JP3597612B2 - 基板への塗布液塗布装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶用ガラス角型基板、カラーフィルタ用基板、サーマルヘッド用基板、半導体ウェハ等の各種基板の表面に、レジスト液等の塗布液を塗布してその薄膜を形成するための塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、上記のような塗布方法及び装置としては、図１３に示されるような水平方向に延びるスリット状の塗布液吐出口をもつノズルを用いるものが知られている。例えば特開昭５８−１７０５６５号公報等には、円形のウェハを低速で回転させつつ、このウェハの表面に向けて上記塗布液吐出口から塗布液であるレジスト液を帯状に吐出し、その後ウェハを高速で回転させてウェハの表面に所定厚さのレジスト膜を形成するようにしたものが開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記装置において、塗布作業を行わない時は、例えば図１３に示す配管３０を通じてのノズル７へのレジスト液Ｒの給送が止められる。しかし、このように給送を止めても、ノズル７内等に残存するレジスト液Ｒは図１３及び図１４に示すように吐出口７ａから少量ずつ吐出されるので、このレジスト液Ｒが誤ってウェハ表面に滴下したり、外気に触れて吐出口７ａ付近で乾燥し、そのまま固まることにより、この吐出口７ａを詰まらせたりしてしまうおそれがある。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑み、塗布作業終了後に誤って塗布液が基板表面に滴下したり、塗布液が吐出口近傍で固化して吐出口を詰まらせたりする不都合を防ぐことができる塗布液塗布装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための手段として、本発明は、基板の表面に塗布液を供給して基板表面に塗布液の薄膜を形成するための基板への塗布液塗布装置において、基板を支持する基板支持手段と、塗布液吐出口を有し、この塗布液吐出口が上記基板支持手段に支持された基板の表面に対向する塗布位置とこの塗布位置から外れた待機位置との間で移動可能に構成された塗布液供給手段とを備え、この塗布液供給手段が上記塗布位置にある状態で上記塗布液吐出口と基板とを基板表面に沿う方向に相対移動させることにより基板表面に塗布液の薄膜が形成されるように構成するとともに、塗布液の溶剤を貯留する塗布液溶剤容器を備え、この塗布液溶剤容器内において上記待機位置における塗布液供給手段の塗布液吐出口と近接する位置に、この近接状態で上記塗布液吐出口から吐出される塗布液を下方に案内して流下させる形状の案内部材を設け、さらに、上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備え、この洗浄手段により吐出された上記溶剤が上記塗布液溶剤容器内に溜まるように構成されているものである。
【０００６】
上記装置によれば、塗布を行わない時には塗布液供給手段を上記基板の支持位置から外れた待機位置へ移動させるため、塗布作業後に塗布液供給手段の塗布液吐出口から吐出された塗布液が誤って基板上に滴下するおそれはない。しかも、この待機位置では、上記塗布液吐出口に近接する案内部材により、上記塗布液吐出口から吐出される塗布液が下方に案内されて流下するので、この塗布液が吐出口付近で滞留したまま乾燥して吐出口を詰まらせることが防がれる。
【０００７】
また、上記案内部材は上記塗布液の溶剤を貯留する塗布液溶剤容器内に設けられているので、この塗布液溶剤容器内で上記溶剤が蒸発して溶剤の雰囲気が形成されることにより、塗布液の乾燥はより顕著に抑制される。
【０００８】
また、上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えているので、この洗浄によって案内部材の表面状態を良好に維持できるとともに、この洗浄手段から供給される溶剤が上記塗布液溶剤容器内に溜められる。
【０００９】
さらに、上記塗布液溶剤容器内に上記案内部材を立設してこの案内部材の少なくとも下部を上記溶剤内に浸漬するようにすれば、案内部材を伝う塗布液が容器内の溶剤に到達することにより、その混合液で案内部材表面が濡らされ、この案内部材表面で塗布液が乾燥することが防がれる。
【００１０】
上記塗布液溶剤容器の形状は特に問わないが、この塗布液溶剤容器に設けられた案内部材と上記塗布液吐出口が上記案内部材と近接する状態でこの塗布液吐出口が上記塗布液溶剤容器によって覆われるように容器形状を設定すれば、この塗布液溶剤容器にカバー部材としての役割も担わせることが可能である。すなわち、この案内部材との近接により塗布液吐出口に塗布液が滞留することが防がれるだけでなく、この塗布液吐出口が塗布液溶剤容器によってほぼ密封されることにより、この塗布液溶剤容器内の溶剤雰囲気で塗布液の乾燥自体も抑制される。
【００１１】
また、上記洗浄手段として、上記塗布液の溶剤を吐出する溶剤吐出口を有し、この溶剤吐出口が上記案内部材に対向する洗浄位置とこの洗浄位置から退避する退避位置との間で移動可能に構成された溶剤吐出手段を備えたものによれば、この溶剤吐出手段を上記洗浄位置に位置させた状態でその溶剤吐出口から溶剤を吐出させることにより、案内部材を洗浄できる一方、この溶剤吐出手段を退避位置へ退避させた状態で、上記案内部材に不都合なく塗布液供給手段の塗布液吐出口を近接させることができる。
【００１２】
また本発明は、基板の表面に塗布液を供給して基板表面に塗布液の薄膜を形成するための基板への塗布液塗布装置において、基板を支持する基板支持手段と、塗布液吐出口を有し、この塗布液吐出口が上記基板支持手段に支持された基板の表面に対向する塗布位置とこの塗布位置から外れた待機位置との間で移動可能に構成された塗布液供給手段とを備え、この塗布液供給手段が上記塗布位置にある状態で上記塗布液吐出口と基板とを基板表面に沿う方向に相対移動させることにより基板表面に塗布液の薄膜が形成されるように構成するとともに、上記塗布液吐出口を一方向に延びるスリット状にし、上記待機位置における塗布液供給手段の塗布液吐出口と近接する位置に、この近接状態で上記塗布液吐出口から吐出される塗布液を下方に案内して流下させる形状であって上記塗布液吐出口の長手方向に延びる形状の案内部材を設け、さらに、上記案内部材の長手方向に沿って移動しながら上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えたものである。
【００１３】
ここで、上記案内部材としては、塗布液吐出口の長手方向に延び、かつ、先端に向かうに従って幅寸法の小さくなる山型断面をもつ形状のものや、先端に向かうに従って断面積の小さくなる複数の針状の案内部材を上記塗布液吐出口の長手方向に並設したもの等が、好適である。さらに、上記案内部材を塗布液吐出口の長手方向に延びる厚さが一定の薄板形状とすれば、案内部材の形状をより簡単にしてその製作を容易にすることができるので好適である。また、上記塗布液吐出口の長手方向にワイヤを張設したものでもよい。いずれの案内部材においても、この案内部材が塗布液吐出口に対してそのほぼ全域に亘り近接することにより、塗布液吐出口近傍での塗布液の乾燥による吐出口の詰まりが防がれる。そして、洗浄手段が上記案内部材の長手方向に沿って移動しながら上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。なお、以下の説明では基板Ｐ上にレジスト液Ｒを塗布する装置を例示するが、本発明において取扱う塗布液はレジスト液に限らず、その他、基板Ｐの表面に形成される薄膜の材料となり得る種々の塗布液について本発明が適用できる。
【００１５】
図１に示す塗布装置は、塗布処理部１と、レジスト液圧送部２とで構成されている。
【００１６】
塗布処理部１は、上下に延びる回転軸３と、レジスト液供給手段５とを備えている。回転軸３の上端には真空チャック４が固定され、そのすぐ下方の位置にカップ６が固定されている。真空チャック４は、基板Ｐを水平状態で吸引保持するものであり、回転軸３とともに基板支持手段を構成している。カップ６は、基板Ｐから径方向外側へのレジスト液飛散を防ぐべく、上記真空チャック４上の基板Ｐを側方から覆う形状を有している。そして、上記回転軸３にモータ１９が連結されており、このモータ１９の作動によって上記回転軸３とともに真空チャック４及びカップ６が一体に回転駆動されるようになっている。
【００１７】
レジスト液供給手段５は、ノズル７と、ノズル支持アーム８と、移動フレーム９とを備えている。移動フレーム９は、水平に延びる移動ガイド１０に沿ってスライド可能に構成されている。この移動フレーム９にノズル支持アーム８の上端が昇降可能に取付けられ、下端にノズル７が固定されている。
【００１８】
上記ノズル７は、水平な一方向（図１の奥行き方向）に延び、図２にも示すように下方に向かうに従って幅方向が小さくなる形状とされており、その最下端にスリット状の塗布液吐出口７ａが形成されている。この塗布液吐出口７ａは、ノズル内部に形成された幅広の液溜め７ｂを介してノズル側壁の配管接続部７ｃに連通されており、この配管接続部７ｃから供給されたレジスト液Ｒが、液溜め７ｂでノズル長手方向に均一に拡散されてから塗布液吐出口７ａより吐出されるようになっている。
【００１９】
レジスト液圧送部２は、内部が密封された加圧タンク１１と、この加圧タンク１１内に収納されたレジスト液タンク１２とを備えている。加圧タンク１１の上部は、加圧配管１３を介して図略の窒素ガス供給源に接続され、この加圧配管１３の途中に窒素ガス給排切換用の三方弁１４とレギュレータ１５とが設けられている。
【００２０】
上記ポリタンク１２内には、レジスト液供給配管１６の一端が挿入され、同配管１６の他端が前記ノズル７の配管接続部７ｃに接続されており、レジスト液供給配管１６の途中に流量計１７及びレジスト液供給弁１８が設けられている。そして、レジスト液供給弁１８が開いた状態で、ポリタンク１２内のレジスト液Ｒが加圧タンク１１内の窒素ガス圧力でノズル７まで圧送される一方、レジスト液供給弁１８が閉じることにより上記圧送が停止されるようになっている。
【００２１】
さらに、この装置の特徴として、カップ６から側方に外れた位置に、図３及び図４にも示すようなレジスト液溶剤容器２０が設置されている。このレジスト液溶剤容器２０は、上方にのみ開口する直方体状の容器であり、その開口部の形状は、この開口部に対してノズル７全体が上方から嵌入可能な形状に設定されている。
【００２２】
このレジスト液溶剤容器２０内には、案内部材２２が立設されている。この案内部材２２は、レジスト液溶剤容器２０の幅方向略中央部において、この容器２０及びノズル７の長手方向全域に亘って延びており、その断面形状は、上端に向かうに従って幅の狭くなる山型状とされている。また、この案内部材２２の上端位置はレジスト液溶剤容器２０の上端位置よりも低い位置に設定され、このレジスト液溶剤容器２０内にノズル７の下部が嵌入された状態で、このノズル７下端のレジスト液吐出口７ａが案内部材２２の上端と近接するようになっている。
【００２３】
さらに、レジスト液溶剤容器２０内には、上記レジスト液Ｒの溶剤が適当なレベルまで貯留されており、このレジスト液Ｒ内に上記案内部材２２の少なくとも下部が浸漬された状態となっている。
【００２４】
次に、この装置を用いたレジスト液Ｒの塗布方法を、図５も併せて参照しながら説明する。
【００２５】
まず、塗布を行う前の状態では、ノズル７を待機位置（図４に示すようにノズル下部がレジスト液溶剤容器２０内に嵌入されてレジスト液吐出口７ａが案内部材２２の上端と近接する位置）に待機させておく。
【００２６】
塗布を行うにあたっては、移動フレーム９に対してノズル支持アーム８と一体にノズル７を上昇させ（図５の矢印１）、さらに、上記移動フレーム９のスライドによってノズル７を基板Ｐの一端の直上方位置まで水平移動させる（矢印２）。そして、回転軸３及び真空チャック４とともに、この真空チャック４に真空保持されている基板Ｐを回転させながら、この基板Ｐ表面とレジスト液吐出口７ａとが近距離で対向する位置までノズル７を下降させる（矢印３）。この高さ位置で、レジスト液供給弁１８を開いてレジスト液吐出口７ａからレジスト液Ｒを吐出させながらノズル７を水平操作することにより（矢印４）、基板Ｐの表面にレジスト液Ｒを塗布し、その薄膜を形成する。この際、基板Ｐは適当な速度で回転させることが好ましい。
【００２７】
塗布終了後は、上記レジスト液供給弁１８を閉じてレジスト液給送を止めるとともに、ノズル７を上昇させ（矢印５）、レジスト液溶剤容器２０の直上方の位置まで水平移動させた後（矢印６）、下降させて前記待機位置に戻す（矢印７）。
【００２８】
この方法によれば、塗布を行わない期間はノズル７が待機位置に移されるので、このノズル７のレジスト液吐出口７ａから少量ずつ吐出されるレジスト液Ｒが基板Ｐ上に誤って滴下するおそれがない。しかも、上記待機位置では、レジスト液吐出口７ａに案内部材２２の上端が近接するため、レジスト液吐出口７ａからのレジスト液Ｒは案内部材２２側に付着し、その表面を伝って流下する。従って、上記レジスト液吐出口７ａ近傍にレジスト液Ｒが滞留したまま乾燥して固化することが防がれ、この固化に起因してレジスト液吐出口７ａが詰まることが未然に防がれる。
【００２９】
さらに、この装置では、上記待機位置でノズル７の下部がレジスト液溶剤容器２０内に嵌入されることにより、レジスト液吐出口７ａが容器側壁で覆われてほぼ密封状態となるので、レジスト液Ｒの乾燥自体も抑制される。特に、レジスト液溶剤容器２０内にレジスト液Ｒを貯留している場合、この容器２０内に溶剤の雰囲気が形成されるため、レジスト液Ｒの乾燥抑制効果はより顕著となる。
【００３０】
第２の実施の形態を図６に示す。ここでは、前記レジスト液溶剤容器２０が省略され、案内部材２２が単独で立設されている。この構成においても、待機位置でノズル７のレジスト液吐出口７ａを案内部材２２の上端に近接させることにより、レジスト液Ｒの乾燥、固化によるレジスト液吐出口７ａの詰まりを防止できる。ただし、この場合、案内部材２２側に付着したレジスト液Ｒがそのまま乾燥して案内部材２２の表面で固化し、これによって案内部材２２による良好なレジスト液Ｒの案内が損なわれるおそれがあるのに対し、前記図３及び図４に示したように、案内部材２２をレジスト液溶剤容器２０内に立設してこのレジスト液溶剤容器２０内に貯留されたレジスト液溶剤２４に浸漬しておけば、この案内部材２２の表面を伝って流下するレジスト液Ｒがその溶剤２４に至ることにより、この溶剤２４とレジスト液Ｒとの混合液で案内部材２２の表面が濡れる状態が保たれるので、案内部材２２上でのレジスト液Ｒの乾燥、固化を回避できる利点がある。
【００３１】
第３の実施の形態を図７に示す。ここでは、前記図２に示した案内部材２２をその長手方向に複数に分割している。このように、本発明では、案内部材が必ずしもその長手方向に連続している必要はない。
【００３２】
第４の実施の形態を図８に示す。ここでは、ノズル７及びそのレジスト液吐出口７ａの長手方向と平行に延びる基台２１上に、同方向に沿って多数の針状の案内部材２３が並設されている。この構成においても、案内部材２３同士の間隔を十分小さく設定しておけば、これら案内部材２３の上端にレジスト液吐出口７ａを近接させることにより、その詰まりを防止できる。
【００３３】
なお、先端に向かうに従って断面積が小さくなる針状の案内部材２３に代えて、十分に細い円柱もしくは角柱形状の案内部材を用いることも可能である。
【００３４】
第５の実施の形態を図９に示す。第１〜第４の実施の形態では、いずれも、案内部材は先端に向かうに従って細くなる形状を有していたのに対し、図９に示す第５の実施の形態においては、ノズル７及びそのレジスト液吐出口７ａの長手方向と平行に延びる基台２１上に同方向に延びる厚さが一定（0.3mm）の薄板形状を有するステンレス鋼製の案内部材２２ａが配置されている。このような構成によっても、レジスト液Ｒを良好に案内することができるとともに、案内部材の形状をより簡単にしてその製作を容易にすることができる。
【００３５】
第６の実施の形態を図１０に示す。ここでは、案内部材として、ノズル７及びそのレジスト液吐出口７ａの長手方向にワイヤ２５が張設されている。この構成においても、レジスト液吐出口７ａをこれと平行に延びるワイヤ２５に近接させることにより、吐出口の詰まりを防止できる。
【００３６】
ただし、この場合、ノズル７を待機位置に長く放置しておくと、レジスト液吐出口７ａとワイヤ２５とに亘る状態でレジスト液Ｒが乾燥し、固化するおそれがあるため、ワイヤ２５を用いる場合には、第７の実施の形態として図１１に示す構成にすることが、より好ましい。
【００３７】
同図において、ノズル７及びそのレジスト液吐出口７ａの長手方向に一対のプーリ２６が配置され、一方のプーリ２６の回転軸にモータ２７が連結されており、両プーリ２６に無端状のワイヤ２６が掛け渡されている。そして、両プーリ２６の下部及び下側のワイヤ直線部分がレジスト液溶剤容器２０内のレジスト液溶剤２４に浸漬されている。
【００３８】
この装置によれば、モータ２７の作動でプーリ２６を回転駆動することにより、ワイヤ２５をその長手方向に移動させて溶剤２４に浸漬される部分を変えることができるため、このような駆動を常時もしくは定期的に行うことにより、ワイヤ２５表面でのレジスト液Ｒの乾燥、固化を防ぐことができる。
【００３９】
次に、本発明にかかる洗浄手段について図１２に基づいて説明する。ここでは、前記図１〜図５に示した装置において、案内部材２２の近傍に溶剤吐出ノズル２８が設けられている。この溶剤吐出ノズル２８は、図略のレジスト液溶剤供給源に接続され、下端に溶剤吐出口２８ａを有しており、この溶剤吐出口２８ａが案内部材２２の上端に対向する位置（図の実線位置；洗浄位置）と、この洗浄位置から退避する退避位置（同図二点鎖線の位置）との間を移動可能に構成されている。
【００４０】
この構成によれば、溶剤吐出ノズル２８を上記洗浄位置に移動させた状態で、その溶剤吐出口２８ａから溶剤２４を吐出させることにより、案内部材２２の表面に付着したレジスト液Ｒを洗浄除去でき、この案内部材２２の表面状態を良好に保てる一方、上記溶剤吐出ノズル２８を退避位置に退避させた状態で、上記案内部材２２の上端に不都合なくレジスト液吐出口を近接させることができる。
【００４１】
なお、この溶剤吐出ノズル２８の吐出口２８ａは、案内部材２２の長手方向に延びる形状としてもよいし、小径の開口としてもよい。後者の場合は、溶剤吐出ノズル２８を案内部材２２の長手方向に沿って移動させるようにすればよい。
【００４２】
以上説明した各図には、一方向に延びるスリット状のレジスト液吐出口７ａが示されているが、このレジスト液吐出口が単なる小径の開口部である場合には、例えば前記図８に示した針状の案内部材２３を単一本立設するだけでもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上のように本発明は、塗布を行わない時には塗布液供給手段を上記基板の支持位置から外れた待機位置へ移動させ、この待機位置で上記塗布液供給手段の塗布液吐出口に案内部材を近接させてこの案内部材により上記塗布液吐出口から吐出される塗布液を下方に案内して流下させるようにしたものであるので、塗布終了後に塗布液吐出口から吐出された塗布液が誤って基板上に滴下するのを防ぐことができるとともに、この吐出塗布液が塗布液吐出口近傍でそのまま乾燥、固化するのも防ぐことができ、これに起因する吐出液吐出口の詰まりを未然に防止できる効果がある。
【００４４】
しかも、上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えているので、この案内部材表面を確実に良好な状態に保つことができる。
【００４５】
また、上記案内部材は上記塗布液の溶剤を貯留する塗布液溶剤容器内に設けられているので、この塗布液溶剤容器内での溶剤蒸発で溶剤雰囲気を形成することにより、塗布液の乾燥をより顕著に抑制できる。
【００４６】
さらに、上記塗布液溶剤容器内に上記案内部材を立設してこの案内部材の少なくとも下部を上記溶剤内に浸漬させたものによれば、案内部材表面で塗布液が乾燥することを防ぎ、案内部材の性能を良好に維持できる効果がある。
【００４７】
また、この塗布液溶剤容器に設けられた案内部材と上記塗布液吐出口が上記案内部材と近接する状態でこの塗布液吐出口が上記塗布液溶剤容器によって覆われるように容器形状を設定すれば、この塗布液溶剤容器にカバー部材としての役割も担わせることができ、簡素な構造で、塗布液吐出口近傍での塗布液乾燥と、案内部材表面での塗布液乾燥の双方を防止できる効果がある。
【００４８】
また、上記塗布液吐出口が一方向に延びるスリット状である場合において、塗布液吐出口の長手方向に延び、かつ、先端に向かうに従って幅寸法の小さくなる山型断面をもつ形状の案内部材を備えたり、先端に向かうに従って断面積の小さくなる複数の針状の案内部材を上記塗布液吐出口の長手方向に並設したり、あるいは上記塗布液吐出口の長手方向にワイヤを張設することにより、案内部材を塗布液吐出口に対してそのほぼ全域に亘り近接させ、塗布液吐出口近傍での塗布液の乾燥による吐出口の詰まりを防ぐことができる。そして、上記案内部材の長手方向に沿って移動しながら上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えることにより、この案内部材表面を確実に良好な状態に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるレジスト液塗布装置の全体構成図である。
【図２】上記レジスト液塗布装置に設けられたノズルの断面図である。
【図３】上記レジスト液塗布装置に設けられたレジスト液溶剤容器の断面図である。
【図４】上記レジスト液溶剤容器内に上記ノズルが嵌入された状態を示す一部断面斜視図である。
【図５】上記ノズルの移動行程を示す説明図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す斜視図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態を示す斜視図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態を示す斜視図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第６の実施の形態を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第７の実施の形態を示す斜視図である。
【図１２】本発明にかかる洗浄手段の実施の形態を示す断面図である。
【図１３】従来の塗布装置においてノズルのレジスト液吐出口近傍に吐出レジスト液が滞留している状態を示す斜視図である。
【図１４】上記状態を示す正面図である。
【符号の説明】
１ レジスト液塗布装置
３ 回転軸（基板支持手段）
４ 真空チャック（基板支持手段）
５ レジスト液供給手段（塗布液供給手段）
７ ノズル
７ａ レジスト液吐出口（塗布液吐出口）
２０ レジスト液溶剤容器（塗布液溶剤容器）
２２，２２ａ，２３ 案内部材
２４ レジスト液溶剤（塗布液溶剤）
２５ ワイヤ
２６ プーリ
２８ 溶剤吐出ノズル（溶剤吐出手段）
２８ａ 溶剤吐出口
Ｐ 基板
Ｒ レジスト液（塗布液）
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶用ガラス角型基板、カラーフィルタ用基板、サーマルヘッド用基板、半導体ウェハ等の各種基板の表面に、レジスト液等の塗布液を塗布してその薄膜を形成するための塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、上記のような塗布方法及び装置としては、図１３に示されるような水平方向に延びるスリット状の塗布液吐出口をもつノズルを用いるものが知られている。例えば特開昭５８−１７０５６５号公報等には、円形のウェハを低速で回転させつつ、このウェハの表面に向けて上記塗布液吐出口から塗布液であるレジスト液を帯状に吐出し、その後ウェハを高速で回転させてウェハの表面に所定厚さのレジスト膜を形成するようにしたものが開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記装置において、塗布作業を行わない時は、例えば図１３に示す配管３０を通じてのノズル７へのレジスト液Ｒの給送が止められる。しかし、このように給送を止めても、ノズル７内等に残存するレジスト液Ｒは図１３及び図１４に示すように吐出口７ａから少量ずつ吐出されるので、このレジスト液Ｒが誤ってウェハ表面に滴下したり、外気に触れて吐出口７ａ付近で乾燥し、そのまま固まることにより、この吐出口７ａを詰まらせたりしてしまうおそれがある。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑み、塗布作業終了後に誤って塗布液が基板表面に滴下したり、塗布液が吐出口近傍で固化して吐出口を詰まらせたりする不都合を防ぐことができる塗布液塗布装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための手段として、本発明は、基板の表面に塗布液を供給して基板表面に塗布液の薄膜を形成するための基板への塗布液塗布装置において、基板を支持する基板支持手段と、塗布液吐出口を有し、この塗布液吐出口が上記基板支持手段に支持された基板の表面に対向する塗布位置とこの塗布位置から外れた待機位置との間で移動可能に構成された塗布液供給手段とを備え、この塗布液供給手段が上記塗布位置にある状態で上記塗布液吐出口と基板とを基板表面に沿う方向に相対移動させることにより基板表面に塗布液の薄膜が形成されるように構成するとともに、塗布液の溶剤を貯留する塗布液溶剤容器を備え、この塗布液溶剤容器内において上記待機位置における塗布液供給手段の塗布液吐出口と近接する位置に、この近接状態で上記塗布液吐出口から吐出される塗布液を下方に案内して流下させる形状の案内部材を設け、さらに、上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備え、この洗浄手段により吐出された上記溶剤が上記塗布液溶剤容器内に溜まるように構成されているものである。
【０００６】
上記装置によれば、塗布を行わない時には塗布液供給手段を上記基板の支持位置から外れた待機位置へ移動させるため、塗布作業後に塗布液供給手段の塗布液吐出口から吐出された塗布液が誤って基板上に滴下するおそれはない。しかも、この待機位置では、上記塗布液吐出口に近接する案内部材により、上記塗布液吐出口から吐出される塗布液が下方に案内されて流下するので、この塗布液が吐出口付近で滞留したまま乾燥して吐出口を詰まらせることが防がれる。
【０００７】
また、上記案内部材は上記塗布液の溶剤を貯留する塗布液溶剤容器内に設けられているので、この塗布液溶剤容器内で上記溶剤が蒸発して溶剤の雰囲気が形成されることにより、塗布液の乾燥はより顕著に抑制される。
【０００８】
また、上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えているので、この洗浄によって案内部材の表面状態を良好に維持できるとともに、この洗浄手段から供給される溶剤が上記塗布液溶剤容器内に溜められる。
【０００９】
さらに、上記塗布液溶剤容器内に上記案内部材を立設してこの案内部材の少なくとも下部を上記溶剤内に浸漬するようにすれば、案内部材を伝う塗布液が容器内の溶剤に到達することにより、その混合液で案内部材表面が濡らされ、この案内部材表面で塗布液が乾燥することが防がれる。
【００１０】
上記塗布液溶剤容器の形状は特に問わないが、この塗布液溶剤容器に設けられた案内部材と上記塗布液吐出口が上記案内部材と近接する状態でこの塗布液吐出口が上記塗布液溶剤容器によって覆われるように容器形状を設定すれば、この塗布液溶剤容器にカバー部材としての役割も担わせることが可能である。すなわち、この案内部材との近接により塗布液吐出口に塗布液が滞留することが防がれるだけでなく、この塗布液吐出口が塗布液溶剤容器によってほぼ密封されることにより、この塗布液溶剤容器内の溶剤雰囲気で塗布液の乾燥自体も抑制される。
【００１１】
また、上記洗浄手段として、上記塗布液の溶剤を吐出する溶剤吐出口を有し、この溶剤吐出口が上記案内部材に対向する洗浄位置とこの洗浄位置から退避する退避位置との間で移動可能に構成された溶剤吐出手段を備えたものによれば、この溶剤吐出手段を上記洗浄位置に位置させた状態でその溶剤吐出口から溶剤を吐出させることにより、案内部材を洗浄できる一方、この溶剤吐出手段を退避位置へ退避させた状態で、上記案内部材に不都合なく塗布液供給手段の塗布液吐出口を近接させることができる。
【００１２】
また本発明は、基板の表面に塗布液を供給して基板表面に塗布液の薄膜を形成するための基板への塗布液塗布装置において、基板を支持する基板支持手段と、塗布液吐出口を有し、この塗布液吐出口が上記基板支持手段に支持された基板の表面に対向する塗布位置とこの塗布位置から外れた待機位置との間で移動可能に構成された塗布液供給手段とを備え、この塗布液供給手段が上記塗布位置にある状態で上記塗布液吐出口と基板とを基板表面に沿う方向に相対移動させることにより基板表面に塗布液の薄膜が形成されるように構成するとともに、上記塗布液吐出口を一方向に延びるスリット状にし、上記待機位置における塗布液供給手段の塗布液吐出口と近接する位置に、この近接状態で上記塗布液吐出口から吐出される塗布液を下方に案内して流下させる形状であって上記塗布液吐出口の長手方向に延びる形状の案内部材を設け、さらに、上記案内部材の長手方向に沿って移動しながら上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えたものである。
【００１３】
ここで、上記案内部材としては、塗布液吐出口の長手方向に延び、かつ、先端に向かうに従って幅寸法の小さくなる山型断面をもつ形状のものや、先端に向かうに従って断面積の小さくなる複数の針状の案内部材を上記塗布液吐出口の長手方向に並設したもの等が、好適である。さらに、上記案内部材を塗布液吐出口の長手方向に延びる厚さが一定の薄板形状とすれば、案内部材の形状をより簡単にしてその製作を容易にすることができるので好適である。また、上記塗布液吐出口の長手方向にワイヤを張設したものでもよい。いずれの案内部材においても、この案内部材が塗布液吐出口に対してそのほぼ全域に亘り近接することにより、塗布液吐出口近傍での塗布液の乾燥による吐出口の詰まりが防がれる。そして、洗浄手段が上記案内部材の長手方向に沿って移動しながら上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。なお、以下の説明では基板Ｐ上にレジスト液Ｒを塗布する装置を例示するが、本発明において取扱う塗布液はレジスト液に限らず、その他、基板Ｐの表面に形成される薄膜の材料となり得る種々の塗布液について本発明が適用できる。
【００１５】
図１に示す塗布装置は、塗布処理部１と、レジスト液圧送部２とで構成されている。
【００１６】
塗布処理部１は、上下に延びる回転軸３と、レジスト液供給手段５とを備えている。回転軸３の上端には真空チャック４が固定され、そのすぐ下方の位置にカップ６が固定されている。真空チャック４は、基板Ｐを水平状態で吸引保持するものであり、回転軸３とともに基板支持手段を構成している。カップ６は、基板Ｐから径方向外側へのレジスト液飛散を防ぐべく、上記真空チャック４上の基板Ｐを側方から覆う形状を有している。そして、上記回転軸３にモータ１９が連結されており、このモータ１９の作動によって上記回転軸３とともに真空チャック４及びカップ６が一体に回転駆動されるようになっている。
【００１７】
レジスト液供給手段５は、ノズル７と、ノズル支持アーム８と、移動フレーム９とを備えている。移動フレーム９は、水平に延びる移動ガイド１０に沿ってスライド可能に構成されている。この移動フレーム９にノズル支持アーム８の上端が昇降可能に取付けられ、下端にノズル７が固定されている。
【００１８】
上記ノズル７は、水平な一方向（図１の奥行き方向）に延び、図２にも示すように下方に向かうに従って幅方向が小さくなる形状とされており、その最下端にスリット状の塗布液吐出口７ａが形成されている。この塗布液吐出口７ａは、ノズル内部に形成された幅広の液溜め７ｂを介してノズル側壁の配管接続部７ｃに連通されており、この配管接続部７ｃから供給されたレジスト液Ｒが、液溜め７ｂでノズル長手方向に均一に拡散されてから塗布液吐出口７ａより吐出されるようになっている。
【００１９】
レジスト液圧送部２は、内部が密封された加圧タンク１１と、この加圧タンク１１内に収納されたレジスト液タンク１２とを備えている。加圧タンク１１の上部は、加圧配管１３を介して図略の窒素ガス供給源に接続され、この加圧配管１３の途中に窒素ガス給排切換用の三方弁１４とレギュレータ１５とが設けられている。
【００２０】
上記ポリタンク１２内には、レジスト液供給配管１６の一端が挿入され、同配管１６の他端が前記ノズル７の配管接続部７ｃに接続されており、レジスト液供給配管１６の途中に流量計１７及びレジスト液供給弁１８が設けられている。そして、レジスト液供給弁１８が開いた状態で、ポリタンク１２内のレジスト液Ｒが加圧タンク１１内の窒素ガス圧力でノズル７まで圧送される一方、レジスト液供給弁１８が閉じることにより上記圧送が停止されるようになっている。
【００２１】
さらに、この装置の特徴として、カップ６から側方に外れた位置に、図３及び図４にも示すようなレジスト液溶剤容器２０が設置されている。このレジスト液溶剤容器２０は、上方にのみ開口する直方体状の容器であり、その開口部の形状は、この開口部に対してノズル７全体が上方から嵌入可能な形状に設定されている。
【００２２】
このレジスト液溶剤容器２０内には、案内部材２２が立設されている。この案内部材２２は、レジスト液溶剤容器２０の幅方向略中央部において、この容器２０及びノズル７の長手方向全域に亘って延びており、その断面形状は、上端に向かうに従って幅の狭くなる山型状とされている。また、この案内部材２２の上端位置はレジスト液溶剤容器２０の上端位置よりも低い位置に設定され、このレジスト液溶剤容器２０内にノズル７の下部が嵌入された状態で、このノズル７下端のレジスト液吐出口７ａが案内部材２２の上端と近接するようになっている。
【００２３】
さらに、レジスト液溶剤容器２０内には、上記レジスト液Ｒの溶剤が適当なレベルまで貯留されており、このレジスト液Ｒ内に上記案内部材２２の少なくとも下部が浸漬された状態となっている。
【００２４】
次に、この装置を用いたレジスト液Ｒの塗布方法を、図５も併せて参照しながら説明する。
【００２５】
まず、塗布を行う前の状態では、ノズル７を待機位置（図４に示すようにノズル下部がレジスト液溶剤容器２０内に嵌入されてレジスト液吐出口７ａが案内部材２２の上端と近接する位置）に待機させておく。
【００２６】
塗布を行うにあたっては、移動フレーム９に対してノズル支持アーム８と一体にノズル７を上昇させ（図５の矢印１）、さらに、上記移動フレーム９のスライドによってノズル７を基板Ｐの一端の直上方位置まで水平移動させる（矢印２）。そして、回転軸３及び真空チャック４とともに、この真空チャック４に真空保持されている基板Ｐを回転させながら、この基板Ｐ表面とレジスト液吐出口７ａとが近距離で対向する位置までノズル７を下降させる（矢印３）。この高さ位置で、レジスト液供給弁１８を開いてレジスト液吐出口７ａからレジスト液Ｒを吐出させながらノズル７を水平操作することにより（矢印４）、基板Ｐの表面にレジスト液Ｒを塗布し、その薄膜を形成する。この際、基板Ｐは適当な速度で回転させることが好ましい。
【００２７】
塗布終了後は、上記レジスト液供給弁１８を閉じてレジスト液給送を止めるとともに、ノズル７を上昇させ（矢印５）、レジスト液溶剤容器２０の直上方の位置まで水平移動させた後（矢印６）、下降させて前記待機位置に戻す（矢印７）。
【００２８】
この方法によれば、塗布を行わない期間はノズル７が待機位置に移されるので、このノズル７のレジスト液吐出口７ａから少量ずつ吐出されるレジスト液Ｒが基板Ｐ上に誤って滴下するおそれがない。しかも、上記待機位置では、レジスト液吐出口７ａに案内部材２２の上端が近接するため、レジスト液吐出口７ａからのレジスト液Ｒは案内部材２２側に付着し、その表面を伝って流下する。従って、上記レジスト液吐出口７ａ近傍にレジスト液Ｒが滞留したまま乾燥して固化することが防がれ、この固化に起因してレジスト液吐出口７ａが詰まることが未然に防がれる。
【００２９】
さらに、この装置では、上記待機位置でノズル７の下部がレジスト液溶剤容器２０内に嵌入されることにより、レジスト液吐出口７ａが容器側壁で覆われてほぼ密封状態となるので、レジスト液Ｒの乾燥自体も抑制される。特に、レジスト液溶剤容器２０内にレジスト液Ｒを貯留している場合、この容器２０内に溶剤の雰囲気が形成されるため、レジスト液Ｒの乾燥抑制効果はより顕著となる。
【００３０】
第２の実施の形態を図６に示す。ここでは、前記レジスト液溶剤容器２０が省略され、案内部材２２が単独で立設されている。この構成においても、待機位置でノズル７のレジスト液吐出口７ａを案内部材２２の上端に近接させることにより、レジスト液Ｒの乾燥、固化によるレジスト液吐出口７ａの詰まりを防止できる。ただし、この場合、案内部材２２側に付着したレジスト液Ｒがそのまま乾燥して案内部材２２の表面で固化し、これによって案内部材２２による良好なレジスト液Ｒの案内が損なわれるおそれがあるのに対し、前記図３及び図４に示したように、案内部材２２をレジスト液溶剤容器２０内に立設してこのレジスト液溶剤容器２０内に貯留されたレジスト液溶剤２４に浸漬しておけば、この案内部材２２の表面を伝って流下するレジスト液Ｒがその溶剤２４に至ることにより、この溶剤２４とレジスト液Ｒとの混合液で案内部材２２の表面が濡れる状態が保たれるので、案内部材２２上でのレジスト液Ｒの乾燥、固化を回避できる利点がある。
【００３１】
第３の実施の形態を図７に示す。ここでは、前記図２に示した案内部材２２をその長手方向に複数に分割している。このように、本発明では、案内部材が必ずしもその長手方向に連続している必要はない。
【００３２】
第４の実施の形態を図８に示す。ここでは、ノズル７及びそのレジスト液吐出口７ａの長手方向と平行に延びる基台２１上に、同方向に沿って多数の針状の案内部材２３が並設されている。この構成においても、案内部材２３同士の間隔を十分小さく設定しておけば、これら案内部材２３の上端にレジスト液吐出口７ａを近接させることにより、その詰まりを防止できる。
【００３３】
なお、先端に向かうに従って断面積が小さくなる針状の案内部材２３に代えて、十分に細い円柱もしくは角柱形状の案内部材を用いることも可能である。
【００３４】
第５の実施の形態を図９に示す。第１〜第４の実施の形態では、いずれも、案内部材は先端に向かうに従って細くなる形状を有していたのに対し、図９に示す第５の実施の形態においては、ノズル７及びそのレジスト液吐出口７ａの長手方向と平行に延びる基台２１上に同方向に延びる厚さが一定（0.3mm）の薄板形状を有するステンレス鋼製の案内部材２２ａが配置されている。このような構成によっても、レジスト液Ｒを良好に案内することができるとともに、案内部材の形状をより簡単にしてその製作を容易にすることができる。
【００３５】
第６の実施の形態を図１０に示す。ここでは、案内部材として、ノズル７及びそのレジスト液吐出口７ａの長手方向にワイヤ２５が張設されている。この構成においても、レジスト液吐出口７ａをこれと平行に延びるワイヤ２５に近接させることにより、吐出口の詰まりを防止できる。
【００３６】
ただし、この場合、ノズル７を待機位置に長く放置しておくと、レジスト液吐出口７ａとワイヤ２５とに亘る状態でレジスト液Ｒが乾燥し、固化するおそれがあるため、ワイヤ２５を用いる場合には、第７の実施の形態として図１１に示す構成にすることが、より好ましい。
【００３７】
同図において、ノズル７及びそのレジスト液吐出口７ａの長手方向に一対のプーリ２６が配置され、一方のプーリ２６の回転軸にモータ２７が連結されており、両プーリ２６に無端状のワイヤ２６が掛け渡されている。そして、両プーリ２６の下部及び下側のワイヤ直線部分がレジスト液溶剤容器２０内のレジスト液溶剤２４に浸漬されている。
【００３８】
この装置によれば、モータ２７の作動でプーリ２６を回転駆動することにより、ワイヤ２５をその長手方向に移動させて溶剤２４に浸漬される部分を変えることができるため、このような駆動を常時もしくは定期的に行うことにより、ワイヤ２５表面でのレジスト液Ｒの乾燥、固化を防ぐことができる。
【００３９】
次に、本発明にかかる洗浄手段について図１２に基づいて説明する。ここでは、前記図１〜図５に示した装置において、案内部材２２の近傍に溶剤吐出ノズル２８が設けられている。この溶剤吐出ノズル２８は、図略のレジスト液溶剤供給源に接続され、下端に溶剤吐出口２８ａを有しており、この溶剤吐出口２８ａが案内部材２２の上端に対向する位置（図の実線位置；洗浄位置）と、この洗浄位置から退避する退避位置（同図二点鎖線の位置）との間を移動可能に構成されている。
【００４０】
この構成によれば、溶剤吐出ノズル２８を上記洗浄位置に移動させた状態で、その溶剤吐出口２８ａから溶剤２４を吐出させることにより、案内部材２２の表面に付着したレジスト液Ｒを洗浄除去でき、この案内部材２２の表面状態を良好に保てる一方、上記溶剤吐出ノズル２８を退避位置に退避させた状態で、上記案内部材２２の上端に不都合なくレジスト液吐出口を近接させることができる。
【００４１】
なお、この溶剤吐出ノズル２８の吐出口２８ａは、案内部材２２の長手方向に延びる形状としてもよいし、小径の開口としてもよい。後者の場合は、溶剤吐出ノズル２８を案内部材２２の長手方向に沿って移動させるようにすればよい。
【００４２】
以上説明した各図には、一方向に延びるスリット状のレジスト液吐出口７ａが示されているが、このレジスト液吐出口が単なる小径の開口部である場合には、例えば前記図８に示した針状の案内部材２３を単一本立設するだけでもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上のように本発明は、塗布を行わない時には塗布液供給手段を上記基板の支持位置から外れた待機位置へ移動させ、この待機位置で上記塗布液供給手段の塗布液吐出口に案内部材を近接させてこの案内部材により上記塗布液吐出口から吐出される塗布液を下方に案内して流下させるようにしたものであるので、塗布終了後に塗布液吐出口から吐出された塗布液が誤って基板上に滴下するのを防ぐことができるとともに、この吐出塗布液が塗布液吐出口近傍でそのまま乾燥、固化するのも防ぐことができ、これに起因する吐出液吐出口の詰まりを未然に防止できる効果がある。
【００４４】
しかも、上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えているので、この案内部材表面を確実に良好な状態に保つことができる。
【００４５】
また、上記案内部材は上記塗布液の溶剤を貯留する塗布液溶剤容器内に設けられているので、この塗布液溶剤容器内での溶剤蒸発で溶剤雰囲気を形成することにより、塗布液の乾燥をより顕著に抑制できる。
【００４６】
さらに、上記塗布液溶剤容器内に上記案内部材を立設してこの案内部材の少なくとも下部を上記溶剤内に浸漬させたものによれば、案内部材表面で塗布液が乾燥することを防ぎ、案内部材の性能を良好に維持できる効果がある。
【００４７】
また、この塗布液溶剤容器に設けられた案内部材と上記塗布液吐出口が上記案内部材と近接する状態でこの塗布液吐出口が上記塗布液溶剤容器によって覆われるように容器形状を設定すれば、この塗布液溶剤容器にカバー部材としての役割も担わせることができ、簡素な構造で、塗布液吐出口近傍での塗布液乾燥と、案内部材表面での塗布液乾燥の双方を防止できる効果がある。
【００４８】
また、上記塗布液吐出口が一方向に延びるスリット状である場合において、塗布液吐出口の長手方向に延び、かつ、先端に向かうに従って幅寸法の小さくなる山型断面をもつ形状の案内部材を備えたり、先端に向かうに従って断面積の小さくなる複数の針状の案内部材を上記塗布液吐出口の長手方向に並設したり、あるいは上記塗布液吐出口の長手方向にワイヤを張設することにより、案内部材を塗布液吐出口に対してそのほぼ全域に亘り近接させ、塗布液吐出口近傍での塗布液の乾燥による吐出口の詰まりを防ぐことができる。そして、上記案内部材の長手方向に沿って移動しながら上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えることにより、この案内部材表面を確実に良好な状態に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるレジスト液塗布装置の全体構成図である。
【図２】上記レジスト液塗布装置に設けられたノズルの断面図である。
【図３】上記レジスト液塗布装置に設けられたレジスト液溶剤容器の断面図である。
【図４】上記レジスト液溶剤容器内に上記ノズルが嵌入された状態を示す一部断面斜視図である。
【図５】上記ノズルの移動行程を示す説明図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す斜視図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態を示す斜視図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態を示す斜視図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第６の実施の形態を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第７の実施の形態を示す斜視図である。
【図１２】本発明にかかる洗浄手段の実施の形態を示す断面図である。
【図１３】従来の塗布装置においてノズルのレジスト液吐出口近傍に吐出レジスト液が滞留している状態を示す斜視図である。
【図１４】上記状態を示す正面図である。
【符号の説明】
１ レジスト液塗布装置
３ 回転軸（基板支持手段）
４ 真空チャック（基板支持手段）
５ レジスト液供給手段（塗布液供給手段）
７ ノズル
７ａ レジスト液吐出口（塗布液吐出口）
２０ レジスト液溶剤容器（塗布液溶剤容器）
２２，２２ａ，２３ 案内部材
２４ レジスト液溶剤（塗布液溶剤）
２５ ワイヤ
２６ プーリ
２８ 溶剤吐出ノズル（溶剤吐出手段）
２８ａ 溶剤吐出口
Ｐ 基板
Ｒ レジスト液（塗布液）
Claims (8)
- 基板の表面に塗布液を供給して基板表面に塗布液の薄膜を形成するための基板への塗布液塗布装置において、基板を支持する基板支持手段と、塗布液吐出口を有し、この塗布液吐出口が上記基板支持手段に支持された基板の表面に対向する塗布位置とこの塗布位置から外れた待機位置との間で移動可能に構成された塗布液供給手段とを備え、この塗布液供給手段が上記塗布位置にある状態で上記塗布液吐出口と基板とを基板表面に沿う方向に相対移動させることにより基板表面に塗布液の薄膜が形成されるように構成するとともに、塗布液の溶剤を貯留する塗布液溶剤容器を備え、この塗布液溶剤容器内において上記待機位置における塗布液供給手段の塗布液吐出口と近接する位置に、この近接状態で上記塗布液吐出口から吐出される塗布液を下方に案内して流下させる形状の案内部材を設け、さらに、上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備え、この洗浄手段により吐出された上記溶剤が上記塗布液溶剤容器内に溜まるように構成されていることを特徴とする基板への塗布液塗布装置。
- 請求項１記載の基板への塗布液塗布装置において、上記塗布液溶剤容器内に上記案内部材を立設してこの案内部材の少なくとも下部が上記溶剤内に浸漬されるように構成したことを特徴とする基板への塗布液塗布装置。
- 請求項１または２記載の塗布液塗布装置において、上記塗布液供給手段の塗布液吐出口が上記案内部材と近接する状態でこの塗布液吐出口が上記塗布液溶剤容器によって覆われるようにこの塗布液溶剤容器の形状を設定したことを特徴とする基板への塗布液塗布装置。
- 請求項１〜３のいずれかに記載の基板への塗布液塗布装置において、上記洗浄手段は、上記塗布液の溶剤を吐出する溶剤吐出口を有し、この溶剤吐出口が上記案内部材に対向する洗浄位置とこの洗浄位置から退避する退避位置との間で移動可能に構成されていることを特徴とする基板への塗布液塗布装置。
- 基板の表面に塗布液を供給して基板表面に塗布液の薄膜を形成するための基板への塗布液塗布装置において、基板を支持する基板支持手段と、塗布液吐出口を有し、この塗布液吐出口が上記基板支持手段に支持された基板の表面に対向する塗布位置とこの塗布位置から外れた待機位置との間で移動可能に構成された塗布液供給手段とを備え、この塗布液供給手段が上記塗布位置にある状態で上記塗布液吐出口と基板とを基板表面に沿う方向に相対移動させることにより基板表面に塗布液の薄膜が形成されるように構成するとともに、上記塗布液吐出口を一方向に延びるスリット状にし、上記待機位置における塗布液供給手段の塗布液吐出口と近接する位置に、この近接状態で上記塗布液吐出口から吐出される塗布液を下方に案内して流下させる形状であって上記塗布液吐出口の長手方向に延びる形状の案内部材を設け、さらに、上記案内部材の長手方向に沿って移動しながら上記塗布液の溶剤を吐出することにより上記案内部材に付着した塗布液を洗浄除去する洗浄手段を備えたことを特徴とする基板への塗布液塗布装置。
- 請求項５記載の基板への塗布液塗布装置において、上記案内部材の形状を、塗布液吐出口の長手方向に延び、かつ、先端に向かうに従って幅寸法の小さくなる山型断面をもつ形状としたことを特徴とする基板への塗布液塗布装置。
- 請求項５記載の基板への塗布液塗布装置において、上記案内部材の形状を、塗布液吐出口の長手方向に延びる厚さが一定の薄板形状としたことを特徴とする基板への塗布液塗布装置。
- 請求項５記載の基板への塗布液塗布装置において、上記案内部材として上記塗布液吐出口の長手方向にワイヤを張設したことを特徴とする基板への塗布液塗布装置。
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