KR100756811B1 - 토출 노즐의 세정장치 - Google Patents
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- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
- B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids
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Abstract
Description
Claims (3)
- 도포액을 피도포체에 공급하는 슬릿 모양으로 된 토출구가 설치되어 있는 토출 노즐의 선단부를 세정하는 토출 노즐의 세정장치로서,상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출된 도포액을 외주면에 보유하는 회전 롤러가 상기 토출 노즐과 접촉하지 않도록 일정 간격을 띄어서 설치되고,상기 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 제거하는 블레이드가 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동이 가능하도록 설치되고,상기 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치가 상기 블레이드보다도 회전 롤러의 회전방향의 하류쪽에 설치되고,상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 블레이드에 의해 제거하고 있는 단계에서는, 상기 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액이 공급되지 않도록 하고,상기 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급하고 있는 단계에서, 회전 롤러의 외주면에 접촉시킨 블레이드가 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 블레이드에 의해 제거하고 있는 단계에서도, 상기 블레이드가 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 세정액 공급장치는, 세정액을 수용하고 있는 세정조가 이동 가능하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109046849A (zh) * | 2018-10-27 | 2018-12-21 | 临泉县荣兴木业有限公司 | 一种自清洗涂胶机用胶辊 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100840528B1 (ko) * | 2007-04-13 | 2008-06-23 | 주식회사 케이씨텍 | 슬릿 코터용 예비토출장치 |
KR101450031B1 (ko) * | 2007-11-30 | 2014-10-14 | 주식회사 케이씨텍 | 슬릿코터용 예비토출장치 |
KR100933640B1 (ko) * | 2007-12-27 | 2009-12-23 | 주식회사 성우하이텍 | 접착제 도포장치용 접착제 압착유닛 |
JP5121778B2 (ja) * | 2009-06-26 | 2013-01-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プライミング処理方法及びプライミング処理装置 |
JP5562315B2 (ja) * | 2011-10-27 | 2014-07-30 | 東京エレクトロン株式会社 | プライミング処理方法及びプライミング処理装置 |
CN107486424A (zh) * | 2017-08-25 | 2017-12-19 | 安徽信息工程学院 | 超白光伏玻璃压延机的洗刷辊装置 |
JP7018323B2 (ja) * | 2018-01-22 | 2022-02-10 | Towa株式会社 | 加工装置、及び製品の製造方法 |
CN108856113A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-23 | 武汉华星光电技术有限公司 | 涂布喷嘴清洗装置 |
CN109047075A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-21 | 浙江工业大学 | 一种法兰焊缝自动清洁机 |
DE102019103273A1 (de) * | 2019-02-11 | 2020-08-13 | Brillux Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Vermeidung des mikrobiellen Befalls einer Reinigungsvorrichtung für eine Dosieranlage |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1076203A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-24 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法及びその装置 |
JP2004121980A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | 予備吐出装置および方法 |
JP2005254090A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
KR200441012Y1 (ko) * | 2007-05-09 | 2008-07-17 | 양철수 | 고압 및 오수용 배력발생기 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000005683A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-11 | Toppan Printing Co Ltd | スロット型塗布ヘッドクリーニング装置およびクリーニング方法 |
JP3033021B2 (ja) * | 1998-07-07 | 2000-04-17 | 井上金属工業株式会社 | 塗工装置用清掃装置 |
JP2001310147A (ja) * | 2000-05-02 | 2001-11-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットコータの予備吐出装置および予備吐出方法 |
FI20002826A (fi) * | 2000-12-22 | 2002-06-23 | Coefa Company Ltd Oy | Menetelmä ja laitteisto telan pesemiseksi |
DE10157054A1 (de) * | 2001-11-21 | 2003-06-05 | Hauni Maschinenbau Ag | Reinigungseinrichtung für ein Leimauftragsorgan |
JP2004141744A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-05-20 | Toppan Printing Co Ltd | 塗布液供給装置及び方法 |
JP3877719B2 (ja) * | 2002-11-07 | 2007-02-07 | 東京応化工業株式会社 | スリットコータの予備吐出装置 |
JP4526288B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2010-08-18 | 東京応化工業株式会社 | スリットノズル先端の調整装置及び調整方法 |
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2006
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1076203A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-24 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法及びその装置 |
JP2004121980A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | 予備吐出装置および方法 |
JP2005254090A (ja) * | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
KR200441012Y1 (ko) * | 2007-05-09 | 2008-07-17 | 양철수 | 고압 및 오수용 배력발생기 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109046849A (zh) * | 2018-10-27 | 2018-12-21 | 临泉县荣兴木业有限公司 | 一种自清洗涂胶机用胶辊 |
CN109046849B (zh) * | 2018-10-27 | 2020-10-13 | 临泉县荣兴木业有限公司 | 一种自清洗涂胶机用胶辊 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI296943B (en) | 2008-05-21 |
JP2007167837A (ja) | 2007-07-05 |
CN100431714C (zh) | 2008-11-12 |
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