KR101982206B1 - 기판 세정 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 세정 장치가 제공된다. 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 기판 세정 장치는 기판을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러, 기판의 일면을 세정하기 위하여 일면으로 약액을 공급하는 약액 공급기, 일면에 공급된 약액을 제거하기 위하여 일면으로 청수를 공급하는 청수 공급기 및 기판의 타면으로 약액이 튀는 것을 방지하기 위하여 기판의 타면 상측부에 설치되는 에어 공급부를 포함한다.

Description

기판 세정 장치{SUBSTRATE CLEANING APPARATUS}
본 발명은 기판 세정 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치(Flat Panel Display)는 표시 장치 중 편평하고 두께가 얇은 박형의 표시 장치로서, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Device), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode Display) 등이 있다.
평판 표시 장치는 영상을 표시하기 위한 표시 패널을 포함하는데, 이러한 표시 패널을 제조하기 위하여는 여러 가지 공정, 예를 들면 식각 공정, 세정 공정 등이 수행된다.
이 때, 평판 표시 장치의 기판의 하측면 세정을 하기 위하여 종래에는 청수 또는 약액을 샤워 노즐에 의하여 공급하고 이를 롤 브러쉬를 이용하여 제거하는 방식으로 기판의 상하측면을 동시에 세정하였다.
그런데, 이와 같은 세정 장치는 샤워 노즐에 의하여 청수 및 약액을 공급하였기 때문에 상부 보호 필름으로 약액이 튀는 경우가 많이 발생하는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 기판의 하측면 세정시 기판의 상부로 약액이 튀는 것이 방지될 수 있는 기판 세정 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러; 상기 기판의 일면을 세정하기 위하여 상기 일면으로 약액을 공급하는 약액 공급기; 상기 일면에 공급된 약액을 제거하기 위하여 상기 일면으로 청수를 공급하는 청수 공급기 및 상기 기판의 타면으로 상기 약액이 튀는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 타면 상측부에 설치되는 에어 공급부를 포함하는 기판 세정 장치가 제공된다.
이 때, 상기 약액 공급기 및 상기 청수 공급기 각각은 상기 기판의 하측부에 설치되는 하우징; 상기 하우징 내부에 회전가능하게 설치되며, 상단부가 상기 기판에 접촉할 수 있는 세정 롤러; 상기 하우징 내부로 유체를 공급하기 위한 펌프 및 상기 하우징 내부로 공급되는 유체를 저장하고 있는 유체 저장 탱크를 포함하며, 상기 하우징 내부에 공급된 유체에 상기 세정 롤러의 일부가 잠기도록 형성된다.
이 때, 상기 세정 롤러는 롤 브러쉬 형태로 이루어진다.
이 때, 상기 세정 롤러가 회전할 때 상기 세정 롤러가 다량의 유체를 머금은 상태로 이동하는 것을 방지하도록 상기 세정 롤러의 회전 중심축의 보다 높은 높이에서 상기 세정 롤러와 인접하게 배치되는 튐 방지 부재를 더 포함할 수 있다.
이 때, 상기 튐 방지 부재는 상기 회전 중심축과 나란한 방향으로 배치되는 파이프일 수 있다.
이 때, 상기 튐 방지 부재는 상기 세정 롤러의 상부 양 측에 한 쌍으로 형성될 수 있다.
이 때, 상기 하우징의 폭이 상기 세정 롤러의 지름보다 길게 형성될 수 있다.
이 때, 상기 하우징 상부면에 위치되어 상기 세정 롤러의 회전에 의한 유체의 튐을 방지하는 튐 방지 커버를 포함할 수 있다.
이 때, 상기 튐 방지 커버는 상기 세정 롤러의 상부 양 측에 한 쌍으로 형성되며, 상기 세정 롤러의 상단부는 상기 한 쌍의 튐 방지 커버 사이의 개구로 돌출되도록 형성될 수 있다.
이 때, 상기 에어 공급부는 한 쌍의 에어 나이프를 포함하되, 상기 한 쌍의 에어 나이프는 상기 약액 공급기 및 상기 청수 공급기의 상측부에 위치될 수 있다.
이 때, 상기 한 쌍의 에어 나이프는 상기 기판의 이송 방향으로 볼 때 상기 세정 롤러의 전방 및 후방 측에 위치될 수 있다.
이 때, 상기 한 쌍의 에어 나이프 중 전방측에 위치되는 에어 나이프는 후방측으로 경사지게 배치되며, 후방 측에 위치되는 에어 나이프는 전방측으로 경사지게 배치될 수 있다.
이 때, 상기 기판의 이송 방향으로 볼 때, 상기 청수 공급기는 상기 약액 공급기보다 후방측에 위치될 수 있다.
이 때, 상기 청수 공급기는 복수 개로 형성될 수 있다.
이 때, 상기 기판의 이송 방향으로 볼 때 상기 하우징의 전방에 상기 하우징으로부터 이격 배치되는 기판 이동 감지 센서를 더 포함할 수 있다.
이 때, 상기 기판이 상기 하우징 상측으로 진입 및 상기 하우징 상측으로부터 배출됨을 상기 이동 감지 센서가 감지한 경우 상기 롤 브러쉬의 속도가 가변적으로 제어 될 수 있다.
이 때, 상기 기판의 이송 방향으로 볼 때 상기 기판의 전방 단부가 상기 이동 감지 센서를 지나 세정 롤러의 상부측까지 이동하는 동안 및 상기 기판의 후방 단부가 상기 이동 감지 센서를 지나 상기 세정 롤러의 상부측으로 이동하는 동안의 속도는 상기 기판의 중앙부가 상기 세정 롤러의 상부측을 지나 이동하는 동안의 속도보다 저속일 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정 장치는 롤 브러쉬를 이용하여 약액 및 청수를 기판에 묻힘으로써 기판의 하측면을 세정하므로 기판 하측면을 세정하는 동안 약액이 기판의 상면에 튀는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 세정부 하우징의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 세정부가 작동하는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 세정부 측으로 기판이 진입하는 상태를 나타낸 작동 상태도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 세정부로부터 기판이 배출되는 상태를 나타낸 작동 상태도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 구성도이다.
도 1을 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치(1)는 이송 롤러(40), 세정부(30), 및 에어 공급부(50)를 포함한다.
이송 롤러(40)는 기판(2)을 이송하기 위한 구성 요소로서, 도 1에 도시된 바와 같이 프레임(4) 상에 설치되는 복수의 롤러를 포함한다. 복수의 이송 롤러(40)는 수평 방향으로 동일한 간격으로 배열된다.
이 때, 복수의 이송 롤러(40)는 기판(2)의 이송 속도를 조절할 수 있도록 도시되지 아니한 모터에 의하여 회전 속도가 조절될 수 있도록 형성된다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에서는, 기판이 도 1에서 볼 때 좌측으로부터 유입되어 우측으로 이송되면서 세정되는 구조로 이루어진 기판 세정 장치를 설명하도록 한다.
기판(2)이 복수의 이송 롤러(40)를 지나 이송하는 동안 기판(2)의 하측면을 세정하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치(1)는 세정부(30) 및 에어 공급부(50)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 세정부(30)는 기판(2)의 하측면에 약액을 공급하는 약액 공급기(30a) 및 기판에 공급된 약액을 제거하기 위한 청수를 공급하는 청수 공급기(30b, 30c, 30d)를 포함한다.
이 때, 도 1을 참조하면 약액 공급기(30a)는 기판(2)의 이송 방향으로 볼 때 청수 공급기(30b, 30c, 30d) 보다 전방측(즉, 도 1에서 볼 때 좌측)에 위치되며, 청수 공급기(30b, 30c, 30d)는 약액 공급기(30a)보다 후방측에 배치된다.
이 때, 청수 공급기(30b, 30c, 30d)는 복수개로 형성되어 약액이 묻은 상태의 기판을 보다 깨끗하게 세정하도록 한다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서는 3개의 청수 공급기(30b, 30c, 30d)가 설치되도록 구성되나, 청수 공급기의 수가 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 약액 저장 탱크(10)에 저장된 약액이 펌프(20)에 의하여 공급관(24)을 통하여 약액 공급기(30a) 내부로 공급된 후 약액 공급기(30a) 내부에 설치된 세정 롤러(34)에 의하여 기판의 하측면을 세정하기 위한 약액이 기판(2)의 하측면에 묻혀지도록 한다.
그리고, 청수 저장 탱크(12)에 저장된 청수가 펌프(20)에 의하여 공급관(24)을 통해 청수 공급기(30b, 30c, 30d) 내부로 공급된 후, 청수 공급기(30b, 30c, 30d) 내부에 설치된 세정 롤러(34)에 의하여 기판(2)의 하측면에 묻은 약액을 세정하기 위한 청수가 기판(2)의 하측면에 묻혀지도록 한다.
한편, 약액 공급기(30a) 및 청수 공급기(30b, 30c, 30d)의 상측에는 각각 에어 공급부(50)가 설치된다. 에어 공급부(50)는 한 쌍의 에어 나이프(52, 54)를 포함한다. 한 쌍의 에어 나이프(52, 54)는 기판(2)의 이송 방향으로 볼 때 약액 공급기(30a) 및 청수 공급기(30b, 30c, 30d) 내부의 세정 롤러 회전축을 기준으로 회전축의 전방 및 후방 측에 위치된다.
이 때, 한 쌍의 에어 나이프(52, 54) 중 기판의 이송 방향으로 볼 때 전방 측에 위치되는 에어 나이프를 제 1 에어 나이프(52)로 규정하고 후방측에 위치되는 에어 나이프를 제 2 에어 나이프(54)로 규정할 때 제 1 에어 나이프(52)는 후방 측으로 경사지게 배치되며 제 2 에어 나이프(54)는 전방측으로 경사지게 배치된다.
한 쌍의 에어 나이프(52, 54)는 에어를 토출할 수 있도록 도시되지 아니한 공기 공급 펌프에 연결된다.
제 1 에어 나이프(52) 및 제 2 에어 나이프(54)는, 기판(2)이 세정부(30)를 통과하면서 세정부(30)로부터 약액 또는 청수가 기판(2)의 하측면에 묻혀지는 동안 기판(2)의 상측면으로 약액 또는 청수가 튀지 못하도록 기판(2) 측으로 공기를 분사한다. 이에 대한 보다 상세한 작동은 후술하도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 약액 공급기(30a) 및 청수 공급기(30b, 30c, 30d) 각각은 서로 다른 종류의 유체를 기판에 공급하는 것을 제외하고는 동일한 구조로 이루어질 수 있는 바, 이하 약액 공급기(30a) 및 청수 공급기(30b, 30c, 30d), 그리고 약액 공급기 및 청수 공급기로 약액 및 청수를 공급하기 위한 구성 요소들을 세정부(30)로 통칭하여 세정부의 상세한 구조를 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치(1)의 세정부(30)의 하우징의 단면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 세정부(30)가 작동하는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치(1)의 세정부(30)는 하우징(32), 세정 롤러(34), 펌프(20) 및 유체 저장 탱크를 포함한다.
하우징(32)은 기판(2)이 지나는 높이보다 낮은 위치에 설치되며, 바닥부에 유체(W)가 저장될 수 있도록 수밀 구조로 이루어진다. 하우징(32)은 사각 단면을 가지며 기판의 폭 방향으로 연장된 직육면체 형상의 박스 형태로 이루어질 수 있으나, 하우징(32)의 형태가 이에 제한되는 것은 아니다.
하우징(32)의 일측면에는 하우징(32)의 내부로 유체를 공급하기 위하여 공급관(24)이 연결된다.
그리고, 하우징(32)의 바닥면에는 세정부가 작동하지 않을 경우 또는 세정부를 청소하는 경우와 같이 하우징(32) 내부 바닥면에 유체가 채워져 있을 필요가 없는 경우 하우징(32) 내부의 유체를 외부로 배출하기 위한 배출관(26)이 설치된다.
하우징(32)의 내부에는 세정 롤러(34)가 회전가능하게 설치된다. 세정 롤러(34)는 하우징(32)의 바닥면에 고여있는 유체를 머금은 상태에서 회전하여 하우징(32)의 상측부에 위치되는 기판(2)의 바닥면에 접촉하여 유체를 기판의 바닥면에 묻힐 수 있도록 하기 위한 구성 요소이다.
이 때, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 롤러(34)는 PVA 재질의 롤 브러쉬 형태로 이루어질 수 있으며, 기판(2)의 이송 방향에 수직한 방향으로 연장된 회전축을 중심으로 회전가능하게 형성된다.
이 때, 본 실시예에서는 세정 롤러(34)가 PVA 재질의 롤 브러쉬 형태로 이루어지는 것으로 예시하였으나, 세정 롤러의 재질 및 형태가 이에 제한되는 것은 아니다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 세정 롤러(34)의 하측 단부는 하우징(32)의 바닥면으로부터 약간 이격된 높이에 위치되며, 세정 롤러(34)의 상측 단부는 하우징(32)의 상측으로 돌출되도록 형성된다.
이 때, 세정 롤러(34)의 지름(D)은 하우징(32)의 폭(L1) 보다 작도록 형성되어 세정 롤러(34)가 회전할 때 도 2에서 볼 때 세정 롤러(34)의 양 측부에서 세정 롤러(34)의 단부가 하우징(32)의 양 측벽에 닿지 않도록 형성된다. 이와 같이 하우징(32)의 폭이 세정 롤러(34)의 지름보다 넓게 형성됨으로써 세정 롤러(34)가 고속으로 회전할 때 유체의 이동이 원활하게 이루어질 수 있다.
한편, 하우징(32)의 내부에는 튐 방지 부재(36)가 설치된다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 튐 방지 부재(36)는 세정 롤러(34)가 회전할 때 세정 롤러(34)가 다량의 유체를 머금은 상태에서 이동하다가 하우징(32)의 상측 방향으로 유체가 튀는 것을 방지하도록 세정 롤러(34)의 회전 중심축보다 높은 높이에서 세정 롤러(34)와 인접하게 배치되는 파이프로 이루어질 수 있다.
이 때, 튐 방지 부재(36)는 세정 롤러(34)의 회전 중심축과 나란한 방향으로 배치될 수 있으며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 세정 롤러(34)의 상부 양측에 한 쌍으로 형성될 수 있다.
한편, 하우징(32)의 상측면에는 커버(38)가 설치된다. 커버(38)는 세정 롤러(34)의 회전에 의하여 유체가 하우징(32)의 상측 방향으로 튀는 것을 차단하기 위한 구성 요소이다.
커버(38)의 일측은 하우징(32)의 측면에 고정되며 커버(38)의 타측은 도 2에서 볼 때 세정 롤러(34)의 회전 중심 방향으로 연장된다.
커버(38)는 기판의 이송 방향으로 볼 때 전후 방향으로 하우징(32)의 양 측부에 한 쌍으로 형성된다. 커버(38)의 사이에는 세정 롤러(34)의 상측 단부가 돌출될 수 있도록 개구가 형성된다. 커버(38)는 기판(2)의 이송 방향으로 세정 롤러(34)가 회전할 때 유체가 하우징(32)의 상측 방향으로 튀지 않도록 개구가 적절한 크기를 갖도록 형성된다.
이상과 같은 구성으로 이루어지는 세정부(30)의 작동에 대하여 도 3을 참조하여 설명하면, 기판(2)이 세정부(30)의 상측부를 지나는 동안 세정 롤러(34)가 회전하여 기판(2)의 하측면에 유체가 묻혀지도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 세정 롤러(34)는 유연한 PVA 재질의 복수의 브러쉬로 이루어지므로 하우징(32) 내부에 유체가 어느 정도 깊이로 채워진 상태에서 세정 롤러(34) 하측부의 복수의 롤 브러쉬(35) 사이 사이에는 유체(W)가 머금어지도록 형성된다.
이 때, 세정 롤러(34)의 각각의 롤 브러쉬(35)의 크기 및 길이는 유체를 충분히 머금을 수 있는 정도로 실험적으로 선택될 수 있다.
한편, 이와 같이 세정 롤러(34)의 롤 브러쉬(35) 사이에 유체가 머금어진 상태에서 세정 롤러(34)가 빠른 속도로 회전하면 세정 롤러(34)는 도 3에서 볼 때 반시계 방향으로 회전하면서 유체(W)를 하우징(32)의 상측으로 운반한다.
이와 같이 세정 롤러(34)가 유체(W)를 하우징(32)의 상측으로 운반할 때, 하우징(32)의 측벽이 세정 롤러(34)로부터 이격되어 있기 때문에 충분이 많은 유체가 하우징(32)의 상측으로 운반될 수 있다.
이 때, 하우징(32)의 상측부에서 너무 많은 유체가 하우징(32) 상측으로 회전에 의하여 운반되면 세정 롤러(34)의 회전력에 의하여 유체(W)가 상측 방향으로 튀어 나갈 수 있으므로 이와 같이 세정 롤러(34)의 회전력에 의하여 유체(W)가 상측으로 너무 많이 운반되는 것을 방지하기 위하여 튐 방지 부재(36)가 설치된다.
본 실시예에서는 튐 방지 부재(36)가 파이프 형태로 이루어진 것으로 예시하였으나, 유체(W)가 상측 방향으로 너무 많이 이송되는 것을 방지하기 위한 튐 방지 부재(36)의 크기, 형태 및 위치는 다양하게 변경될 수 있다.
세정 롤러(34)의 롤 브러쉬(35)가 유체를 적당하게 머금은 상태에서 튐 방지 부재(36)가 위치된 위치를 지나면 세정 롤러(34)의 롤 브러쉬(35)는 기판(2)의 하측면에 접하게 된다. 이와 같이 롤 브러쉬(35)가 기판(2)의 하측면에 접하측면서 유체(W)가 기판(2)에 묻혀지게 되며, 기판(2)에 묻혀지는 유체의 종류에 따라 기판(2)의 세정이 이루어지게 된다.
한편, 튐 방지 부재(36)의 존재에도 불구하고 유체(W)가 상측 방향으로 튀는 것을 방지하기 위하여 하우징(32)의 상측면 양 측부에는 튐 방지용 커버(38)가 설치되며, 이에 따라 커버(38) 사이의 개구 이외의 위치에서 기판(2)에 유체가 묻히는 것이 방지된다.
기판(2)의 하측면에 유체를 묻힘으로써 유체를 롤 브러쉬(35) 사이에 적게 머금은 상태의 롤 브러쉬(35)는 회전에 의하여 다시 하우징(32)의 하측부로 이동하며 하우징(32)의 바닥면에 위치된 유체(W)에 잠김으로써 다시 롤 브러쉬(35) 사이에 유체가 위치하게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치(1)는 기판의 하측면에 약액 또는 청수를 묻히기 위하여 롤 브러쉬(35) 형태의 세정 롤러(34)를 사용함으로써 노즐 형태의 유체 분사기에 의하여 기판의 세정하는 것과 비교할 때 기판의 상판 측으로 유체가 튀는 것이 방지될 수 있다.
한편, 도 2를 참조하면, 기판의 이송 방향으로 볼 때 하우징(32)의 전방에는 하우징으로부터 소정 간격 이격 배치되는 기판 이송 감지 센서(60)가 설치된다.
도 2를 참조하면, 이송 감지 센서(60)는 하우징(32)의 중앙으로부터 소정 간격(L2)으로 이격되도록 형성된다.
이송 감지 센서(60)는 기판(2)이 세정부(30) 측으로 이동하거나 세정부(30)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 때 기판(2)의 위치를 판단한다.
이 때, 기판 세정 장치(1)의 제어부(미도시)에서는 이송 감지 센서(60)에서 기판(2)의 단부 위치를 검출한 후 기판(2)의 이송 속도를 계산함으로써 세정부(30)를 지나는 기판의 정확한 위치를 판단할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 이송 감지 센서(60)에 의하여 검출된 기판(2)의 위치에 따라 세정 롤러(34)의 회전 속도를 가변적으로 제어함으로써, 기판(2) 상부면으로 유체가 튀는 것을 방지할 수 있다.
이하 도면을 달리하여 기판의 이송에 따른 세정부 및 에어 공급부의 작동에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 세정부 측으로 기판이 진입하는 상태를 나타낸 작동 상태도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치의 세정부로부터 기판이 배출되는 상태를 나타낸 작동 상태도이다.
도 4를 참조하면, 기판(2)이 A 구간에서 세정부(30) 측으로 접근하여 이송 감지 센서(60)를 지나 B 구간으로 진입하면, 이송 감지 센서(60)가 기판(2)의 위치를 감지한다.
보다 상세히, 이송 감지 센서(60)는 이송 감지 센서(60)의 상측에 기판이 있는지 여부를 판단할 수 있는데, 예를 들어 이송 감지 센서(60)의 상측에 기판이 없으면 오프 상태를 유지하며, 이송 감지 센서(60)의 상측에 기판이 있으면 즉, 기판이 이송 감지 센서(60)의 상측을 지나가면 즉 도 4에서 볼 때 B 구간 이후에서 온 상태를 유지하도록 작동할 수 있다.
이와 같이 이송 감지 센서(60)가 온 상태를 유지하는 순간, 기판 세정 장치(1)의 제어부가 이송 롤러(40)에 의하여 이동하는 기판의 이송 속도를 확인함으로써 기판(2)의 위치를 판단할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 이송 감지 센서(60)가 온 상태로 될 경우 B 구간에서 세정 롤러(34)의 회전 속도를 예를 들어 50rpm과 같이 저속으로 유지하도록 한다.
기판(2)이 세정부(30) 측으로 진입하는 동안 세정 롤러(34)가 빨리 회전할 경우 세정 롤러(34)의 회전력에 의하여 기판(2) 상측면으로 유체가 튈 가능성이 많기 때문에, 이와 같이 기판(2)이 세정부(30)에 인접하는 B 구간에서 세정 롤러(34)의 회전속도를 저속으로 유지함으로써 기판(2)의 상측면으로 유체가 튀는 것을 방지하도록 한다.
한편, 기판(2)이 세정 롤러(34)의 상측부로 진입하여 C 구간에 이르게 되면 세정 롤러(34)의 회전력을 고속으로, 예를 들어 200rpm으로 회전시켜 기판(2)의 중앙부 하부면을 세정하도록 한다.
이와 같이 고속으로 세정 롤러(34)가 회전하면서 기판(2)의 하부면에 접하여 유체를 기판(2)의 하부면에 접촉시키면 기판(2)의 하부면에 접한 유체에 의하여 기판의 하부면이 세정된다.
이 때, 세정 롤러(34)가 고속으로 회전하는 동안 제 1 에어 나이프(52)를 통하여 공기를 기판(2)의 상부면으로 토출하여 기판(2)의 상부면 측에서 기판(2)의 전방 당부에 올라 탄 유체 즉, 약액 또는 청수를 밀어냄으로써 기판(2)의 상부면에 유체가 튀는 것을 방지하도록 한다.
한편, 기판이 이동하여 기판(2)의 후방 단부가 이송 감지 센서(60)를 지나 B 구역으로 이동하면 이송 감지 센서(60)가 오프되며 기판(2)의 후방 단부 측이 세정부(30) 측으로 이동됨을 감지한다.
이와 같이 기판(2)의 후방 단부 측이 세정부(30) 측으로 이동되면, 세정부(30)의 세정 롤러의 회전 속도를, 예를 들어 50rpm과 같이 저속으로 감소시킨다.
이와 같이 기판(2)의 후방 단부가 세정 롤러(34)에 가까워진 상태에서 세정 롤러(34)의 회전 속도를 줄임으로써 기판(2)의 후방 단부 상측면으로 유체가 튀는 것이 방지될 수 있다.
세정 롤러(34)의 회전 속도를 줄이는 한편, 제 2 에어 나이프(54)를 통하여 기판(2)의 상부면으로 공기를 토출하여 기판(2)의 상부면측으로 튀어 오른 유체를 밀어냄으로써 기판(2)의 상부면에 유체가 묻는 것을 방지하도록 한다.
기판(2)이 이송되는 동안 세정 롤러(34)의 회전 속도, 에어 나이프의 작동 시간 에어 나이프의 작동 압력, 기판의 이송 속도는 기판의 상측면에 유체가 튀지 않고 기판의 하부면이 세정될 수 있도록 실험적으로 선택될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치는 약액 및 청수를 기판에 공급할 때 롤 브러쉬와 같은 세정 롤러를 이용함으로써 기판의 상부면에 약액 및 청수가 튀지 않을 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치는 약액 및 청수를 기판에 공급할 때 롤 브러쉬의 속도를 가변적으로 제어하여 기판의 상부면에 약액 및 청수가 튀지 않을 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 세정 장치는 기판의 상부면에 공기를 토출하는 에어 나이프를 설치하여 기판의 상부면에 약액 및 청수가 튀지 않도록 할 수 있다.
이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1 세정 장치 2 기판
4 프레임 10 약액 저장 탱크
12 청수 저장 탱크 20 펌프
22 밸브 24 공급관
30 세정부 30a 약액 공급기
30b 30c 30d 청수 공급기 32 하우징
34 세정 롤러 36 튐 방지 부재
38 커버 40 이송 롤러
50 에어 공급부 52 제 1 에어 나이프
54 제 2 에어 나이프 60 이동 감지 센서

Claims (17)

  1. 기판을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러;
    상기 기판의 일면을 세정하기 위하여 상기 일면으로 약액을 공급하는 약액 공급기;
    상기 일면에 공급된 약액을 제거하기 위하여 상기 일면으로 청수를 공급하는 청수 공급기 및
    상기 기판의 타면으로 상기 약액이 튀는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 타면 상측부에 설치되는 에어 공급부를 포함하고,
    상기 약액 공급기 및 상기 청수 공급기 각각은
    상기 기판의 하측부에 설치되는 하우징;
    상기 하우징 내부에 회전가능하게 설치되며, 상단부가 상기 기판에 접촉할 수 있는 세정 롤러를 포함하고,
    상기 에어 공급부는 한 쌍의 에어 나이프를 포함하되,
    상기 한 쌍의 에어 나이프는 상기 약액 공급기 및 상기 청수 공급기의 상측부에 위치되고,
    상기 한 쌍의 에어 나이프는 상기 기판의 이송 방향으로 볼 때 상기 세정 롤러의 전방 및 후방 측에 위치되며,
    상기 한 쌍의 에어 나이프 중 전방측에 위치되는 에어 나이프는 후방측으로 경사지게 배치되며, 후방 측에 위치되는 에어 나이프는 전방측으로 경사지게 배치되는 기판 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 약액 공급기 및 상기 청수 공급기 각각은
    상기 하우징 내부로 유체를 공급하기 위한 펌프;
    상기 하우징 내부로 공급되는 유체를 저장하고 있는 유체 저장 탱크를 더 포함하며,
    상기 하우징 내부에 공급된 유체에 상기 세정 롤러의 일부가 잠기도록 형성되는 기판 세정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 세정 롤러는 롤 브러쉬 형태로 이루어진 기판 세정 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 세정 롤러가 회전할 때 상기 세정 롤러가 다량의 유체를 머금은 상태로 이동하는 것을 방지하도록 상기 세정 롤러의 회전 중심축보다 높은 높이에서 상기 세정 롤러와 인접하게 배치되는 튐 방지 부재를 더 포함하는 기판 세정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 튐 방지 부재는 상기 회전 중심축과 나란한 방향으로 배치되는 파이프인 기판 세정 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 튐 방지 부재는 상기 세정 롤러의 상부 양 측에 한 쌍으로 형성되는 기판 세정 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 하우징의 폭이 상기 세정 롤러의 지름보다 길게 형성되는 기판 세정 장치.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 하우징 상부면에 위치되어 상기 세정 롤러의 회전에 의한 유체의 튐을 방지하는 커버를 포함하는 기판 세정 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 커버는 상기 세정 롤러의 상부 양 측에 한 쌍으로 형성되며,
    상기 세정 롤러의 상단부는 상기 한 쌍의 커버 사이의 개구로 돌출되도록 형성되는 기판 세정 장치.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판의 이송 방향으로 볼 때, 상기 청수 공급기는 상기 약액 공급기보다 후방측에 위치되는 기판 세정 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 청수 공급기는 복수 개로 형성되는 기판 세정 장치.
  15. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판의 이송 방향으로 볼 때 상기 하우징의 전방에 상기 하우징으로부터 이격 배치되는 기판 이동 감지 센서를 더 포함하는 기판 세정 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 기판이 상기 하우징 상측으로 진입 및 상기 하우징 상측으로부터 배출됨을 상기 이동 감지 센서가 감지한 경우 상기 세정 롤러의 속도가 가변적으로 제어되는 기판 세정 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 기판의 이송 방향으로 볼 때 상기 기판의 전방 단부가 상기 이동 감지 센서를 지나 세정 롤러의 상부측까지 이동하는 동안 및 상기 기판의 후방 단부가 상기 이동 감지 센서를 지나 상기 세정 롤러의 상부측으로 이동하는 동안의 속도는 상기 기판의 중앙부가 상기 세정 롤러의 상부측을 지나 이동하는 동안의 속도보다 저속인 기판 세정 장치.
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