JPH0780385A

JPH0780385A - 塗布ヘッド洗浄装置及び塗布ヘッドの洗浄方法

Info

Publication number: JPH0780385A
Application number: JP5250112A
Authority: JP
Inventors: Mitsuru Hirata; 満平田; Yoshito Baba; 義人馬場
Original assignee: Hirata Corp; Shipley Far East Ltd
Current assignee: Hirata Corp; Rohm and Haas Electronic Materials KK
Priority date: 1993-09-10
Filing date: 1993-09-10
Publication date: 1995-03-28

Abstract

(57)【要約】【目的】スロット型の流体塗布装置において、塗布ヘ
ッドを取り外したり、分解したりすることなく確実に洗
浄する。【構成】塗布ヘッド５のノズル口１６を塗布ヘッド洗
浄装置３０の排出容器３１の開口３４に挿入する。つい
で、塗布ヘッド５内に溶剤４８を送り込み、塗布ヘッド
５内の塗布液４７を排出すると共に塗布ヘッド５の内部
を溶剤４８で洗浄する。つぎに、塗布ヘッド洗浄装置３
０の溶剤吐出口３７から溶剤４２を噴出させ、溶剤４２
で塗布ヘッド５外面のノズル口１６近辺を洗浄する。つ
ぎに、乾燥用ガス吹出口４４からドライエア４９を吹き
出し、塗布ヘッド５を強制的に乾燥させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は塗布ヘッド洗浄装置及び
塗布ヘッドの洗浄方法に関する。具体的にいうと、本発
明はスロット方式の流体塗布装置に装備されている塗布
ヘッドを洗浄するための装置及び方法に関する。

【０００２】

【背景技術】

〔従来技術〕集積回路や液晶用カラーフィルター等の製
造工程においては、ウエハやガラス基板等の塗布対象物
の表面にフォトレジストやフィルター用塗料、コーティ
ング塗料などの塗布液を塗布し、数ミクロン程度の均一
な膜厚の塗膜を形成する必要がある。その膜厚精度とし
ては、例えば±５％以内に納めることが要求されている
が、その要求はますます厳しいものとなりつつある。

【０００３】このような極めて薄い塗膜を形成する方法
としては、従来より一般にスピンコート法が用いられて
いる。この方法は、塗布対象物の表面に塗布液を滴下
し、スピナで塗布対象物を高速回転させることによって
塗布対象物上の塗布液を薄く延ばし、回転数等によって
決まる一定の膜厚の塗膜を得る方法である。しかしなが
ら、この塗布方法では、塗布対象物の上に滴下した塗布
液のうち塗布対象物の表面に塗布されるのは数％に過ぎ
ず、残り９０数％の余剰の塗布液は塗布対象物から排出
され、塗布液の浪費が激しいという問題があった。ま
た、塗布対象物の側面にも塗布液が付着するため、塗布
対象物の側面で剥がれた塗膜が塗布対象物の表面に付着
することがあり、剥離塗膜のために製品歩留りが低下し
たり、あるいは塗布後のクリーニング工程を必要とした
りしていた。

【０００４】〔スロット型の流体塗布装置〕そこで、塗
布液の利用効率を向上させて塗布液のコストを大幅に低
減させるための方法として、本発明の出願人はスロット
型の流体塗布装置（スロット式粘液噴出塗布装置）に着
目し、その開発と実用化を進めてきた。これらの研究成
果の一部は既に特願平５−１５４４０９号、同１５４４
１０号などとして出願している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなスロット型の流体塗布装置においては、フォトレジ
ストのような溶剤を含んだ塗布液を非常に狭いスロット
で薄い膜にして流出させるため、連続的に塗布対象物を
供給して複数枚の塗布対象物に塗布液を塗布しているう
ち、しだいに塗布ヘッド内部のスロットや塗布ヘッド外
面が塗布液で汚れ、硬化し始めた塗布液によって塗布液
の流れが阻害されたり、スロットが詰まったりし、塗膜
の品質が低下するという問題が生じた。

【０００６】このため、定期的に塗布ヘッドを洗浄する
必要が生じたが、その都度塗布ヘッドを取り外し、分解
して洗浄するのでは、分解・組立や調整の手間が掛か
り、塗布能率が極端に低下する。このため塗布ヘッドを
分解したり、取り外したりすることなく塗布工程を稼働
させながら、しかも塗布ヘッドの周囲を汚染することな
く塗布ヘッドを洗浄する方法が要求されるようになっ
た。さらに、極めて薄い膜を精密に塗布するための塗布
ヘッドであるため、塗布ヘッドの内部や外部を完全に洗
浄し塗布前の状態を回復できるような洗浄方法を必要と
した。

【０００７】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、スロット型
の流体塗布装置に用いられている塗布ヘッドを取り外し
たり、分解したりすることなく確実に洗浄する洗浄装置
と洗浄方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の塗布ヘッド洗浄
装置は、流体を一定の厚みにしてスロットから流出させ
塗布対象物に流体を塗布するための塗布ヘッドを洗浄す
る装置であって、塗布ヘッドのスロット先端部を挿入す
るための開口部を備えた容器と、該開口部に挿入された
塗布ヘッドの先端部に向けて溶剤を吐出させるための溶
剤吐出口と、溶剤によって洗浄された塗布ヘッドを乾燥
させるための気体を吹き出す乾燥用気体吹出口とを備え
たことを特徴としている。

【０００９】また、上記塗布ヘッド洗浄装置において
は、前記溶剤吐出口及び前記乾燥用気体吹出口を前記容
器に設けたことを特徴としている。

【００１０】また、本発明の塗布ヘッドの洗浄方法は、
上記洗浄装置を用いて塗布ヘッドを洗浄する方法であっ
て、前記容器の開口部に塗布ヘッドのスロット先端部を
挿入し、塗布ヘッドのスロット内に溶剤を供給してスロ
ット内の流体を前記容器内へ排出し、塗布ヘッド内部を
洗浄する工程と、前記溶剤吐出口から吐出された溶剤で
塗布ヘッドのスロット先端部を洗浄する工程と、前記乾
燥用気体吹出口から吹き出された気体によって塗布ヘッ
ドを乾燥させる工程とを備えたことを特徴としている。

【００１１】

【作用】本発明にあっては、塗布ヘッドのスロット先端
部を容器の開口部に挿入し、塗布ヘッドのスロット先端
部に向けて溶剤吐出口から溶剤を吐出させることによ
り、塗布ヘッドを取り外したり、分解したりすることな
くスロット先端部外面及びその近傍を溶剤で確実に洗浄
することができる。しかも、吐出された溶剤は容器内に
排出されるので、洗浄した溶剤によって周囲が汚染され
る恐れもなく、流体塗布装置を清潔に維持することがで
きる。また、洗浄された後の塗布ヘッドは乾燥用気体吹
出口から吹き出された気体によって直ちに乾燥させられ
るので、溶剤で濡れたままの塗布ヘッドに細かな塵やホ
コリ等が付着することもない。

【００１２】また、溶剤吐出口及び乾燥用気体吹出口を
容器に一体に設けることにより洗浄装置をコンパクトに
構成することができ、部品点数も少なくすることができ
る。

【００１３】さらに、本発明にあっては、塗布ヘッドの
スロット内に溶剤を供給することによってスロット内の
流体を排出するので、塗布ヘッドを取り外したり分解し
たりすることなく、溶剤によって流体を溶かしてスロッ
ト内を完全に洗浄することができる。また、スロットか
ら排出された流体や溶剤は容器内に排出されるので、塗
布ヘッドの周囲を汚染する恐れもない。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の一実施例によるスロット型の
流体塗布装置１を示す概略構成図（当該装置の詳細な構
成は前記特願平５−１５４４０９号、同１５４４１０号
等の明細書に示されている）である。まず、フォトレジ
スト等の塗布液を塗布するための構造とその動作につい
て説明する。２は２本の平行なレール３の上に載置され
た移動テーブルであって、上面にガラス板等の塗布対象
物４を真空吸着することができ、サーボモータ（図示せ
ず）等によってレール３に沿って一定速度で水平に走行
する。塗布ヘッド５はブリッジ６の上部に取り付けられ
ており、ブリッジ６と共に上下に昇降する。すなわち、
ブリッジ６は一対の昇降ロッド７と塗布アーム８とから
構成されており、昇降ロッド７は昇降ホルダー９によっ
て上下摺動自在に保持され、塗布アーム８は一対の昇降
ロッド７の上端間に水平に架設され、塗布ヘッド５は塗
布アーム８に取り付けられている。ブリッジ６は塗布ヘ
ッド５と共に自重によって下方へ下降するが、ブリッジ
６は昇降ロッド７の下方に設置されたエアシリンダ１０
によって受けられている。従って、塗布ヘッド５は、待
機状態ではエアシリンダ１０のロッド１１を突出させる
ことによってブリッジ６と共に上昇しており、塗布時に
はロッド１１を引っ込めることによって下降する。

【００１５】図２は上記流体塗布装置１に用いられてい
る塗布ヘッド５の構造を示す一部破断した分解斜視図で
ある。この塗布ヘッド５は一対のアプリケータ１２，１
３間に一定の厚みを有する薄いシム１４を挟み込み、ア
プリケータ１２，１３及びシム１４をボルトとナット
（図示せず）で一体に締結させたものであって、アプリ
ケータ１２，１３間にはシム１４の切り欠き部分によっ
てシム１４の板厚と等しい厚みのスロット１５が形成さ
れ、スロット１５の下端は塗布ヘッド５の下面のノズル
口１６で開口している。また、一方のアプリケータ１２
には幅方向にわたって空洞状をした流体リザーバ１７が
設けられており、流体リザーバ１７はスロット１５の上
部に連通している。しかして、中央部の塗布液注入口１
８から塗布ヘッド５内に塗布液を注入すると、塗布液は
流体リザーバ１７内に充満して広がり、さらに流体リザ
ーバ１７からスロット１５へ流れ出し、スロット１５で
一定の厚みの塗布液に整形されて下端面に突出している
ノズル口１６から外部へ送り出される。同時に、塗布液
排出口１９から流体リザーバ１７内の塗布液を一部排出
することにより流体リザーバ１７内の圧力分布を調整し
て塗膜の膜厚をより均一化することができる。なお、塗
布液注入口１８に送り込む液体は、切替バルブ２０によ
って塗布液とシンナー等の溶剤とに切替え可能となって
いる（図１）。

【００１６】２１は塗布ヘッド５の前方に設置された計
測ヘッド、２２は塗布ヘッド５の下方に設置されたリニ
アアクチュエータであって、移動テーブル２に載った塗
布対象物４が前方から送られてくると、塗布対象物４の
板厚（表面高さ）が計測ヘッド２１によって計測され、
計測ヘッド２１による板厚の計測値に基づいてリニアア
クチュエータ２２の突出量が演算され、演算量だけリニ
アアクチュエータ２２が突出する。リニアアクチュエー
タ２２が突出し終えると、エアシリンダ１０のロッド１
１が後退して塗布ヘッド５が下降し、塗布ヘッド５の下
面がリニアアクチュエータ２２の先端に当接した状態で
止まり、塗布ヘッド５及びブリッジ６がリニアアクチュ
エータ２２によって支持される。リニアアクチュエータ
２２の突出量は、塗布ヘッド５の高さが当該状態におい
て塗布対象物４の表面から一定の間隔（スロット１５か
ら流出する塗布液の膜厚よりも大きな間隔：例えば数１
０〜数１００ミクロン）をあけた高さとなるよう制御さ
れる。

【００１７】この状態で塗布ヘッド５内に塗布液を供給
すると、塗布ヘッド５のスロット１５から一定の膜厚に
整形された塗布液が流れ出し、塗布対象物４の表面に塗
布される。このとき、移動テーブル２の移動速度は塗布
ヘッド５から流出する塗布液の流出速度よりも大きいの
で、これらの速度差のために塗布ヘッド５から流出した
塗布液は薄く引き伸ばされて塗布対象物４の表面に塗布
され、塗布対象物４の表面にはスロット１５の間隙より
もさらに薄い塗膜が形成される。

【００１８】つぎに塗布ヘッド５をクリーンな状態を維
持するための構造について説明する。まず、２３は塗布
動作と塗布動作との間の塗布待機中に塗布ヘッド５のノ
ズル口１６を乾燥防止するための乾燥防止器であって、
その詳細な構造を図３に示す。この乾燥防止器２３は、
上面が開口した断面略Ｕ字状のビーム２４の両端に回動
アーム２５を設けたものであって、ビーム２４の上面開
口２６の片側端縁からは内側に向けてフランジ２７が延
出されている。このビーム２４の上面開口２６内には塗
布ヘッド５のノズル口１６が納まるようになっている。
乾燥防止器２３は回動アーム２５の基端部を支持部２８
によって回動自在に支持されており、図３に示す範囲で
回動する。また、ビーム２４内にはシンナー等の溶剤２
９が入れられており、溶剤２９が揮発して少なくなると
チューブ（図示せず）等から供給される。

【００１９】しかして、塗布ヘッド５が上昇して待機し
ている状態においては、図３に実線で示すように、ビー
ム２４は塗布ヘッド５の下面まで上昇し、塗布ヘッド５
のノズル口１６を溶剤２９の揮発蒸気雰囲気中に保持
し、ノズル口１６の乾燥を防止する。なお、ノズル口１
６がビーム２４内の溶剤２９に触れるようにし、ノズル
口１６の乾燥防止と共にノズル口１６を洗浄できるよう
にしてもよい。一方、塗布時には乾燥防止器２３が回動
し、塗布ヘッド５が下降する妨げにならない位置までビ
ーム２４が下がる。このときフランジ２７によってビー
ム２４内の溶剤２９が外へこぼれ落ちるのを防止してい
る。

【００２０】また、図４及び図５（ａ）（ｂ）（ｃ）は
塗布ヘッド洗浄装置３０の斜視図及び断面図である。排
出容器３１は、上面に溝３２を凹設された容器本体３３
の上面に開口３４を形成するようにカバー３５を取り付
けたものであって、開口３４の内周部にはノズル口１６
に合わせてテーパ３６が施されている。この排出容器３
１の溝３２内の上部には全長にわたって溶剤吐出口３７
が開口されており、図５（ａ）に示すように排出容器３
１内に形成された溶剤通路３８は溶剤吐出口３７に連通
している。この溶剤通路３８と密閉タンク３９とはフレ
キシブルチューブ４０によって接続されており、密閉タ
ンク３９内にはシンナー等の溶剤４２を溜めた容器４１
が納められている。しかして、密閉タンク３９内にエア
を送り込むと、容器４１内の溶剤４２がフレキシブルチ
ューブ４０から送り出され、さらにポンプ４３によって
送られるＮ₂ガス又はドライエアと共に溶剤通路３８を
通って溶剤吐出口３７から溶剤４２が噴出される。図５
（ｂ）に示すように、溶剤吐出口３７の下方にはほぼ一
定間隔毎に乾燥用ガス吹出口４４が開口されており、排
出容器３１内に形成されたガス通路４５からドライエア
を供給すると、ドライエアが乾燥用ガス吹出口４４から
溝３２内に吹き出される。また、図５（ｃ）に示すよう
に、排出容器３１の底面には溝３２内に排出された溶剤
４２や塗布液等を排出するための排液口４６が設けられ
ており、排液口４６から排出された溶剤や塗布液等はパ
イプ等（図示せず）から回収される。

【００２１】上記乾燥防止器２３は洗浄動作の待機中に
ノズル口１６の乾燥を防止し、塗布ヘッド洗浄装置３０
は塗布ヘッド５の汚れがひどくなった場合、例えば一定
の回数塗布を行なう度に塗布ヘッド５を洗浄したり、塗
布工程終了時などに塗布ヘッド５を洗浄するものであ
る。図６（ａ）（ｂ）（ｃ）は乾燥防止器２３や塗布ヘ
ッド洗浄装置３０を備えた流体塗布装置１の動作の一例
を示すフローチャート、図７は洗浄動作を示す断面図で
ある。

【００２２】図６（ａ）（ｂ）（ｃ）のフローチャート
に従って、流体塗布装置１の動作を説明する。流体塗布
装置１は制御部（図示せず）から塗布開始指令が出るま
で待機しており（Ｓ５１）、塗布開始指令が出ると、乾
燥防止器２３のビーム２４が下降して塗布ヘッド５の下
面から外れる（Ｓ５２）。次いで、塗布ヘッド５が下降
して上記のようにして塗布対象物４の表面に塗布液４７
を塗布し、塗布が終了すると再び塗布ヘッド５が上昇す
る（Ｓ５４）。塗布動作が終了すると、カウンターのカ
ウント数Ｎが１だけ増加させられ（Ｓ５５）、カウント
数が所定のカウント数Ｎmに達しているかどうか、判断
される（Ｓ５６）。カウント数Ｎが所定のカウント数Ｎ
mに達していない（Ｎ≠Ｎm）場合には、乾燥防止器２３
のビーム２４を上昇させて塗布ヘッド５の下面を覆い
（Ｓ５７）、元の待機状態に戻る（Ｓ５１）。

【００２３】また、塗布動作をＮm回繰り返してカウン
タのカウント数Ｎが所定のカウント数Ｎmに達した場合
（Ｎ＝Ｎmの場合）には（Ｓ５６）、塗布ヘッド５が洗
浄される。すなわち、図７（ａ）に示すように塗布ヘッ
ド５が塗布ヘッド洗浄装置３０の上に移動して塗布ヘッ
ド５のノズル口１６が排出容器３１の開口３４に挿入さ
れる（Ｓ６９）。ついで、図７（ｂ）に示すように、切
替バルブ２０が溶剤側に切り替えられて塗布ヘッド５内
にシンナー等の溶剤４８が送り込まれる（Ｓ７０）。こ
れによって、塗布ヘッド５内に残っている塗布液４７が
排出容器３１の溝３２内に排出されると共に、塗布ヘッ
ド５の内部（流体リザーバ１７やスロット１５等）が溶
剤４８によって洗浄される。溝３２内に排出された塗布
液４７や溶剤４８は排出容器３１の排液口４６から排出
される。こうして塗布ヘッド５の内部が溶剤４８によっ
て洗浄された後では、塗布ヘッド５内には溶剤４８が充
填されている。つぎに、図７（ｃ）に示すように、塗布
ヘッド洗浄装置３０の溶剤吐出口３７からノズル口１６
及びその近辺に向けて溶剤４２が噴出され（Ｓ７１）、
溶剤４２によって塗布ヘッド５外面のノズル口１６近辺
に付着している塗布液４７等が洗浄される。つぎに、図
７（ｄ）に示すように、乾燥用ガス吹出口４４からドラ
イエア４９が吹き出され（Ｓ７２）、塗布ヘッド５の外
面が強制的に乾燥させられる。洗浄後塗布ヘッド５は速
やかに乾燥させられるので、塗布ヘッド５から溶剤４２
が落滴して周囲を汚したり、空中のほこり等が塗布ヘッ
ド５に付着したりするのが防止される。こうして塗布ヘ
ッド５の洗浄が終了すると、カウンタのカウント数Ｎが
リセット（Ｎ＝０）され（Ｓ７３）、塗布ヘッド５は元
の位置に上昇し、乾燥防止器２３のビーム２４が上昇し
て塗布ヘッド５の下面を覆い（Ｓ５７）、元の待機状態
に戻る（Ｓ５１）。

【００２４】また、塗布動作（Ｓ５４）の前にはカウン
タのカウント数Ｎが調べられ（Ｓ５３）、カウント数が
Ｎ≠０の場合には上記のように直ちに塗布動作に移る
が、塗布ヘッド５の洗浄後でカウンタのカウント数がＮ
＝０の場合には、塗布ヘッド５内の溶剤４８を排出して
から塗布動作に移る。すなわち、Ｎ＝０の場合には、塗
布ヘッド５が塗布ヘッド洗浄装置３０の上に移動して塗
布ヘッド５のノズル口１６が排出容器３１の開口３４に
挿入される（Ｓ７４）。ついで、切替バルブ２０が塗布
液側に切り替えられて塗布ヘッド５内に塗布液４７が送
り込まれる（Ｓ７５）。これによって、塗布ヘッド５内
の溶剤４８が排出容器３１の溝３２内に排出され、塗布
ヘッド５の内部に塗布液４７が充満させられる。溝３２
内に排出された溶剤４８や塗布液４７は排出容器３１の
排液口４６から排出される。従って、直ちに塗布動作に
移ることができる。

【００２５】また、塗布ヘッド５は運転オフの時にも塗
布ヘッド５が洗浄された後に運転が停止される。すなわ
ち、運転オフの指令が出されると（Ｓ５８）、カウンタ
のカウント数Ｎが調べられる（Ｓ５９）。カウント数が
Ｎ＝０で塗布ヘッド５が洗浄された後の状態であれば、
そのまま運転を終了する（Ｓ６８）。それ以外の場合
（Ｎ≠０の場合）には、乾燥防止器２３のヘッドを下降
させて（Ｓ６０）塗布ヘッド５を下降させ、運転途中の
洗浄動作と同様にして塗布ヘッド５の内部及び外面を洗
浄し（Ｓ６１〜Ｓ６４）、洗浄後にカウンタをリセット
（Ｎ＝０）した後（Ｓ６５）、塗布ヘッド５を元の位置
に上昇させ、ビーム２４を上昇させてノズル口１６を覆
い（Ｓ６６）、運転を終了する（Ｓ６７）。

【００２６】このようにして塗布ヘッド５を定期的に洗
浄することにより塗布ヘッド５を良好な状態に維持する
ことができ、多数枚の塗布対象物４に塗布液４７を塗布
する場合でも均一な塗膜を得ることが可能になる。

【００２７】

【発明の効果】本発明によれば、塗布ヘッドを取り外し
たり、分解したりすることなく塗布ヘッドの外面特にス
ロット先端部を洗浄することができる。

【００２８】また、本発明によれば、塗布ヘッドを取り
外したり、分解したりすることなく塗布ヘッドの内部及
び外面を洗浄することができる。

【００２９】従って、流体塗布作業を中断することなく
流体塗布装置の稼働中において定期的に塗布ヘッドの内
部や外面を洗浄することができ、流体塗布装置の作業効
率を低下させることなく塗布ヘッドをクリーンに保つこ
とができ、流体塗布装置の塗布精度や塗膜品質を維持す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるスロット型の流体塗布
装置を示す概略構成図である。

【図２】同上の塗布ヘッドの構造を示す一部破断した分
解斜視図である。

【図３】同上の乾燥防止器を示す断面図である。

【図４】同上の塗布ヘッド洗浄装置を示す一部破断した
斜視図である。

【図５】（ａ）（ｂ）（ｃ）は同上の塗布ヘッド洗浄装
置の異なる断面を示す断面図である。

【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）は塗布ヘッドの動作フロー
チャートである。

【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は塗布ヘッドの洗浄
工程を示す断面図である。

【符号の説明】

４塗布対象物５塗布ヘッド１５スロット１６ノズル口２３乾燥防止器３０塗布ヘッド洗浄装置３１排出容器３２溝３７溶剤吐出口４２溶剤４４乾燥用ガス吹出口４６排液口４７塗布液４８溶剤４９ドライエア

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体を一定の厚みにしてスロットから流
出させ塗布対象物に流体を塗布するための塗布ヘッドを
洗浄する装置であって、塗布ヘッドのスロット先端部を挿入するための開口部を
備えた容器と、該開口部に挿入された塗布ヘッドの先端
部に向けて溶剤を吐出させるための溶剤吐出口と、溶剤
によって洗浄された塗布ヘッドを乾燥させるための気体
を吹き出す乾燥用気体吹出口とを備えた塗布ヘッド洗浄
装置。
【請求項２】前記溶剤吐出口及び前記乾燥用気体吹出
口を前記容器に設けたことを特徴とする請求項１に記載
の塗布ヘッド洗浄装置。
【請求項３】請求項１又は２に記載の塗布ヘッド洗浄
装置を用いて塗布ヘッドを洗浄する方法であって、前記容器の開口部に塗布ヘッドのスロット先端部を挿入
し、塗布ヘッドのスロット内に溶剤を供給してスロット
内の流体を前記容器内へ排出し、塗布ヘッド内部を洗浄
する工程と、前記溶剤吐出口から吐出された溶剤で塗布ヘッドのスロ
ット先端部を洗浄する工程と、前記乾燥用気体吹出口から吹き出された気体によって塗
布ヘッドを乾燥させる工程とを備えた塗布ヘッドの洗浄
方法。