JP2007169716A - メタルマスク、メタルマスク位置アラインメント方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 メタルマスク1の各辺を、複数のテンションユニット13で把持して引っ張り、メタルマスク1にテンションを加えると共に、そのメタルマスク1にガラススケール25を重ね合わせ、メタルマスク1に形成したアラインメント用マーク6の原点が、ガラススケール25に形成した基準マークの基準点に一致するように、テンション調整することで各マスク部2の位置を正確に位置決めする構成とし、アラインメント用マーク6として、ハーフエッチングで形成した十字マークと4対の円形マークを用いることで、位置決め作業を容易とすると共に各アラインメント用マークが示す原点の位置精度を高め、高精度のアラインメントを可能とする。
【選択図】 図1
Description
2 マスク部
3 フレーム
4 開口
5 易切断線
6 アラインメント用マーク
6a、6b、6c、6d、6e、6f、6g、6h 円形マーク
6j 十字マーク
8 蒸着マスクユニット
10 アラインメント装置
11 支持台
12 X、Y、θステージ
13 テンションユニット
15 ベース部材
16 直動案内
17 クランプ
18 駆動手段(エアシリンダ)
20 フレーム支え
22 側枠
23 移動台
24 基準位置指示装置
25 ガラススケール
27 ガラススケール保持移動装置
28 基準ライン
30 撮像手段(CCDカメラ)
36 往復駆動機構
45 スポット溶接部
53、54 中心線
58 ドット抽出エリア
59 エッジ抽出エリア
O 基準マークの基準点
P 原点
Claims (4)
- 複数箇所にアラインメント用マークを備えたメタルマスクであって、前記アラインメント用マークの各々が、ハーフエッチングで形成された1個の十字マークとその十字マークの4個の先端に向かい合う領域に形成された4対の円形マークを備えており、4対の円形マークはそれぞれ、前記十字マークの直交する中心線のうち、対応する中心線を等距離で挟むように配置されていることを特徴とするメタルマスク。
- 前記アラインメント用マークを、前記メタルマスクの有効領域の四隅近傍にそれぞれ形成したことを特徴とする請求項1記載のメタルマスク。
- 請求項1又は2記載のメタルマスクの4辺のそれぞれを、複数のクランプで把持し、各クランプによって前記メタルマスクにテンションを加える張り工程と、前記メタルマスクに付与している複数箇所のアラインメント用マークに対する基準位置を示す十字状の基準マークを有するガラススケールを前記メタルマスク上面に近接した計測位置に配置する工程と、前記メタルマスクの複数箇所に形成されているアラインメント用マークの十字マークと前記ガラススケールの基準マークとを目視で検査し、両者を合わせ込むように前記複数のクランプによるテンションを調整する第一テンション調整工程と、前記メタルマスクの複数箇所に形成されているアラインメント用マークの4対の円形マークと前記ガラススケールの基準マークとを撮像する工程と、撮像して得た画像を処理し、演算して、前記アラインメント用マークの十字マークの直交する中心線の交点である原点を求め、且つ前記十字状の基準マークの直交する中心線の交点である基準点を求め、前記原点と基準点とのずれ量を求める画像処理及び演算工程と、前記ずれ量が許容範囲内に入るように前記複数のクランプによるテンションを調整する第二テンション調整工程とを有するメタルマスク位置アラインメント方法。
- 請求項1又は2記載のメタルマスクの4辺の各々の複数箇所を把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニットと、前記メタルマスクに付与している複数のアラインメント用マークに対する基準位置を示す十字状の基準マークを有するガラススケールと、該ガラススケールを保持し、前記複数のテンションユニットに保持されている前記メタルマスクの上方に離れた待機位置とメタルマスク上面に近接した計測位置とに昇降させるガラススケール保持移動装置と、前記メタルマスクの複数箇所に形成されているアラインメント用マークと前記ガラススケールの基準マークの重なり部分を撮像する撮像手段と、撮像して得た画像を処理し、演算して、前記アラインメント用マークの十字マークの直交する中心線の交点である原点を求め且つ前記十字状の基準マークの直交する中心線の交点である基準点を求め、前記原点と基準点とのずれ量を求める画像処理及び演算手段と、前記複数のテンションユニットが付与するテンションを個々に調整可能な調整手段とを有するメタルマスク位置アラインメント装置。
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