マスクを引っ張った状態でフレームに固定する際の、「ねじれ」の問題を改善しなければ、結果として、高精細な蒸着パターンの形成が困難となる。

　本発明はこのような状況に鑑
みてなされたものであり、「ねじれ」が抑制された状態で、フレームに蒸着マスクが固定されてなるフレーム付き蒸着マスクの製造方法を提供すること、上記のフレーム付き蒸着マスクの製造に用いられる引張装置を提供すること、及び、有機半導体素子を精度よく製造することができる有機半導体素子の製造装置や、有機半導体素子の製造方法を提供することを主たる課題とする。

　上記課題を解決するための本発明は、フレーム付き蒸着マスクの製造方法であって、スリットが形成された金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを準備する準備工程と、前記準備工程で準備された蒸着マスクの一部を保持部材により保持し、当該保持部材によって保持された蒸着マスクをその外方に向かって引っ張る引張工程と、前記引張工程後に、貫通孔が形成されたフレームに、前記引っ張られた状態の蒸着マスクを固定する固定工程と、を含み、前記引張工程では、前記引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、又は前記蒸着マスクを引っ張るとともに、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われることを特徴とする。

　また、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法では、前記引張工程において、前記回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われた前記蒸着マスクを、当該調整後の状態を維持するようにロックするロック工程を更に含み、前記固定工程では、貫通孔が形成されたフレームに、前記ロックされた蒸着マスクを固定してもよい。

　また、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法では、前記フレーム上に前記蒸着マスクを載置する第１載置工程と、前記第１載置工程後に、前記フレームから前記蒸着マスクを離隔する離隔工程と、前記離隔工程後に、前記フレーム上に前記蒸着マスクを再び載置する第２載置工程とを更に含み、前記第１載置工程前、又は前記第１載置工程と前記離隔工程の間に、前記引張工程が行われ、前記第２載置工程後に、前記固定工程を行ってもよい。

　また、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法では、前記引張工程後に、前記引っ張られた状態の蒸着マスクの一方の面上に補助部材を重ね、前記蒸着マスクの一方の面と前記補助部材とが重なる部分の少なくとも一部において、前記蒸着マスクに前記補助部材を固定し、当該補助部材を引っ張ることで、蒸着マスクの精密調整を行う精密調整工程を更に含み、前記精密調整工程後に、前記固定工程を行ってもよい。

　また、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法では、前記引張工程において、前記蒸着マスクの一部を保持する前記保持部材が、前記蒸着マスクの面と交差する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、前記蒸着マスクの面と交差しない第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び、直線移動可能な移動機構のうち少なくとも一つの機構を備える保持部材であり、前記引張工程では、前記保持部材による前記第１回転機構、第２回転機構、及び移動機構の何れかの機構により、前記蒸着マスクの回転調整、移動調整の何れかを行ってもよい。

　また、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法において前記準備工程で準備される蒸着マスクが、複数のスリットが設けられた金属マスクと、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられた樹脂マスクが積層されてなり、各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクであってもよい。また、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法において前記準備工程で準備される蒸着マスクが、１つのスリットが設けられた金属マスクと、複数の開口部が設けられた樹脂マスクが積層されてなり、前記複数の開口部の全てが、前記１つのスリットと重なる位置に設けられている蒸着マスクであってもよい。

　また、上記課題を解決するための本発明は、蒸着マスクを引っ張るための引張装置であって、前記蒸着マスクの一部を保持する保持部材と、前記保持部材によって保持された前記蒸着マスクを引っ張るための引張機構と、を有し、前記保持部材は、前記蒸着マスクの面と交差する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、前記蒸着マスクの面と交差しない第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び直線移動可能な移動機構、のうち少なくとも一つの機構を備えることを特徴とする。

　また、上記引張装置は、フレームを駆動させるための駆動ステージを有し、前記駆動ステージは、前記引張装置の設置面と交差する方向に移動可能な移動機構を備えていてもよい。

　また、上記引張装置における前記保持部材は、前記引張装置の設置面と交差する方向に移動可能な移動機構を備えていてもよい。

　また、上記課題を解決するための本発明は、有機半導体素子の製造装置であって、上記の引張装置が組み込まれていることを特徴とする。

　また、上記課題を解決するための本発明は、有機半導体素子の製造方法であって、フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、前記蒸着パターンを形成する工程において用いられる前記フレーム付き蒸着マスクが、前記蒸着マスクの一部を保持部材により保持し、前記保持部材によって保持された蒸着マスクをその外方に向かって引っ張り、引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、又は前記蒸着マスクを引っ張るとともに、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整を行う引張工程と、前記引張工程後に、貫通孔が形成されたフレームに、前記引っ張られた状態の蒸着マスクを固定する固定工程により得られたフレーム付き蒸着マスクであることを特徴とする。

　本発明のフレーム付き蒸着マスクの製造方法や、引張装置によれば、「ねじれ」が抑制された状態で、フレームに蒸着マスクが固定されてなるフレーム付き蒸着マスクを製造することができる。また、本発明の有機半導体素子の製造装置や、有機半導体素子の製造方法によれば、有機半導体素子を精度よく製造することができる。

準備工程で準備される蒸着マスクの一例を示す図であり、（ａ）は、金属マスク側からみた上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ－Ａ断面図である。 準備工程で準備される実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から見た上面図である。 準備工程で準備される実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から見た上面図である。 準備工程で準備される実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から見た上面図である。 準備工程で準備される実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から見た上面図である。 準備工程で準備される実施形態（Ｂ）の蒸着マスクを金属マスク側から見た上面図である。 準備工程で準備される実施形態（Ｂ）の蒸着マスクを金属マスク側から見た上面図である。 引張工程において引っ張られた蒸着マスクの一例を示す上面図であり、（ａ）は蒸着マスクに「ねじれ」が生じている状態を示す上面図であり、（ｂ）は、蒸着マスクの「ねじれ」が抑制された状態を示す上面図である。 引張工程において引っ張られた蒸着マスクの一例を示す上面図であり、（ａ）は蒸着マスクに「ねじれ」が生じている状態を示す上面図であり、（ｂ）は、蒸着マスクの「ねじれ」が抑制された状態を示す上面図である。 第１回転機構を説明するための斜視図である。 第２回転機構を説明するための斜視図である。 移動機構を説明するための斜視図である。 引張工程を説明するための上面図である。 （ａ)は引張工程を説明するための上面図であり、（ｂ）は正面図である。 引張工程を説明するための正面図である。 引張工程を説明するための上面図である。 引張工程を説明するための上面図である。 引張工程を説明するための上面図である。 固定工程を説明するための上面図である。 固定工程を説明するための上面図である。 （ａ）～（ｃ）はフレームの一例を示す上面図である。 フレーム付き蒸着マスクの一例を示す上面図である。 フレーム付き蒸着マスクの一例を示す上面図である。 精密調整工程を説明するための図であり、（ａ）、（ｂ）は蒸着マスクを樹脂マスク側から見た正面図である。 （a）～（ｃ）は、保持部材８０によって蒸着マスク１００を保持している状態を示す部分概略断面図であり、（ｄ）～（ｆ)は、凸部を有する保持部材８０を、凸部８２側から平面視したときの一例を示す図である。

　以下、本発明の一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法について図面を用いて具体的に説明する。

　＜＜フレーム付き蒸着マスクの製造方法＞＞
　一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、スリット１５が形成された金属マスク１０と当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が形成された樹脂マスク２０とが積層されてなる蒸着マスク１００を準備する準備工程と、準備工程で準備された蒸着マスク１００の一部を保持部材８０により保持し、保持部材８０によって保持された蒸着マスクをその外方に向かって引っ張る引張工程と、引張工程後に、貫通孔が形成されたフレーム６０に、引っ張られた状態の蒸着マスクを固定する固定工程を含み、引張工程では、引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、又は蒸着マスクを引っ張るとともに、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われることを特徴としている。

　一例としてのフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、スリット１５が形成された金属マスク１０と当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が形成された樹脂マスク２０とが積層されてなる蒸着マスク１００を準備する準備工程と、準備工程で準備された蒸着マスクの対向する２辺を保持部材８０により保持し、当該保持部材８０の少なくとも一つを蒸着マスクの外方に引っ張ることで、当該蒸着マスクをその外方に向かって引っ張る引張工程と、貫通孔が形成されたフレームに、引張工程において引っ張られた状態の蒸着マスクを固定する固定工程を含み、引張工程において、蒸着マスクを保持する保持部材８０の少なくとも一つが、蒸着マスクの面と交差する第１の回転軸、例えば、蒸着マスクの面と直交する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、蒸着マスクの面と交差しない第２の回転軸、例えば、蒸着マスクの面と平行する第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び、直線移動が可能な、例えば、蒸着マスクが引っ張られている方向に直交する方向に直線移動可能な移動機構のうち少なくとも一つの機構を備える保持部材８０であり、引張工程では、保持部材８０により、引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、又は蒸着マスクを引っ張るとともに、蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われる。

　以下、各工程について説明する。

　＜準備工程＞
　準備工程は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、スリット１５が形成された金属マスク１０と当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が形成された樹脂マスク２０とが積層されてなる蒸着マスク１００を準備する工程である。

　（樹脂マスク）
　図１に示すように、樹脂マスク２０には、複数の開口部２５が設けられている。図１（ａ）は、一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスクを金属マスク側から見た上面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ－Ａ概略断面図である。

　図示する形態では、開口部２５の開口形状は、矩形状を呈しているが、開口形状について特に限定はなく、蒸着作製するパターンに対応する形状であれば、いかなる形状であってもよい。例えば、開口部２５の開口形状は、ひし形、多角形状であってもよく、円や、楕円等の曲率を有する形状であってもよい。なお、矩形や、多角形状の開口形状は、円や楕円等の曲率を有する開口形状と比較して発光面積を大きくとれる点で、好ましい開口部２５の開口形状であるといえる。

　樹脂マスク２０の材料について限定はなく、例えば、レーザー加工等によって高精細な開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン－ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン－メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、その熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスクとすることで、開口部２５の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。

　樹脂マスク２０の厚みについて特に限定はないが、シャドウの発生の抑制効果をさらに向上せしめる場合には、樹脂マスク２０の厚みは、２５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ未満であることがより好ましい。下限値の好ましい範囲について特に限定はないが、樹脂マスク２０の厚みが３μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。特に、樹脂マスク２０の厚みを、３μｍ以上１０μｍ未満、より好ましくは４μｍ以上８μｍ以下とすることで、４００ｐｐｉを超える高精細パターンを形成する際のシャドウの影響をより効果的に防止することができる。また、樹脂マスク２０と後述する金属マスク１０とは、直接的に接合されていてもよく、粘着剤層を介して接合されていてもよいが、粘着剤層を介して樹脂マスク２０と金属マスク１０とが接合される場合には、樹脂マスク２０と粘着剤層との合計の厚みが上記好ましい厚みの範囲内であることが好ましい。なお、シャドウとは、蒸着源から放出された蒸着材の一部が、金属マスクのスリットや、樹脂マスクの開口部の内壁面に衝突して蒸着対象物へ到達しないことにより、目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる未蒸着部分が生ずる現象のことをいう。

　開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図１（ｂ）に示すように、開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１０側に向かって広がりをもつテーパー面を有していることが好ましい。テーパー角については、樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスクの開口部における下底先端と、同じく樹脂マスクの開口部における上底先端とを結んだ直線と、樹脂マスクの底面とのなす角、換言すれば、樹脂マスク２０の開口部２５を構成する内壁面の厚み方向断面において、開口部２５の内壁面と樹脂マスク２０の金属マスク１０と接しない側の面（図示する形態では、樹脂マスクの下面）とのなす角度は、５°～８５°の範囲内であることが好ましく、１５°～７５°の範囲内であることがより好ましく、２５°～６５°の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。また、図示する形態では、開口部２５を形成する端面は直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。

　（金属マスク）
　図１（ｂ）に示すように、樹脂マスク２０の一方の面上には、金属マスク１０が積層されている。金属マスク１０は、金属から構成され、縦方向或いは横方向に延びるスリット１５が配置されている。スリット１５は開口と同義である。スリットの配置例について特に限定はなく、縦方向、及び横方向に延びるスリットが、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びるスリットが、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びるスリットが縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に１列のみ配置されていてもよい。なお、本願明細書で言う「縦方向」、「横方向」とは、図面の上下方向、左右方向をさし、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向、幅方向のいずれの方向であってもよい。例えば、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向を「縦方向」としてもよく、幅方向を「縦方向」としてもよい。また、本願明細書では、蒸着マスクを平面視したときの形状が矩形状である場合を例に挙げて説明しているが、これ以外の形状、例えば、円形状や、ひし形状等の多角形状としてもよい。この場合、対角線の長手方向や、径方向、或いは、任意の方向を「長手方向」とし、この「長手方向」に直交する方向を、「幅方向（短手方向と言う場合もある）」とすればよい。

　金属マスク１０の材料について特に限定はなく、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。

　金属マスク１０の厚みについても特に限定はないが、シャドウの発生をより効果的に防止するためには、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、３５μｍ以下であることが特に好ましい。なお、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる傾向にある。

　また、図１（ａ）に示す形態では、スリット１５の開口を平面視したときの形状は、矩形状を呈しているが、開口形状について特に限定はなく、スリット１５の開口形状は、台形状、円形状等いかなる形状であってもよい。

　金属マスク１０に形成されるスリット１５の断面形状についても特に限定されることはないが、図１（ｂ）に示すように蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。より具体的には、金属マスク１０のスリット１５における下底先端と、同じく金属マスク１０のスリット１５における上底先端とを結んだ直線と、金属マスク１０の底面とのなす角度、換言すれば、金属マスク１０のスリット１５を構成する内壁面の厚み方向断面において、スリット１５の内壁面と金属マスク１０の樹脂マスク２０と接する側の面（図示する形態では、金属マスクの下面）とのなす角度は、５°～８５°の範囲内であることが好ましく、１５°～８０°の範囲内であることがより好ましく、２５°～６５°の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。

　樹脂マスク上に金属マスク１０を積層する方法について特に限定はなく、樹脂マスク２０と金属マスク１０とを各種粘着剤を用いて貼り合わせてもよく、自己粘着性を有する樹脂マスクを用いてもよい。樹脂マスク２０と金属マスク１０の大きさは同一であってもよく、異なる大きさであってもよい。なお、この後に任意で行われるフレームへの固定を考慮して、樹脂マスク２０の大きさを金属マスク１０よりも小さくし、金属マスク１０の外周部分が露出された状態としておくと、金属マスク１０とフレームとの固定が容易となり好ましい。

　以下、本工程で準備される好ましい蒸着マスクの形態について実施形態（Ａ）、及び実施形態（Ｂ）を例に挙げ説明する。なお、本工程で準備される蒸着マスク１００は、以下で説明する実施形態（Ａ）、及び実施形態（Ｂ）に限定されるものではなく、スリット１５が形成された金属マスク１０と当該スリット１５と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が形成された樹脂マスク２０とが積層されているとの条件を満たすものであれば、いかなる形態であってもよい。例えば、金属マスク１０に形成されているスリット１５は、ストライプ状（図示しない）であってもよい。また、１画面全体と重ならない位置に、金属マスク１０のスリット１５が設けられていてもよい。

　＜実施形態（Ａ）の蒸着マスク＞
　図２に示すように、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、樹脂マスク２０の一方の面上に、複数のスリット１５が設けられた金属マスク１０が積層されてなり、樹脂マスク２０には、複数画面を構成するために必要な開口部２５が設けられ、各スリット１５が、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする。

　実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するために用いられる蒸着マスクであり、１つの蒸着マスク１００で、複数の製品に対応する蒸着パターンを同時に形成することができる。実施形態（Ａ）の蒸着マスクで言う「開口部」とは、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００を用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬディスプレイにおける有機層の形成に用いる場合には、開口部２５の形状は当該有機層の形状となる。また、「１画面」とは、１つの製品に対応する開口部２５の集合体からなり、当該１つの製品が有機ＥＬディスプレイである場合には、１つの有機ＥＬディスプレイを形成するのに必要な有機層の集合体、つまり、有機層となる開口部２５の集合体が「１画面」となる。そして、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成すべく、樹脂マスク２０には、上記「１画面」が、所定の間隔をあけて複数画面分配置されている。すなわち、樹脂マスク２０には、複数画面を構成するために必要な開口部２５が設けられている。

　実施形態（Ａ）の蒸着マスクは、樹脂マスクの一方の面上に、複数のスリット１５が設けられた金属マスク１０が設けられ、各スリットは、それぞれ少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている点を特徴とする。換言すれば、１画面を構成するのに必要な開口部２５間において、横方向に隣接する開口部２５間に、スリット１５の縦方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分や、縦方向に隣接する開口部間２５に、スリット１５の横方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在していないことを特徴とする。以下、スリット１５の縦方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分や、スリット１５の横方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分のことを総称して、単に金属線部分と言う場合がある。

　実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００によれば、１画面を構成するのに必要な開口部２５の大きさや、１画面を構成する開口部２５間のピッチを狭くした場合、例えば、４００ｐｐｉを超える画面の形成を行うべく、開口部２５の大きさや、開口部２５間のピッチを極めて微小とした場合であっても、金属線部分による干渉を防止することができ、高精細な画像の形成が可能となる。なお、１画面が、複数のスリットによって分割されている場合、換言すれば、１画面を構成する開口部２５間に金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在している場合には、１画面を構成する開口部２５間のピッチが狭くなっていくことにともない、開口部２５間に存在する金属線部分が蒸着対象物へ蒸着パターンを形成する際の支障となり高精細な蒸着パターンの形成が困難となる。換言すれば、１画面を構成する開口部２５間に金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在している場合には、フレーム付き蒸着マスクとしたときに当該金属線部分が、シャドウの発生を引き起こし高精細な画面の形成が困難となる。

　次に、図２～図６を参照して、１画面を構成する開口部２５の一例について説明する。なお、図示する形態において破線で閉じられた領域が１画面となっている。図示する形態では、説明の便宜上少数の開口部２５の集合体を１画面としているが、この形態に限定されるものではなく、例えば、１つの開口部２５を１画素としたときに、１画面に数百万画素の開口部２５が存在していてもよい。

　図２に示す形態では、縦方向、横方向に複数の開口部２５が設けられてなる開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。図３に示す形態では、横方向に複数の開口部２５が設けられてなる開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。また、図４に示す形態では、縦方向に複数の開口部２５が設けられてなる開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。そして、図２～図４では、１画面全体と重なる位置にスリット１５が設けられている。

　上記で説明したように、スリット１５は、１画面のみと重なる位置に設けられていてもよく、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、２以上の画面全体と重なる位置に設けられていてもよい。図５（ａ）では、図２に示す樹脂マスク１０において、横方向に連続する２画面全体と重なる位置にスリット１５が設けられている。図５（ｂ）では、縦方向に連続する３画面全体と重なる位置にスリット１５が設けられている。

　次に、図２に示す形態を例に挙げて、１画面を構成する開口部２５間のピッチ、画面間のピッチについて説明する。１画面を構成する開口部２５間のピッチや、開口部２５の大きさについて特に限定はなく、蒸着作製するパターンに応じて適宜設定することができる。例えば、４００ｐｐｉの高精細な蒸着パターンの形成を行う場合には、１画面を構成する開口部２５において隣接する開口部２５の横方向のピッチ（Ｐ１）、縦方向のピッチ（Ｐ２）は６０μｍ程度となる。また、開口部の大きさは、５００μｍ²～１０００μｍ²程度となる。また、１つの開口部２５は、１画素に対応していることに限定されることはなく、例えば、画素配列によっては、複数画素を纏めて１つの開口部２５とすることもできる。

　画面間の横方向ピッチ（Ｐ３）、縦方向ピッチ（Ｐ４）についても特に限定はないが、図２に示すように、１つのスリット１５が、１画面全体と重なる位置に設けられる場合には、各画面間に金属線部分が存在することとなる。したがって、各画面間の縦方向ピッチ（Ｐ４）、横方向のピッチ（Ｐ３）が、１画面内に設けられている開口部２５の縦方向ピッチ（Ｐ２）、横方向ピッチ（Ｐ１）よりも小さい場合、或いは略同等である場合には、各画面間に存在している金属線部分が断線しやすくなる。したがって、この点を考慮すると、画面間のピッチ（Ｐ３、Ｐ４）は、１画面を構成する開口部２５間のピッチ（Ｐ１、Ｐ２）よりも広いことが好ましい。画面間のピッチ（Ｐ３、Ｐ４）の一例としては、１ｍｍ～１００ｍｍ程度である。なお、画面間のピッチとは、１の画面と、当該１の画面と隣接する他の画面とにおいて、隣接している開口部間のピッチを意味する。このことは、後述する実施形態（Ｂ）の蒸着マスクにおける開口部間の２５のピッチ、画面間のピッチについても同様である。

　なお、図５に示すように、１つのスリット１５が、２つ以上の画面全体と重なる位置に設けられる場合には、１つのスリット１５内に設けられている複数の画面間には、スリットの内壁面を構成する金属線部分が存在しないこととなる。したがって、この場合、１つのスリット１５と重なる位置に設けられている２つ以上の画面間のピッチは、１画面を構成する開口部２５間のピッチと略同等であってもよい。

　また、樹脂マスク２０には、樹脂マスク２０の縦方向、或いは横方向にのびる溝（図示しない）が形成されていてもよい。蒸着時に熱が加わった場合、樹脂マスク２０が熱膨張し、これにより開口部２５の寸法や位置に変化が生じる可能性があるが、溝を形成することで樹脂マスクの膨張を吸収することができ、樹脂マスクの各所で生じる熱膨張が累積することにより樹脂マスク２０が全体として所定の方向に膨張して開口部２５の寸法や位置が変化することを防止することができる。溝の形成位置について限定はなく、１画面を構成する開口部２５間や、開口部２５と重なる位置に設けられていてもよいが、画面間に設けられていることが好ましい。また、溝は、樹脂マスクの一方の面、例えば、金属マスクと接する側の面のみに設けられていてもよく、金属マスクと接しない側の面のみに設けられていてもよい。或いは、樹脂マスク２０の両面に設けられていてもよい。

　また、隣接する画面間に縦方向に延びる溝としてもよく、隣接する画面間に横方向に延びる溝を形成してもよい。さらには、これらを組み合わせた態様で溝を形成することも可能である。

　溝の深さやその幅については特に限定はないが、溝の深さが深すぎる場合や、幅が広すぎる場合には、樹脂マスク２０の剛性が低下する傾向にあることから、この点を考慮して設定することが必要である。また、溝の断面形状についても特に限定されることはなくＵ字形状やＶ字形状など、加工方法などを考慮して任意に選択すればよい。実施形態（Ｂ）の蒸着マスクについても同様である。

　＜実施形態（Ｂ）の蒸着マスク＞
　次に、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクについて説明する。図６に示すように、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクは、蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が複数設けられた樹脂マスク２０の一方の面上に、１つのスリット（１つの孔１６）が設けられた金属マスク１０が積層されてなり、当該複数の開口部２５の全てが、金属マスク１０に設けられた１つの孔１６と重なる位置に設けられている点を特徴とする。

　実施形態（Ｂ）の蒸着マスクで言う開口部２５とは、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するために必要な開口部を意味し、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するために必要ではない開口部は、１つの孔１６と重ならない位置に設けられていてもよい。なお、図６は、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクの一例を示す蒸着マスクを金属マスク側から見た上面図である。

　実施形態（Ｂ）の蒸着マスク１００は、複数の開口部２５を有する樹脂マスク２０上に、１つの孔１６を有する金属マスク１０が設けられており、かつ、複数の開口部２５の全ては、当該１つの孔１６と重なる位置に設けられている。この構成を有する実施形態（Ｂ）の蒸着マスク１００では、開口部２５間に、金属マスクの厚みと同じ厚み、或いは、金属マスクの厚みより厚い金属線部分が存在していないことから、上記実施形態（Ａ）の蒸着マスクで説明したように、金属線部分による干渉を受けることなく樹脂マスク２０に設けられている開口部２５の寸法通りに高精細な蒸着パターンを形成することが可能となる。

　また、実施形態（Ｂ）の蒸着マスクによれば、金属マスク１０の厚みを厚くしていった場合であっても、シャドウの影響を殆ど受けることがないことから、金属マスク１０の厚みを、耐久性や、ハンドリング性を十分に満足させることができるまで厚くすることができ、高精細な蒸着パターンの形成を可能としつつも、耐久性や、ハンドリング性を向上させることができる。

　実施形態（Ｂ）の蒸着マスクにおける樹脂マスク２０は、樹脂から構成され、図６に示すように、１つの孔１６と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部２５が複数設けられている。開口部２５は、蒸着作製するパターンに対応しており、蒸着源から放出された蒸着材が開口部２５を通過することで、蒸着対象物には、開口部２５に対応する蒸着パターンが形成される。なお、図示する形態では、開口部が縦横に複数列配置された例を挙げて説明をしているが、縦方向、或いは横方向にのみ配置されていてもよい。

　実施形態（Ｂ）の蒸着マスク１００における「１画面」とは、１つの製品に対応する開口部２５の集合体を意味し、当該１つの製品が有機ＥＬディスプレイである場合には、１つの有機ＥＬディスプレイを形成するのに必要な有機層の集合体、つまり、有機層となる開口部２５の集合体が「１画面」となる。実施形態（Ｂ）の蒸着マスクは、「１画面」のみからなるものであってもよく、当該「１画面」が複数画面分配置されたものであってもよいが、「１画面」が複数画面分配置される場合には、画面単位毎に所定の間隔をあけて開口部２５が設けられていることが好ましい（実施形態（Ａ）の蒸着マスクの図５参照）。「１画面」の形態について特に限定はなく、例えば、１つの開口部２５を１画素としたときに、数百万個の開口部２５によって１画面を構成することもできる。

　実施形態（Ｂ）の蒸着マスク１００における金属マスク１０は、金属から構成され１つの孔１６を有している。そして、本発明では、当該１つの孔１６は、金属マスク１０の正面からみたときに、全ての開口部２５と重なる位置、換言すれば、樹脂マスク２０に配置された全ての開口部２５がみえる位置に配置されている。

　金属マスク１０を構成する金属部分、すなわち１つの孔１６以外の部分は、図６に示すように蒸着マスク１００の外縁に沿って設けられていてもよく、図７に示すように金属マスク１０の大きさを樹脂マスク２０よりも小さくし、樹脂マスク２０の外周部分を露出させてもよい。また、金属マスク１０の大きさを樹脂マスク２０よりも大きくして、金属部分の一部を、樹脂マスクの横方向外方、或いは縦方向外方に突出させてもよい。なお、いずれの場合であっても、１つの孔１６の大きさは、樹脂マスク２０の大きさよりも小さく構成されている。

　図６に示される金属マスク１０の１つの孔１６の壁面をなす金属部分の横方向の幅（Ｗ１）や、縦方向の幅（Ｗ２）について特に限定はないが、Ｗ１、Ｗ２の幅が狭くなっていくに従い、耐久性や、ハンドリング性が低下していく傾向にある。したがって、Ｗ１、Ｗ２は、耐久性や、ハンドリング性を十分に満足させることができる幅とすることが好ましい。金属マスク１０の厚みに応じて適切な幅を適宜設定することができるが、好ましい幅の一例としては、実施形態（Ａ）の蒸着マスクの金属マスクと同様、Ｗ１、Ｗ２ともに１ｍｍ～１００ｍｍ程度である。

　以下、本工程で準備される蒸着マスクの製造方法について一例を挙げて説明する。準備工程で準備される蒸着マスク１００は、樹脂板の一方の面上にスリット１５が設けられた金属マスク１０が積層された樹脂板付き金属マスクを準備し、次いで、樹脂板付き金属マスクに対し、金属マスク１０側からスリット１５を通してレーザーを照射して、樹脂板に蒸着作製するパターンに対応する開口部２５を形成することで得ることができる。

　樹脂板付き金属マスクの形成方法としては、樹脂板の一方の面上にスリット１５が設けられた金属マスク１０を積層する。樹脂板は、上記樹脂マスク２０で説明した材料を用いることができる。

　スリット１５が設けられた金属マスク１０の形成方法としては、金属板の表面にマスキング部材、例えば、レジスト材を塗工し、所定の箇所を露光し、現像することで、最終的にスリット１５が形成される位置を残したレジストパターンを形成する。マスキング部材として用いるレジスト材としては処理性が良く、所望の解像性があるものが好ましい。次いで、このレジストパターンを耐エッチングマスクとして用いてエッチング法によりエッチング加工する。エッチングが終了後、レジストパターンを洗浄除去する。これにより、スリット１５が設けられた金属マスク１０が得られる。スリット１５を形成するためのエッチングは、金属板の片面側から行ってもよく、両面から行ってもよい。また、金属板に樹脂板が設けられた積層体を用いて、金属板にスリット１５を形成する場合には、金属板の樹脂板と接しない側の表面にマスキング部材を塗工して、片面側からのエッチングによってスリット１５が形成される。なお、樹脂板が、金属板のエッチング材に対し耐エッチング性を有する場合には、樹脂板の表面をマスキングする必要はないが、樹脂板が、金属板のエッチング材に対する耐性を有しない場合には、樹脂板の表面にマスキング部材を塗工しておく必要がある。また、上記では、マスキング部材としてレジスト材を中心に説明を行ったが、レジスト材を塗工する代わりにドライフィルムレジストをラミネートし、同様のパターニングを行ってもよい。

　上記の方法において、樹脂板付金属マスクを構成する樹脂板は、板状の樹脂のみならず、コーティングによって形成された樹脂層や樹脂膜であってもよい。つまり、樹脂板は、予め準備されたものであってもよく、金属板と樹脂板とを用いて樹脂板付き金属マスクを形成する場合には、金属板上に、従来公知のコーティング法等によって、最終的に樹脂マスクとなる樹脂層、或いは樹脂膜を形成することもできる。

　開口部２５の形成方法としては、上記で準備された樹脂板付き金属マスクに対し、レーザー加工法、精密プレス加工、フォトリソ加工等を用いて、樹脂板を貫通させ、樹脂板に蒸着作製するパターンに対応する開口部２５を形成することで、蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が設けられた樹脂マスク２０の一方の面上にスリット１５が設けられた金属マスク１０が積層された一実施形態の蒸着マスク１００を得る。なお、高精細な開口部２５を容易に形成することができる点からは、開口部２５の形成には、レーザー加工法を用いることが好ましい。

　各図に示す形態の蒸着マスク１００は、当該蒸着マスクを平面視したときの形状が矩形状を呈しているが、蒸着マスクを平面視したときの形状は、この形状に限定されるものではなく、任意の形状、例えば、円形状、多角形状などを挙げることができる。

　＜引張工程＞
　引張工程は、準備工程で準備された蒸着マスク１００の一部を保持部材８０により保持し、保持部材８０によって保持された蒸着マスクをその外方に向かって引っ張る工程である。一例としての引張工程では、準備工程で準備された蒸着マスクの対向する２辺を保持部材８０により保持し、当該保持部材８０の少なくとも一つを蒸着マスクの外方に引っ張っている。例えば、保持部材８０に連結されているモーターやエアシリンダ等の駆動手段を作動させて、保持部材８０によって保持されている蒸着マスク１００をその外方に向かって引っ張っている。

　そして、一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法では、引張工程において、蒸着マスク１００の一部を保持部材８０により保持し、保持部材８０によって保持された蒸着マスクをその外方に向かって引っ張るとともに、又は、引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整の何れか一方、又は双方の調整が行われることを特徴としている。

　保持部材８０による蒸着マスク１００の保持位置について限定はないが、通常、蒸着マスク１００の端部近傍が、保持部材８０による蒸着マスク１００の保持位置となる。保持部材８０による蒸着マスク１００の保持は、１つの保持部材８０のみを用いて行ってもよく、複数の保持部材８０を用いて行ってもよい。

　以下、引張工程において、回転調整、及び移動調整を実現させるための具体的な手段について保持部材８０が有する機構を例に挙げて説明する。なお、回転調整、移動調整は、以下で説明する手段以外によって実現してもよい。

　一例としての引張工程では、蒸着マスク１００の一部を保持する保持部材８０が、蒸着マスク１００の面と交差する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構（以下、単に、第１回転機構と言う場合がある。）、蒸着マスク１００の面と交差しない第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構（以下、単に、第２回転機構と言う場合がある。）、及び、直線移動可能な移動機構（以下、単に、移動機構と言う場合がある。）のうち少なくとも一つの機構を備えており、当該保持部材８０によって、蒸着マスク１００の回転調整、及び移動調整の何れか一方、又は双方の調整が行われる。

　本願明細書で言う、第１の回転軸と交差する蒸着マスクの面、第２の回転軸と交差しない蒸着マスクの面とは、蒸着マスクの面全体のうち任意に選択した３点を含む領域を意味する。

　上記第１回転機構は、蒸着マスクの面と交差する第１の回転軸を軸として回転可能との条件を満たせば、蒸着マスクの面と第１の回転軸とのなす角度について特に限定はないが、好ましくは、４５°～１３５°であり、より好ましくは、８５°～９５°であり、特に好ましくは、９０°である。

　上記移動機構は、直線移動が可能との条件を満たせば、その移動方向について特に限定はないが、蒸着マスクを引っ張る方向の軸と、保持部材８０が移動する方向の軸とのなす好ましい角は、４５°～１３５°であり、より好ましくは、８５°～９５°であり、特に好ましくは、９０°である。

　上記保持部材８０の具体的な例としては、蒸着マスク１００の面と直交する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、蒸着マスクの面と平行する第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び蒸着マスクを引っ張る方向に直交する方向に移動可能な移動機構、のうち少なくとも一つの機構を備える保持部材８０等を挙げることができる。

　引張工程の説明にあたり、回転調整や、移動調整を行うことなく蒸着マスクを引っ張ったときの「ねじれの発生」、例えば、上記第１回転機構、第２回転機構、移動機構のいずれの機構をも備えない保持部材（以下、従来の保持部材と言う場合がある。）を使用して蒸着マスクを引っ張ったときの「ねじれ」の発生に言及しつつ、上記第１回転機構、第２回転機構、移動機構のうち少なくとも一つの機構を備える保持部材を使用して蒸着マスクを引っ張る本発明の一実施形態について説明する。なお、図８（ａ）、図９（ａ）は、引張工程後に蒸着マスクに「ねじれ」が生じている状態を示す上面図であり、図８（ｂ）、図９（ｂ）は、上記特徴の保持部材を用いて蒸着マスクを引っ張ることで蒸着マスクの「ねじれ」が抑制された状態を示す上面図である。なお、図８、図９では、蒸着マスクにおける開口部２５や、スリット１５を省略している。また、「ねじれ」を誇張して示している。

　本願明細書で言う「ねじれ」とは、蒸着マスクを引っ張る時に蒸着マスクに生ずる波状のシワや、歪等を含む概念である。また、本願明細書で言う「蒸着マスクを引っ張る」とは、上記で準備した蒸着マスク１００を伸ばす方向に外力（張力）を加えることを意味する。

　また、本願明細書で言う「保持部材」とは、何らかの手段により蒸着マスクの一部、例えば、蒸着マスクの辺を保持可能な部材を意味する。蒸着マスクを保持する形態について特に限定はなく、例えば、保持部材としてクランプを用いた場合には、当該クランプによって蒸着マスクの端部等を把持することで蒸着マスクが保持される。また、保持部材として金属板や樹脂板等の部材を用いた場合には、当該部材と蒸着マスクの端部とを粘着剤により貼り合わせ、或いは当該部材と蒸着マスクの端部とを溶接等により固定することで蒸着マスクが保持される。また、保持部材として磁性を有する磁性部材を用いた場合には、当該磁性部材と蒸着マスクの端部近傍に位置する金属マスクとを磁力を用いて引き付けることで蒸着マスクが保持される。これ以外の形態により、蒸着マスクを保持することもできる。なお、保持部材による蒸着マスクの保持力が弱い場合には、保持部材８０によって保持されている蒸着マスクを、その外方に引っ張った際に、当初の保持位置から変動してしまう場合があることから、保持部材による蒸着マスクの保持力は、蒸着マスクを引っ張った時に保持位置の変動が生じない程度の保持力を有していることが必要である。これら保持力や、蒸着マスクを保持する際の簡易性を考慮すると、保持部材としてクランプを用いることが好ましい。なお、各図に示す形態では、保持部材８０がクランプである場合を例に挙げて説明を行っている。

　上記従来の保持部材を使用して蒸着マスクを引っ張る際に、保持部材に蒸着マスクが正確に保持されていない場合、例えば、保持部材８０によって、蒸着マスク１００の両端が平行に保持されているものの、蒸着マスク１００の両端が非対称に保持されている場合には、保持部材８０に連結しているモーターやエアシリンダ等の駆動手段を作動させて、蒸着マスクを引っ張るときに、蒸着マスク１００に「ねじれ」が生ずることとなる（図８（ａ）参照）。また、保持部材８０によって、蒸着マスクの両端が平行に保持されていない場合、すなわち、保持部材８０によって、蒸着マスク１００が斜めに傾いた状態で保持されている場合においても、蒸着マスクを引っ張ることで、当該蒸着マスク１００に「ねじれ」が生ずる（図９（ａ）参照）。

　上記準備工程で準備される蒸着マスク１００を構成する樹脂マスク２０は、樹脂材料から構成されていることから高精細な開口部２５を形成することができる利点を有する一方で、外部からかかる応力等によって開口部２５の寸法に変動が生じやすい問題点を有する。そして、引張工程において、蒸着マスク１００に「ねじれ」が生じた場合には、樹脂マスク２０に形成がされている開口部２５の寸法に変動が生じやすく、フレーム付き蒸着マスクを用いて高精細な蒸着パターンを形成する際の妨げとなる。

　一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法では、引っ張られた蒸着マスク１００に対して、又は蒸着マスク１００を引っ張るとともに、蒸着マスク１００の回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整を行うことで、蒸着マスクを引っ張ることによって生じ得る「ねじれ」を抑制している。一例としてのフレーム付き蒸着マスクの製造方法では、上記第１回転機構、第２回転機構、移動機構の少なくとも一つを備える保持部材８０によって、蒸着マスクの一部を保持し、当該保持部材８０によって保持されている蒸着マスク１００をその外方に向かって引っ張っている。この例によれば、保持部材８０が備える機構の働きにより、蒸着マスクに生じ得る「ねじれ」を抑制した状態で、蒸着マスクを引っ張ることが可能となる。具体的には、本工程において、保持部材８０は、引っ張られた蒸着マスク１００に対して、又は蒸着マスク１００を引っ張るとともに、蒸着マスク１００の回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整を行うことで、蒸着マスクを引っ張ることによって生じ得る「ねじれ」を抑制している。以下、上記第１回転機構、第２回転機構、移動機構を総称して、「本発明における機構」と言う場合がある。また、本願明細書で言う「回転調整」とは、第１回転機構、或いは第２回転機構を用いて蒸着マスクを回転させることで上記「ねじれ」を抑制する調整を意味し、「移動調整」とは、上記移動機構を用いて蒸着マスクを移動させることで上記「ねじれ」を抑制する調整を意味する。

　図１０は、第１回転機構を備える保持部材８０により、保持部材８０を回転させた状態を示す斜視図である。図示する形態では、蒸着マスク１００の面と直交する第１の回転軸（Ｌ１）を軸として、保持部材８０が矢印の方向に回転する構成をとる。図１１は、第２回転機構を備える保持部材８０により、保持部材８０を回転させた状態を示す斜視図である。図示する形態では、蒸着マスク１００の面と平行する第２の回転軸（Ｌ２）を軸として、保持部材８０が矢印の方向に回転する構成をとる。図１２は、移動機構を備える保持部材８０により、保持部材８０を移動させた状態を示す斜視図である。図示する形態では、蒸着マスクを引っ張る方向に直交する方向（Ｌ３方向）に移動可能な構成をとる。図１０～図１２では、蒸着マスク１００における開口部２５、及びスリット１５を省略して記載している。

　第１の回転軸、第２の回転軸は、図示する形態に限定されるものではなく、上記で説明したように、蒸着マスクの面と交差する軸が第１の回転軸となっており、蒸着マスクの面と交差しない軸が第２の回転軸となっていればよい。なお、図１０～図１２は、保持部材が備える機構の好ましい形態である。

　好ましい形態の保持部材は、蒸着マスクの面と直交する軸を第１の回転軸とし、蒸着マスクの面と平行する軸を第２の回転軸とし、蒸着マスクを引っ張る方向に直交する方向を、移動方向としているが、本願明細書において、蒸着マスク１００の面と直交するとある記載、蒸着マスクを引っ張る方向に直交するとある記載は、蒸着マスクの面や、蒸着マスクを引っ張る方向に対して、必ずしも９０°の角度を意味するものではなく、本発明の作用効果を奏する範囲での角度も許容されるものとする。つまりは、蒸着マスクの「ねじれ」を抑制することができる程度に、蒸着マスクを回転させることができる角度であればよく、蒸着マスクの面や、蒸着マスクを引っ張る方向に対して直交する成分を含むものであればよい。また、蒸着マスクの面と平行とある記載は、蒸着マスクの面に対して、必ずしも０°の角度を意味するものではなく、本発明の作用効果を奏する範囲での角度も許容されるものとする。つまりは、蒸着マスクの「ねじれ」を抑制することができる程度に、蒸着マスクを移動させることができる角度であればよく、蒸着マスクの面に対して平行する成分を含むものであればよい。

　一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、蒸着マスクの一部を保持している保持部材が、上記「本発明における機構」のうちの少なくとも一つの機構を備えていることを必須の条件とするものであるが、好ましい形態としては、蒸着マスクの対向する２辺が、独立した保持部材８０によって保持されており、（ｉ）蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を保持する保持部材８０が、第１回転機構、第２回転機構の何れか一方、又は双方を備え、他の一辺を保持する保持部材８０が移動機構を備える形態、（ｉｉ）蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を保持する保持部材８０が、第１回転機構、第２回転機構の何れか一方、又は双方と、移動機構を備える形態等を挙げることができる。（ｉｉ）に示す形態では、蒸着マスクの他の一辺を保持する保持部材８０は、上記「本発明における機構」を備えていることを必ずしも要しない。（ｉ）、（ｉｉ）に示す形態は、引張工程において蒸着マスクに生じ得る「ねじれ」を万能に抑制することができる点で好ましい形態である。換言すれば、蒸着マスクを引っ張る時に、いかなる方向に「ねじれ」が生じた場合であっても、この「ねじれ」を解消することができる。また、「ねじれ」は、第１回転機構を備える保持部材により抑制することができる場合が多く、したがって、回転機構としては、第１回転機構を備える保持部材とすることが好ましい。以下、引張工程において生じ得る「ねじれ」の抑制について、上記「本発明における機構」を備える保持部材の一例を挙げて説明する。

　図８（ａ）、図９（ａ）では、蒸着マスク１００を引っ張ることにより当該蒸着マスク１００に「ねじれ」が生じているものの、図８で示される保持部材８０ａに移動機構を付与し、保持部材８０ｂに第１回転機構を付与し、保持部材８０ａを矢印の方向に移動させ、保持部材８０ｂを矢印の方向に回転させることで、また、図９で示される保持部材８０ａに移動機構を付与し、保持部材８０ａを矢印の方向に移動させることで、図８（ｂ）、図９（ｂ）に示すように「ねじれ」を抑制した状態で蒸着マスク１００を引っ張ることができる。

　引張工程において、保持部材８０は、蒸着マスクの一部を保持して、当該蒸着マスク１００をその外方に向かって引っ張り、蒸着マスクを引っ張るとともに、或いは、引っ張った後に、保持部材８０が備える上記「本発明における機構」によって、蒸着マスク１００の回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整を行っている。そして、この調整によって、蒸着マスク１００を引っ張ることによって生じ得る「ねじれ」が抑制される。以下、「ねじれ」を抑制することができるより具体的な実施形態について一例を挙げて説明するが、本発明は、この形態に限定されるものではない。

　図１３は、蒸着マスク１００を引っ張り、当該引っ張られた状態の蒸着マスク１００をフレーム６０上に固定する際の状態を示す上面図である。図示する形態では、「本発明における機構」を備える保持部材８０は、保持部材支持用フレーム９０上に設けられている。「本発明における機構」を備える保持部材８０は、保持部材支持用フレーム９０に対して回転及び／又は移動可能となっている。

　蒸着マスクを引っ張りつつ「ねじれ」を抑制することができる実施形態としては、保持部材８０に、ベアリング（玉軸受）等の回転対偶、直進対偶、すべり対偶等を設置し、引張工程において蒸着マスクが受けた力（張力）に倣って受動的に保持部材８０を回転させる形態を挙げることができる。これらの形態によれば、受動的に保持部材８０が、移動、回転等し、その結果、「ねじれ」を抑制しつつ蒸着マスクを引っ張ることができる。

　図１４（ａ）は、回転対偶が設けられた保持部材８０によって、蒸着マスク１００を引っ張りつつ、「ねじれ」を抑制した状態を示す部分拡大上面図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）の正面図である。図１４に示す形態では、回転対偶が設けられた保持部材８０によって、当該保持部材８０は、蒸着マスクの面と交差する第１の回転軸を軸として、例えば、蒸着マスク１００の面と直交する第１の回転軸を軸として（図示する形態では、回転対偶が設けられた保持部材８０と直交する回転軸を軸として）回転可能となっている。図１４（ａ）における破線で閉じられた領域は、それぞれ「ねじれ」の抑制がされていないとしたときの蒸着マスク、及び回転前の保持部材である。また、直進対偶を用いることで、保持部材８０を移動可能とすることができる。

　蒸着マスクを引っ張った後に「ねじれ」を抑制する実施形態としては、蒸着マスク１００を引っ張ることによって生じた「ねじれ」を機械的に制御する形態を挙げることができる。例えば、トルクセンサ等（図示しない）を介して、保持部材８０とモーター等の制御手段を接続し、蒸着マスクを引っ張ったときの「ねじれ」によって生じる保持部材８０のトルクをトルクセンサ等で検出し、トルクが０となるように保持部材８０の移動量（距離）や回転角度をモーター等の制御手段制御することで、蒸着マスク１００を引っ張る時に生じた「ねじれ」を抑制することができる。換言すれば、蒸着マスク１００を引っ張ることによって生じた「ねじれ」を能動的に制御し、その結果、「ねじれ」を抑制することができる。この形態では、モーター等の制御手段が設けられた保持部材８０と直交する回転軸を軸として当該制御手段が設けられた保持部材８０が回転する。

　また、蒸着マスク１００を引っ張りつつ「ねじれ」を抑制する形態と、蒸着マスクを引っ張った後に「ねじれ」を抑制する形態を組合せることもできる。また、図１５に示すように、保持部材支持用フレーム９０上に、各種の機構（図示する形態では、移動機構、第２回転機構、第１回転機構）を積み重ね、当該機構を保持部材と固定することで、任意の機構の組合せとすることもできる。例えば、第１回転機構として、上記回転対偶を用い、第２回転機構、及び移動機構として、モーター等の制御手段を用いることで、蒸着マスクを引っ張ったときに生じる「ねじれ」を、第１回転機構により受動的に抑制しつつ、第２回転機構、及び移動機構により能動的に抑制することができる。また、図１５に示す形態において、第１回転機構と保持部材８０との間に、上記で説明したトルクセンサ等を設けてもよい。

　図１６に示す形態は、保持部材８０がゴニオステージと固定されており、保持部材支持用フレーム９０に固定されているウォームギアの軸を回転させることで、当該ゴニオステージを備えない保持部材８０と直交する回転軸を軸として、ゴニオステージを揺動（移動）させ、保持部材８０に保持されている蒸着マスク１００の「ねじれ」を抑制している。具体的には、トルクセンサ等を用いて、蒸着マスクを引っ張ったときの「ねじれ」によって生じる保持部材８０のトルクをトルクセンサ等で検出し、トルクが０となるようにウォームギアの軸を回転させてゴニオステージの揺動（移動）を制御することで、蒸着マスクの「ねじれ」を抑制することができる。

　保持部材８０を駆動させるための駆動手段について特に限定はなく、例えば、モーターや、エアシリンダ等を挙げることができる。駆動手段８５は、「本発明における機構」による機構を干渉しない位置において保持部材８０と接続されており、当該駆動手段を駆動させることで、保持部材８０を駆動し、蒸着マスク１００の引っ張りが行われる。

　図１７は、保持部材８０に保持された蒸着マスク１００に張力をかけた状態を示す平面図であり、（ａ)では、縦方向外方に張力をかけることで、（ｂ）では、縦方向、及び横方向の外方に張力をかけることで、蒸着マスクの引っ張りが行われている。張力をかける方向は図示する形態に限定されるものではなく、横方向外方に張力をかけてもよい。また、これ以外の方向、例えば、斜め方向に張力をかけてもよい。また、図１７（ａ）では、縦方向の外方にむかって、双方の保持部材８０を駆動させているが、何れか一方の保持部材８０のみを駆動させてもよい。なお、この場合においても、外方に向かって駆動する保持部材８０、外方に向かって駆動しない保持部材８０の何れか一方の保持部材８０が、上記「本発明における機構」を備えていればよい。

　図１７に示す形態では、蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を、１つの保持部材８０で保持しているが、図１８に示すように、蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を複数の保持部材８０で保持してもよい（図示する形態では、対向する２辺の双方の辺を複数の保持部材で保持している）。この構成とすることで、左右、中央それぞれの場所において「ねじれ」を解消することができ、蒸着マスク全体の「ねじれ」をより効果的に抑制することができる。蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を複数の保持部材８０で保持する場合には、当該一辺を保持している全ての保持部材が、上記「本発明における機構」を備えていることが好ましい。特には、蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を保持している全ての保持部材のそれぞれが、第１回転機構、第２回転機構、移動機構の全ての機構を備える、或いは、一辺を保持している全ての保持部材のそれぞれが、第１回転機構と、移動機構を備えていることが好ましい。また、図示するように、蒸着マスクの対向する２辺の双方の辺を複数の保持部材で保持してもよい。

　蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を複数の保持部材で保持する場合には、（Ａ）図１８に示すように、当該複数の保持部材ごとに駆動手段８５を連結させ、各保持部材に連結されている駆動手段をそれぞれ駆動させて、蒸着マスクを引っ張ってもよく、（Ｂ）複数の保持部材を一つの駆動手段と連結させ（図示しない）、当該一つの駆動手段を駆動させて、蒸着マスクを引っ張ってもよい。

　上記（Ａ）の形態をとる場合には、蒸着マスクを引っ張る際の引張量を保持部材ごとに制御することができ、「ねじれ」の抑制をより効果的に行うことができる。なお、図１８に示す形態では、保持部材のそれぞれは、対応する駆動手段によって個別に制御されることから、複数の保持部材のうちの一つの保持部材によって、他の保持部材の動きが規制されることはない。従って、上記（Ａ）の形態をとる場合には、複数の保持部材のそれぞれが備える機構は、同一の機構であってもよく、異なる機構であってもよい。例えば、図１８に示す形態においては、複数の保持部材のうちの一つの保持部材が「移動機構」を備え、他の保持部材が「第１回転機構」及び「第２回転機構」の何れか一方、又は双方を備えるものであってもよい。なお、このことは、保持部材のそれぞれが異なる機構を備えていることを必須の条件とするものではなく、上記（Ａ）の形態において、蒸着マスクの一辺を保持する全ての保持部材が、同一の機構を有していてもよい。例えば、全ての保持部材が、第１回転機構、第２回転機構、移動機構の全ての機構を備える、或いは、全ての保持部材のそれぞれが、第１回転機構と、移動機構を備えていてもよい。また、蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を保持する保持部材８０が上記（Ａ）の形態をとる場合において、蒸着マスクの対向する２辺のうちの他の一辺を保持する保持部材８０は、「本発明における機構」を備えていなくともよいが、図１８に示すように、上記（Ａ）の形態を有していることが好ましい。

　一方、上記（Ｂ）の形態をとる場合には、複数の保持部材は一つの駆動手段によって同時に駆動することとなる。したがって、複数の保持部材のそれぞれが異なる機構を備える場合には、複数の保持部材のうちの一つの保持部材が、他の保持部材の動きを妨げてしまう虞が生じ得る。この点を考慮すると、上記（Ｂ）の形態をとる場合には、複数の保持部材のすべてが、同じ機構を備えていることが好ましい。例えば、蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を保持する全ての保持部材が、第１回転機構、第２回転機構、移動機構の全ての機構を備える、或いは、全ての保持部材のそれぞれが、第１回転機構と、移動機構を備えていることが好ましい。また、蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を保持する保持部材８０が上記（Ｂ）の形態をとる場合において、蒸着マスクの対向する２辺のうちの他の一辺を保持する保持部材８０は、「本発明における機構」を備えていなくともよいが、蒸着マスクの対向する２辺のうちの一辺を保持する保持部材８０と、他の一辺を保持する保持部材８０は、それぞれ、同一の機構を備えていることが好ましい。

　上記では、蒸着マスクを平面視したときの形状が、矩形状である場合を例に挙げて、蒸着マスクの対向する２辺を、保持部材８０によって保持する形態について説明を行っているが、平面視したときの形状が、矩形状以外の蒸着マスクを用いる場合には、上記蒸着マスクの対向する２辺とある記載を、蒸着マスクの外周のうちの任意の２箇所と読み替え、対向する２辺のうちの一辺とある記載を、任意の２箇所のうちの１箇所と読み替え、対向する２辺のうちの他の一辺とある記載を、任意の２箇所のうちの他の１箇所と読み替えればよい。任意の２箇所について特に限定はないが、蒸着マスクを平面視したときの略中心を通る直線と、蒸着マスクの外周とが交わる部分とすることが好ましい。

　以上説明した引張工程によれば、蒸着マスクを引っ張るとともに、或いは、引っ張った後に当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整の何れか一方、または双方が行われることから、蒸着マスクの「ねじれ」の発生を抑制することができる。具体的には、「本発明における機構」を備える保持部材８０を用いて引張工程を行うことで、「ねじれ」を抑制した状態で蒸着マスク１００を引っ張ることができる。

　上記で説明した保持部材８０が、蒸着マスク１００が受けた力に倣って受動的に回転、或いは移動する形態をとる場合には、引張工程後に、保持部材８０により保持されている蒸着マスク１００を移動させたとき、例えば、フレーム６０上に蒸着マスク１００を載置すべく保持部材８０により保持されている蒸着マスク１００を移動させたときや、蒸着マスク１００とフレーム６０との位置合せを行うべく保持部材８０により保持されている蒸着マスク１００を移動させたときに、当該移動する際の力に倣って保持部材８０が受動的に回転、或いは移動してしまい、上記引張工程において「ねじれ」が抑制された蒸着マスク１００の状態を維持することができない場合がある。

　このような点を考慮すると、引張工程後に、「ねじれ」の抑制が行われた蒸着マスクの状態を維持するべく、回転調整、移動調整の何れかが行われた蒸着マスクの状態を保持部材８０によってロックすることが好ましい。つまりは、引張工程において、回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われた蒸着マスクを、当該調整後の状態を維持するようにロックするロック工程を更に含んでいることが好ましい。一例としてのフレーム付き蒸着マスクの製造方法では、ロック工程後に、貫通孔が形成されたフレームに、ロックされた蒸着マスク１００の固定が行われる。保持部材８０をロックすることで、引張工程終了後に、保持部材８０により保持されている蒸着マスク１００を移動等させた場合であっても、「ねじれ」が抑制された状態をそのまま維持することができ、「ねじれ」が抑制された蒸着マスク１００に変動が生ずることを防止することができる。ロック機構について特に限定はなく、その外方への引っ張りが行われ、且つ「回転調整」、或いは「移動調整」が行われた蒸着マスクの状態を維持することができる機構であればよい。つまりは、引張工程後に、蒸着マスク１００が回転、或いは移動しない機構であればよい。ロック機構は、保持部材８０自体が有しない外部機構であってもよく、保持部材８０自体が有する内部機構であってもよい。

　外部機構としては、保持部材８０に対して応力をかけることができる機構、例えば、保持部材８０に外部から応力をかけて、引張工程後において、蒸着マスクが回転、或いは移動してしまうこと抑える機構を挙げることができる。要約すれば、外部から応力をかけることで、保持部材８０が備える第１回転機構、第２回転機構、或いは移動機構を無効化する機構である。このような機構としては、例えば、エアシリンダやモーター等を挙げることができ、エアシリンダやモーター等を利用して、保持部材８０に対して垂直方向の応力をかけることで、保持部材８０による第１回転機構、第２回転機構、或いは移動機構を無効化、すなわち、蒸着マスクが引張工程後において、回転、移動することを抑えることができる。

　内部機構としては、上記で例示したモーター等の制御手段で、蒸着マスク１００の移動量や回転角度を制御可能な保持部材８０を挙げることができる。換言すれば、能動的に、蒸着マスク１００の移動量や回転角度を制御可能な保持部材８０を挙げることができる。このような保持部材８０によれば、引張工程後において、蒸着マスクが回転、或いは移動してしまうことを機械的に制御することができる。

　フレーム６０への蒸着マスク１００の固定は、フレーム６０と蒸着マスク１００とが接した状態で、換言すれば、フレーム６０上に蒸着マスク１００を載置した状態で行われることから、後述するように、蒸着マスク１００と固定されるフレーム６０として、補強フレーム６５が設けられたフレーム６０（図２１参照）を用いる場合には、補強フレーム６０と蒸着マスク１００とが接することとなる。引張工程において「ねじれ」が抑制された蒸着マスク１００を、フレーム６０上に載置したときに、補強フレーム６５と蒸着マスク１００とが接した場合には、当該接した箇所において、蒸着マスク１００に歪が生じ、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に設けられている開口部２５の寸法に変動が生ずる場合がある。また、フレーム６０上に蒸着マスク１００を載置した状態で、後述する位置合せ工程を行う場合においても、位置合せの段階で、蒸着マスク１００に歪が生ずる場合がある。また、フレーム６０上に蒸着マスク１００を載置した状態で、上記引張工程を行った場合には、蒸着マスクの「ねじれ」を抑制することは可能となるものの、フレーム６０と蒸着マスク１００とが接する箇所において、蒸着マスク１００に歪が生ずる場合がある。

　そこで、好ましい形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、フレーム６０と蒸着マスク１００とが接することにより生ずる蒸着マスク１００の歪を解放すべく、フレーム６０上に蒸着マスク１００を載置する第１載置工程と、第１載置工程後に、フレーム６０から蒸着マスク１００を離隔する離隔工程と、離隔工程後に、フレーム６０上に蒸着マスク１００を再び載置する第２載置工程をさらに含んでおり、第２載置工程後に、固定工程が行われることを特徴としている。第１載置工程、隔離工程、第２載置工程をさらに含む一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法によれば、フレーム６０上に蒸着マスク１００を載置する１回目の載置工程において蒸着マスクに生じ得る歪を、隔離工程によって解放し、歪が解放された蒸着マスク１００を、フレーム６０上に再び載置する（第２載置工程）ことで、後述する固定工程において、歪が解放された蒸着マスクをフレーム６０上に固定することができる。要約すれば、好ましい形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、第１載置工程において、フレーム６０と蒸着マスク１００とが接することで蒸着マスク１００に生じ得る歪を、離隔工程によって解放している点にある。なお、上記で説明した引張工程は、第１載置工程の前、第１載置工程と離隔工程の間、離隔工程と第２載置工程の間、或いは、第２載置工程の後のいずれの段階で行ってもよいが、蒸着マスクに生じ得る歪の解放が行われる離隔工程の前に行うことが好ましい。換言すれば、上記の引張工程は、第１載置工程の前、或いは、第１載置工程と離隔工程の間に行うことが好ましい。これは、離隔工程後に、引張工程を行った場合には、歪が解放された蒸着マスクの状態に変動が生じやすいことによる。

　上記の第１載置工程、離隔工程、第２載置工程を含むフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、第１載置工程により、フレーム６０上に蒸着マスク１００を載置した状態で、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に形成されている開口部２５を、蒸着作成するパターンに対応する位置に合わせる場合に特に好適である。つまり、第１載置工程と離隔工程との工程間に位置合わせを行う場合に好適である。これは、フレーム６０上に蒸着マスク１００を載置した状態で位置合せを行う場合には、蒸着マスク１００に歪が生じやすいことによる。以下、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に形成されている開口部２５を、蒸着作成するパターンに対応する位置に合わせる位置合わせ工程について説明する。

　＜位置合せ工程＞
　位置合せ工程は、本発明のフレーム付き蒸着マスクの製造方法における任意の工程であり、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に形成されている開口部２５を、蒸着作成するパターンに対応する位置に合わせる工程である。つまりは、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に形成されている開口部２５が、蒸着作成するパターンに対応する位置に合うように、フレーム６０に対する蒸着マスク１００の位置座標を決定する工程である。位置合せ工程を行うことで、蒸着対象物に位置精度よく蒸着パターンを作製することができるフレーム付き蒸着マスクを得ることができる。

　蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に形成されている開口部２５を、蒸着作成するパターンに対応する位置に合わせる方法について特に限定はなく、従来公知の位置合わせ方法等を適宜選択して用いることができる。例えば、フレーム６０に、樹脂マスク２０に形成されている開口部２５を蒸着作成するパターンに対応する位置に合わせるための基準板を組み込み、当該基準板や、蒸着マスクに設けられているアライメントマーク等を用い、蒸着マスクの位置座標を決定する方法を挙げることができる。フレーム６０に基準板を組み込むことにかえて、フレーム上に載置された蒸着マスクの上方に、当該蒸着マスクと接しないように基準板を位置させてもよい。また、基準板を用いずに、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に形成されている開口部２５の座標等を利用して、蒸着マスクの位置座標を決定することもできる。蒸着マスクの位置座標を決定するための蒸着マスク１００、フレーム６０等の移動方法については、従来公知の移動手段（駆動手段）を適宜選択して用いることができる。例えば、蒸着マスクを保持する保持部材８０や、フレーム６０を面内方向に移動させる駆動ステージを設け、モーター（電動）やマイクロメーター（手動）により、蒸着マスクの位置座標を調整することができる。

　本実施形態では、第２載置工程において、フレーム６０上に蒸着マスク１００が再び載置されることから、結果的に、フレーム６０と蒸着マスク１００とは接することとなるが、第１載置工程により蒸着マスク１００に生じている歪を、離隔工程により解放することで、隔離工程、及び第２載置工程を含まない製造方法でフレーム付き蒸着マスクを製造する場合よりも、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０の開口部２５の寸法変動を抑えたフレーム付き蒸着マスクを製造することができる。また、第２載置工程後に、蒸着マスクに依然として歪が生じている場合には、離隔工程、第２載置工程を繰り返し行えばよい。

　フレーム６０と蒸着マスク１００とを離隔させる方法について特に限定はなく、例えば、蒸着マスク１００を保持している保持部材８０に移動機構、例えば、垂直移動機構を付与し、当該保持部材８０を、蒸着マスクの面と交差する方向、例えば、略直交する方向に駆動させることでフレーム６０と蒸着マスク１００とを離隔させることができる。また、フレーム６０を駆動させる駆動ステージ（図示しない）に移動機構、例えば、垂直移動機構を付与し、当該駆動ステージを蒸着マスクの面と交差する方向、例えば、略直交する方向に駆動させることでフレーム６０と蒸着マスク１００とを離隔させることもできる。なお、保持部材８０を駆動させる場合には、蒸着マスク１００を保持している一対の保持部材８０を同時に駆動させる必要があり、また、当該駆動によって、蒸着マスク１００に歪や、「ねじれ」が生ずる可能性もあることから、蒸着マスク１００に歪や、「ねじれ」を生じさせることのない駆動ステージを用いて、フレーム６０と蒸着マスク１００とを離隔させることが好ましい。

　上記では、第１載置工程と離隔工程との工程間に位置合わせ工程を行う例を中心に説明を行ったが、位置合わせ工程は、第１載置工程の前に行ってもよく、離隔工程と第２載置工程との間に行ってもよく、第２載置工程後に行ってもよい。なお、離隔工程の後に、位置合わせ工程を行った場合には、離隔工程によって歪が解放された蒸着マスクの状態に変動が生じやすい。この点を考慮すると、位置合わせ工程は、離隔工程の前、つまりは、第１載置工程の前、或いは、第１載置工程と離隔工程の間に行うことが好ましい。また、位置合わせ工程を行うことを特段要しない場合には、位置合せ工程を行うことなく、第１載置工程で蒸着マスクに生じ得る歪を、上記離隔工程、第２載置工程によって解放することもできる。このことは、後述する精密調整工程についても同様である。

　上記好ましい形態では、離隔工程により、第１載置工程において蒸着マスク１００に生じ得る歪を解放しているが、物理的な手段を用いて、歪によって蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に設けられた開口部２５の寸法変動や、形状変動の修正を行ってもよい。ここでいう、寸法変動とは、開口部の位置座標変動や、開口部の寸法変動を含む概念である。

　他の好ましい形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、図２４に示すように、引張工程後に、フレーム６０上に引っ張られた状態の蒸着マスク１００を載置し、フレーム６０上に載置された引っ張られた状態の蒸着マスク１００の一方の面上に補助部材５０を重ね、蒸着マスク１００の一方の面と補助部材５０とが重なる部分の少なくとも一部において、蒸着マスク１００に補助部材５０を固定し、当該補助部材を引っ張ることで当該蒸着マスクを精密調整する精密調整工程をさらに含み、精密調整工程後に、固定工程が行われる。他の好ましい形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法によれば、補助部材５０を用いた物理的手段により、開口部２５の寸法変動や、形状変動の修正を行うことができ、開口部２５の寸法精度を高く維持した状態で、当該開口部２５が設けられた樹脂マスク２０を備える蒸着マスク１００を、フレーム６０に固定することができる。

　図２４（ａ）、（ｂ）は、蒸着マスク１００を樹脂マスク２０側から見た図であり、フレーム６０の記載は省略している。図２４（ａ）では、符号Ａで示される箇所において、蒸着マスク１００とフレーム６０とが接すること等に起因して、開口部２５の形状、或いは寸法に変動が生じている状態を示している。

　また、図２４（ａ）では、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０側の面と補助部材５０とが重なる部分の少なくとも一部において、蒸着マスク１００に補助部材５０を固定されている。そして、補助部材５０を矢印の方向に引っ張ることで、図２４（ｂ）に示すように、樹脂マスク２０の開口部２５の寸法変動、或いは形状変動が抑制された蒸着マスク１００とすることができる。

　本実施形態は、離隔工程によって、歪を解放するのではなく、歪によって生ずる開口部２５の寸法や、形状の変動を、物理的手段、例えば、上記の補助部材５０を用いた精密調整によって解消していることを特徴とする点で、上記第１載置工程、離隔工程、第２載置工程を含むフレーム付き蒸着マスクの製造方法と相違する。何れの形態であっても、後述する固定工程において、開口部２５の寸法精度を高く維持した状態で、当該開口部２５が設けられた樹脂マスク２０を備える蒸着マスク１００をフレーム６０に固定することができる。

　また、本実施形態においても、精密調整工程の前、或いは後において、上記で説明した位置合わせ工程を行うこともできる。なお、位置合わせ工程において蒸着マスクに生じ得る歪を、精密調整工程によって解放することができる点からは、精密調整工程の前に位置合わせ工程を行うことが好ましい。また、上記で説明した第１載置工程／離隔工程／第２載置工程と、精密調整工程を組み合わせて用いることもできる。これらの工程を組み合わせることで、フレーム６０と蒸着マスク１００とが接することで生じ得る歪を、より効果的に解消することができる。なお、精密調整工程は、第１載置工程の前、第２載置工程の後、或いは、第１載置工程と第２載置工程の何れかの工程間に行えばよい。なお、精密調整工程により、開口部の位置座標変動や、開口部の寸法変動を解消できる点からは、固定工程の直前に精密調整工程を行うことが好ましい。

　図２５（a）～（ｃ）に示すように、好ましい形態の保持部材８０は、その表面に凸部８２を有している。具体的には、好ましい形態の保持部材８０は、本体部８１と、凸部８２とから構成され、蒸着マスク１００の一部を保持部材８０によって保持したときに、凸部８２の先端部分が蒸着マスク１００と接する。好ましい形態の保持部材８０によれば、蒸着マスク１００と保持部材８０との接触面積を小さくすることができ、保持部材８０によって蒸着マスク１００を保持したときに、蒸着マスクに生じ得る皺等の発生を抑制することができる。図２５（a）～（ｃ）は、保持部材８０によって蒸着マスク１００を保持している状態を示す部分概略断面図である。

　凸部８２の先端部分の形状について特に限定はないが、図２５（a）に示すように、先端部分の形状がＲ形状、換言すれば、先端部分の形状が曲率を有する形状となっていることが好ましい。曲率の向きに制限はなく、先端部分のＲ形状は保持部材の長手方向に曲率を有していてもよく、短手方向に有していてもよい。あるいは、半球状のように曲率を有していてもよい。先端部分がＲ形状となっている凸部８２によれば、蒸着マスク１００と保持部材８０との接触面積をさらに小さくしつつも、凸部８２によって、蒸着マスク１００の樹脂マスク２０が受けるダメージを抑制することができる。図２５（ｄ）に示すように、凸部８２は、保持部材８０の長手方向、或いは短手方向に延びるようにして配されていてもよく、図２５（ｅ）、（ｆ）に示すように、保持部材８０の本体部８１の長手方向、或いは短手方向に所定の間隔をあけて複数配されていてもよい。図２５（ｄ）～（ｆ）は、その表面に凸部を有する保持部材８０を、凸部８２側から平面視したときの一例を示す図である。

　凸部８２の材料についても特に限定はなく、従来公知の金属材料や、樹脂材料などを適宜選択して用いることができるが、凸部８２により、蒸着マスク１００と保持部材８０との接触面積を小さくすることで、保持部材８０による蒸着マスク１００の保持力は低下していく傾向にある。この点を考慮すると、凸部８２は、保持力の高い材料、換言すれば、グリップ性の高い材料から構成されていることが好ましい。グリップ性の高い材料としては、上記樹脂マスクの材料として例示したものや、これ以外の従来公知の樹脂などを挙げることができる。中でも高弾性材料、例えば、弾性ゴムから構成される凸部８２は、蒸着マスク１００と保持部材８０とのグリップ性を、より高くすることができる点で好ましい。なお、本体部８１は、蒸着マスク１００と直接的に接しないことから、金属材料、樹脂材料、或いはこれ以外の材料等いかなる材料であってもよい。

　図示する形態では、蒸着マスク１００の一方の面（図示する形態では上面）と接する側の保持部材８０のみが凸部８２を有しており、蒸着マスク１００の他方の面（図示する形態では下面）と接する側の保持部材８０は凸部８２を有していないが、蒸着マスク１００の他方の面と接する側の保持部材８０も凸部８２を有していてもよい。また、蒸着マスク１００の他方の面と接する側の保持部材８０のみが凸部８２を有していてもよい。

　＜固定工程＞
　固定工程は、図１９、図２０に示すように貫通孔が形成されたフレーム６０に、当該フレーム６０のフレーム部分と、引張工程において引っ張られた状態の蒸着マスクの金属マスク１０とが対向するように重ね合わせ、引張工程において引っ張られた状態の蒸着マスク１００をフレーム６０に固定する工程である。フレーム６０と蒸着マスク１００との固定は、フレーム６０と、蒸着マスクの金属部分とが接する位置について行われ、その位置について特に限定はない（図１９、図２０における「固定位置」参照）。図１９は、フレーム６０に一つの蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを、樹脂マスク側から見た上面図である。図２０は、フレーム６０に複数の蒸着マスク１００が固定されたフレーム付き蒸着マスク２００を、樹脂マスク側から見た上面図である。なお、図示する形態では、蒸着マスク１００の端部は、フレームの端部から外方に突出しており、当該突出した部分が、保持部材８０によって保持されている。

　（フレーム）
　フレーム６０は、略矩形形状の枠部材であり、最終的に固定される蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に設けられた開口部２５を蒸着源側に露出させるための貫通孔を有する。フレームの材料について特に限定はないが、剛性が大きい金属材料、例えば、ＳＵＳや、インバー材などが好適である。セラミック材料などを用いることができる。中でも、金属フレームは、蒸着マスクの金属マスクとの固定を溶接等により容易に行うことができ、変形等の影響が小さい点で好ましい。

　フレーム６０の厚みについても特に限定はないが、剛性等の点から１０ｍｍ～３０ｍｍ程度であることが好ましい。フレームの開口の内周端面と、フレームの外周端面間の幅は、当該フレームと、蒸着マスクの金属マスクとを固定することができる幅であれば特に限定はなく、例えば、１０ｍｍ～７０ｍｍ程度の幅を例示することができる。

　また、図２１（ａ）～（ｃ）に示すように、蒸着マスク１００を構成する樹脂マスク２０の開口部２５の露出を妨げない範囲で、貫通孔の領域に補強フレーム６５等が設けられたフレーム６０を用いてもよい。補強フレーム６５を設けることで、当該補強フレーム６５を利用して、フレーム６０と蒸着マスク１００とを固定することができる。

　固定方法について特に限定はなく、レーザー溶接、アーク溶接、電気抵抗溶接、電子ビーム溶接法などの従来公知の各種溶接法や、接着剤、ねじ止め等を用いて、フレーム６０に蒸着マスク１００を固定することができる。フレームへ蒸着マスクの固定した後に、フレームから突出している部分の蒸着マスクを切断することで、図２２、図２３に示すように、フレームに蒸着マスクが固定されてなるフレーム付き蒸着マスク２００を得る。図２２は、図１９に示される蒸着マスク１００をフレーム６０に固定した後、突出している部分を切断することで得られたフレーム付き蒸着マスク２００の一例を示す上面図であり、樹脂マスク側から見た図である。図２３は、図２０に示される蒸着マスク１００を、それぞれフレーム６０に固定した後、突出している部分を切断することで得られたフレーム付き蒸着マスク２００の一例を示す上面図であり、樹脂マスク側から見た図である。

　上記一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法では、蒸着マスクを引っ張った状態で、つまりは、蒸着マスクに張力を加えた状態で、フレーム６０への蒸着マスクの固定が行われる。ここで、固定工程が終了した後の蒸着マスク１００に着目すると、蒸着マスク１００には、引張工程において蒸着マスクを引っ張る方向とは反対の方向に、張力に対応する反力が生じており、この反力が大きい場合には、フレームに固定された蒸着マスクに歪が生ずる等の問題を引き起こす場合がある。

　そこで、好ましい形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法では、固定後の蒸着マスク１００に生じ得る反力を考慮して、フレーム６０への蒸着マスクの固定が行われる。具体的には、固定後の蒸着マスク１００に生じ得る反力が打ち消されるようにして、フレーム６０への蒸着マスク１００の固定が行われる。より具体的には、固定工程後に蒸着マスク１００に生じ得る反力を考慮し、フレーム６０に、当該反力に対応する圧縮応力をかけた状態でフレームへの蒸着マスクの固定が行われる。この形態によれば、固定工程後に、フレームに加えられた圧縮応力を解放することで、蒸着マスク１００に生じ得る反力を打ち消すことができ、蒸着マスクに生じ得る反力によって、フレームに固定された蒸着マスクに歪等が生ずることを抑制することができる。なお、固定後の蒸着マスク１００に生じ得る反力とは、引張工程において蒸着マスク１００に加えられる張力に対応する力である。

　つまり、好ましい形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、固定工程において、フレーム６０に圧縮応力を加える工程と、固定工程後に圧縮応力を解放する工程とを更に含む。

　フレーム６０にかける圧縮応力は、蒸着マスクに生じ得る反力、すなわち、引張工程において蒸着マスクに加えられる張力を考慮して行えばよい。例えば、フレームに１つの蒸着マスク１００を固定してなるフレーム付き蒸着マスクを製造する場合には、当該１つの蒸着マスクに加えられる張力に対応する圧縮応力をフレーム６０に加えた状態で、フレーム６０に蒸着マスク１００を固定すればよい。具体的には、引張工程において蒸着マスクに加えられる張力が「１」であると仮定すると、フレーム６０に「１」の圧縮応力を加えた状態でフレーム６０に蒸着マスク１００を固定すればよい。この方法によれば、固定工程後に、フレームにかけられた圧縮応力を解放することで、蒸着マスクに生ずる反力を打ち消すことができ、反力によってフレーム６０に固定された蒸着マスクに歪等が生ずることを抑制することができる。

　次に、フレーム６０に複数の蒸着マスクを固定する場合について説明する。フレーム６０に複数の蒸着マスク１００を固定する場合には、それぞれの蒸着マスク１００に生じ得る反力を考慮して、フレーム６０に圧縮応力を加え、段階的に圧縮応力を変化させながら、順次フレーム６０への蒸着マスク１００の固定を行う。具体的には、複数の蒸着マスクの合計の反力から、既にフレームに固定された蒸着マスクの反力を減算し、減算後の反力に対応する圧縮応力を、フレームにかけた状態で固定を行う。

　例えば、３つの蒸着マスクを順次フレーム６０に固定していく場合において、各蒸着マスクに加えられる張力、及び各蒸着マスクに生ずる反力を「１」と仮定した場合には、蒸着マスクの合計の反力は「３」となる。

　フレームに蒸着マスクが固定されていない段階、つまり、１つ目の蒸着マスクをフレームに固定するときには、蒸着マスク全体の反力である「３」の圧縮応力をフレーム６０にかけた状態で固定を行う。次いで、２つ目の蒸着マスクの固定時においては、蒸着マスク全体の反力である「３」から、既にフレーム６０に固定されている１つの蒸着マスク１００の反力を減算した圧縮応力、つまりは、「２」の圧縮応力をフレーム６０にかけた状態で固定を行う。３つ目の蒸着マスクの固定時においては、蒸着マスク全体の反力である「３」から、既にフレーム６０に固定された２つの蒸着マスクの合計の反力を減算した圧縮応力、つまりは、「１」の圧縮応力をフレーム６０にかけた状態で固定を行う。そして、全ての蒸着マスクのフレームへの固定が終了した後に、圧縮応力の解放を行う。

　この方法によれば、固定工程後に、フレームにかけられた圧縮応力を解放することで、複数の蒸着マスクのそれぞれに生ずる反力を全て打ち消すことができ、すべての蒸着マスクで、反力によって歪等が生ずることを抑制することができる。

　フレーム６０に圧縮応力をかける方法について特に限定はなく、例えば、エアシリンダやモーター等を用いることができる。圧縮応力は、引張工程において蒸着マスクを引っ張る方向と反対の方向、つまりは、反力が生ずる方向と同一の方向に加えればよい。

　以上、本発明のフレーム付き蒸着マスクの製造方法について説明を行ったが、本発明のフレーム付き蒸着マスクの製造方法は、上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を妨げない範囲で、適宜の変更が可能である。例えば、上記では、蒸着マスク１００の一部を保持する形態として、蒸着マスク１００の対向する２辺を保持部材８０により保持する形態を中心に説明を行ったが、蒸着マスク１００の全ての辺を保持部材８０で保持することもできる。この場合において、蒸着マスク１００を保持している保持部材８０の少なくとも１つの保持部材が、上記第１回転機構、第２回転機構、及び移動機構の何れかの機構を備えていればよく、２つ以上の保持部材、或いは全ての保持部材８０が、上記第１回転機構、第２回転機構、及び移動機構の何れかの機構を備えていてもよい。

　（引張装置）
　次に、本発明の一実施形態の引張装置について説明する。本発明の一実施形態の引張装置は、蒸着マスクを引っ張るための引張装置であって、蒸着マスクの一部を保持する保持部材と、保持部材によって保持された蒸着マスクを引っ張るための引張機構と、を有し、保持部材は、蒸着マスクの面と交差する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、蒸着マスクの面と交差しない第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び、直線移動可能な移動機構のうち少なくとも一つの機構を備えることを特徴としている。

　一例としての引張装置は、蒸着マスクの一部を保持するための保持部材を有し、保持部材は、蒸着マスクの面と直交する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、蒸着マスクの面と平行する第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び、蒸着マスクを引っ張る方向に直交する方向に移動可能な移動機構、のうち少なくとも一つの機構を備えることを特徴としている。

　引張装置を構成する保持部材は、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法で説明した保持部材８０の各種の形態を適宜選択して用いることができ、ここでの詳細な説明は省略する。また、引張装置で引っ張られる蒸着マスクについても、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法で説明した蒸着マスク１００の各種の形態を適宜選択して用いることができ、ここでの詳細な説明は省略する。

　本発明の一実施形態の引張装置によれば、蒸着マスクを引っ張ることで生じ得る「ねじれ」の発生を抑制することができる。

　また、好ましい形態の引張装置は、引張装置を構成する保持部材が、ロック機構を備えている。好ましい形態の引張装置によれば、「ねじれ」の発生をさらに抑制することができる。ロック機構については、上記フレーム付き蒸着マスクの製造方法で説明した通りであり、ここでの詳細な説明は省略する。

　また、好ましい形態の引張装置は、フレームを駆動させるための駆動ステージを有し、駆動ステージは、引張装置の設置面と交差する方向、つまりは、蒸着マスクの面と交差する方向に移動可能な移動機構を備えている。より好ましくは、蒸着マスクの面と略直交する方向に移動可能な垂直移動機構を備えている。また、他の好ましい形態の引張装置は、保持部材が、引張装置の設置面と交差する方向、つまりは、蒸着マスクの面と交差する方向に移動可能な移動機構を備えている。より好ましくは、蒸着マスクの面と略直交する方向に移動可能な垂直移動機構を備えている。引張装置の設置面と交差する方向について特に限定はなく適宜設定することができる。また、ここで言う略直交とは、引張装置の設置面に対し、８５°～９５°の方向を意味し、好ましくは９０°である。

　（有機半導体素子の製造装置）
　次に、本発明の一実施形態の有機半導体素子の製造装置（以下、一実施形態の有機半導体素子の製造装置と言う）について説明する。一実施形態の有機半導体素子の製造装置は、有機半導体素子を製造するための従来公知の有機半導体装置に、上記で説明した一実施形態の引張装置が組み込まれていることを特徴としている。一実施形態の有機半導体素子の製造装置に組み込まれている引張装置については、上記一実施形態の引張装置を適宜選択して用いることができ、ここでの詳細な説明は省略する。

　一実施形態の有機半導体素子の製造装置は、一実施形態の引張装置が組み込まれていること以外は、いかなる限定もされることはなく、蒸着マスクを用いた蒸着法により有機半導体素子の蒸着パターンを形成する従来公知の有機半導体素子の製造装置を適宜選択し、これに上記一実施形態の引張装置を組み込めばよい。

　一実施形態の有機半導体素子の製造装置によれば、当該製造装置に組み込まれている引張装置により、「ねじれ」が抑制された状態の蒸着マスクがフレームに固定されてなるフレーム付き蒸着マスクを用いて有機半導体素子を製造することができ、したがって、蒸着マスクに形成された開口部の寸法通りに、高精細なパターンを有する有機半導体素子を形成することができる。

　（有機半導体素子の製造方法）
　次に、本発明の有機半導体素子の製造方法の一実施形態について説明する。本発明の一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、フレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法により蒸着パターンを形成する工程を有し、当該有機半導体素子を形成する工程において以下のフレーム付き蒸着マスクが用いられる点に特徴を有する。フレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法についていかなる限定もされることはなく、例えば、反応性スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法等の物理的気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、光ＣＶＤ法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等を挙げることができる。

　フレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法により蒸着パターンを形成する工程を有する一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、基板上に電極を形成する電極形成工程、有機層形成工程、対向電極形成工程、封止層形成工程等を有し、各任意の工程においてフレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法により基板上に蒸着パターンが形成される。例えば、有機層形成工程に、フレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着法を適用する場合には、基板上に有機層の蒸着パターンが形成される。なお、本発明の有機半導体素子の製造方法は、これらの工程に限定されるものではなく、蒸着法を用いる従来公知の有機半導体素子の任意の工程に適用可能である。

　上記有機半導体素子の一実施形態の製造方法は、フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、蒸着パターンを形成する工程において用いられるフレーム付き蒸着マスクが、蒸着マスクの一部を保持部材により保持し、保持部材によって保持された蒸着マスクをその外方に向かって引っ張り、引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、又は蒸着マスクを引っ張るとともに、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整を行う引張工程と、引張工程後に、貫通孔が形成されたフレームに、引っ張られた状態の蒸着マスクを固定する固定工程により得られたフレーム付き蒸着マスクであることを特徴としている。

　一例としての、有機半導体素子の一実施形態の製造方法は、蒸着パターンを形成する工程において、フレームに固定される蒸着マスクが、複数のスリットが形成された金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを準備する準備工程と、準備工程で準備された蒸着マスクの対向する２辺を保持部材により保持し、当該保持部材の少なくとも一つを蒸着マスクの外方に引っ張ることで、当該蒸着マスクを引っ張る引張工程と、蒸着マスクを引っ張った状態で、当該蒸着マスクを貫通孔が形成されたフレームに固定する固定工程と、を含む工程により製造されたフレーム付き蒸着マスクであり、引張工程において、蒸着マスクを保持する保持部材の少なくとも一つが、蒸着マスクの面と直交する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、蒸着マスクの面と平行する第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び、蒸着マスクを引っ張る方向に直交する方向に移動可能な移動機構のうち少なくとも一つの機構を備える保持部材であり、引張工程では、保持部材により、その外方に向かって引っ張られた蒸着マスクに対して、又は蒸着マスクをその外方に向かって引っ張るとともに、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われることを特徴とする。

　つまり、有機半導体素子の製造方法において用いられるフレーム付き蒸着マスクが、上記で説明した本発明の一実施形態のフレーム付き蒸着マスクの製造方法で製造されるフレーム付き蒸着マスクである点を特徴とする。この特徴のフレーム付き蒸着マスクによれば、フレームに、「ねじれ」が抑制された状態で蒸着マスクが固定されていることから、蒸着マスクに形成された開口部の寸法通りに、高精細なパターンを有する有機半導体素子を形成することができる。本発明の製造方法で製造される有機半導体素子としては、例えば、有機ＥＬ素子の有機層、発光層や、カソード電極等を挙げることができる。特に、本発明の有機半導体素子の製造方法は、高精細なパターン精度が要求される有機ＥＬ素子のＲ、Ｇ、Ｂ発光層の製造に好適に用いることができる。

１０…金属マスク
１５…スリット
２０…樹脂マスク
２５…開口部
６０…フレーム
８０…保持部材
８１…本体部
８２…凸部
８５…駆動手段
９０…保持部材支持用フレーム
１００…蒸着マスク
２００…フレーム付き蒸着マスク

Claims (13)

1. 　フレーム付き蒸着マスクの製造方法であって、
   　スリットが形成された金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを準備する準備工程と、
   　前記準備工程で準備された蒸着マスクの一部を保持部材により保持し、当該保持部材によって保持された蒸着マスクをその外方に向かって引っ張る引張工程と、
   　前記引張工程後に、貫通孔が形成されたフレームに、前記引っ張られた状態の蒸着マスクを固定する固定工程と、
   　を含み、
   　前記引張工程では、前記引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、又は前記蒸着マスクを引っ張るとともに、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われることを特徴とするフレーム付き蒸着マスクの製造方法。
2. 　前記引張工程において、前記回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整が行われた前記蒸着マスクを、当該調整後の状態を維持するようにロックするロック工程を更に含み、
   　前記固定工程では、貫通孔が形成されたフレームに、前記ロックされた蒸着マスクを固定することを特徴とする請求項１に記載のフレーム付き蒸着マスクの製造方法。
3. 　前記フレーム上に前記蒸着マスクを載置する第１載置工程と、
   　前記第１載置工程後に、前記フレームから前記蒸着マスクを離隔する離隔工程と、
   　前記離隔工程後に、前記フレーム上に前記蒸着マスクを再び載置する第２載置工程と、
   　を更に含み、
   　前記第１載置工程前、又は前記第１載置工程と前記離隔工程の間に、前記引張工程が行われ、
   　前記第２載置工程後に、前記固定工程が行われることを特徴とする請求項１又は２に記載のフレーム付き蒸着マスクの製造方法。
4. 　前記引張工程後に、前記引っ張られた状態の蒸着マスクの一方の面上に補助部材を重ね、前記蒸着マスクの一方の面と前記補助部材とが重なる部分の少なくとも一部において、前記蒸着マスクに前記補助部材を固定し、当該補助部材を引っ張ることで、蒸着マスクの精密調整を行う精密調整工程を更に含み、
   　前記精密調整工程後に、前記固定工程が行われることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のフレーム付き蒸着マスクの製造方法。
5. 　前記引張工程において、前記蒸着マスクの一部を保持する前記保持部材が、
   　前記蒸着マスクの面と交差する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、
   　前記蒸着マスクの面と交差しない第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び、
   　直線移動可能な移動機構、
   　のうち少なくとも一つの機構を備える保持部材であり、
   　前記引張工程では、前記保持部材による前記第１回転機構、第２回転機構、及び移動機構の何れかの機構により、前記蒸着マスクの回転調整、移動調整の何れかが行われることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のフレーム付き蒸着マスクの製造方法。
6. 　前記準備工程で準備される蒸着マスクが、
   　複数のスリットが設けられた金属マスクと、
   　複数画面を構成するために必要な開口部が設けられた樹脂マスクが積層されてなり、
   　各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のフレーム付き蒸着マスクの製造方法。
7. 　前記準備工程で準備される蒸着マスクが、
   　１つのスリットが設けられた金属マスクと、
   　複数の開口部が設けられた樹脂マスクが積層されてなり、
   　前記複数の開口部の全てが、前記１つのスリットと重なる位置に設けられている蒸着マスクであることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のフレーム付き蒸着マスクの製造方法。
8. 　蒸着マスクを引っ張るための引張装置であって、
   　前記蒸着マスクの一部を保持する保持部材と、
   　前記保持部材によって保持された前記蒸着マスクを引っ張るための引張機構と、を有し、
   　前記保持部材は、
   　前記蒸着マスクの面と交差する第１の回転軸を軸として回転可能な第１回転機構、
   　前記蒸着マスクの面と交差しない第２の回転軸を軸として回転可能な第２回転機構、及び、
   　直線移動可能な移動機構、
   　のうち少なくとも一つの機構を備えることを特徴とする引張装置。
9. 　前記引張装置は、前記引張機構により引っ張られた状態の蒸着マスクに対し、又は前記引張機構により蒸着マスクを引っ張るとともに、前記保持部材の前記第１回転機構、第２回転機構、及び移動機構の何れかの機構により、回転及び移動の何れかが行われた蒸着マスクの状態を維持するためのロック機構を更に備えることを特徴とする請求項８に記載の引張装置。
10. 　前記引張装置は、フレームを駆動させるための駆動ステージを有し、
    　前記駆動ステージは、前記引張装置の設置面と交差する方向に移動可能な移動機構を備えることを特徴とする請求項８又は９に記載の引張装置。
11. 　前記保持部材は、前記引張装置の設置面と交差する方向に移動可能な移動機構を備えることを特徴とする請求項８又は９に記載の引張装置。
12. 　有機半導体素子の製造装置であって、
    　請求項８乃至１１の何れか１項に記載の引張装置が組み込まれていることを特徴とする有機半導体素子の製造装置。
13. 　有機半導体素子の製造方法であって、
    　フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
    　前記蒸着パターンを形成する工程において用いられる前記フレーム付き蒸着マスクが、
    　前記蒸着マスクの一部を保持部材により保持し、前記保持部材によって保持された蒸着マスクをその外方に向かって引っ張り、引っ張られた状態の蒸着マスクに対して、又は前記蒸着マスクを引っ張るとともに、当該蒸着マスクの回転調整、及び移動調整のいずれか一方、又は双方の調整を行う引張工程と、
    　前記引張工程後に、貫通孔が形成されたフレームに、前記引っ張られた状態の蒸着マスクを固定する固定工程により得られたフレーム付き蒸着マスクである、
    　ことを特徴とする有機半導体素子の製造方法。

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