JP2007152251A - 塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被塗布体である基板上へ異物が落下することを防止する塗布装置を提供する。
【解決手段】ガイド部材は、ステージ上の空間において横断する方向に延設され、ノズルを支持するスライド支持部材がガイド部材に沿って往復移動する。一対のプーリは、ガイド部材の両端位置にそれぞれ配置され、スライド支持部材に連結された駆動ベルトが掛け渡される。プーリカバーは、一対のプーリをそれぞれ覆い、それぞれの内部空間をプーリが配置される第１の空室とその第１の空室に対してガイド部材が設けられている側に設けられる第２の空室とに分割する仕切板を含む。
【選択図】図６

Description

本発明は、塗布装置に関し、より特定的には、ステージ上に載置した基板にノズルから有機ＥＬ材料等の塗布液を吐出して塗布する塗布装置に関する。

従来、基板等の被処理体に塗布液を塗布する塗布装置が各種開発されている。例えば、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置を製造する装置では、ステージ上に載置されたガラス基板等の基板の主面に所定のパターン形状で正孔輸送材料や有機ＥＬ材料をノズル塗布する塗布装置が用いられる。この塗布装置では、ノズルから塗布液（有機ＥＬ材料や正孔輸送材料）が所定の圧力で吐出される。具体的には、塗布装置に備えられたタンク等の供給源に塗布液が貯留され、供給源から供給される塗布液をポンプで増圧し、配管内に設けられたフィルタで異物を除去した後、ノズルから吐出される。

また、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布する技術分野とは異なるが、ノズルから塗布液を吐出しつつ、連続して一筆書きのようにウェハに塗布液を塗布する膜形成装置が開発されている（例えば、特許文献１参照）。当該膜形成装置は、上記特許文献１の図６に示されるように、吐出ノズル８５を支持するスライダ９１がガイド軸９５ａおよび９５ｂに沿って往復移動する。また、駆動ベルト１０４は、ガイド軸９５ａおよび９５ｂの並設方向と同じ方向に２つの駆動プーリ１０６および従動プーリ１０７（図１２参照）の間に回動可能に掛け渡されている。そして、スライダ９１は、駆動ベルト１０４に接続されており、駆動ベルト１０４からの駆動力を受けてガイド軸９５ａおよび９５ｂに沿って移動する。このような構成によって、上記膜形成装置の移動手段８６が構成されている。一方、上記特許文献１の図４に示されるように、移動手段８６は、被膜形成体であるウェハＷ上を横架するように設けられている。そして、吐出ノズル８５からウェハＷ上に塗布液を吐出しながらスライダ９１が往復移動することによって、ウェハＷ上に膜が形成される。

また、上記膜形成装置の移動手段８６は、カバー８７によって覆われている。そして、カバー８７内部の気体は、カバー８７に設けられた排気口１３０〜１３３から排気されている。
特開２００１−２３２２６８号公報

しかしながら、プーリ間に掛け渡された駆動ベルトの一方側のプーリを駆動させる場合、プーリと駆動ベルトとの接触によって発塵源となる。そして、プーリ付近で発生した粉塵は、駆動ベルトに付着して当該駆動ベルトの動作と共に吐出ノズルを支持するスライダが往復移動する空間まで運ばれ、その下に載置されている被塗布体（例えば、特許文献１におけるウェハＷ）上に落下する恐れがある。つまり、被塗布体にプーリと駆動ベルトとの接触によって発生した粉塵（パーティクル）が付着することになり、被塗布体に対する製造品質を著しく低下させてしまう。

ここで、上記特許文献１で開示された膜形成装置は、スライダ９１が往復移動する空間を覆うカバー８７を設置し、当該カバー８７によって囲まれた閉空間から外部へ排気する機構を備えることによって、当該空間へ流出した粉塵を外部に排除している。しかしながら、スライダ９１が往復移動する空間を覆うカバー８７には、少なくとも吐出ノズル８５がカバー外部で往復移動できるような開口部（移動口１０１）を形成しなければならない。したがって、スライダ９１が往復移動する空間へ流出した粉塵が開口部を介して被塗布体上に落下することもあり、被塗布体に粉塵が付着することが考えられる。

一方、図１２に示すように、駆動ベルト１０３とプーリ１０４とが接触する近傍の空室Ｒを覆うカバー１０５を設置し、当該カバー１０５によって囲まれた閉空室Ｒから外部へ排気する機構を備えることによって、発生する粉塵を外部に排除することが考えられる。しかしながら、カバー１０５は、少なくとも駆動ベルト１０３が通る開口部を設ける必要がある。そして、スライダ１０１がガイド軸１０２に沿って往復移動するとき、空間Ｑに発生するポンピング効果によって閉空室Ｒ内に発生した粉塵がスライダ９１の往復移動する空間に流出する。ここで、ポンピング効果とは、スライダ１０１がカバー１０５に急速に接近および離脱することによって、カバー１０５の開口部付近（空間Ｑ）の気体が圧縮および膨張して当該気体の対流が生じることである。具体的には、スライダ１０１がカバー１０５に急速に接近した場合、空間Ｑの気体が圧縮されて閉空室Ｒが瞬間的に加圧状態になる。そして、閉空室Ｒ内の気体が加圧状態から常圧に戻る作用によって、閉空室Ｒから空間Ｑへの気体の流れが生じる。また、スライダ１０１がカバー１０５から急速に離脱することによって、空間Ｑが瞬間的に負圧になるため、閉空室Ｒから空間Ｑへの気体の流れが生じる。このような現象が連続的に生じることによって、閉空室Ｒと空間Ｑとの間で気体の対流が生じ、閉空室Ｒ内の粉塵がスライダ９１の往復移動する空間へ持ち出されたり別のパーティクルの発生要因となったりする。

それ故に、本発明の目的は、被塗布体である基板上へ異物が落下することを防止する塗布装置を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置である。塗布装置は、ノズル、ステージ、およびノズル移動機構を備える。ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、そのステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。ノズル移動機構は、ガイド部材、スライド支持部材、一対のプーリ、駆動ベルト、およびプーリカバーとを含む。ガイド部材は、ステージ上の空間において、そのステージ面を横断する方向に延設される。スライド支持部材は、ノズルを支持し、ガイド部材に沿って横断する方向に移動可能である。一対のプーリは、ガイド部材の両端位置にそれぞれ配置され、少なくとも一方が所定の駆動源からの駆動力を受けて回転する。駆動ベルトは、その一部がスライド支持部材に連結し、そのスライド支持部材をガイド部材に沿って往復移動させる一対のプーリに掛け渡される。プーリカバーは、一対のプーリをそれぞれ覆う。プーリカバーは、仕切板を含む。仕切板は、それぞれの内部空間をプーリが配置される第１の空室とその第１の空室に対してガイド部材が設けられている側に設けられる第２の空室とに分割する。

第２の発明は、上記第１の発明において、プーリカバーには、第１の空室および第２の空室からそれぞれ気体を排気する排気手段に接続される排気口が形成されている。

第３の発明は、上記第１の発明において、仕切板は、第１の空室から第２の空室へ駆動ベルトを通すための開口部が形成される。第２の空室とスライド支持部材が移動する移動空間との間に設けられたプーリカバーの外板は、第２の空室からその移動空間へ駆動ベルトを通すための開口部が少なくとも形成される。

第４の発明は、上記第３の発明において、ガイド部材は、第２の空室内に設けられたそれぞれの支持部材によって支持されて延設される。外板は、第２の空室からその移動空間へガイド部材を通すための開口部がさらに形成される。スライド支持部材は、ガイド部材に沿って外板の間を往復移動する。

第５の発明は、上記第４の発明において、ガイド部材は、その上面に横断する方向の条溝が形成された棒状部材である。駆動ベルトは、ガイド部材に形成された条溝に沿って、その条溝内の空間に配設される。プーリカバーには、第２の空室から気体を排気する排気手段に接続される排気口がガイド部材の上面位置付近に形成されている。

第６の発明は、上記第１の発明において、ノズル移動機構は、全体カバーを、さらに含む。全体カバーは、その内部空間にガイド部材、スライド支持部材、および駆動ベルトを配置して覆う。全体カバーは、その内部空間の気体を排気する排気手段に接続される排気口が形成されている。

第７の発明は、上記第１の発明において、スライド支持部材は、ガイド部材の外側面に嵌合して当該外側面に沿って移動可能である。ガイド部材と対向するスライド支持部材の内側面は、当該内側面と対向するガイド部材の外側面との隙間にエアーを供給するエアー供給穴が形成されている。

上記第１の発明によれば、スライド支持部材が往復移動するときに発生する圧力変動の影響を第２の空室で吸収することができるため、プーリが配置される第１の空室が受ける当該圧力変動の影響が低減される。したがって、第２の空室内に発生した粉塵（パーティクル）が当該往復移動する空間に流出することを防止することができ、基板上へ上記粉塵が落下することを防止することができる。

上記第２の発明によれば、第１の空室内に粉塵が生じたり第２の空室内に粉塵が流出したりしても、それぞれの排出口から粉塵を排出することができる。

上記第３の発明によれば、仕切板および外板は、駆動ベルトを通すための領域以外については粉塵がスライド支持部材の往復移動する空間へ流出することを遮蔽するため、外部空間へ最低限必要な開口部以外から粉塵が流出することを防止することができる。

上記第４の発明によれば、ガイド部材が延設された両端付近の空間に第２の空室を設置することができる。これにより、外板に形成される開口部を小さくでき、ガイド部材を第１の空室まで延設することによるガイド部材の製作精度の低下を防止することができる。

上記第５の発明によれば、第２の空室内において、ガイド部材の条溝内に落下した粉塵が当該条溝内の空間から浮遊するとき、当該粉塵が外部空間へ流出することなく効率よく排出口から排出することができる。

上記第６の発明によれば、プーリカバーによって粉塵の流出を防止しながら、さらに全体カバーで覆うことによって外部への粉塵の流出を防止していることになる。したがって、プーリカバーによる粉塵流出防止効果に加え、さらに全体カバーを設置することによって、粉塵が基板上に落下することをさらに防止することができる。

上記第７の発明によれば、スライド支持部材の内面に形成されたエアー供給穴からエアーを供給することによって、スライド支持部材とガイド部材との間に静圧軸受を構成することができる。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る塗布装置について説明する。説明を具体的にするために、当該塗布装置が有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を塗布液として用いる有機ＥＬ表示装置を製造する装置に適用された例を用いて、以下の説明を行う。有機ＥＬ表示装置を製造する装置は、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等をステージ上に載置されたガラス基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造するものである。図１は、有機ＥＬ表示装置の製造装置の要部概略構成を示す平面図および正面図である。なお、有機ＥＬ表示装置を製造する装置に用いられる塗布装置は、上述したように有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等の複数の塗布液を用いるが、それらの代表として有機ＥＬ材料を塗布液として説明を行う。

図１において、有機ＥＬ表示装置の製造装置１は、大略的に、基板載置装置２および有機ＥＬ塗布機構５を備えている。有機ＥＬ塗布機構５は、ノズル移動機構部５１、ノズルユニット５０、および液受部５３を有している。

ノズル移動機構部５１は、その両端にプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒを有しており、当該プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に１つの凹状ガイド部材５１１および２つの丸棒ガイド部材５１２が図示Ｘ軸方向に延設されている。なお、プーリカバー５１４Ｌとプーリカバー５１４Ｒとは、左右対称となった同様の構造を有しているため、総称して説明する場合は参照符号「５１４」を付して説明を行う。そして、ノズルユニット５０を支持するスライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向に往復移動し、カウンタ５１３が丸棒ガイド部材５１２に沿って図示Ｘ軸方向に往復移動する。ノズルユニット５０は、赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料を吐出するノズル５２ａ〜５２ｃを並設した状態で保持する。各ノズル５２ａ〜５２ｃへは、それぞれ供給部（図２参照）から赤、緑、および青色の何れか１色の有機ＥＬ材料が供給される。このように、典型的には３本のノズル５２ａ〜５２ｃから同じ色の有機ＥＬ材料が吐出されるが、説明を具体的にするために赤色の有機ＥＬ材料が３本のノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される例を用いる。

基板載置装置２は、ステージ２１、旋回部２２、平行移動テーブル２３、ガイド受け部２４、およびガイド部材２５を有している。ステージ２１は、被塗布体となるガラス基板等の基板Ｐをそのステージ上面に載置する。ステージ２１の下部は、旋回部２２によって支持されており、旋回部２２の回動動作によって図示θ方向にステージ２１が回動可能に構成されている。また、ステージ２１の内部には、有機ＥＬ材料が塗布された基板Ｐをステージ面上で予備加熱処理するための加熱機構が設けられている。

ノズル移動機構部５１の下方を通るように、ガイド部材２５が上記Ｘ軸方向と垂直の図示Ｙ軸方向に延設されて固定される。平行移動テーブル２３の下面にはガイド部材２５と当接してガイド部材２５上を滑動するガイド受け部２４が固設されている。また、平行移動テーブル２３の上面には、旋回部２２が固設される。これによって、平行移動テーブル２３が、例えばリニアモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材２５に沿った図示Ｙ軸方向に移動可能になり、旋回部２２に支持されたステージ２１の移動も可能になる。

ステージ２１上に基板Ｐを載置して、平行移動テーブル２３がノズル移動機構部５１の下方まで移動したとき、当該基板Ｐが赤色の有機ＥＬ材料の塗布をノズル５２ａ〜５２ｃから受ける位置となる。そして、制御部（図２参照）がノズルユニット５０をＸ軸方向に往復移動させるようにノズル移動機構部５１を制御し、ステージ２１をＹ軸方向へ当該直線移動毎に所定ピッチだけ移動させるように平行移動テーブル２３を制御し、ノズル５２ａ〜５２ｃから所定流量の有機ＥＬ材料を吐出する。また、ノズル５２ａ〜５２ｃのＸ軸方向吐出位置において、ステージ２１に載置された基板Ｐから逸脱する両サイド空間には、基板Ｐから外れて吐出された有機ＥＬ材料を受ける液受部５３Ｌおよび５３Ｒがそれぞれ固設されている。ノズル移動機構部５１は、基板Ｐの一方サイド外側に配設されている液受部５３の上部空間から、基板Ｐを横断して基板Ｐの他方サイド外側に配設されている液受部５３の上部空間まで、ノズルユニット５０を往復移動させる。また、平行移動テーブル２３は、ノズルユニット５０が液受部５３の上部空間に配置されている際、ノズル往復移動方向とは垂直の所定方向（図示Ｙ軸方向）に所定ピッチだけステージ２１を移動させる。このようなノズル移動機構部５１および平行移動テーブル２３の動作と同時にノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ材料を液柱状態で吐出することによって、赤色の有機ＥＬ材料が基板Ｐに形成されたストライプ状の溝毎に配列された、いわゆる、ストライプ配列が基板Ｐ上に形成される。

次に、図２を参照して、有機ＥＬ表示装置の製造装置１における制御機能および供給部の概略構成について説明する。なお、図２は、有機ＥＬ表示装置の製造装置１の制御機能および供給部を示すブロック図である。

図２において、有機ＥＬ表示装置の製造装置１は、上述した構成部の他に、制御部３、第１供給部５４ａ、第２供給部５４ｂ、および第３供給部５４ｃを備えている。第１〜第３供給部５４ａ〜５４ｃは、共に赤色の有機ＥＬ材料をそれぞれノズル５２ａ〜５２ｃに配管を介して供給する。

第１供給部５４ａは、有機ＥＬ材料の供給源５４１ａと、供給源５４１ａから有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ａと、有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ａとを備えている。また、第２供給部５４ｂは、有機ＥＬ材料の供給源５４１ｂと、供給源５４１ａから有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ｂと、有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ｂとを備えている。第３供給部５４ｃは、有機ＥＬ材料の供給源５４１ｃと、供給源５４１ａから有機ＥＬ材料を取り出すためのポンプ５４２ｃと、有機ＥＬ材料の流量を検出する流量計５４３ｃとを備えている。そして、制御部３は、第１〜第３供給部５４ａ〜５４ｃ、旋回部２２、平行移動テーブル２３、およびノズル移動機構部５１のそれぞれの動作を制御する。

ノズル５２ａは、第１供給部５４ａから供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５２１ａを有している。ノズル５２ｂは、第２供給部５４ｂから供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５２１ｂを有している。ノズル５２ｃは、第３供給部５４ｃから供給された有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタ５２１ｃを有している。なお、ノズル５２ａ〜５２ｃはそれぞれ同一の構造であるため、総称して説明する場合は参照符号「５２」を付して説明を行う。

ここで、赤色の有機ＥＬ材料の塗布を受ける基板Ｐの表面には、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝が複数本並設されるように形成されている。有機ＥＬ材料としては、例えば、基板Ｐ上の溝内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料が用いられ、具体的には各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料が用いられる。ノズルユニット５０は、所定の支持軸周りに回動自在に支持されており、制御部３の制御によって当該支持軸周りに回動させることで、塗布ピッチ間隔を調整することができる。

制御部３は、ステージ２１に載置された基板Ｐの位置や方向に基づいて、基板Ｐに形成された溝の方向が上記Ｘ軸方向になるように旋回部２２の角度を調整し、塗布のスタートポイント、すなわち、基板Ｐに形成された溝の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置を算出する。なお、上記塗布開始位置は、一方の液受部５３の上部空間となる。そして、制御部３は、上述したように平行移動テーブル２３およびノズル移動機構部５１を駆動させる。

上記塗布開始位置において、制御部３は、各ノズル５２ａ〜５２ｃから有機ＥＬ材料の吐出開始を各ポンプ５４２ａ〜５４２ｃに指示する。このとき、制御部３は、ストライプ状の溝の各ポイントにおける有機ＥＬ材料の塗布量が均一となり、液柱状態で有機ＥＬ材料が吐出されるように、ノズル５２ａ〜５２ｃの移動速度に応じてその塗布量を制御しており、流量計５４３ａ〜５４３ｃからの流量情報をフィードバックして制御する。そして、制御部３は、基板Ｐ上の溝内への有機ＥＬ材料の流し込むために、有機ＥＬ材料を基板Ｐ上の溝に沿わせながらこの溝内に流し込むようにノズルユニット５０を凹状ガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する。この動作によって、液柱状態で各ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出される赤色の有機ＥＬ材料が同時にそれぞれの溝に流し込まれていく。

制御部３は、基板Ｐ上をノズルユニット５０が横断して溝の他方端部の外側に固設されている他方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２ａ〜５２ｃからの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この１回の移動によって、３列分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。具体的には、同色の有機ＥＬ材料を各ノズル５２ａ〜５２ｃから吐出しているので、３列毎に１列の溝を塗布対象とした合計３列分の溝に有機ＥＬ材料が塗布される。

次に、制御部３は、平行移動テーブル２３をＹ軸方向に所定距離（例えば、溝９列分）だけピッチ送りして、次に塗布対象となる溝への有機ＥＬ材料の塗布を行えるようにする。そして、制御部３は、他方の液受部５３の上部空間からノズルユニット５０を逆の方向へ基板Ｐ上を横断させて一方の液受部５３上に位置すると、ノズル５２ａ〜５２ｃからの有機ＥＬ材料の吐出を継続したまま、ノズル移動機構部５１によるノズルユニット５０の移動を停止する。この２回目の移動によって、次の３列分の溝への有機ＥＬ材料の塗布が完了する。このような動作を繰り返すことによって、赤色の有機ＥＬ材料が赤色を塗布対象とした溝に流し込まれる。なお、制御部３は、ノズルユニット５０を凹状ガイド部材５１１に沿わせて移動させるように制御する際、ノズル移動機構部５１が備える駆動プーリ５１７を駆動する駆動源の回転動作を制御する。

以下、図３〜図９を参照して、ノズル移動機構部５１の構造について説明する。なお、図３は、ノズル移動機構部５１の概略構成を示す斜視図である。図４は、図１の断面ＡＡをＢ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図である。図５は、図１の断面ＣＣをＤ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図である。図６は、図１の断面ＥＥをＦ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図である。図７は、プーリカバー５１４を構成する外板Ｐｏの形状を示す図である。図８は、プーリカバー５１４を構成する内仕切板Ｐｉの形状を示す図である。図９は、外板Ｐｏおよび内仕切板Ｐｉとを重ね合わせてＸ軸方向から見た状態を示す図である。図１０は、ノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したブロック図である。

図３において、ノズル移動機構部５１は、スライド支持部材５１０と、凹状ガイド部材５１１と、２つの丸棒ガイド部材５１２と、カウンタ５１３と、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒと、駆動ベルト５１５とを備えている。プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒは、ノズル移動機構部５１の固定部材上の両端に固設されている。また、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒは、それぞれの内部に駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８（図６および図１０参照）を外部から遮って覆うように設置されており、上記固定部材の中央側（つまり、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３が往復移動する空間側）に面してそれぞれプーリカバー５１４Ｌの外板ＰｏＬおよびプーリカバー５１４Ｒの外板ＰｏＲが形成されている。なお、外板ＰｏＬおよびＰｏＲは、それぞれ左右対称となった同一形状で形成されるため、総称して説明する場合は参照符号「Ｐｏ」を付して説明を行う。

凹状ガイド部材５１１は、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に図示Ｘ軸方向へ延設される。なお、外板Ｐｏには開口穴ＯＰ２（図７参照）が形成されており、凹状ガイド部材５１１は当該開口穴ＯＰ２を通ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの内部に固定される。２つの丸棒ガイド部材５１２は、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間に図示Ｘ軸方向へ凹状ガイド部材５１１の上方に並設して延設される。なお、外板Ｐｏには開口穴ＯＰ１（図７参照）が形成されており、２つの丸棒ガイド部材５１２は当該開口穴ＯＰ１を通ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの内部に固定される。

駆動ベルト５１５は、一対の駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８の間に図示Ｘ軸方向に掛け渡される。具体的には、駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８の回転軸が図示Ｙ軸方向に設けられるため、当該回転軸に対する下側部分の駆動ベルト５１５は、当該回転軸に対する上側部分の直下となる位置（つまり、駆動ベルト５１５全体が図示ＸＺ平面に平行）になるように掛け渡される。以下、一対の駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８を上下（図示Ｚ軸方向）位置で掛け渡される駆動ベルト５１５において、上記回転軸の下側で掛け渡される駆動ベルト５１５の部分を下側の駆動ベルト５１５と記載する。また、上記回転軸の上側で掛け渡される駆動ベルト５１５の部分を上側の駆動ベルト５１５と記載する。なお、上側の駆動ベルト５１５は、外板Ｐｏに形成された上記開口穴ＯＰ１を通って駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８の間に掛け渡される。また、下側の駆動ベルト５１５は、外板Ｐｏに形成された上記開口穴ＯＰ２を通って駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８の間に掛け渡される。ここで、後述により明らかとなるが、スライド支持部材５１０が図示Ｘ軸正方向に移動する場合、下側の駆動ベルト５１５がベルトの張り側を意味し、上側の駆動ベルト５１５がベルトのゆるみ側を意味する。なお、駆動ベルト５１５は、本発明の帯状部材に相当し、例えば回動方向に対して垂直に複数の山が形成されたタイミングベルト（歯付きベルト）で構成される。

スライド支持部材５１０は、ノズルユニット５０（ノズル５２ａ〜５２ｃ）を支持する。また、スライド支持部材５１０は、下側の駆動ベルト５１５の一部に接続され、凹状ガイド部材５１１に沿って移動可能に構成されている。つまり、駆動プーリ５１７が回転することに応じて駆動ベルト５１５が回動すると、当該駆動ベルト５１５の移動に応じてスライド支持部材５１０も凹状ガイド部材５１１に沿って図示Ｘ軸方向へ往復移動する。

カウンタ５１３は、駆動ベルト５１５においてスライド支持部材５１０が接続される位置の対象位置に接続され、２つの丸棒ガイド部材５１２に貫装される。つまり、カウンタ５１３は、上側の駆動ベルト５１５の一部と接続される。したがって、駆動プーリ５１７が回転することに応じて駆動ベルト５１５が回動すると、当該駆動ベルト５１５の移動に応じてカウンタ５１３も２つの丸棒ガイド部材５１２に沿ってスライド支持部材５１０とは逆方向の図示Ｘ軸方向へ往復移動する。

図４において、凹状ガイド部材５１１は、その長軸方向に上面を開口した条溝Ｇが形成されており、その断面が上面を開口とした略コの字形状（Π（パイ）型形状）となる。スライド支持部材５１０は、凹状ガイド部材５１１の条溝Ｇを除いた外側面と所定の隙間を有した状態で覆うように嵌合して配置される。また、スライド支持部材５１０の一方の外側面は、ノズルユニット５０を支持する。凹状ガイド部材５１１と対向するスライド支持部材５１０の内側面には、複数箇所（例えば、６箇所）にエアー供給口Ａｈが設けられる。スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って往復移動する際、外部から図示しない配管を介してスライド支持部材５１０へエアーが供給され、エアー供給口Ａｈから上記隙間に当該エアーを供給することによって、スライド支持部材５１０と凹状ガイド部材５１１との間に空気静圧軸受が構成される。

一方、下側の駆動ベルト５１５は、凹状ガイド部材５１１に形成された条溝Ｇ内の空間に配設される。つまり、下側の駆動ベルト５１５の下側、左側、および右側が、凹状ガイド部材５１１に覆われるように配置される。そして、下側の駆動ベルト５１５とスライド支持部材５１０とは、連結部材５１９を介して接続される。これらの構成によって、駆動ベルト５１５が回動すると連結部材５１９を介してスライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って移動し、当該スライド支持部材５１０で支持されたノズルユニット５０が移動する。なお、下側の駆動ベルト５１５は、条溝Ｇ内の空間から逸脱した上方に配置されてもかまわない。

図５において、カウンタ５１３は、例えば２つの部材によって構成される。以下、それらの部材をカウンタ５１３ａとカウンタ５１３ｂとして区別する。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂは、それぞれ貫通穴が形成されている。そして、カウンタ５１３ａが一方の丸棒ガイド部材５１２に所定の隙間を有した状態で貫装され、カウンタ５１３ｂが他方の丸棒ガイド部材５１２に所定の隙間を有した状態で貫装される。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂの貫通穴内周面には、エアー供給口Ａｈがそれぞれ設けられる。カウンタ５１３ａおよび５１３ｂが丸棒ガイド部材５１２に沿って往復移動する際、外部から図示しない配管を介してカウンタ５１３ａおよび５１３ｂへエアーが供給され、エアー供給口Ａｈから上記隙間に当該エアーを供給することによって、カウンタ５１３ａおよび５１３ｂと丸棒ガイド部材５１２との間に空気静圧軸受が構成される。

カウンタ５１３ａとカウンタ５１３ｂとは、連結部材５１６で接続される。また、上側の駆動ベルト５１５は、２つの丸棒ガイド部材５１２の間の空間に配設され、その一部が連結部材５１６と接続する。これらの構成によって、駆動ベルト５１５が回動すると連結部材５１６を介してカウンタ５１３ａおよび５１３ｂが丸棒ガイド部材５１２に沿って移動する。

図６において、プーリカバー５１４Ｌの内部には、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３が往復移動する空間側（図示Ｘ軸正方向側）とノズル移動機構部５１の両端側（図示Ｘ軸負方向側）とに当該内部空間を分割する内仕切板ＰｉＬが設けられている。この内仕切板ＰｉＬによって、プーリカバー５１４Ｌの内部空間が図示Ｘ軸正方向側の空室ＲｏＬと図示Ｘ軸負方向側の空室ＲｉＬとに分割される。つまり、空室ＲｏＬは、外板ＰｏＬと内仕切板ＰｉＬとの間に形成される。また、プーリカバー５１４Ｒの内部には、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３が往復移動する空間側（図示Ｘ軸負方向側）とノズル移動機構部５１の両端側（図示Ｘ軸正方向側）とに当該内部空間を分割する内仕切板ＰｉＲが設けられている。この内仕切板ＰｉＲによって、プーリカバー５１４Ｒの内部空間が図示Ｘ軸負方向側の空室ＲｏＲと図示Ｘ軸正方向側の空室ＲｉＲとに分割される。つまり、空室ＲｏＲは、外板ＰｏＲと内仕切板ＰｉＲとの間に形成される。なお、内仕切板ＰｉＬおよびＰｉＲは、それぞれ左右対称となった同一形状で形成されるため、総称して説明する場合は参照符号「Ｐｉ」を付して説明を行う。また、空室ＲｉＬおよびＲｉＲが本発明の第１の空室に相当し、空室ＲｏＬおよびＲｏＲが本発明の第２の空室に相当する。

プーリカバー５１４Ｒに形成される空室ＲｉＲの内部には、図示Ｙ軸方向を回転軸とした駆動プーリ５１７が設けられる。また、プーリカバー５１４Ｌに形成される空室ＲｉＬの内部には、図示Ｙ軸方向を回転軸とした従動プーリ５１８が設けられ、一対の駆動プーリ５１７と従動プーリ５１８との間に駆動ベルト５１５が掛け渡される。なお、内仕切板ＰｉＬには、開口穴ＯＰ３（図８参照）が形成されており、駆動ベルト５１５は当該開口穴ＯＰ３を通って空室ＲｉＬから空室ＲｏＬへ掛け渡される。また、上述したように外板ＰｏＬには、開口穴ＯＰ１およびＯＰ２が形成されており、当該開口穴ＯＰ２およびＯＰ３を通って空室ＲｏＬからスライド支持部材５１０およびカウンタ５１３が往復移動する外部空間へ掛け渡される。また、内仕切板ＰｉＲには、開口穴ＯＰ３が形成されており、駆動ベルト５１５は当該開口穴ＯＰ３を通って空室ＲｉＲから空室ＲｏＲへ掛け渡される。また、上述したように外板ＰｏＲには、開口穴ＯＰ１およびＯＰ２が形成されており、当該開口穴ＯＰ２およびＯＰ３を通って空室ＲｏＲからスライド支持部材５１０およびカウンタ５１３が往復移動する外部空間へ掛け渡される。

凹状ガイド部材５１１および２つの丸棒ガイド部材５１２は、空室ＲｏＬ内に設けられた支持部材（例えば、内仕切板ＰｉＬや図示しない他の支持部材）と空室ＲｏＲ内に設けられた支持部材（例えば、内仕切板ＰｉＲや図示しない他の支持部材）との間に支持されて延設される。そして、制御部３によって、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３が外板Ｐｏと接触しない位置で引き返して往復移動するように制御され、当該引き返す点が液受部５３Ｌまたは５３Ｒ（図１参照）の上部空間となる。

また、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの後面には、排気口ＥＸｏＬ、ＥＸｉＬ、ＥＸｏＲ、およびＥＸｉＲが形成される。例えば、排気口ＥＸｏＬは、空室ＲｏＬ内の気体を図示しない排気機構（塗布装置１には備えられていない別装置でもかまわない）によって外部へ排気するために設けられており、凹状ガイド部材５１１の上面と丸棒ガイド部材５１２との間の位置に形成される。排気口ＥＸｏＲは、空室ＲｏＲ内の気体を上記排気機構によって外部へ排気するために設けられており、凹状ガイド部材５１１の上面と丸棒ガイド部材５１２との間の位置に形成される。排気口ＥＸｉＬは、空室ＲｉＬ内の気体を上記排気機構によって外部へ排気するために設けられており、空室ＲｉＬ内の底面付近に形成される。そして、排気口ＥＸｉＲは、空室ＲｉＲ内の気体を上記排気機構によって外部へ排気するために設けられており、空室ＲｉＲ内の底面付近に形成される。なお、基板載置装置２と有機ＥＬ塗布機構５とのレイアウトを考えた場合、有機ＥＬ塗布機構５の下方には空間の余裕が少ないため、排気口ＥＸｏＬ、ＥＸｉＬ、ＥＸｏＲ、およびＥＸｉＲをそれぞれプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの後面に形成される例を説明したが、このような制限がない場合、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの他の外面に排気口ＥＸｏＬ、ＥＸｉＬ、ＥＸｏＲ、およびＥＸｉＲを設けてもかまわない。

図７において、外板Ｐｏには、開口穴ＯＰ１およびＯＰ２が形成されている。開口穴ＯＰ１は、外板Ｐｏが設置されたとき、延設された２つの丸棒ガイド部材５１２および上側の駆動ベルト５１５が外板Ｐｏと接触しないように形成（例えば、２つの丸棒ガイド部材５１２の外周を結んで囲む陸上競技のトラック形状）される。また、開口穴ＯＰ２は、外板Ｐｏが設置されたとき、延設された凹状ガイド部材５１１および下側の駆動ベルト５１５が外板Ｐｏと接触しないように形成（例えば、凹状ガイド部材５１１の外周を囲む矩形）される。ここで、凹状ガイド部材５１１、２つの丸棒ガイド部材５１２、および駆動ベルト５１５を開口穴ＯＰ１およびＯＰ２に通して設置する作業を容易にするために、図示一点鎖線Ｍから左右に分割できるように外板Ｐｏを構成してもかまわない。なお、図７においては、外板Ｐｏが設置された場合に開口穴ＯＰ１およびＯＰ２を通って設置される凹状ガイド部材５１１、２つの丸棒ガイド部材５１２、および駆動ベルト５１５の断面を斜線領域で示している。

図８において、内仕切板Ｐｉには、開口穴ＯＰ３が形成されている。開口穴ＯＰ３は、内仕切板Ｐｉが設置されたとき、掛け渡された上側および下側の駆動ベルト５１５が内仕切板Ｐｉと接触しないように形成（例えば、上側および下側の駆動ベルト５１５を囲む矩形）される。なお、図８においては、内仕切板Ｐｉが設置された場合に開口穴ＯＰ３を通って設置される駆動ベルト５１５の断面を斜線領域で示している。また、凹状ガイド部材５１１および２つの丸棒ガイド部材５１２が空室ＲｏＬ内で支持される位置を破線で示している。

図９において、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの空室ＲｉＬおよびＲｉＲが直接外部空間から視認できる領域（つまり、設置された外板Ｐｏおよび内仕切板Ｐｉにおいて、図示Ｘ軸方向に重複して開口している領域）は、駆動ベルト５１５を通すための領域のみとなる。具体的には、上側の駆動ベルト５１５を通すために、開口穴ＯＰ１と開口穴ＯＰ３とが重なる開口領域ＯＰ１３（図示太線で囲む領域）が形成される。また、下側の駆動ベルト５１５を通すために、開口穴ＯＰ２と開口穴ＯＰ３とが重なる開口領域ＯＰ２３（図示太線で囲む領域）が形成される。したがって、空室ＲｉＬまたは空室ＲｉＲ内で生じた粉塵が外部空間まで開口穴ＯＰ１〜ＯＰ３を通って流出するとき、上記開口領域ＯＰ１２およびＯＰ１３を除く空間では外板Ｐｏまたは内仕切板Ｐｉによって遮蔽されることになる。また、図７を用いて説明したように、開口穴ＯＰ１およびＯＰ２は、２つの丸棒ガイド部材５１２および凹状ガイド部材５１１の存在によって、実質的に外部空間へ開口する面積が縮小されている。さらに、開口穴ＯＰ２によって外部空間へ開口する空間は、実質的に凹状ガイド部材５１１の条溝Ｇが形成する空間であり、開口穴ＯＰ２を通って外部空間に粉塵が流出したとしても、当該粉塵が条溝Ｇで囲まれた空間内に留まる。また、空室ＲｏＬまたはＲｏＲにおいて、条溝Ｇで囲まれた空間内から逸脱して条溝Ｇの上方に浮遊する粉塵は、外板Ｐｏによって外部空間への流出が阻止される。このように、空室ＲｉＬまたは空室ＲｉＲ内で生じた粉塵が外部空間まで開口穴ＯＰ１〜ＯＰ３を通って流出することは物理的に可能性が低く、流出したとしても条溝Ｇで囲まれた空間内に留まるものとなる。

図１０において、プーリカバー５１４Ｒの空室ＲｉＲ内部に設置される駆動プーリ５１７は、サーボモータ等の駆動源（図示せず）からの駆動力を受けて、上記回転軸を中心とした双方向（図示両矢印方向）へ回転する。ここで、駆動プーリ５１７の回転方向、回転速度、および回転角度の制御は、駆動源が駆動プーリ５１７を回転させる動作を制御部３が制御することによって行われる。なお、スライド支持部材５１０が最もプーリカバー５１４Ｌの外板ＲｏＬに接近する位置（つまり、上述した往復移動において図示Ｘ軸負方向側で引き返す点）は、一方の液受部５３Ｌ（図１参照）の上部空間となるように制御部３が制御する。また、スライド支持部材５１０が最もプーリカバー５１４Ｒの外板ＲｏＲに接近する位置（つまり、上述した往復移動において図示Ｘ軸正方向側で引き返す点）は、一方の液受部５３Ｒ（図１参照）の上部空間となるように制御部３が制御する。

ここで、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３は、駆動ベルト５１５において対象となる位置に接続されている。駆動プーリ５１７が図１０の時計方向に回転した場合、駆動ベルト５１５も同位相で時計方向に回動する。そして、スライド支持部材５１０が図示Ｘ軸正方向へ凹状ガイド部材５１１に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動し、カウンタ５１３が図示Ｘ軸負方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動する。一方、駆動プーリ５１７が図１０の反時計方向に回転した場合、駆動ベルト５１５も同位相で反時計方向に回動する。そして、スライド支持部材５１０が図示Ｘ軸負方向へ凹状ガイド部材５１１に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動し、カウンタ５１３が図示Ｘ軸正方向へ丸棒ガイド部材５１２に沿ってプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ間を移動する。

上述したようにプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒは、それぞれ駆動ベルト５１５がプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒから外部へ出る開口部（図９に示した開口領域ＯＰ１３およびＯＰ２３）を除いて駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８が外部から遮って覆われるように形成されたカバーである。そして、空室ＲｉＬを囲むプーリカバー５１４Ｌおよび空室ＲｉＲを囲むプーリカバー５１４Ｒには、それぞれ排気口ＥＸｉＬおよびＥＸｉＲ（図６参照）が形成されており、当該排気口ＥＸｉＬおよびＥＸｉＲから空室ＲｉＬおよびＲｉＲ内の気体を吸引して排出することによって、当該空室ＲｉＬおよびＲｉＲ内に発生したパーティクルを排出する。さらに、空室ＲｏＬを囲むプーリカバー５１４Ｌおよび空室ＲｏＲを囲むプーリカバー５１４Ｒにも、それぞれ排気口ＥＸｏＬおよびＥＸｏＲが形成されており、当該排気口ＥＸｏＬおよびＥＸｏＲから空室ＲｏＬおよびＲｏＲ内の気体を吸引して排出することによって、当該空室ＲｏＬおよびＲｏＲ内に流出したパーティクルも排出する。つまり、プーリカバー５１４Ｌ内を分割した空室ＲｏＬおよびＲｉＬは、それぞれ独立した排出口を有しており、それらの排出口から別々に内部の気体が排出されて空室ＲｏＬおよびＲｉＬ内が負圧状態にされる。また、プーリカバー５１４Ｒ内を分割した空室ＲｏＲおよびＲｉＲも、それぞれ独立した排出口を有しており、それらの排出口から別々に内部の気体が排出されて空室ＲｏＲおよびＲｉＲ内が負圧状態にされる。

ここで、スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って往復移動するときに生じるポンピング効果について考察する。スライド支持部材５１０がプーリカバー５１４Ｌに急速に接近した場合、外板ＰｏＬ付近の外部空間の気体が圧縮されて空室ＲｏＬ内が瞬間的に加圧状態になる。そして、空室ＲｏＬ内の気体が加圧状態から常圧に戻る作用によって、空室ＲｏＬから外部空間および空室ＲｉＬへの気体の流れが生じる。つまり、この時点で空室ＲｉＬには、空室ＲｏＬから気体が流入する気流が生じている。また、スライド支持部材５１０がプーリカバー５１４Ｌから急速に離脱することによって、外板ＰｏＬ付近の外部空間の気体が瞬間的に負圧になるため、空室ＲｏＬから外部空間への気体の流れが生じる。このような現象は、スライド支持部材５１０がプーリカバー５１４Ｒに急速に接近して離脱する場合にも同様に生じる。また、カウンタ５１３がプーリカバー５１４Ｌまたは５１４Ｒに急速に接近して離脱する場合にも同様に生じる。つまり、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒをプーリが設置される空室ＲｉＬおよびＲｉＲと他の空室ＲｏＬおよびＲｏＲとに分割することによって、外部に生じる圧力変動の影響が他の空室ＲｏＬおよびＲｏＲによって吸収される。したがって、プーリが設置される空室ＲｉＬおよびＲｉＲに生じた粉塵が、上記ポンピング現象によって直接的に外部空間まで持ち出されることが防止される。

なお、空室ＲｏＬおよびＲｏＲには上記ポンピング現象が連続的に生じるため、空室ＲｏＬおよびＲｏＲと外部空間との間で気体の対流が生じ、空室ＲｏＬおよびＲｏＲ内の気体がスライド支持部材５１０の往復移動する空間へ流出する。しかしながら、内仕切板Ｐｉによって空室ＲｉＬおよびＲｉＲからそれぞれ空室ＲｏＬおよびＲｏＲへ粉塵が流出することが防止されていることに加え、空室ＲｉＬおよびＲｉＲへは直接的なポンピング効果が影響していないため、当該ポンピング効果による粉塵の持ち出しも防止されている。つまり、空室ＲｉＬおよびＲｉＲからそれぞれ空室ＲｏＬおよびＲｏＲへ粉塵が流出することが少ない。さらに、空室ＲｏＬおよびＲｏＲへ粉塵が流出しても、それぞれの空室に形成された排気口から吸引されている気体と共に排出される。したがって、空室ＲｉＬおよびＲｉＲ内に生じた粉塵が、空室ＲｏＬおよびＲｏＲ内の気体と共にスライド支持部材５１０の往復移動する空間へ流出することは極めて少ないものとなる。

また、排気口ＥＸｏＬ、ＥＸｉＬ、ＥＸｏＲ、およびＥＸｉＲは、駆動ベルト５１５が配置されている箇所付近や空室の底付近に設けられているため、駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８と駆動ベルト５１５との接触によって生じる粉塵を効率よく外部に排出することが可能である。例えば、空室ＲｏＬまたはＲｏＲにおいては、下側の駆動ベルト５１５を条溝Ｇで囲むように凹状ガイド部材５１１が延設されている。つまり、駆動ベルト５１５によって空室ＲｏＬおよびＲｏＲに持ち出される粉塵は、空室ＲｏＬまたはＲｏＲの底まで落下せずに条溝Ｇで囲まれた空間内に留まる。一方、上述したように排気口ＥＸｏＬおよびＥＸｏＲは、凹状ガイド部材５１１の上面と丸棒ガイド部材５１２との間の位置に形成されているため、条溝Ｇで囲まれた空間内から逸脱して条溝Ｇの上方に浮遊する粉塵を効率よく外部へ排気することができる。

このように、本実施形態にかかる塗布装置によれば、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３がガイド軸に沿って往復移動するときに発生するポンピング効果によって、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒ内に発生した粉塵が当該往復移動する空間に流出することを防止することができる。したがって、ノズル移動機構部５１の下に載置される基板上へ上記粉塵が落下することを防止することができる。

なお、条溝Ｇによる集塵効果を期待しない場合、スライド支持部材５１０を支持するガイド部材は凹状でなくてもかまわない。例えば、断面が円の丸棒や断面が矩形の角材に沿ってスライド支持部材５１０が往復移動する形態であっても、本発明を実現することができる。また、スライド支持部材５１０を支持するガイド部材は、複数本であっても同様に本発明を実現できることは言うまでもない。

なお、上述した説明では、駆動プーリ５１７および従動プーリ５１８を覆うようにプーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒを設けたが、スライド支持部材５１０等が往復移動する空間にもカバーを設けてもかまわない。図１１は、スライド支持部材５１０等が往復移動する空間を覆うカバー５２０を設けたノズル移動機構部５１の概略構成を示す斜視図である。

図１１において、プーリカバー５１４Ｌおよび５１４Ｒの間の固定部材上には、ノズル移動機構部５１を構成するスライド支持部材５１０、凹状ガイド部材５１１、２つの丸棒ガイド部材５１２、カウンタ５１３、および駆動ベルト５１５を外部から遮って覆うようにカバー５２０が設けられる。カバー５２０には、スリットＳが形成されている。スリットＳは、プーリカバー５１４Ｌの外板ＰｏＬ近傍からプーリカバー５１４Ｒの外板ＰｏＲ近傍まで、図示Ｘ軸方向を長手方向として形成されている。そして、スライド支持部材５１０に支持されたノズルユニット５０のみが、スリットＳを通ってカバー５２０の外部に突出して配置される。そして、スライド支持部材５１０が凹状ガイド部材５１１に沿って往復移動する際、当該凹状ガイド部材５１１に支持されたノズルユニット５０は、スリットＳを通ってカバー５２０の外部を図示Ｘ軸方向に往復移動する。

また、カバー５２０は、スリットＳを除いてノズル移動機構部５１を外部から遮って覆うように形成されており、例えば背面に形成された排気口（図示せず）から内部空間の気体を吸引して排出している。これによって、スライド支持部材５１０およびカウンタ５１３を空気静圧軸受として機能させるために供給されるエアーが上記排気口から排出されると同時に、カバー５２０内部に流出した粉塵も当該排気口から排出する。つまり、上述したように内仕切板Ｐｉおよび外板Ｐｏによって粉塵の流出を防止しながら、さらにカバー５２０によって基板Ｐ上への粉塵の落下を防止していることになる。したがって、内仕切板Ｐｉおよび外板Ｐｏによる粉塵流出防止効果を得ながら、さらにカバー５２０を設置することによって、粉塵が基板Ｐ上に落下することをさらに防止することができる。

なお、上述した実施形態では、赤、緑、および青色のうち、赤色の有機ＥＬ材料を３個１組のノズル５２ａ〜５２ｃで基板Ｐの溝内に流し込んでいるが、この塗布工程は、有機ＥＬ表示装置を製造する途中工程である。有機ＥＬ表示装置を製造するときの処理手順は、正孔輸送材料（ＰＥＤＯＴ）塗布→乾燥→赤色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→緑色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥→青色の有機ＥＬ材料塗布→乾燥という手順となる。この場合、本発明の塗布装置は、正孔輸送材料、赤色の有機ＥＬ材料、緑色の有機ＥＬ材料、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ塗布する工程に用いることができる。

また、ノズル５２ａ〜５２ｃから赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ吐出してもかまわない。この場合、赤、緑、および青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が１つの塗布工程で形成される。また、上述した実施形態では、３個１組のノズル５２ａ〜５２ｃで基板Ｐの各溝内に有機ＥＬ材料を流し込んでいるが、この３個１組のノズル５２ａ〜５２ｃを複数組設けて基板Ｐの各溝内に有機ＥＬ材料を流し込んでもかまわない。

また、上述した実施形態では、塗布液として有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液とした有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、本発明は他の塗布装置にも適用できる。例えば、レジスト液やＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）液やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）を製造するのに使用される蛍光材料を塗布する装置にも適用することができる。

本発明に係る塗布装置は、ノズルが往復移動する際に粉塵等の異物が基板上に落下することを防止することができ、ノズルから塗布液を吐出して基板に塗布する装置等として有用である。

本発明の一実施形態に係る有機ＥＬ表示装置の製造装置１の要部概略構成を示す平面図および正面図 図１の有機ＥＬ表示装置の製造装置１の制御機能および供給部を示すブロック図 図１のノズル移動機構部５１の概略構成を示す斜視図 図１の断面ＡＡをＢ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図 図１の断面ＣＣをＤ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図 図１の断面ＥＥをＦ方向から見たノズル移動機構部５１の断面図 図６のプーリカバー５１４を構成する外板Ｐｏの形状を示す図 図６のプーリカバー５１４を構成する内仕切板Ｐｉの形状を示す図 図７および図８の外板Ｐｏおよび内仕切板Ｐｉとを重ね合わせてＸ軸方向から見た状態を示す図 ノズル移動機構部５１の動作を模式的に示したブロック図 スライド支持部材５１０等が往復移動する空間を覆うカバー５２０を設けたノズル移動機構部５１の概略構成を示す斜視図 従来の駆動ベルト１０３とプーリ１０４とが接触する近傍の空室Ｒを覆うカバー１０５を設置した機構を説明するための断面図

符号の説明

１…有機ＥＬ表示装置の製造装置
２…基板載置装置
２１…ステージ
２２…旋回部
２３…平行移動テーブル
２４…ガイド受け部
２５、５１１…ガイド部材
３…制御部
５…有機ＥＬ塗布機構
５０…ノズルユニット
５１…ノズル移動機構部
５１０…スライド支持部材
５１１…凹状ガイド部材
５１２…丸棒ガイド部材
５１３…カウンタ
５１４…プーリカバー
５１５…駆動ベルト
５１６、５１９…連結部材
５１７…駆動プーリ
５１８…従動プーリ
５２０…カバー
５２ａ、５２ｂ、５２ｃ…ノズル
５２１…フィルタ
５３…液受部
５４…供給部
５４１…供給源
５４２…ポンプ
５４３…流量計

Claims (7)

1. 基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、
   その先端部から前記塗布液を吐出するノズルと、
   前記基板をその上面に載置するステージと、
   前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に前記ノズルを往復移動させるノズル移動機構とを備え、
   前記ノズル移動機構は、
   前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に延設されたガイド部材と、
   前記ノズルを支持し、前記ガイド部材に沿って前記横断する方向に移動可能なスライド支持部材と、
   前記ガイド部材の両端位置にそれぞれ配置され、少なくとも一方が所定の駆動源からの駆動力を受けて回転する一対のプーリと、
   その一部が前記スライド支持部材に連結し、当該スライド支持部材を前記ガイド部材に沿って往復移動させる前記一対のプーリに掛け渡された駆動ベルトと、
   前記一対のプーリをそれぞれ覆うプーリカバーとを含み、
   前記プーリカバーは、それぞれの内部空間を前記プーリが配置される第１の空室と当該第１の空室に対して前記ガイド部材が設けられている側に設けられる第２の空室とに分割する仕切板を含む、塗布装置。
2. 前記プーリカバーには、前記第１の空室および前記第２の空室からそれぞれ気体を排気する排気手段に接続される排気口が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
3. 前記仕切板は、前記第１の空室から前記第２の空室へ前記駆動ベルトを通すための開口部が形成され、
   前記第２の空室と前記スライド支持部材が移動する移動空間との間に設けられた前記プーリカバーの外板は、前記第２の空室から当該移動空間へ前記駆動ベルトを通すための開口部が少なくとも形成されることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
4. 前記ガイド部材は、前記第２の空室内に設けられたそれぞれの支持部材によって支持されて延設されており、
   前記外板は、前記第２の空室から当該移動空間へ前記ガイド部材を通すための開口部がさらに形成され、
   前記スライド支持部材は、前記ガイド部材に沿って前記外板の間を往復移動することを特徴とする、請求項３に記載の塗布装置。
5. 前記ガイド部材は、その上面に前記横断する方向の条溝が形成された棒状部材であり、
   前記駆動ベルトは、前記ガイド部材に形成された条溝に沿って、当該条溝内の空間に配設され、
   前記プーリカバーには、前記第２の空室から気体を排気する排気手段に接続される排気口が前記ガイド部材の上面位置付近に形成されていることを特徴とする、請求項４に記載の塗布装置。
6. 前記ノズル移動機構は、その内部空間に前記ガイド部材、前記スライド支持部材、および前記駆動ベルトを配置して覆う全体カバーを、さらに含み、
   前記全体カバーは、その内部空間の気体を排気する排気手段に接続される排気口が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。
7. 前記スライド支持部材は、前記ガイド部材の外側面に嵌合して当該外側面に沿って移動可能であり、
   前記ガイド部材と対向する前記スライド支持部材の内側面は、当該内側面と対向する前記ガイド部材の外側面との隙間にエアーを供給するエアー供給穴が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の塗布装置。

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