JP7018323B2 - 加工装置、及び製品の製造方法 - Google Patents
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Description
この加工装置であれば、洗浄ローラが貯液槽内の洗浄液に一部が浸漬された状態で回転し、被加工物に接触して洗浄するので、洗浄ローラに付着した加工屑は洗浄液により除去される。
ここで、貯液槽内で洗浄ローラから除去された加工屑が貯液槽内で滞留し、洗浄ローラに付着してしまう恐れがある。本発明は、液供給口と液排出口とが洗浄ローラを挟んで配置されているので、洗浄ローラに対して液供給口から液排出口に向かって洗浄液の流れが形成される。その結果、洗浄ローラに対して洗浄液が一方向から当たり、その後、当該洗浄液が液排出口から外部に排出されるので、貯液槽内で洗浄ローラから除去された加工屑は、洗浄液とともに排出されることになる。これによって、貯液槽内にある加工屑を洗浄ローラに付着しにくくすることができる。
この問題を好適に解決するためには、前記液排出口は、前記貯液槽の底部に形成されていることが望ましい。
この構成であれば、貯液槽の底部に沈下した加工屑を効率良く排出することができ、洗浄ローラへの再付着を低減することができる。
この構成の場合には、前記液供給口及び前記液排出口は、前記洗浄ローラの中心軸を挟んで配置されていることが望ましい。
以下に、本発明に係る加工装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
本実施形態の加工装置100は、図1に示すように、被加工物である封止済板状部材Wを切断することによって複数の製品P(切断品)に個片化する切断装置である。切断装置100は、板状部材供給ユニットAと板状部材切断ユニットBと検査ユニットCと収容ユニットDとを、それぞれ構成要素として備える。各構成要素(各ユニットA~D)は、それぞれ他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
次に洗浄機構8の具体的構成について説明する。
このように液供給口83を覆うようにカバー部材88を設けることによって、液供給口83から流入した水はカバー部材88により分散し、第1貯液室S1での流速のムラをより一層緩和することができる。
本実施形態の切断装置100によれば、洗浄ローラ82が貯液槽81内の水に一部が浸漬された状態で回転し、切断済基板W’に接触して洗浄するので、洗浄ローラ82に付着した加工屑は水により除去される。
特に本実施形態では、液供給口83と液排出口84とが洗浄ローラ82を挟んで配置されているので、洗浄ローラ82に対して液供給口83から液排出口84に向かって水の流れが形成される。その結果、洗浄ローラ82に対して水が一方向から当たり、その後、当該水が液排出口84から外部に排出されるので、貯液槽81内で洗浄ローラ82から除去された加工屑は、水とともに排出されることになる。これによって、貯液槽81内にある加工屑を洗浄ローラ82に付着しにくくすることができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
W ・・・封止済基板(封止済板状部材、被加工物)
W’ ・・・切断済基板(切断済板状部材)
P ・・・製品
A ・・・板状部材供給ユニット
B ・・・板状部材切断ユニット
C ・・・検査ユニット
D ・・・収容ユニット
CTL ・・・制御部
2 ・・・板状部材供給機構
3 ・・・切断用テーブル
4 ・・・移動機構
5 ・・・回転機構
6A ・・・スピンドル(加工機構)
61A ・・・回転刃
6B ・・・スピンドル(加工機構)
61B ・・・回転刃
7 ・・・洗浄機構
71 ・・・噴射洗浄機構
72 ・・・乾燥機構
8 ・・・洗浄機構
9 ・・・搬送機構
10 ・・・検査用ステージ
11 ・・・カメラ
12 ・・・インデックステーブル
13 ・・・移送機構
14 ・・・良品用トレイ
15 ・・・不良品用トレイ
80 ・・・支持体
81 ・・・貯液槽
81H ・・・開口部
81a ・・・底部
81b ・・・側壁部
82 ・・・洗浄ローラ
82a ・・・軸部
82b ・・・ブラシ毛
82x ・・・中心軸
83 ・・・液供給口
84 ・・・液排出口
85 ・・・供給管
87 ・・・仕切り板
S1 ・・・第1貯液室
S2 ・・・第2貯液室
88 ・・・カバー部材
8A ・・・液供給管
8B ・・・液排出管
81a1・・・傾斜部
86 ・・・水切り部材
89 ・・・除去部材
Claims (8)
- 被加工物を複数の製品に個片化するように切削水を供給して切断する加工を施す加工機構と、前記加工が施されて複数の製品からなる集合体を固定した状態とされた被加工物を洗浄する洗浄機構とを含み、
前記洗浄機構は、洗浄液として水を貯留する貯液槽と、当該貯液槽内の水に一部が浸漬された状態で回転し、前記貯液槽の上方に位置する前記加工が施された被加工物に接触する回転ブラシである洗浄ローラと、前記貯液槽の上方において前記洗浄ローラに接触して当該洗浄ローラに付着した加工屑を除去するとともに前記洗浄ローラに含まれる水を切る除去部材とを含み、
前記洗浄ローラは、水の流れ方向と逆方向に回転し、
前記貯液槽内に水を供給する複数の液供給口と前記貯液槽内から水を排出する液排出口とが、前記洗浄ローラを挟んで配置され、
前記複数の液供給口は、前記貯液槽の底部に形成され、前記水を上方向に向かって供給するものであり、
前記貯液槽は、前記洗浄ローラと前記液供給口との間に設けられ、前記液供給口側の第1貯液室と前記洗浄ローラ側の第2貯液室とに区画し、前記水を前記第1貯液室から前記第2貯液室へオーバーフローさせることで前記洗浄ローラに流れる水を前記洗浄ローラの軸方向に均一化させる仕切り板を含む、加工装置。 - 前記液排出口は、前記貯液槽の底部に形成されている、請求項1記載の加工装置。
- 前記洗浄機構は、前記液供給口を覆うように設けられたカバー部材をさらに含む、請求項1又は2記載の加工装置。
- 前記洗浄ローラは、円筒形状をなし、その中心軸周りに回転するものであり、
前記液供給口及び前記液排出口は、前記中心軸を挟んで配置されている、請求項1乃至3の何れか一項に記載の加工装置。 - 前記貯液槽の底部は、前記液供給口側から前記液排出口側に向かって下る傾斜部を含む、請求項1乃至4の何れか一項に記載の加工装置。
- 被加工物を複数の製品に個片化するように切削水を供給して切断する加工を施す加工工程と、
前記加工が施されて複数の製品からなる集合体を固定した状態とされた被加工物を洗浄する洗浄工程とを含み、
前記洗浄工程は、洗浄機構を用いて行われ、
前記洗浄機構は、洗浄液として水を貯留する貯液槽と、当該貯液槽内の水に一部が浸漬された状態で回転し、前記貯液槽の上方に位置する前記加工が施された被加工物に接触する回転ブラシである洗浄ローラと、前記貯液槽の上方において前記洗浄ローラに接触して当該洗浄ローラに付着した加工屑を除去するとともに前記洗浄ローラに含まれる水を切る除去部材とを含み、
前記洗浄ローラは、水の流れ方向と逆方向に回転し、
前記貯液槽内に水を供給する複数の液供給口と前記貯液槽内から水を排出する液排出口とが、前記洗浄ローラを挟んで配置され、
前記複数の液供給口は、前記貯液槽の底部に形成され、前記水を上方向に向かって供給するものであり、
前記貯液槽は、前記洗浄ローラと前記液供給口との間に設けられ、前記液供給口側の第1貯液室と前記洗浄ローラ側の第2貯液室とに区画し、前記水を前記第1貯液室から前記第2貯液室へオーバーフローさせることで前記洗浄ローラに流れる水を前記洗浄ローラの軸方向において均一化させる仕切り板を含む、製品の製造方法。 - 前記液供給口は、前記貯液槽の底部に形成されており、
前記洗浄機構は、前記液供給口を覆うように設けられたカバー部材をさらに含む、請求項6記載の製品の製造方法。 - 前記貯液槽の底部は、前記液供給口側から前記液排出口側に向かって下る傾斜部を含む、請求項6又は7に記載の製品の製造方法。
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