JP4544470B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
第1の発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置である。塗布装置は、ノズル、ステージ、およびノズル移動機構を備える。ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、そのステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。ノズル移動機構は、ガイド部材、スライド支持部材、一対のプーリ、駆動ベルト、およびプーリカバーとを含む。ガイド部材は、ステージ上の空間において、そのステージ面を横断する方向に延設される。スライド支持部材は、ノズルを支持し、ガイド部材に沿って横断する方向に移動可能である。一対のプーリは、ガイド部材の両端位置にそれぞれ配置され、少なくとも一方が所定の駆動源からの駆動力を受けて回転する。駆動ベルトは、その一部がスライド支持部材に連結し、そのスライド支持部材をガイド部材に沿って往復移動させる一対のプーリに掛け渡される。プーリカバーは、一対のプーリをそれぞれ覆う。プーリカバーは、仕切板を含む。仕切板は、それぞれの内部空間をプーリが配置される第1の空室とその第1の空室に対してガイド部材が設けられている側に設けられる第2の空室とに分割する。
2…基板載置装置
21…ステージ
22…旋回部
23…平行移動テーブル
24…ガイド受け部
25、511…ガイド部材
3…制御部
5…有機EL塗布機構
50…ノズルユニット
51…ノズル移動機構部
510…スライド支持部材
511…凹状ガイド部材
512…丸棒ガイド部材
513…カウンタ
514…プーリカバー
515…駆動ベルト
516、519…連結部材
517…駆動プーリ
518…従動プーリ
520…カバー
52a、52b、52c…ノズル
521…フィルタ
53…液受部
54…供給部
541…供給源
542…ポンプ
543…流量計
Claims (7)
- 基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、
その先端部から前記塗布液を吐出するノズルと、
前記基板をその上面に載置するステージと、
前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に前記ノズルを往復移動させるノズル移動機構とを備え、
前記ノズル移動機構は、
前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に延設されたガイド部材と、
前記ノズルを支持し、前記ガイド部材に沿って前記横断する方向に移動可能なスライド支持部材と、
前記ガイド部材の両端位置にそれぞれ配置され、少なくとも一方が所定の駆動源からの駆動力を受けて回転する一対のプーリと、
その一部が前記スライド支持部材に連結し、当該スライド支持部材を前記ガイド部材に沿って往復移動させる前記一対のプーリに掛け渡された駆動ベルトと、
前記一対のプーリをそれぞれ覆うプーリカバーとを含み、
前記プーリカバーは、それぞれの内部空間を前記プーリが配置される第1の空室と当該第1の空室に対して前記ガイド部材が設けられている側に設けられる第2の空室とに分割する仕切板を含む、塗布装置。 - 前記プーリカバーには、前記第1の空室および前記第2の空室からそれぞれ気体を排気する排気手段に接続される排気口が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。
- 前記仕切板は、前記第1の空室から前記第2の空室へ前記駆動ベルトを通すための開口部が形成され、
前記第2の空室と前記スライド支持部材が移動する移動空間との間に設けられた前記プーリカバーの外板は、前記第2の空室から当該移動空間へ前記駆動ベルトを通すための開口部が少なくとも形成されることを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。 - 前記ガイド部材は、前記第2の空室内に設けられたそれぞれの支持部材によって支持されて延設されており、
前記外板は、前記第2の空室から当該移動空間へ前記ガイド部材を通すための開口部がさらに形成され、
前記スライド支持部材は、前記ガイド部材に沿って前記外板の間を往復移動することを特徴とする、請求項3に記載の塗布装置。 - 前記ガイド部材は、その上面に前記横断する方向の条溝が形成された棒状部材であり、
前記駆動ベルトは、前記ガイド部材に形成された条溝に沿って、当該条溝内の空間に配設され、
前記プーリカバーには、前記第2の空室から気体を排気する排気手段に接続される排気口が前記ガイド部材の上面位置付近に形成されていることを特徴とする、請求項4に記載の塗布装置。 - 前記ノズル移動機構は、その内部空間に前記ガイド部材、前記スライド支持部材、および前記駆動ベルトを配置して覆う全体カバーを、さらに含み、
前記全体カバーは、その内部空間の気体を排気する排気手段に接続される排気口が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。 - 前記スライド支持部材は、前記ガイド部材の外側面に嵌合して当該外側面に沿って移動可能であり、
前記ガイド部材と対向する前記スライド支持部材の内側面は、当該内側面と対向する前記ガイド部材の外側面との隙間にエアーを供給するエアー供給穴が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の塗布装置。
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