JP2004290972A - ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】ステージ4を跨いで設けられた門形フレーム5の梁状部材5aにガイド装置8を介して塗布ヘッド6を水平移動自在に支持する。ガイド装置8は、梁状部材5aに固定されたガイドレール8a1とこのガイドレール8a1に摺動自在に設けられ塗布ヘッド6側に固定された可動台8a2とを有する。また、梁状部材5aには、ガイドレール8a1に沿って複数の真空吸引孔5bが所定の間隔で設けられ、各真空吸引孔5bは、電磁弁を有する配管を介して真空源に接続される。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 基板にペーストを予め設定されたパターンで塗布するペースト塗布装置であって、
前記基板を載置する保持面を有するステージと、
このステージの上方で前記保持面に沿う方向に延設された梁状部材と、
この梁状部材と前記ステージとを前記保持面に沿う方向であって前記梁状部材の延設方向と直交する方向に相対的に移動させる移動装置と、
前記梁状部材に、前記梁状部材の延設方向に沿って設けられたガイド部材と、
このガイド部材に沿って移動可能に支持された塗布ヘッドと、
前記ガイド部材に沿って設けられこのガイド部材近傍の気体を吸引する複数の吸引部と、
を具備することを特徴とするペースト塗布装置。 - 前記吸引部は、前記梁状部材の前面における前記ガイド部材の下方に設けられることを特徴とする請求項1記載のペースト塗布装置。
- 基板にペーストを予め設定されたパターンで塗布するペースト塗布装置であって、
前記基板を載置する保持面を有するステージと、
このステージの上方で前記保持面に沿う方向に延設された梁状部材と、
この梁状部材と前記ステージとを前記保持面に沿う方向であって前記梁状部材の延設方向と直交する方向に相対的に移動させる第1の移動装置と、
前記梁状部材に、この梁状部材の延設方向に沿って設けられたガイド部材と、
このガイド部材に沿って移動可能に支持された複数の塗布ヘッドと、
この複数の塗布ヘッドを前記ガイド部材に沿って個別に移動させる第2の移動装置と、
前記複数の塗布ヘッドによって前記基板上に塗布するペーストの塗布パターンデータを記憶する記憶部と、
前記複数の塗布ヘッドの許容される接近間隔を設定する設定部と、
前記記憶部に記憶された塗布パターンデータに基づき前記塗布ヘッドが移動するときの複数の塗布ヘッドの相対間隔を塗布ヘッドの移動経過時間毎に求め、求めた相対間隔が前記設定部に設定された接近間隔以下となるか否かを判別する演算部と、
を具備することを特徴とするペースト塗布装置。 - 基板にペーストを予め設定されたパターンで塗布するペースト塗布装置であって、
前記基板を載置する保持面を有するステージと、
このステージの上方で前記保持面に沿う方向に延設された梁状部材と、
この梁状部材と前記ステージとを前記保持面に沿う方向であって前記梁状部材の延設方向と直交する方向において相対的に移動させる移動装置と、
前記梁状部材に、この梁状部材の延設方向に沿うとともに延設方向と交差する方向に離間して平行に設けられた複数のガイド部材と、
このガイド部材に沿って移動可能に支持された複数の塗布ヘッドと、
を具備し、
前記各塗布ヘッドは、前記各ガイド部材に、前記ガイド部材それぞれに習動自在に設けられた可動台を介して固定されており、
各可動台は、各塗布ヘッドに対し塗布ヘッドの移動方向において千鳥状に配置され、かつ隣り合う塗布ヘッド間では可動台の突出方向が同じに設定されていることを特徴とするペースト塗布装置。 - 基板にペーストを予め設定されたパターンで塗布するペースト塗布装置であって、
前記基板を載置する保持面を有するステージと、
このステージの上方で前記保持面に沿う方向に延設された梁状部材と、
この梁状部材と前記ステージとを前記保持面に沿う方向であって前記梁状部材の延設方向と直交する方向において相対的に移動させる第1の移動装置と、
前記梁状部材に、この梁状部材の延設方向に沿うとともに延設方向と交差する方向に離間して平行に設けられた複数のガイド部材と、
各ガイド部材に移動可能に支持された複数の塗布ヘッドと、
複数の塗布ヘッドをそれぞれのガイド部材に沿って個別に移動させる第2の移動装置とを具備し、
前記第2の移動装置は、前記梁状部材にそれぞれのガイド部材に沿って平行に設けられた複数の固定子と、前記各塗布ヘッドに設けられこれら塗布ヘッドの移動方向において塗布ヘッドよりも長大に形成されているとともに、隣り合う塗布ヘッドにおいて異なる位置の各固定子にそれぞれ対向して設けられた複数の可動子とを有するリニアモータであることを特徴とするペースト塗布装置。 - 複数の塗布ヘッドによって基板にペーストを予め設定されたパターンで塗布するペースト塗布方法であって、
前記基板をステージの保持面に載置する工程と、
前記基板を前記塗布ヘッドに対して所定方向に相対的に移動させる工程と、
複数の塗布ヘッドを個別に移動させる工程と、
複数の塗布ヘッドによって前記基板上に塗布するペーストの塗布パターンデータを記憶させる工程と、
複数の塗布ヘッドの許容される接近間隔を設定する工程と、
前記塗布パターンデータに基づき前記塗布ヘッドが移動するときの複数の塗布ヘッドの相対間隔を塗布ヘッドの移動経過時間毎に求め、求めた相対間隔が前記接近間隔よりも小さいか否かを判別する工程と
を具備することを特徴とするペースト塗布方法。
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