JP2006346593A - ペースト塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】傾き検出器61,62を設け、一対のコラム41,42のY方向への傾きを測定するとともに、その測定値に基づき、コラム41,42に設けた連結機構(Y軸駆動機構)を制御する。 制御器7による連結機構制御により、ヘッド5をX方向への移動に合わせてY方向に移動できるので、コラム41,42のY方向への傾きを補正して、同時塗布パターンを高精度に得ることができる。
【選択図】図1
Description
2 ステージ
3 基台
41,42 コラム(フレーム)
411,412,421,422 Y軸移動機構
413、423 X軸ガイドレール(ガイド部材)
414,415 距離計
5 塗布ヘッド
5a 塗布ノズル
5d Z軸駆動機構
5e X軸駆動機構
5f 認識カメラ(撮影機器)
5g Y軸駆動機構(連結機構)
61,62 傾き検出器(傾き検出手段)
611a,611b,621a,622b 塗布台
612,622 撮像機器
612 傾き検出器
613,623 X−Y移動機構
7 制御器(制御手段)
42Aa 段部
42C 軸機構(補正制御機構)
42A 第1のコラム(支持部材)
42B 第2のコラム(コラム)
42D1,42D2 圧電素子
414,415 距離計
Claims (6)
- X方向に長尺なガイド部材と、そのガイド部材に案内されてX方向に移動する塗布ヘッドと、この塗布ヘッドと基板とを前記X方向及びそれに直交するY方向に相対的に移動させる移動手段とを有し、前記塗布ヘッドからのペーストの吐出により前記基板上に塗布パターンを形成するペースト塗布装置において、
前記ガイド部材のX方向に対する傾きを検出する傾き検出手段と、
この傾き検出手段によって検出された前記ガイド部材の傾きに基づいて前記塗布ヘッドと前記移動手段とを制御する制御手段と、
を具備することを特徴とするペースト塗布装置。 - X方向に長尺なガイド部材と、そのガイド部材に案内されてX方向に移動する塗布ヘッドと、この塗布ヘッドと基板とを前記X方向及びそれに直交するY方向に相対的に移動させる移動手段とを有し、前記塗布ヘッドからのペーストの吐出により前記基板上に塗布パターンを形成するペースト塗布装置において、
前記ガイド部材のX方向に対する傾きを検出する傾き検出手段と、
前記塗布ヘッドを前記ガイド部材に対してY方向に移動させるY軸駆動機構と、
前記傾き検出手段によって検出された前記ガイド部材の傾きに基づいて前記Y軸駆動機構を制御する制御手段と、
を具備することを特徴とするペースト塗布装置。 - X方向に長尺な一対のガイド部材と、その一対のガイド部材それぞれに設けられ当該ガイドレールに案内されてX方向に移動する塗布ヘッドと、これら塗布ヘッドと基板とを前記X方向及びそれに直交するY方向に相対的に移動させる移動手段とを有し、前記各塗布ヘッドからのペーストの吐出により前記基板上に塗布パターンを形成するペースト塗布装置において、
前記ガイド部材それぞれについてX方向に対する傾きを検出する傾き検出手段と、
前記各塗布ヘッドを当該塗布ヘッドが案内される前記ガイド部材に対してY方向に移動させるY軸駆動機構と、
前記傾き検出手段によって検出された前記各ガイド部材の傾きに基づいて前記Y軸駆動機構それぞれを制御する制御手段と、
を具備することを特徴とするペースト塗布装置。 - 前記傾き検出手段は、前記ペーストを塗布可能に前記X方向に間隔を隔てて設けられた一対の塗布台と、この一対の塗布台上のペーストを撮像可能な撮像機器とを有し、
前記撮像機器による撮像画像から前記一対の塗布台上に塗布された前記ペーストの塗布位置に関する情報を検出し、この情報に基づいて前記ガイド部材の傾きを検出する
ことを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか1項に記載のペースト塗布装置。 - 前記傾き検出手段は、前記一対のガイド部材のいずれか一方に間隔を隔てて設けられ、他方のガイド部材との間の対向距離を測定可能な複数の距離計を有し、
前記制御手段は、この距離計による距離測定データに基づき前記一方のガイド部材に対する他方のガイド部材の傾きを検出する
ことを特徴とする請求項3〜4のうちのいずれか1項記載のペースト塗布装置。 - X方向に長尺なガイド部材と、そのガイド部材に案内されてX方向に移動する塗布ヘッドとを有し、前記塗布ヘッドからのペーストの吐出により前記基板上に塗布パターンを形成するペースト塗布装置において、
前記ガイド部材を、X方向及びY方向に直交する方向を軸として回動自在に支持する軸機構と、
前記ガイド部材を回動させる駆動装置と、
前記ガイド部材のX方向に対する傾きを検出する傾き検出手段と、
この傾き検出手段によって検出された前記ガイド部材の傾きに基づいて前記駆動装置を制御して前記ガイド部材の傾きを補正する制御手段と、
を具備することを特徴とするペースト塗布装置。
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