JPH10113597A - ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、およびかかるノズル洗浄装置を有する薬液塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薬液を供給するノズルに析出した乾燥薬液等
固形物を、ノズル洗浄装置を用いて効率よく落とし、薬
液塗布装置において薬液塗布基板に、塗布ムラ、塗膜の
膜厚不均一を無くすることを課題とする。 【解決手段】 ノズル洗浄装置において、洗浄用ノズル
９を設け、これを薬液塗布装置が有する薬液供給ノズル
１３にノズル１３の吐出口から挿入する。そして、洗浄
用ノズル９から溶剤を吐出させ、薬液供給ノズル１３に
付着した固体化した乾燥薬液を溶解させ、薬液供給ノズ
ル１３を洗浄する。そして、かかるノズル洗浄装置を有
することにより、塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一の無い薬
液塗布装置を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置等の製
造に用いられる薬液塗布装置に備えられたノズル洗浄装
置、ノズル洗浄方法、およびかかるノズル洗浄装置を有
する薬液塗布装置に関する。

【０００２】半導体装置等の製造において、ウエハー等
の基板にレジスト等の薬液の塗布を行う場合、塗布ムラ
を無くし、塗膜が均一になるように塗布をすることが求
められる。そのため、塗膜の均一性の高いスピンコータ
が、薬液塗布装置として広く用いられている。

【０００３】この薬液塗布装置において、薬液を滴下す
る薬液供給ノズルは常に綺麗に保つ必要があり、薬液供
給ノズルの先端部に薬液が付着したままある程度時間が
経過すると、ノズル先端部に残留した薬液が凝固してし
まい、付着する。そして、薬液供給ノズルの先端部に固
体化した薬液が残っている場合、滴下された薬液が、真
下に滴下されず、塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一といった
問題が生じてしまう。

【０００４】

【従来の技術】図９、図１０を用いて、従来の技術を説
明する。なお、図９（Ａ）は従来の薬液塗布装置の平面
図を、図９（Ｂ）はドレイン槽とノズルアームの拡大斜
視図を示す。また、図１０は、従来の薬液塗布装置のス
ピンコータ部分の縦断面図を示す。

【０００５】薬液を供給するノズル３０は、回動可能な
ノズルアーム３５に取り付けられており、この回動可能
なノズルアーム３５はノズル３０を、薬液を塗布する基
板３４上の位置と、ドレイン槽３１上の位置との間で、
移動するようにしてある。薬液を供給するノズル３０
は、はじめにドレイン槽３１上に設けられた対応する穴
３２にノズル３０の先端を差し込む形で位置している。

【０００６】そして、ノズル３０は、ノズルアーム３５
を動かすことにより、このドレイン槽３１上の初期の位
置から、チャック３３に吸着された基板３４上に移動す
る。次に、薬液をノズル３０から基板３４の中心に向か
って真下に一定量滴下することによって、基板３４上に
薬液を供給する。その後、スピンモータ３６によって、
基板３４を回転させ、不要な薬液を飛散させ、塗布ムラ
無く、塗膜が均一になるように薬液を塗布する。飛散さ
れた不要な薬液はレジストカップ３７に捕捉され、回収
される。そして、ノズル３０は薬液滴下後、初めに位置
していたドレイン槽３１上に戻る。

【０００７】以上の動作を各基板毎に繰り返して行く
が、基板への塗布を連続して行わず、ある程度の時間薬
液を供給しなかった場合、ノズル３０の先端部分に残留
しているレジスト等の薬液は、長時間外気に接すること
になる。その結果、薬液の一部が乾燥し、ノズル３０の
先端部で凝固し、吐出口付近に付着してしまう。

【０００８】薬液を供給するノズル３０先端部に固体化
した乾燥薬液が残っている場合、レジスト等の薬液が、
ノズル３０の真下に滴下されないので、塗布ムラ、塗膜
の膜厚の不均一といった問題を生じる。また、吐出口付
近に付着した固体化した乾燥薬液が、何らかの理由によ
り剥離し、薬液に混入し、そのまま滴下されてしまうこ
とがある。その場合同様に、塗布ムラ、塗膜の膜厚の不
均一といった問題を生じる。

【０００９】このような問題は、例えば薬液がレジスト
で、基板３４がウエハであり、そのレジストが塗布され
たウエハを半導体製造に用いる場合に、その後の製造工
程において、パターン寸法の変化等を引起し、製品の歩
留り低下や品質低下に結びつく。

【００１０】このような問題に対し、従来は以下の方法
でその解決が試みられていた。一つはダミーディスペン
スを行う方法である。ダミーディスペンスとは、ある一
定時間薬液の滴下を行わない場合、ドレイン槽３１上の
初期の位置に置かれた薬液供給ノズル３０において、薬
液が凝固する時間より短い時間間隔で薬液を吐出させる
という技術である。この方法により、確かに上記問題は
改善が見られるが、十分とはいえず、長時間の薬液塗布
装置の使用により、やはり吐出口付近に固形物が析出
し、付着してしまう。

【００１１】また、その程度を軽微なものとするには、
ダミーディスペンスを行なう間隔を短くし、回数を多く
することが必要であるが、薬液を無駄に使用することに
なり、半導体装置製造におけるコスト上昇の要因となっ
てしまう。また、サックバック法も行われている。図１
１にはサックバックを行った後の薬液供給ノズル３９の
縦断面を示している。図１１に示すように、サックバッ
ク法とは、薬液３８を供給後、薬液供給ノズル３９の内
部を減圧し、吐出口４０にあるサックバック前の薬液面
４１をノズル３９の内側方向に引き上げ、薬液面４２を
ノズル３９の中に形成する技術である。この方法によっ
て、確かに吐出口付近の外壁に付着する固形物は減少す
るが、内壁に付着する固形物４３の析出は抑止できな
い。

【００１２】この方法は、上記ダミーディスペンスを行
う方法と併用されて用いられる場合が多いが、２つの方
法を併用して用いても、その効果は不十分である。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の薬
液塗布装置は、塗膜の均一性が高いという点で優れてい
るが、その薬液供給ノズルにおいて生じる問題から、そ
の特性が十分に発揮できない場合がある。つまり、薬液
塗布装置の有する薬液供給ノズルにおいて起きる薬液の
乾燥と固体化、吐出口への固体化した薬液の付着を、必
要に応じて、簡便に取り除くことを可能とするという課
題を有している。

【００１４】このような課題に対し、前記ノズルに付着
した固体化した薬液を、ダミーディスペンス法のように
固体化していない同じ薬液で押し出すなどして物理的に
取り除くのではなく、固体化した薬液を良く溶解する溶
剤を洗浄液とし、薬液供給ノズルの先端部分を洗浄する
方法が考えられる。つまり、具体的には薬液供給ノズル
の外部に、溶剤を供給するノズル等の手段を設け、これ
を洗浄用ノズルとし、前記洗浄用ノズルから、固体化し
た乾燥薬液を良く溶解する溶剤を、前記薬液供給ノズル
に向かってスプレーする方法が考えられる。

【００１５】図１２はこの溶剤をスプレーする方法の概
略を表す図であるが、通常は図１２中の矢印が表すスプ
レー方向４４から薬液供給ノズル先端部４５に、溶剤を
スプレーし洗浄する。その結果、確かに薬液供給ノズル
の先端部４５において、溶剤が到達し触れることが可能
な部位に付着した固体化した乾燥薬液は効果的に取り除
かれる。しかし、図１３に洗浄後のノズル先端の断面図
を示すように、固体化した乾燥薬液のうち、薬液供給ノ
ズル４６の内壁に付着した乾燥薬液４７を十分に取り除
くことができない。

【００１６】次に、図１４に示すように、薬液を良く溶
解する溶剤を用い、そのスプレー方向４８を、薬液供給
ノズル４９の吐出口５０の下側から吐出口５０に向かう
方向４８とすることも考えられたが、結果は、前記溶剤
の吐出口５０内部への到達が十分でなかった。従って、
図１３に示すように、固体化した乾燥薬液４７が、洗浄
後も付着していた内壁にそのまま残り、洗浄効果は十分
とはならなかった。

【００１７】そこで、本発明の目的は、薬液を滴下する
薬液供給ノズルを常に綺麗に保つノズル洗浄装置、ノズ
ル洗浄方法、およびかかるノズル洗浄装置を有し、薬液
を滴下する薬液供給ノズルが常に綺麗に保たれた薬液塗
布装置を提供することである。

【００１８】本発明の他の目的は、洗浄用ノズルを前記
被洗浄ノズル内に吐出口から挿入した状態で、前記洗浄
用ノズルに洗浄液を供給し、前記被洗浄ノズルを洗浄し
て、薬液を供給するノズルの先端に付着した、固体化し
た乾燥薬液を、効率よく十分に落とすノズル洗浄装置、
ノズル洗浄方法、およびかかるノズル洗浄装置を有する
ことにより、塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一の無い薬液塗
布装置を提供することである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明によ
れば、被洗浄ノズルに洗浄液を供給して、前記被洗浄ノ
ズルを洗浄するノズル洗浄装置において、先端部に前記
洗浄液の供給口が形成されると共に、前記被洗浄ノズル
の吐出口内に挿入可能な形状とされた洗浄用ノズルと、
前記洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズル内に吐出口から挿
入した状態で、前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給する機
構とを有することを特徴とするノズル洗浄装置が提供さ
れる。

【００２０】請求項２記載の発明によれば、前記洗浄用
ノズルは、前記供給口の外径が最も細く、前記供給口か
ら離れるに従って漸次外径が太くなる形状を有すること
を特徴とする請求項１記載のノズル洗浄装置が提供され
る。請求項３記載の発明によれば、前記洗浄用ノズルの
先端部の最も太い部位の外径（Ｄ１１）が、前記被洗浄
ノズルの先端部の内径（Ｄ９）より大きい（Ｄ１１＞Ｄ
９）ことを特徴とする請求項２記載のノズル洗浄装置が
提供される。

【００２１】請求項４記載の発明によれば、前記洗浄用
ノズルの先端部が、排出口と前記被洗浄ノズルの差し込
み口とを有したカバーで覆われていることを特徴とする
請求項１乃至３のいずれか１項記載のノズル洗浄装置が
提供される。請求項５記載の発明によれば、被洗浄ノズ
ルに洗浄液を供給して、前記被洗浄ノズルを洗浄するノ
ズル洗浄方法において、洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズ
ル内に吐出口から挿入した状態で、前記洗浄用ノズルに
洗浄液を供給することを特徴とするノズル洗浄方法が提
供される。

【００２２】請求項６記載の発明によれば、薬液を塗布
する基板を回転させるスピンコータ部と、前記スピンコ
ータ部の周辺に備えられた、廃薬液を回収するドレイン
槽と、前記基板に薬液を滴下する薬液供給ノズルを先端
に備え、前記基板上と前記ドレイン槽上に、前記薬液供
給ノズルが設置できるように回動可能なノズルアーム
と、前記薬液供給ノズルに洗浄液を供給して、前記薬液
供給ノズルを洗浄するノズル洗浄装置とを備える薬液塗
布装置において、前記ノズル洗浄装置が、洗浄用ノズル
を備え、前記洗浄用ノズルを前記薬液供給ノズル内に吐
出口から挿入した状態で、前記洗浄用ノズルに洗浄液を
供給する機構を有することを特徴とする薬液塗布装置が
提供される。

【００２３】請求項７記載の発明によれば、前記薬液供
給ノズルの先端が高い撥水性、撥油性を有する材料から
なることを特徴とする請求項６記載の薬液塗布装置が提
供される。本発明によれば、薬液塗布装置におけるノズ
ル洗浄装置において、薬液塗布装置の有する薬液供給ノ
ズルの吐出口に付着した固体化した乾燥薬液を、溶剤に
より溶解して取り除く際に、前記溶剤を、従来の技術に
比べ、前記固体化した乾燥薬液に対し直接に、そして強
く作用させるようにすることができる。つまり、前記溶
剤が前記固体化した薬液に十分到達し、溶解等の作用を
十分に行うことができる。

【００２４】請求項１および５記載の発明によれば、ノ
ズル洗浄装置において、洗浄用ノズルを設け、この洗浄
用ノズルを、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルを洗
浄する際に、前記薬液供給ノズルに挿入した状態にす
る。この時、挿入するべき挿入口を前記薬液供給ノズル
に別個に設けることなく、前記薬液供給ノズルの吐出口
から前記洗浄用ノズルを挿入する。したがって、簡便に
洗浄用ノズルを、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズル
に挿入した状態にすることができる。

【００２５】そして、この挿入された前記洗浄用ノズル
に洗浄液となる溶剤を供給し、前記洗浄用ノズルから前
記溶剤を吐出させることによって、前記薬液供給ノズル
に付着した固体化した乾燥薬液を、前記溶剤に溶解さ
せ、前記薬液供給ノズルの薬液を滴下する吐出口から排
出することにより取り除く。

【００２６】このとき、前記薬液供給ノズルは、従来技
術では外側から洗浄されるのに対し、前記薬液供給ノズ
ルの内部から、固体化した乾燥薬液をよく溶かす溶剤に
よって、洗浄されることになる。したがって、前記ノズ
ル内部に付着した固体化した乾燥薬液は、従来技術と比
べ、はるかに効率よく取り除かれることになる。

【００２７】請求項２記載の発明によれば、ノズル洗浄
装置において、洗浄用ノズルは、その先端部の最先端が
最も細くなっている。従って、洗浄用ノズルの薬液供給
ノズルへの挿入は、確実なものとでき、薬液塗布装置が
有する薬液供給ノズルの洗浄が容易となる。

【００２８】請求項３記載の発明によれば、ノズル洗浄
装置において、洗浄用ノズルの先端部の最も太い部位の
外径が、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルの内径よ
り大きい。したがって、洗浄用ノズルを、薬液塗布装置
が有する薬液供給ノズルに、薬液供給ノズルの吐出口か
ら挿入する場合、前記内径と前記洗浄用ノズルの先端部
における同一外径を有する部位まで、洗浄用ノズルの先
端部は挿入できることになる。従って、最も深く前記洗
浄用ノズルを前記薬液供給ノズルに挿入した場合、洗浄
用ノズルと薬液供給ノズルの吐出口内壁の間には隙間は
殆ど無い。

【００２９】そして、前記洗浄用ノズルを薬液供給ノズ
ルから若干引き抜く方向でそれぞれの位置を設定する
と、前記洗浄用ノズルと前記薬液供給ノズルの吐出口内
壁の間に隙間が形成される。そして、溶剤を前記洗浄用
ノズルに供給した場合、前記隙間から溶剤は流れ出る。

【００３０】この時、前記洗浄用ノズルと前記薬液供給
ノズルの吐出口内壁の間の隙間は非常に狭くなる。従っ
て、溶剤を前記洗浄用ノズルに供給した場合、前記薬液
供給ノズルの吐出口の内壁付近を前記溶媒が通る際、前
記溶剤の流速はとても速くなる。

【００３１】また、薬液供給ノズルの吐出口の内壁付近
は、固体化した乾燥薬液の付着物が最も多い部分であ
る。よって、最も洗浄を必要とする部分を溶剤が勢い良
く流れ、その結果、勢い良く洗浄できることになる。従
って、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルの効率良い
洗浄が可能となる。

【００３２】請求項４記載の発明によれば、薬液塗布装
置が有する薬液供給ノズルを、洗浄用ノズルで洗浄する
際、必然的に排出される、薬液、固体化した乾燥薬液の
溶液、溶剤等を効率よく回収できる。また、薬液塗布装
置が有する薬液供給ノズルを洗浄する際、薬液、固体化
した乾燥薬液の溶液、溶剤等が飛びはねるなどした場
合、設置されたカバーによって、飛びはねを抑え、前記
薬液供給ノズルや他の機器部分に付着することを防止で
きる。薬液供給ノズルに付着物がある場合、薬液塗布工
程で前記付着物が剥離し、塗布する薬液に混入するなど
して、塗布ムラの原因となる場合がある。従って、薬液
塗布工程での塗布ムラを防止できる。

【００３３】請求項６記載の発明によれば、薬液塗布装
置が有するノズル洗浄装置部に備えられたノズル洗浄装
置において、洗浄用ノズルを設け、この洗浄用ノズル
を、薬液供給ノズルを洗浄する際に、前記薬液供給ノズ
ルに前記薬液供給ノズルの吐出口から挿入した状態にす
る。

【００３４】そして、この挿入された前記洗浄用ノズル
に洗浄液となる溶剤を供給し、前記洗浄用ノズルから前
記溶剤を吐出させることによって、前記薬液供給ノズル
に付着した固体化した乾燥薬液を、前記溶剤に溶解さ
せ、前記薬液供給ノズルの薬液を滴下する吐出口から排
出することにより取り除く。

【００３５】このとき、前記薬液供給ノズルは、従来技
術では外側から洗浄されるのに対し、前記薬液供給ノズ
ルの内部から、固体化した乾燥薬液をよく溶かす溶剤に
よって、洗浄されることになる。したがって、前記ノズ
ル内部に付着した固体化した乾燥薬液は、従来技術と比
べ、はるかに効率よく取り除かれることになる。

【００３６】こうした、薬液を滴下する薬液供給ノズル
を常に綺麗に保つノズル洗浄装置を有することにより、
薬液を滴下する薬液供給ノズルが常に綺麗に保たれた薬
液塗布装置を提供することができる。従って、薬液供給
ノズルの吐出口付近に付着した固体化した乾燥薬液が、
何らかの理由により剥離し、薬液に混入し、そのまま滴
下されてしまうことは防止され、塗布ムラ、塗膜の膜厚
不均一の無い薬液塗布装置を提供することができる。

【００３７】請求項７記載の発明によれば、薬液塗布装
置の薬液供給ノズルの先端が高い撥水性、撥油性を有す
る材料、例えばフッ化樹脂から作られている。従って、
前記薬液供給ノズルの先端は高い撥水性、撥油性を有し
ている。薬液供給ノズルを洗浄する場合、このノズルの
吐出口から洗浄ノズルを挿入し、溶剤を供給して洗浄
し、前記洗浄ノズルを引き抜いた直後、前記薬液供給ノ
ズルの先端に、溶剤が少し残る。しかし、一般に溶剤は
粘度が低く、溶剤は前記ノズルの先端にそのまま残るこ
とができず、前記薬液供給ノズルの先端からその後自然
と流れ出てしまう。

【００３８】しかし、薬液は一般に高い粘度を有してお
り、高い撥水性、撥油性を有する薬液供給ノズルの先端
では、その高い撥水性、撥油性のため流れが阻害され、
せき止められたようになり、自然と前記ノズルの吐出口
から流れ出ることはない。よって、洗浄後の薬液供給ノ
ズル内の薬液面は、供給された溶剤が到達することによ
り洗浄時に形成された溶剤と薬液の界面の位置となり、
結果的に前記ノズルの吐出口から数ｍｍ程度内部に引き
込まれた形で位置することになる。

【００３９】したがって、従来技術のサックバック法を
適用したのと同様の効果が現れ、薬液供給ノズルの吐出
口付近の外壁に付着する固形物を減らすことができ、洗
浄の容易な薬液供給ノズルを提供できる。薬液供給ノズ
ルの先端を高い撥水性、撥油性を有する材料とする本発
明は、本発明のノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法の効果
をさらに高いものとし、その結果、塗布ムラ、塗膜の膜
厚不均一の無い薬液塗布装置を提供することができる。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図を用い
て説明する。

【００４１】

【実施例１】図１は本発明によるノズル洗浄装置の一実
施例の構成を示す斜視図である。溶剤が供給される洗浄
用ノズル１の先端に、先端部２を囲むようにしてカバー
３が設けられている。このカバー３には洗浄時の薬液、
固体化された乾燥薬液の溶液、溶剤等の廃液を排出する
排出口４と薬液塗布装置の薬液供給ノズル５の差し込み
口６が設けられている。差し込み口６の口径（Ｄ１）は
薬液供給ノズル５の外径（Ｄ２）である２．５ｍｍより
大きく（Ｄ１＞Ｄ２）なるように設定されている。ま
た、排出口４には、廃液をカバー３の外に導く廃液管７
が設けられている。

【００４２】図２は前記カバー３内部にある洗浄用ノズ
ルの先端部２と薬液供給ノズル５の先端を示す図であ
る。先端部２は円柱状の管からなっており、薬液供給ノ
ズル５に先端部２を挿入して、洗浄用ノズル１を使用す
る必要から、先端部２の外径（Ｄ３）は薬液供給ノズル
５の内径（Ｄ４）より小さい（Ｄ３＜Ｄ４）という関係
を有している。

【００４３】本実施例においては、薬液塗布装置の薬液
供給ノズル５の内径（Ｄ４）が１．８ｍｍであることか
ら、外径（Ｄ３）は１．５ｍｍに設定されており、内径
（Ｄ５）は１ｍｍに設定されている。図３は洗浄用ノズ
ル１が薬液供給ノズル５に挿入され、薬液供給ノズルが
洗浄される様子を示している。洗浄用ノズル１の先端部
２を５ｍｍから１０ｍｍ薬液塗布装置の薬液供給するノ
ズル５に挿入し、溶剤を供給する。供給された溶剤は、
先端部より、薬液供給ノズル５の内部に入り、図３中の
矢印に示される溶剤の流れ８を形成し、先端部と薬液供
給ノズル５の隙間を流れ、薬液供給ノズル５を洗浄す
る。

【００４４】このノズル洗浄装置を用いて洗浄すること
により、従来取り除くことが困難であった、薬液供給ノ
ズル５の吐出口付近の内壁についた乾燥レジスト液を容
易に取り除くことができ、薬液供給ノズル５の洗浄を非
常に効率良く行うことができた。

【００４５】また、設けられたカバー３の効果により、
薬液供給ノズル５先端で生じるレジスト液の飛びはねに
より、この装置の他の部位に飛びはねが付着することは
無かった。

【００４６】

【実施例２】図４は本発明によるノズル洗浄装置の他の
実施例の構成を示す斜視図である。溶剤が供給される洗
浄用ノズル９の先端に、先端部１０を囲むようにしてカ
バー１１が設けられている。このカバー１１には洗浄時
の薬液、固体化された乾燥薬液の溶液、溶剤等の廃液を
排出する排出口１２と薬液塗布装置の薬液供給ノズル１
３の差し込み口１４が設けられている。差し込み口１４
の口径（Ｄ６）は薬液供給ノズル１３の外径（Ｄ７）で
ある２．５ｍｍより大きく（Ｄ６＞Ｄ７）なるように設
定されている。また、排出口１２には、廃液をカバーの
外に導く廃液管１５が設けられている。

【００４７】図５はカバー１１内部にある洗浄用ノズル
９の先端部１０を示す図である。洗浄用ノズル９の先端
部１０の供給口１６付近は円柱状の管からなっており、
薬液供給ノズル１３に洗浄用ノズル９の先端部１０を挿
入して洗浄用ノズル９を使用する必要から、洗浄用ノズ
ル９の先端部１０の供給口１６の外径（Ｄ８）は薬液供
給ノズル１３の内径（Ｄ９）より小さい（Ｄ８＜Ｄ９）
という特徴を有している。

【００４８】本実施例においては、薬液塗布装置の薬液
供給ノズル１３の内径（Ｄ９）が１．８ｍｍであり、洗
浄用ノズル９の先端部１０の吐出口１６の外径（Ｄ８）
は１．５ｍｍに設定されている。また、洗浄用ノズル９
の先端部１０は，供給口１６から７ｍｍの長さで外径
（Ｄ８）１．５ｍｍ，内径（Ｄ１０）１ｍｍの円柱状の
管構造が続いた後、徐々にその外径が太くなり、洗浄ノ
ズルを形成する管の太さである外径（Ｄ１１）５ｍｍに
なるまで太くなる管構造１８からなっている。この時、
管構造１８の最も太い部位の外径（Ｄ１１）は、薬液供
給ノズル１３の内径（Ｄ９）より大きい（Ｄ１１＞Ｄ
９）という関係を有している。

【００４９】本実施例においては、管構造１８中、徐々
に太くなる部分が１３ｍｍの長さを有しており、前記外
径（Ｄ１１）は、洗浄ノズル９を形成する管の太さであ
る外径５ｍｍに設定されている。図６は洗浄用ノズル９
が薬液供給ノズル１３に挿入され、薬液供給ノズル１３
が洗浄される様子を示している。洗浄用ノズル９は、先
端部１０と薬液供給ノズル１３の吐出口内壁との間に隙
間ができるように、５ｍｍから１０ｍｍの長さで薬液供
給ノズル１３に挿入され、その状態において、洗浄用ノ
ズル９に溶剤が供給される。

【００５０】供給された溶剤は、先端部１０より、薬液
供給ノズル１３の内部に入り、図６中の矢印に示される
溶剤の流れ８を形成し、洗浄用ノズル９の先端部１０と
薬液供給ノズル１３の隙間を流れ、その結果、薬液供給
ノズル１３を洗浄する。この時、先端部１０と、薬液供
給ノズル１３の吐出口内壁との間の隙間は、先端部１０
の最も太い部位の外径（Ｄ１１）が、薬液供給ノズル１
３の内径（Ｄ９）より大きい（Ｄ１１＞Ｄ９）ため、非
常に狭くなっている。従って、溶剤を洗浄用ノズル９に
供給した場合、前記溶剤は、薬液供給ノズル１３の先端
の吐出口の内壁付近を通る際、とても速く流れることに
なる。

【００５１】このノズル洗浄装置を用いて洗浄すること
により、従来取り除くことが困難であった、薬液供給ノ
ズル１３の吐出口付近の内壁についた乾燥レジスト液を
容易に取り除くことができ、薬液供給ノズル１３の洗浄
を非常に効率良く行うことができた。

【００５２】そして、本実施例のノズル洗浄装置は、洗
浄用ノズル９の先端部１０が，図５に示すように、供給
口１６の外径（Ｄ８）より徐々にその外径が太くなり、
洗浄ノズル９を形成する管の太さである外径（Ｄ１１）
５ｍｍになるまで太くなる管構造１８を有し、この管構
造１８の最も太い部位の外径（Ｄ１１）は、薬液供給ノ
ズル１３の内径（Ｄ９）より大きい（Ｄ１１＞Ｄ９）と
いう特徴を有している。

【００５３】従って、実施例１に記載された実施例よ
り、洗浄用の溶剤を、薬液供給ノズル１３の先端の吐出
口の内壁付近を通る際、勢い良く流すことが容易にでき
る。よって、薬液供給ノズルの洗浄効果は実施例１に記
載された実施例の洗浄効果より高かった。

【００５４】また、設けられたカバー１１の効果によ
り、薬液供給ノズル１３先端で生じるレジスト液の飛び
はねにより、この装置の他の部位に飛びはねが付着する
ことは無かった。

【００５５】

【実施例３】図７、図８は本発明による薬液塗布装置の
実施例の概略構成を示す図であり、図７は実施例３の平
面図を、図８は実施例３におけるノズル洗浄装置部の拡
大斜視図である。塗布処理を行うレジストカップ１７周
辺にノズルアーム１９、ドレイン槽２０、および実施例
２のノズル洗浄装置３機からなる洗浄装置部分２１が設
けられている。ノズルアーム１９の先端部分にはテフロ
ンからなるフッ化樹脂製の先端を有する薬液供給ノズル
１３が３機設けられている。この薬液供給ノズル１３は
上下に動かすことができる。ノズルアーム１９は薬液供
給ノズル１３が設けられた側と反対の端を支点として可
動であり、図７に示すように、ドレイン槽２０上、ウエ
ハ２２の中心の真上、または洗浄装置部２１上に薬液供
給ノズル１３が置かれるように、３個所の位置をとるこ
とができる。

【００５６】まず、ノズルアーム１９はウエハ２２の中
心の真上に薬液供給ノズル１３が位置するように置かれ
ている。そして、薬液供給ノズル１３からウエハ２２上
にレジストを滴下後、図１０の従来装置同様、ウエハ２
２をウエハ下に設けられたスピンモータにより回転さ
せ、塗布処理を行う。この時ウエハ２２上の余分なレジ
ストは、ウエハ２２から飛散し、レジストカップ１７に
集められる。

【００５７】塗布処理後、ノズル洗浄装置部２１上に薬
液供給ノズル１３が置かれるようにノズルアーム１９を
移動する。そして、薬液供給ノズル１３を、ノズル洗浄
装置２４の洗浄用ノズル２３の先端部２５が５ｍｍから
１０ｍｍ挿入されるように下降させる。図８は、実施例
２のノズル洗浄装置２４を３機結合してなる本実施例の
洗浄装置部２１において、洗浄用ノズル２３が薬液供給
ノズル１３に挿入されたときの様子を示している。ノズ
ル洗浄装置２４の洗浄用ノズル２３の先端部２５が薬液
供給ノズル１３に挿入された状態で、洗浄用ノズル２３
に溶剤が供給される。供給された溶剤は、洗浄用ノズル
２３の吐出口２６を出て、薬液供給ノズル１３内部に入
り込む。そこで、薬液供給ノズル１３の内壁を洗浄し、
固体化したレジストが付着していればそれを溶解し、取
り除く。さらに洗浄用ノズル２３と薬液供給ノズル１３
の隙間から、薬液供給ノズル１３の外に流れ出る際に、
薬液供給ノズル１３の吐出口２７付近の外壁を洗浄し
て、薬液供給ノズル１３の外に流れ出ていく。その洗浄
に用いられた溶剤は、ノズル洗浄装置２４に設けられた
カバー２８の底にたまり、カバー２８の底に設けられた
排出口２９を通って、ノズル洗浄装置２４の外に排出さ
れる。

【００５８】薬液供給ノズル１３が洗浄された後、薬液
供給ノズル１３を上昇させ、ノズルアーム１９をドレイ
ン槽２０上に移動させ、薬液供給ノズル１３を再び下降
させ、ドレイン槽２０中に収納する。必要な場合、この
位置で、ダミーディスペンスを行う。

【００５９】この薬液塗布装置を使用することにより、
薬液供給ノズル１３で薬液の乾燥、固体化が起こること
を抑止し、また、薬液の乾燥、固体化によって、析出し
た固形物を、効率よく十分に落とすことができる。従っ
て、滴下され、ウエハ２２上に供給されるレジストへの
固体化したレジストの混入や、固体化したレジストの影
響で、薬液供給ノズル１３の真下にレジストの滴下がで
きないという問題が起きず、ウエハ２２へのレジスト塗
布が塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一の無しに行うことがで
きた。

【００６０】

【発明の効果】請求項１および５記載の発明によれば、
ノズル洗浄装置において、薬液塗布装置が有する薬液供
給ノズルに付着した固体化した乾燥薬液を、前記薬液供
給ノズルの吐出口から挿入した洗浄用ノズルより溶剤を
吐出させることによって、前記薬液供給ノズルに付着し
た固形化された乾燥薬液を前記溶剤に溶解させ、前記吐
出口から排出することにより効率よく取り除くことがで
きる。

【００６１】請求項２記載の発明によれば、ノズル洗浄
装置において、洗浄用のノズルの薬液供給ノズルへの挿
入は確実なものとでき、薬液塗布装置が有する薬液供給
ノズルの洗浄が容易となる。請求項３記載の発明によれ
ば、ノズル洗浄装置において、薬液塗布装置が有する薬
液供給ノズルの最も洗浄を必要とする吐出口の内壁付近
部分を、挿入された洗浄用ノズルから供給された溶剤に
より、最も勢い良く洗浄できることになる。従って、薬
液塗布装置が有する薬液供給ノズルの効率良い洗浄が可
能となる。

【００６２】請求項４記載の発明によれば、薬液塗布装
置が有する薬液供給ノズルを、洗浄用ノズルで洗浄する
際に排出される、薬液、固体化された乾燥薬液の溶液、
溶剤等を効率よく回収できる。また、洗浄する際に生じ
る飛びはねを抑え、前記薬液供給ノズルに薬液、固体化
された乾燥薬液の溶液、溶剤等が付着することを防止で
きる。

【００６３】請求項６記載の発明によれば、塗布ムラ、
塗膜の膜厚不均一の無い薬液塗布装置を提供することが
できる。請求項７記載の発明によれば、塗布ムラ、塗膜
の膜厚不均一の無い薬液塗布装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の斜視図である。

【図２】実施例１の洗浄用ノズルの先端部と薬液供給ノ
ズルの拡大斜視図である。

【図３】洗浄用ノズルが薬液供給ノズルに挿入されたと
きの実施例１の斜視図である。

【図４】実施例２の斜視図である。

【図５】実施例２の洗浄用ノズルの先端部と薬液供給ノ
ズルの拡大斜視図である。

【図６】洗浄用ノズルが薬液供給ノズルに挿入されたと
きの実施例２の斜視図である。

【図７】実施例３の平面図である。

【図８】実施例３におけるノズル洗浄装置部の拡大斜視
図である。

【図９】従来の薬液塗布装置の平面図及びドレイン槽と
ノズルアームの拡大斜視図である。

【図１０】スピンコータ部分の縦断面図である。

【図１１】サックバック後の薬液供給ノズルの縦断面図
である。

【図１２】溶剤をスプレーする方法の概略を表す図であ
る。

【図１３】洗浄後の薬液供給ノズルの縦断面図である。

【図１４】吐出口に向かう方向にスプレーする方法の概
略を表す図である。

【符号の説明】

１，９ 洗浄用ノズル ２，１０ 先端部 ３，１１ カバー ４，１２ 排出口 ５，１３ 薬液供給ノズル ６，１４ 差し込み口 ７，１５ 廃液管 ８ 溶剤の流れ １６，２６ 供給口 １７ レジストカップ １８ 管構造部 １９ ノズルアーム ２０ ドレイン槽 ２１ ノズル洗浄装置部 ２２ ウエハ ２３ 洗浄用ノズル ２４ ノズル洗浄装置 ２５ 先端部 ２６ 吐出口 ２７ 薬液供給ノズル吐出口 ２８ カバー ２９ 排出口 Ｄ１ 差し込み口６の口径 Ｄ２ 薬液供給ノズル５の外径 Ｄ３ 先端部２の外径 Ｄ４ 薬液供給ノズル５の内径 Ｄ５ 先端部２の内径 Ｄ６ 差し込み口１４の口径 Ｄ７ 薬液供給ノズル１３の外径 Ｄ８ 供給口１６の外径 Ｄ９ 薬液供給ノズル１３の内径 Ｄ１０ 管の内径 Ｄ１１ 管の外径

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被洗浄ノズルに洗浄液を供給して、前記
   被洗浄ノズルを洗浄するノズル洗浄装置において、 先端部に前記洗浄液の供給口が形成されると共に、前記
   被洗浄ノズルの吐出口内に挿入可能な形状とされた洗浄
   用ノズルと、 前記洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズル内に吐出口から挿
   入した状態で、前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給する機
   構とを有することを特徴とするノズル洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記洗浄用ノズルは、前記供給口の外径
   が最も細く、前記供給口から離れるに従って漸次外径が
   太くなる形状を有することを特徴とする請求項１記載の
   ノズル洗浄装置。
3. 【請求項３】 前記洗浄用ノズルの先端部の最も太い部
   位の外径（Ｄ１１）が、前記被洗浄ノズルの先端部の内
   径（Ｄ９）より大きい（Ｄ１１＞Ｄ９）ことを特徴とす
   る請求項２記載のノズル洗浄装置。
4. 【請求項４】 前記洗浄用ノズルの先端部が、排出口と
   前記被洗浄ノズルの差し込み口とを有したカバーで覆わ
   れていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１
   項記載のノズル洗浄装置。
5. 【請求項５】 被洗浄ノズルに洗浄液を供給して、前記
   被洗浄ノズルを洗浄するノズル洗浄方法において、 洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズル内に吐出口から挿入し
   た状態で、 前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給することを特徴とする
   ノズル洗浄方法。
6. 【請求項６】 薬液を塗布する基板を回転させるスピン
   コータ部と、 前記スピンコータ部の周辺に備えられた、廃薬液を回収
   するドレイン槽と、 前記基板に薬液を滴下する薬液供給ノズルを先端に備
   え、前記基板上と前記ドレイン槽上に、前記薬液供給ノ
   ズルが設置できるように回動可能なノズルアームと、 前記薬液供給ノズルに洗浄液を供給して、前記薬液供給
   ノズルを洗浄するノズル洗浄装置とを備える薬液塗布装
   置において、 前記ノズル洗浄装置が、洗浄用ノズルを備え、前記洗浄
   用ノズルを前記薬液供給ノズル内に吐出口から挿入した
   状態で、前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給する機構を有
   することを特徴とする薬液塗布装置。
7. 【請求項７】 前記薬液供給ノズルの先端が高い撥水
   性、撥油性を有する材料からなることを特徴とする請求
   項６記載の薬液塗布装置。