KR100756811B1 - 토출 노즐의 세정장치 - Google Patents

토출 노즐의 세정장치 Download PDF

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마사노리 고다
다카시 구로키
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
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Abstract

토출 노즐의 선단부에 존재하고 있는 도포액을, 많은 세정액을 사용하는 일 없이, 간단한 설비로서 효율적으로 제거할 수 있게 한다.
토출 노즐(20) 선단의 슬릿 모양의 토출구(21)로부터 토출(吐出)되는 도포액(22)을 보유하는 회전 롤러(11)를 토출 노즐과 접촉하지 않도록 설치하고, 이 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 제거하는 블레이드(12)를 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동이 가능하도록 설치하는 동시에, 회전 롤러의 외주면에 세정액(14)을 공급하는 세정액 공급장치를 블레이드보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽에 설치하고, 블레이드에 의해 도포액을 회전 롤러에서 제거하는 단계에서는, 회전 롤러에 세정액이 공급되지 않도록 하는 한편, 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하고 있는 단계에서, 상기 블레이드를 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동시켰다.

Description

토출 노즐의 세정장치{DISCHARGE NOZZLE WASHING APPARATUS}
도 1은, 본 발명의 한 실시형태에 따른 토출 노즐의 세정장치에서, 도포 작업 후의 토출 노즐을 회전 롤러의 위쪽으로 인도한 상태를 나타낸 개략 설명도.
도 2는, 상기 실시형태에 따른 토출 노즐의 세정장치에서, 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 제거하는 블레이드를 회전 롤러의 외주면에 접촉하도록 해서 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동시키는 상태를 나타낸 개략 설명도.
도 3은, 상기 실시형태에 따른 토출 노즐의 세정장치에서, 토출 노즐의 토출구로부터 회전 롤러의 외주면에 토출된 도포액을, 회전 롤러의 외주면에 접촉해서 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동하는 블레이드에 의해 회전 롤러로부터 제거하는 상태를 나타낸 개략 설명도.
도 4는, 상기 실시형태에 따른 토출 노즐의 세정장치에서, 토출 노즐을 상승시켜서 회전 롤러의 외주면에서 격리시키는 한편, 세정조를 승강장치에 의하여 상승시켜서 회전 롤러의 하부를 세정조에 수용된 세정액에 침적시킨 상태를 나타낸 개략의 설명도.
도 5는, 상기 실시형태에 따른 토출 노즐의 세정장치에서, 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치의 변경예를 나타낸 개략의 설명도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11: 회전 롤러 12: 블레이드
13: 구동장치 14: 세정액
15: 세정조 16: 승강장치
17: 회수조 18: 세정액 분사노즐
본 발명은, 유리, 수지 필름, 금속박 등의 여러 가지 피도포체에 여러 가지 도포액을 도포(塗布)하는 도포장치에 설치된 토출 노즐을 세정하는데 사용하는 토출 노즐의 세정장치에 관한 것이다. 특히, 상기 토출 노즐의 선단부에 설치된 슬릿 모양으로 된 토출구로부터 피도포체에 도포액을 공급하여 도포를 실행한 후, 다음 도포를 실행할 때까지의 사이에, 토출구가 설치된 토출 노즐의 선단부를 세정하도록 되어있는 토출 노즐의 세정장치에 관한 것이다.
종래부터, 플라즈마 표시 패널(plasma display panel), 유기 전계발광 표시 패널(organic electroluminescence display panel), 액정 표시 패널 등을 제조함에 있어서, 도포장치에 의해, 유리, 수지 필름, 금속박 등의 여러 가지 피도포체에 각각의 도포액을 도포하는 것이 실행되고 있다.
그리고 이와 같은 도포장치로서는, 일반적으로 토출 노즐의 선단부에 설치된 슬릿 모양의 토출구로부터 도포액을 피도포체에 공급하는 것을 이용하고 있다.
여기서, 상기한 바와 같은 도포장치에서, 상기 토출 노즐로부터 다수의 피도포체에 도포액을 차례로 공급하여 도포를 실행할 경우, 도포작업과 도포작업의 사이의 대기시간에, 상기 토출 노즐의 선단부에 존재하고 있는 도포액이 건조하여 그 농도가 상승하였다.
이와 같이 토출 노즐 선단부에 존재하고 있는 도포액의 농도가 상승한 상태에서, 다음 도포작업을 실행하면, 고농도화한 도포액에 의하여 피도포체에 줄무늬 모양의 도포 얼룩이 생기거나, 막의 끊어짐이 발생하기도 하는 문제가 있었다.
이 때문에, 종래에는, 일본 특허공개 2001-310147호 공보에 나타낸 바와 같이, 세정조 안에 수용된 세정액 중에 회전 롤러의 일부를 침지시켜, 다음 도포작업을 실행하기 전에, 세정액으로부터 돌출된 회전 롤러의 외주면에 슬릿 모양의 토출구가 설치되어 있는 토출 노즐을 근접시켜, 이 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 토출시켜서, 토출 노즐의 선단부의 고농도화한 도포액을 회전 롤러의 외주면에 공급하고, 고농도화한 도포액을 토출 노즐의 선단부에서 제거하는 동시에, 도포액이 공급된 회전 롤러의 외주면에 샤워 노즐로부터 세정액을 분출시켜서, 이 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 제거하도록 하는 것이 제안되어 있다. 또한, 상기 공보에서는, 상기한 바와 같이 제거된 도포액과 세정액을 상기 세정조 안에 수용시켜, 이 세정조 안에 수용된 도포액과 세정액을 포함한 액체를 순환시켜서 회전 롤러의 외주면에 분사시키도록 하는 것도 제안되어 있다.
그러나, 상기한 바와 같이 도포액이 공급된 회전 롤러의 외주면에 샤워 노즐로부터 세정액을 분출시켜서, 이 회전 롤러의 외주면에 있는 도포액을 제거하는 경우, 회전 롤러의 외주면에 존재하고 있는 도포액을 충분히 제거하기 위해서는, 샤워 노즐로부터 분사되는 새로운 세정액이 대량으로 필요하게 되어서 운용 비용(running cost)이 대단히 높아지는 동시에, 세정 후에 세정액의 처리가 문제가 되었다. 또, 세정조 안에 수용된 도포액과 세정액을 포함하는 액체를 순환시켜서 회전 롤러의 외주면에 분사시킬 경우에는, 회전 롤러의 외주면에 존재하고 있는 도포액을 충분히 제거하기가 곤란하였다. 또한, 도포액과 세정액을 포함하는 액체를 정화시켜서 순환시킬 경우에는, 정화장치 등의 설비가 필요하게 되어, 비용이 높아지는 동시에 장치가 대형화하는 등의 여러 가지 문제가 있었다.
또, 최근에는, 일본 특허공개 2004-167476호 공보에 나타낸 바와 같이, 도포액이 공급된 회전 롤러의 외주면에 순환시킨 세정액을 분출시키는 순환액 샤워 노즐이나, 회전 롤러의 외주면에 새로운 세정액을 분사시키는 신액(新液) 샤워 노즐이나, 회전 롤러의 외주면에 접촉시켜서 부착되어 있는 도포액을 긁어서 떨어뜨리는 블레이드나 브러시 롤러 등을 설치하도록 하는 세정장치도 제안되어 있다.
그러나 상기 공보에 나타내는 세정장치에서는, 회전 롤러의 외주면에 공급된 도포액을 충분히 제거하기 위해서 많은 장치가 필요하게 되고, 비용이 높아지는 동시에 장치가 대형화되는 문제가 있었다. 또한, 상기 공보에 나타낸 세정장치에서도, 상기한 바와 같이 신액 샤워 노즐로부터 회전 롤러의 외주면에 새로운 세정액을 항상 분사시키기 때문에, 많은 세정액이 필요하게 되어서 운용 비용이 높아지는 동시에, 세정 후에 세정액의 처리가 문제가 되었다.
본 발명의 과제는, 토출 노즐의 선단부에서의 슬릿 모양으로 된 토출구로부터 피도포체에 도포액을 차례로 공급하여 도포를 실행하는 도포장치에서, 다음 도포작업을 실행하기 전에, 상기 토출 노즐의 선단부에서의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 공급하고, 토출 노즐의 선단부에 존재하고 있는 고농도의 도포액을 제거하는데 있어서, 회전 롤러의 외주면에 공급된 도포액을, 많은 세정액을 사용할 필요가 없이, 간단한 설비로 효율적으로 제거할 수 있는 동시에, 회전 롤러의 외주면에 줄무늬 모양의 얼룩이 생기는 일도 없고, 토출 노즐의 선단부에 존재하고 있는 도포액의 제거가 항상 적절하게 실행될 수 있도록 하는 것이다.
본 발명에서는, 상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여, 도포액을 피도포체에 공급하는 슬릿 모양으로 된 토출구가 설치되어 있는 토출 노즐의 선단부를 세정하는 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출된 도포액을 외주면에 보유하는 회전 롤러를 상기 토출 노즐과 접촉하지 않도록 일정 간격을 띄어서 설치하고, 이 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 제거하는 블레이드를 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동이 가능하게 설치함과 더불어, 상기 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치를 상기 블레이드보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽에 설치하고, 상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유되는 도포액을 블레이드에 의해 제거하고 있는 단계에서는, 상기 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급하지 않도록 하고, 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급하는 단계에서, 회전 롤러의 외주면에 접촉시킨 블레이드를 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동시키도록 하였다.
또, 본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출된 도포액이 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 단계에서도, 상기 블레이드를 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서, 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동시키는 것이 바람직하다.
본 발명에서의 그 밖의 목적, 특징 및 이점은 첨부 도면을 따라 이하에 상세하게 기술하는 바람직한 실시형태의 설명으로 명백하게 될 것이다.
[발명을 실시하기 위한 최선의 형태]
이하, 본 발명의 실시형태에 따른 토출 노즐의 세정장치를 첨부 도면에 근거해서 구체적으로 설명한다. 또한 본 발명에 따른 토출 노즐의 세정장치는 아래 실시형태로 나타낸 것에 한정되지 않고, 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서, 적절하게 변경해서 실시할 수 있다.
이 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 도 1∼도 4에 나타낸 바와 같이, 회전장치(도시하지 않음)에 의해 회전 구동하는 회전 롤러(11)의 외주면에 선단부가 접촉하도록 해서 블레이드(12)가 설치되어 있다. 이 블레이드(12)를 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉시킨 상태에서, 도 2에 나타낸 바와 같이, 이 블레이드(12)를 실린더나 모터 등의 구동장치(13)에 의해 회전 롤러(11)의 축방향으로 왕복 이동이 가능하도록 되어 있다.
또한, 상기 블레이드(12)보다도 회전 롤러(11)의 회전방향 하류쪽 위치에, 세정액 공급장치로서 세정액(14)을 수용하는 세정조(15)를 설치하고, 이 세정조(15)를 실린더 등의 승강장치(16)에 의하여 승강할 수 있도록 하고 있다. 이 승강장치(16)에 의하여 세정조(15)를 상승시킨 상태에서는, 도 4에 도시한 바와 같이, 회전 롤러(11)의 하부가 세정조(15)에 수용된 세정액(14)에 침지(浸漬)하게 된다.
다음으로, 이 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치를 이용해서 토출 노즐(20)의 선단부를 세정하는 경우에 대해서 설명한다.
우선, 토출 노즐(20)의 선단부에 설치된 슬릿 모양으로 된 토출구(21)로부터 피도포체(도시하지 않음)에 도포액(22)을 공급하여 도포를 실행한 후, 도 1에 나타낸 바와 같이, 이 토출 노즐(20)을 회전 롤러(11)의 위쪽으로 인도하도록 한다. 여기서, 상기 토출 노즐(20)의 선단부에는 도포액(22)이 남아 있는 상태로 있으며, 이 도포액(22)이 건조하여 농도가 상승한 상태에서, 다음 도포작업을 실행하면, 고농도화된 도포액(22)에 의해 피도포체에 줄무늬 모양의 도포 얼룩이 생기거나, 막의 끊어짐이 발생한다.
이 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 토출 노즐(20)을 하강시켜서, 이 토출 노즐(20)의 선단부를 상기 회전 롤러(11)의 외주면에 근접시켜, 토출 노즐(20)의 선단부와 회전 롤러(11)의 외주면이, 소요 간격, 통상 30μm∼500μm 범위의 간격이 되도록 한다. 또한, 상기 회전 롤러(11)를 회전장치에 의하여 회전시키는 동시에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 블레이드(12)를 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉시킨 상태에서 구동장치(13)에 의해 회전 롤러(11)의 축방향으로 왕복 이동하도록 한다. 또한 이 상태에서는, 세정액(14)을 수용하는 상기 세정조(15)를 상기 승강장치(16)에 의하여 하강시킨 상태로 유지하고, 회전 롤러(11)의 하부가 세정조(15)에 수용되어 있는 세정액(14)에 침지되지 않도록 하고 있다.
그 다음에, 상기 상태에서, 토출 노즐(20)의 선단부에 설치된 슬릿 모양으로 된 토출구(21)로부터 도포액(22)을 예비 토출시켜서, 이 토출 노즐(20)의 선단부에 남아 있는 도포액(22)을 회전 롤러(11)의 외주면에 공급한다. 그리고 이 회전 롤러(11)의 외주면에 보유되어 있는 도포액(22)을 회전 롤러(11)에 의해 상기 블레이드(12)의 위치로 인도하고, 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러(11)의 축방향으로 왕복 이동하고 있는 블레이드(12)에 의하여, 상기 도포액(22)을 회전 롤러(11)의 외주면에서 제거하여 회수조(17)에 회수시킨다. 이 경우, 상기 회전 롤러(11)의 외주면에 보유되어 있는 도포액(22)의 일부가 건조되어 점도가 높은 덩어리 모양으로 되고, 이것이 블레이드(12)의 위치에서 회전 롤러(11)의 외주면에 남아 있다고 하더라도, 블레이드(12)가 회전 롤러(11)의 축방향으로 왕복 이동하고 있기 때문에, 덩어리 모양으로 된 도포액(22)이 회전 롤러(11)의 외주면에서 적절하게 박리되게 된다. 그리고 이 덩어리 모양으로 된 도포액(22)이 통상의 도포액(22)과 함께 회전 롤러(11)의 외주면에서 이탈하여 회수조(17)에 회수되어 회전 롤러(11)의 외주면에 둘레방향을 따라서 줄무늬 모양의 얼룩이 발생하는 일도 없어진다.
그 다음에, 이와 같이 토출 노즐(20)로부터 예비 토출된 도포액(22)을 회전 롤러(11)의 외주면에서 제거하여 회수조(17)에 회수시킨 후에는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 회전 롤러(11)의 외주면에 근접된 상태에 있는 상기 토출 노즐(20)을 상승시켜, 이 토출 노즐(20)을 피도포체에 인도하여 다음 도포작업을 실행하도록 하는 동시에, 상기 세정조(15)를 승강장치(16)에 의해 상승시켜서, 회전 롤러(11)의 하부를 세정조(15)에 수용되어 있는 세정액(14)에 침지시킨다.
여기서, 이와 같이 회전 롤러(11)의 하부를, 세정조(15)에 수용된 세정액(14)에 침지시키면, 이 세정조(15)에 수용된 세정액(14)이 회전 롤러(11)의 외주면에 공급되어, 회전 롤러(11)의 외주면에 조금 남아 있는 도포액(22)이 상기 세정액(14)에 의해 회전 롤러(11)의 외주면에서 제거되기 쉽게 된다.
그리고 이와 같이 회전 롤러(11)의 외주면에 공급된 세정액(14)이 회전 롤러(11)의 회전에 의하여 상기 블레이드(12)의 위치에 인도되면, 상기한 바와 같이 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러(11)의 축방향으로 왕복 이동하고 있는 블레이드(12)에 의하여, 이 세정액(14)이 회전 롤러(11)의 외주면에 조 금 남아 있는 도포액(22)과 함께 회전 롤러(11)의 외주면에서 제거되어 회수조(17)에 회수하게 된다.
이 경우에, 상기 회전 롤러(11)의 외주면에 보유되어 있는 도포액(22)의 일부가 건조되어 덩어리 모양으로 되고, 이것이 블레이드(12)의 위치에서 회전 롤러(11)의 외주면에 남아 있다고 하더라도, 블레이드(12)가 회전 롤러(11)의 축방향으로 왕복 이동하고 있기 때문에, 덩어리 모양으로 된 도포액(22)이 회전 롤러(11)의 외주면에서 적절하게 박리되어, 이 덩어리 모양으로 된 도포액(22)이 세정액(14)과 같이 회전 롤러(11)의 외주면에서 이탈되어 회수조(17)에 회수하게 된다. 그 결과, 회전 롤러(11)의 외주면에 둘레방향에 따라서 줄무늬 모양의 얼룩이 발생하는 일이 없고, 회전 롤러(11)의 외주면이 균일한 상태가 되고, 다음에 토출 노즐(20)의 선단부를 세정하는 경우에도, 상기 회전 롤러(11)의 외주면이 균일한 상태로 유지되어, 토출 노즐(20)의 선단부의 세정이 적절하게 실행될 수 있게 된다.
또한 이 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 공급하는 세정액 공급장치로서, 세정액(14)을 수용하는 세정조(15)를 이용하도록 하고 있지만, 도 5에 나타낸 바와 같이, 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 공급하는 세정액 분사 노즐(18)을 세정조(15) 안에 설치하고, 상기한 바와 같이 토출 노즐(20)로부터 예비 토출시킨 도포액(22)을 블레이드(12)에 의해 회전 롤러(11)의 외주면에서 제거한 후에, 이 세정액 분사 노즐(18)로부터 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 분사시켜서 공급하고, 회전 롤러(11)의 외주면에 보유되지 않았던 세정액(14)을 세정조(15)에 회수하도록 하는 것도 가능하다.
본 발명을 상기 실시형태에서 충분히 설명하였지만, 당업자에게는 여러 가지 변경 및 수정이 가능하다는 것을 명백히 유념해야 한다.
그럼으로, 이러한 변경 및 수정이 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한 본 발명에 포함되는 것으로 간주해야 한다.
본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 토출함에 있어서, 회전 롤러를 토출 노즐과 접촉하지 않도록 일정 간격을 띄어서 설치하였기 때문에, 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 토출시킬 때에, 회전 롤러의 외주면에 건조한 도포액 가루가 남아 있어도, 이 도포액 가루가 토출 노즐의 선단부에 부착되는 것이 방지된다. 또한, 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 토출시킴으로써, 토출 노즐의 선단부에 존재하고 있는 농도가 높아진 도포액이 적절하게 제거되는 동시에, 토출 노즐의 토출구로부터 새롭게 토출된 도포액이 토출 노즐의 선단부에 적절하게 보유되도록 되어 있다.
또한, 본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기한 바와 같이 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 블레이드에 의해 제거하는 단계에서는, 이 블레이드보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽에서 이동이 가능하도록 설치된 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급하지 않도록 하였기 때문에, 회전 롤러에 공급하는 세정액의 양을 적게 할 수 있는 동시에, 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액이 세정액에 섞이는 것이 억제되어, 세정액 공급장치로부터 공급하는 세정액이 깨끗한 상태로 유지되게 된다. 그 결과, 세정액의 소비량이 감소하고, 운용 비용이 감소됨과 더불어, 종래와 같이 세정액을 정화시키는 정화장치 등의 설비를 설치할 필요도 없고, 설비 비용이 감소됨과 더불어 장치가 대형화되는 일도 없다.
또한, 본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기한 바와 같이 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 블레이드에 의해 제거한 다음, 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급하기 때문에, 깨끗한 세정액이 회전 롤러의 외주면에 공급되게 된다.
또한, 상기한 바와 같이 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급한 단계에서, 상기 블레이드를 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동하도록 하였기 때문에, 상기 블레이드에 의해 충분히 제거되지 못해서 회전 롤러의 외주면에 도포액이 남아 있을 경우에도, 상기 세정액에 의하여 도포액을 회전 롤러의 외주면에서 제거하기 쉬워진다. 더욱이, 상기 블레이드가 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동함으로써, 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액이 건조되어 점도가 높은 덩어리 모양으로 되어 있더라도, 이 덩어리 모양으로 된 도포액이 회전 롤러의 외주면에서 박리되기 쉽게 되어, 이 덩어리 모양으로 된 도포액이 세정액과 함께 회전 롤러의 외주면에서 적절하게 제거되도록 된다. 그 결과, 회전 롤러의 외주면에 둘레방향에 따라서 줄무늬 모양의 얼룩이 생기는 일도 없고, 다음에 토출 노즐의 선단부를 세정하는 경우에도, 토출 노즐의 선단부의 세정을 적절하게 실행할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 상기 블레이드를 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 토출하는 단계에서도, 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동시키면, 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액이 이 블레이드에 의해 균일하게 제거되어, 회전 롤러의 외주면에 둘레방향을 따라서 줄무늬 모양의 얼룩이 생기는 것이 한층 더 방지하게 된다.

Claims (3)

  1. 도포액을 피도포체에 공급하는 슬릿 모양으로 된 토출구가 설치되어 있는 토출 노즐의 선단부를 세정하는 토출 노즐의 세정장치로서,
    상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출된 도포액을 외주면에 보유하는 회전 롤러가 상기 토출 노즐과 접촉하지 않도록 일정 간격을 띄어서 설치되고,
    상기 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 제거하는 블레이드가 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동이 가능하도록 설치되고,
    상기 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치가 상기 블레이드보다도 회전 롤러의 회전방향의 하류쪽에 설치되고,
    상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 블레이드에 의해 제거하고 있는 단계에서는, 상기 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액이 공급되지 않도록 하고,
    상기 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급하고 있는 단계에서, 회전 롤러의 외주면에 접촉시킨 블레이드가 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액을 블레이드에 의해 제거하고 있는 단계에서도, 상기 블레이드가 회전 롤러의 축방향으로 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 세정액 공급장치는, 세정액을 수용하고 있는 세정조가 이동 가능하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
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