JP2004121980A - 予備吐出装置および方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 164
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 50
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 115
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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Abstract
【課題】予備吐出を行なう回転ロール表面を、必ず清潔かつ乾燥状態にすること。
【解決手段】洗浄液を貯える貯液槽と、上面が洗浄液から露出するとともに下面が洗浄液に浸漬している回転ロールと、回転ロールの表面を擦るように洗浄液内に配置された洗浄液内ドクタと、洗浄液内ドクタで擦られた回転ロールの表面をさらに擦るように洗浄液外に配置された洗浄液外ドクタと、洗浄液外ドクタで擦られた回転ロールの表面に窒素またはクリーンエアを吹き付ける乾燥ノズルとを備え、
回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させることを特徴とする予備吐出装置。
【選択図】図１
【解決手段】洗浄液を貯える貯液槽と、上面が洗浄液から露出するとともに下面が洗浄液に浸漬している回転ロールと、回転ロールの表面を擦るように洗浄液内に配置された洗浄液内ドクタと、洗浄液内ドクタで擦られた回転ロールの表面をさらに擦るように洗浄液外に配置された洗浄液外ドクタと、洗浄液外ドクタで擦られた回転ロールの表面に窒素またはクリーンエアを吹き付ける乾燥ノズルとを備え、
回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させることを特徴とする予備吐出装置。
【選択図】図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイコート方式の塗布装置を構成する塗布ヘッドの予備吐出を行なう装置と方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開２００１−３１０１４７
【特許文献２】
特開２００２−４５７６０
【０００３】
一般に、ダイコート方式の塗布装置で基板にレジストを塗布する場合、待機中の乾燥状態によって生じるレジスト内異物および塗布後の塗布ヘッドのインライン洗浄によって浸入した洗浄液を排出させるために、基板にレジストを塗布する直前に予備吐出を行う。
【０００４】
しかし塗布ヘッドからただ液を出すだけでは、表面張力によって先端部に液が広がってしまい基板への塗布時にムラや膜厚均一性不良を生じてしまう。
【０００５】
また回転ロール上に予備吐出を行う場合でも、回転ロール表面を清潔かつ乾燥させておかないと次回の予備吐出時にヘッド先端に汚れや洗浄液が転移し、基板への塗布に影響を及ぼす。
【０００６】
特開２００１−３１０１４７に記載の予備吐出装置および方法は、図３に見られるように、塗布エレメント２１の吐出口２２からの予備吐出を、回転するローラ３３上に行なうものであるが、塗布エレメント２１の吐出口２２から吐出された塗布液Ｌ２が付着したローラ３３表面を洗浄液Ｌ１に浸漬した後に、ローラ３３表面に付着した塗布液を、シャワーノズル３７が噴出する洗浄液Ｌ１で洗浄し、さらに排気口４１からの排気により、洗浄されたローラ３３表面を乾燥させるものである。特開２００１−３１０１４７に記載の予備吐出装置および方法では、図３から分るように、ローラ３３表面をシャワーノズル３７が噴出する洗浄液で洗浄してから、ローラ３３の表面に再度予備吐出がなされるまでにローラ３３が回転する角度は９０度程度と小さいので、再度予備吐出を行なうまでにローラ３３の表面が乾燥し難いことが懸念される。このことは、特開２００１−３１０１４７に記載の予備吐出装置および方法の実施の形態で、洗浄液Ｌ１に、高揮発性のものを使用していることからも強く示唆される。
【０００７】
特開２００２−４５７６０に記載の塗布装置および方法では、図１及び２に見られるように、被塗布基板８に塗布液を塗布するのに先だって、予備塗布ブロック１０の塗布面に塗布液を塗布する。被塗布基板８に塗布液を塗布後、予備塗布ブロック１０の塗布面は、回転させることにより洗浄液供給ノズル１２に向けられ、洗浄液供給ノズル１２から供給される洗浄液で洗浄された後、排気ポート１４を介して空気等を循環させることにより乾燥される。従って、少なくとも予備塗布ブロック１０の塗布面を回転させている間は、予備吐出も、被塗布基板８への塗布液の塗布も、行なえない。さらに、特開２００２−４５７６０に記載の塗布装置および方法では、以下のような欠点があると考えられる。
【０００８】
第１に、予備塗布ブロック１０を洗浄液供給ノズル１２から供給される洗浄液のみで洗浄するので多量の洗浄液を使用し洗浄時間も長いことが想像される。
【０００９】
第２に、予備塗布ブロック１０の大きさによって予備吐出量に制限がある。液の種類によっては予備吐出を多めに行う必要があった場合に予備塗布ブロック１０の幅内で予備吐出を行うためには、吐出レートを上げてやればよいが、そうすると逆に塗布ノズル５の先に付着する余剰液は多くなってしまう（塗布ノズル５の先を汚す）ことが考えられる。
【００１０】
第３に、この予備塗布ブロック１０を数十から数ミクロンの精度で加工し、全ての面が塗布ノズル５から同程度の範囲内に収まるように設置することは実際には困難であると思われる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、係る従来技術の状況を鑑みてなされたもので、予備吐出を行なう回転ロール表面を、必ず清潔かつ乾燥状態にすることを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明において上記の課題を達成するために、まず請求項１の発明では、洗浄液を貯える貯液槽と、上面が洗浄液から露出するとともに下面が洗浄液に浸漬している回転ロールと、回転ロールの表面を擦るように洗浄液内に配置された洗浄液内ドクタと、洗浄液内ドクタで擦られた回転ロールの表面をさらに擦るように洗浄液外に配置された洗浄液外ドクタと、洗浄液外ドクタで擦られた回転ロールの表面に窒素またはクリーンエアを吹き付ける乾燥ノズルとを備え、
回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させることを特徴とする予備吐出装置としたものである。
【００１３】
また請求項２の発明では、貯液槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせるオバーフロー管とを備えることを特徴とする請求項１に記載の予備吐出装置としたものである。
【００１４】
また請求項３の発明では、回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させているときに、洗浄液供給ノズルは、貯液槽内に供給する洗浄液を、塗布液が付着した回転ロール表面にかけていることを特徴とする請求項２に記載の予備吐出装置としたものである。
【００１５】
また請求項４の発明では、洗浄液を貯える貯液槽で上面が洗浄液から露出するとともに下面が洗浄液に浸漬している回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出し、回転ロールの表面に付着した塗布液を洗浄液内ドクタで掻き落とし、塗布液を洗浄液内で掻き落とされた回転ロールの表面に付着した洗浄液を洗浄液外ドクタで掻き落とし、洗浄液が掻き落とされた回転ロールの表面を、窒素またはクリーンエアを吹き付けることで乾燥させることを特徴とする予備吐出方法としたものである。
【００１６】
また請求項５の発明では、回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液を供給するとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせることを特徴とする請求項４に記載の予備吐出方法としたものである。
【００１７】
また請求項６の発明では、貯液槽内に供給される洗浄液を、塗布液が付着した回転ロール表面にかけることを特徴とする請求項５に記載の予備吐出方法としたものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。ここで、図１は、本発明の予備吐出装置の一実施形態の側面図、図２は本発明の予備吐出装置の一実施形態の上面図である。
【００１９】
本実施形態の予備吐出装置は、洗浄液１４を貯える貯液槽８と、上面が洗浄液１４から露出するとともに下面が洗浄液１４に浸漬している回転ロール１と、回転ロール１の表面を擦るように洗浄液１４内に配置された洗浄液内ドクタ３と、洗浄液内ドクタ３で擦られた回転ロール１の外周をさらに擦るように配置された洗浄液１４外に配置された洗浄液外ドクタ５と、洗浄液外ドクタ５で擦られた回転ロール１の表面に窒素またはクリーンエアを吹き付ける乾燥ノズル７とを備え、回転ロール１の上面に、塗布ヘッド１３の吐出部先端を近接させて塗布液１５を吐出させるものである。
【００２０】
また本実施形態の予備吐出装置は、貯液槽８内に洗浄液１４を供給する洗浄液供給ノズル２と、貯液槽８から洗浄液１４をオーバーフローさせるオバーフロー管９とを備える。洗浄液供給ノズル２は、塗布液１５が付着した回転ロール１表面の方に向けて配置されている。
【００２１】
また本実施形態の予備吐出装置は、ドレンバルブ１１を有するドレン管１６を貯液槽８の底に備える。ドレンバルブ１１が開くと、ドレン管１６は、貯液槽８の底から洗浄液１４を排出し、ドレンバルブ１１が閉じると、洗浄液１４が貯液槽８に貯めておかれる。
【００２２】
本実施形態の予備吐出装置による塗布ヘッドの予備吐出は、以下の通りである。
【００２３】
まず、貯液槽８に洗浄液１４を貯めておく。
【００２４】
次に回転している回転ロール１上に適切な間隙をもって近接させられた塗布ヘッド１３より、予備吐出を行う。
【００２５】
このとき再び洗浄液ノズル２から洗浄液１４を供給する。洗浄液１４を回転ロール１にかけながら供給するとより高い洗浄効果が期待できる。
【００２６】
回転ロール１上に吐出された塗布液は、回転ロール１の回転とともに洗浄液１４中に浸漬し、貯液槽８内の洗浄液内ドクタ３によって掻き落される。洗浄液１４中であるため、掻き落された塗布液が乾燥して回転ロール１や洗浄液内ドクタ３を汚染することはない。
【００２７】
次に洗浄液１４の外にある洗浄液外ドクタ５によって、回転ロール１に付着した洗浄液１４を掻き取る。
【００２８】
次に回転ロール１表面に向けて、乾燥ノズル７から窒素またはクリーンエアを吹き付けることによって、回転ロール１表面を乾燥させる。再び回転ロール１表面は、塗装ヘッドの予備吐出を行える状態になる。
【００２９】
塗装ヘッド１３の予備吐出中は常に洗浄液１４が洗浄液供給ノズル２から供給されており、余剰分はオーバーフロー管９によりオーバーフローされるため、貯液槽８内の洗浄液１４は適宜置換され洗浄効果がなくなるほど汚れることはない。
【００３０】
また適時ドレンバルブ１１を開きドレン管１６から貯液槽８内の洗浄液１４を排出し、、洗浄液供給ノズル２により洗浄液１４を貯液槽８に供給することで貯液槽８内の洗浄液１４を新液と入れ替えることもできる。
【００３１】
洗浄液供給ノズル２と乾燥ノズル７は図のような円筒管を多数並列させずに、一連のスリットを持つノズル形状でも良い。
【００３２】
【発明の効果】
本願の各請求項に記載の発明は、以下の列挙する効果を有する。
【００３３】
請求項１及び４の発明は、回転ロールの表面に付着した塗布液は、洗浄液内ドクタによって、洗浄液中で掻き落とされるので、掻き落とされた塗布液が乾燥して回転ロールを汚染することが無い。また、洗浄液内ドクタで塗布液が掻き落とされた回転ロール表面は、そこに付着された洗浄液は洗浄液外ドクタで掻き落とされ、さらに窒素またはクリーンエアが吹き付けられるので、確実に乾燥する。
【００３４】
請求項２及び５の発明は、塗布ヘッドの吐出部先端を、回転ロール上面に、近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液が供給されるとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせられるので、貯液槽内の洗浄液は適宜置換され洗浄効果がなくなるほど汚れることはない。
【００３５】
請求項３及び６の発明は、塗布液が付着した回転ロール表面に、貯液槽に供給される洗浄液をかけるので、より高い洗浄効果が得られる。
【００３６】
以上、本発明は、予備吐出を行なう回転ロール表面を、必ず清潔かつ乾燥状態にすることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の一実施形態の側面図。
【図２】本発明装置の一実施形態の上面図。
【符号の説明】
１…回転ロール
２…洗浄液供給ノズル
３…洗浄液内ドクタ
４…ドクタホルダ
５…洗浄液外ドクタ
６…ドクタホルダ
７…乾燥ノズル
８…貯液槽
９…オーバーフロー管
１０…洗浄液供給バルブ
１１…ドレンバルブ
１２…窒素またはクリーンエア供給バルブ
１３…塗布ヘッド
１４…洗浄液
１５…塗布液
１６…ドレン管
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイコート方式の塗布装置を構成する塗布ヘッドの予備吐出を行なう装置と方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【特許文献１】
特開２００１−３１０１４７
【特許文献２】
特開２００２−４５７６０
【０００３】
一般に、ダイコート方式の塗布装置で基板にレジストを塗布する場合、待機中の乾燥状態によって生じるレジスト内異物および塗布後の塗布ヘッドのインライン洗浄によって浸入した洗浄液を排出させるために、基板にレジストを塗布する直前に予備吐出を行う。
【０００４】
しかし塗布ヘッドからただ液を出すだけでは、表面張力によって先端部に液が広がってしまい基板への塗布時にムラや膜厚均一性不良を生じてしまう。
【０００５】
また回転ロール上に予備吐出を行う場合でも、回転ロール表面を清潔かつ乾燥させておかないと次回の予備吐出時にヘッド先端に汚れや洗浄液が転移し、基板への塗布に影響を及ぼす。
【０００６】
特開２００１−３１０１４７に記載の予備吐出装置および方法は、図３に見られるように、塗布エレメント２１の吐出口２２からの予備吐出を、回転するローラ３３上に行なうものであるが、塗布エレメント２１の吐出口２２から吐出された塗布液Ｌ２が付着したローラ３３表面を洗浄液Ｌ１に浸漬した後に、ローラ３３表面に付着した塗布液を、シャワーノズル３７が噴出する洗浄液Ｌ１で洗浄し、さらに排気口４１からの排気により、洗浄されたローラ３３表面を乾燥させるものである。特開２００１−３１０１４７に記載の予備吐出装置および方法では、図３から分るように、ローラ３３表面をシャワーノズル３７が噴出する洗浄液で洗浄してから、ローラ３３の表面に再度予備吐出がなされるまでにローラ３３が回転する角度は９０度程度と小さいので、再度予備吐出を行なうまでにローラ３３の表面が乾燥し難いことが懸念される。このことは、特開２００１−３１０１４７に記載の予備吐出装置および方法の実施の形態で、洗浄液Ｌ１に、高揮発性のものを使用していることからも強く示唆される。
【０００７】
特開２００２−４５７６０に記載の塗布装置および方法では、図１及び２に見られるように、被塗布基板８に塗布液を塗布するのに先だって、予備塗布ブロック１０の塗布面に塗布液を塗布する。被塗布基板８に塗布液を塗布後、予備塗布ブロック１０の塗布面は、回転させることにより洗浄液供給ノズル１２に向けられ、洗浄液供給ノズル１２から供給される洗浄液で洗浄された後、排気ポート１４を介して空気等を循環させることにより乾燥される。従って、少なくとも予備塗布ブロック１０の塗布面を回転させている間は、予備吐出も、被塗布基板８への塗布液の塗布も、行なえない。さらに、特開２００２−４５７６０に記載の塗布装置および方法では、以下のような欠点があると考えられる。
【０００８】
第１に、予備塗布ブロック１０を洗浄液供給ノズル１２から供給される洗浄液のみで洗浄するので多量の洗浄液を使用し洗浄時間も長いことが想像される。
【０００９】
第２に、予備塗布ブロック１０の大きさによって予備吐出量に制限がある。液の種類によっては予備吐出を多めに行う必要があった場合に予備塗布ブロック１０の幅内で予備吐出を行うためには、吐出レートを上げてやればよいが、そうすると逆に塗布ノズル５の先に付着する余剰液は多くなってしまう（塗布ノズル５の先を汚す）ことが考えられる。
【００１０】
第３に、この予備塗布ブロック１０を数十から数ミクロンの精度で加工し、全ての面が塗布ノズル５から同程度の範囲内に収まるように設置することは実際には困難であると思われる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、係る従来技術の状況を鑑みてなされたもので、予備吐出を行なう回転ロール表面を、必ず清潔かつ乾燥状態にすることを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明において上記の課題を達成するために、まず請求項１の発明では、洗浄液を貯える貯液槽と、上面が洗浄液から露出するとともに下面が洗浄液に浸漬している回転ロールと、回転ロールの表面を擦るように洗浄液内に配置された洗浄液内ドクタと、洗浄液内ドクタで擦られた回転ロールの表面をさらに擦るように洗浄液外に配置された洗浄液外ドクタと、洗浄液外ドクタで擦られた回転ロールの表面に窒素またはクリーンエアを吹き付ける乾燥ノズルとを備え、
回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させることを特徴とする予備吐出装置としたものである。
【００１３】
また請求項２の発明では、貯液槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせるオバーフロー管とを備えることを特徴とする請求項１に記載の予備吐出装置としたものである。
【００１４】
また請求項３の発明では、回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させているときに、洗浄液供給ノズルは、貯液槽内に供給する洗浄液を、塗布液が付着した回転ロール表面にかけていることを特徴とする請求項２に記載の予備吐出装置としたものである。
【００１５】
また請求項４の発明では、洗浄液を貯える貯液槽で上面が洗浄液から露出するとともに下面が洗浄液に浸漬している回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出し、回転ロールの表面に付着した塗布液を洗浄液内ドクタで掻き落とし、塗布液を洗浄液内で掻き落とされた回転ロールの表面に付着した洗浄液を洗浄液外ドクタで掻き落とし、洗浄液が掻き落とされた回転ロールの表面を、窒素またはクリーンエアを吹き付けることで乾燥させることを特徴とする予備吐出方法としたものである。
【００１６】
また請求項５の発明では、回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液を供給するとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせることを特徴とする請求項４に記載の予備吐出方法としたものである。
【００１７】
また請求項６の発明では、貯液槽内に供給される洗浄液を、塗布液が付着した回転ロール表面にかけることを特徴とする請求項５に記載の予備吐出方法としたものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。ここで、図１は、本発明の予備吐出装置の一実施形態の側面図、図２は本発明の予備吐出装置の一実施形態の上面図である。
【００１９】
本実施形態の予備吐出装置は、洗浄液１４を貯える貯液槽８と、上面が洗浄液１４から露出するとともに下面が洗浄液１４に浸漬している回転ロール１と、回転ロール１の表面を擦るように洗浄液１４内に配置された洗浄液内ドクタ３と、洗浄液内ドクタ３で擦られた回転ロール１の外周をさらに擦るように配置された洗浄液１４外に配置された洗浄液外ドクタ５と、洗浄液外ドクタ５で擦られた回転ロール１の表面に窒素またはクリーンエアを吹き付ける乾燥ノズル７とを備え、回転ロール１の上面に、塗布ヘッド１３の吐出部先端を近接させて塗布液１５を吐出させるものである。
【００２０】
また本実施形態の予備吐出装置は、貯液槽８内に洗浄液１４を供給する洗浄液供給ノズル２と、貯液槽８から洗浄液１４をオーバーフローさせるオバーフロー管９とを備える。洗浄液供給ノズル２は、塗布液１５が付着した回転ロール１表面の方に向けて配置されている。
【００２１】
また本実施形態の予備吐出装置は、ドレンバルブ１１を有するドレン管１６を貯液槽８の底に備える。ドレンバルブ１１が開くと、ドレン管１６は、貯液槽８の底から洗浄液１４を排出し、ドレンバルブ１１が閉じると、洗浄液１４が貯液槽８に貯めておかれる。
【００２２】
本実施形態の予備吐出装置による塗布ヘッドの予備吐出は、以下の通りである。
【００２３】
まず、貯液槽８に洗浄液１４を貯めておく。
【００２４】
次に回転している回転ロール１上に適切な間隙をもって近接させられた塗布ヘッド１３より、予備吐出を行う。
【００２５】
このとき再び洗浄液ノズル２から洗浄液１４を供給する。洗浄液１４を回転ロール１にかけながら供給するとより高い洗浄効果が期待できる。
【００２６】
回転ロール１上に吐出された塗布液は、回転ロール１の回転とともに洗浄液１４中に浸漬し、貯液槽８内の洗浄液内ドクタ３によって掻き落される。洗浄液１４中であるため、掻き落された塗布液が乾燥して回転ロール１や洗浄液内ドクタ３を汚染することはない。
【００２７】
次に洗浄液１４の外にある洗浄液外ドクタ５によって、回転ロール１に付着した洗浄液１４を掻き取る。
【００２８】
次に回転ロール１表面に向けて、乾燥ノズル７から窒素またはクリーンエアを吹き付けることによって、回転ロール１表面を乾燥させる。再び回転ロール１表面は、塗装ヘッドの予備吐出を行える状態になる。
【００２９】
塗装ヘッド１３の予備吐出中は常に洗浄液１４が洗浄液供給ノズル２から供給されており、余剰分はオーバーフロー管９によりオーバーフローされるため、貯液槽８内の洗浄液１４は適宜置換され洗浄効果がなくなるほど汚れることはない。
【００３０】
また適時ドレンバルブ１１を開きドレン管１６から貯液槽８内の洗浄液１４を排出し、、洗浄液供給ノズル２により洗浄液１４を貯液槽８に供給することで貯液槽８内の洗浄液１４を新液と入れ替えることもできる。
【００３１】
洗浄液供給ノズル２と乾燥ノズル７は図のような円筒管を多数並列させずに、一連のスリットを持つノズル形状でも良い。
【００３２】
【発明の効果】
本願の各請求項に記載の発明は、以下の列挙する効果を有する。
【００３３】
請求項１及び４の発明は、回転ロールの表面に付着した塗布液は、洗浄液内ドクタによって、洗浄液中で掻き落とされるので、掻き落とされた塗布液が乾燥して回転ロールを汚染することが無い。また、洗浄液内ドクタで塗布液が掻き落とされた回転ロール表面は、そこに付着された洗浄液は洗浄液外ドクタで掻き落とされ、さらに窒素またはクリーンエアが吹き付けられるので、確実に乾燥する。
【００３４】
請求項２及び５の発明は、塗布ヘッドの吐出部先端を、回転ロール上面に、近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液が供給されるとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせられるので、貯液槽内の洗浄液は適宜置換され洗浄効果がなくなるほど汚れることはない。
【００３５】
請求項３及び６の発明は、塗布液が付着した回転ロール表面に、貯液槽に供給される洗浄液をかけるので、より高い洗浄効果が得られる。
【００３６】
以上、本発明は、予備吐出を行なう回転ロール表面を、必ず清潔かつ乾燥状態にすることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置の一実施形態の側面図。
【図２】本発明装置の一実施形態の上面図。
【符号の説明】
１…回転ロール
２…洗浄液供給ノズル
３…洗浄液内ドクタ
４…ドクタホルダ
５…洗浄液外ドクタ
６…ドクタホルダ
７…乾燥ノズル
８…貯液槽
９…オーバーフロー管
１０…洗浄液供給バルブ
１１…ドレンバルブ
１２…窒素またはクリーンエア供給バルブ
１３…塗布ヘッド
１４…洗浄液
１５…塗布液
１６…ドレン管
Claims (6)
- 洗浄液を貯える貯液槽と、上面が洗浄液から露出するとともに下面が洗浄液に浸漬している回転ロールと、回転ロールの表面を擦るように洗浄液内に配置された洗浄液内ドクタと、洗浄液内ドクタで擦られた回転ロールの表面をさらに擦るように洗浄液外に配置された洗浄液外ドクタと、洗浄液外ドクタで擦られた回転ロールの表面に窒素またはクリーンエアを吹き付ける乾燥ノズルとを備え、
回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させることを特徴とする予備吐出装置。 - 貯液槽内に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせるオバーフロー管とを備えることを特徴とする請求項１に記載の予備吐出装置。
- 回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させているときに、洗浄液供給ノズルは、貯液槽内に供給する洗浄液を、塗布液が付着した回転ロール表面にかけていることを特徴とする請求項２に記載の予備吐出装置。
- 洗浄液を貯える貯液槽で上面が洗浄液から露出するとともに下面が洗浄液に浸漬している回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出し、回転ロールの表面に付着した塗布液を洗浄液内ドクタで掻き落とし、塗布液を洗浄液内で掻き落とされた回転ロールの表面に付着した洗浄液を洗浄液外ドクタで掻き落とし、洗浄液が掻き落とされた回転ロールの表面を、窒素またはクリーンエアを吹き付けることで乾燥させることを特徴とする予備吐出方法。
- 回転ロールの上面に、塗布ヘッドの吐出部先端を近接させて塗布液を吐出させている間、貯液槽に洗浄液を供給するとともに、貯液槽から洗浄液をオーバーフローさせることを特徴とする請求項４に記載の予備吐出方法。
- 貯液槽内に供給される洗浄液を、塗布液が付着した回転ロール表面にかけることを特徴とする請求項５に記載の予備吐出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2002289594A JP2004121980A (ja) | 2002-10-02 | 2002-10-02 | 予備吐出装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2004121980A true JP2004121980A (ja) | 2004-04-22 |
Family
ID=32281718
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2002289594A Pending JP2004121980A (ja) | 2002-10-02 | 2002-10-02 | 予備吐出装置および方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2004121980A (ja) |
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