JP7451781B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
基板を搬送路に沿って、一方向およびこれに逆行する逆方向の両方向に搬送可能な搬送装置と、
前記基板の搬送路の上方に、長手方向が前記搬送路に対して水平面内で交差する方向に沿って設けられ、前記搬送路に向けてスリット状の開口から処理液を吐出するアクアナイフと、
を有し、
前記アクアナイフは、
前記搬送路側に開口を有し、処理液を貯留可能な貯留部と、
一端が前記開口から突出し、他端が前記貯留部の内部に入り込むように設けられ、前記処理液の吐出方向を導く吐出方向案内板と、
前記吐出方向案内板を回転させて、前記処理液の吐出方向を変更させる吐出方向変更部と、
を備える。
第1の実施形態について、図1~3を参照して説明する。実施形態における基板処理装置1は、例えば、基板の洗浄処理装置や、基板の表面にフォトレジストの被膜を形成する処理装置、露光処理装置、現像処理装置、エッチング処理装置、剥離処理等のプロセス処理装置等とすることができる。
図1及び図2に示すように、第1の実施形態に係る基板処理装置1は、処理室10と、搬送装置20と、検出部30a、30bと、アクアナイフ40と、制御装置50とを備えている。処理対象の基板Wとしては、例えば、ガラス基板や、液晶基板、半導体基板などの矩形状の基板が用いられる。
板Wに処理液を供給する。アクアナイフ40は、下方にスリット状の開口を有し、その長手方向が搬送路H1に対して水平面内で交差する方向(本実施の形態では直交する方向)に沿って設けられる。搬送方向A1に水平面内で直交する方向において、アクアナイフ40が有するスリット状の開口の長さは、搬送される基板Wの長さ以上になっている。アクアナイフ40についての詳細は後述する。なお、アクアナイフ40は、不図示の処理液供給タンク等の処理液供給源およびポンプ等の送液機構に接続されている。送液機構は、例えばポンプの出力を変更することにより、アクアナイフ40からの処理液の吐出量(単位時間当たりの吐出量)を調整することができる。
次にアクアナイフ40の構造を説明する。アクアナイフ40は、貯留部41と吐出方向案内板42と回転軸43(吐出方向変更部)とを備える。
次に、前述の基板処理装置1が行う基板処理工程の一例について説明する。この例は、基板Wが処理室内を1.5往復して、アクアナイフ40による処理液の供給を3回受けるものである。
このときの状態を図3に示す。図3に示すように、吐出方向案内板42は、先端部42aが後端部42bより搬送方向A2における上流側になるような回転位置(以下、第2の回転位置という。)に位置づけられる。なお、搬送方向A2は、搬送方向A1に逆行する方向である。また、処理液の供給を停止する際の基板Wの搬送位置は、基板Wにおける搬送方向上流側の端部がアクアナイフ40の直下を通過した位置である。
つぎに第2の実施形態について、図4を参照して説明する。なお、第2の実施形態では、第1の実施形態との相違点(処理液を切り替える点)について説明し、その他の説明は省略する。
つぎに第3の実施形態について、図5を参照して説明する。第3の実施形態は、上述した第1の実施形態または第2の実施形態の変形例であるため、第1の実施形態または第2の実施形態との相違点(アクアナイフからの処理液の吐出方向によって、吐出圧が異なる点)について説明し、その他の説明は省略する。
つぎに第4の実施形態について図6を参照して説明する。第4の実施形態は、上述した第1の実施形態または第2の実施形態の変形例であるため、第1の実施形態または第2の実施形態との相違点(アクアナイフからの処理液の吐出圧が調整可能な点)について説明し、その他の説明は省略する。
つぎに第5の実施形態について、図7から図10を参照して説明する。なお、第5の実施形態では、第1の実施形態との相違点(処理液の供給を停止するための検出器をさらに設ける点)について説明し、その他の説明は省略する。
上述の説明において、アクアナイフ40(140、240)は、その長手方向が搬送方向A1に水平面内で直交する方向に沿って設けられるとしたが、これに限られない。アクアナイフ40(140、240)の長手方向を搬送方向A1に水平面内で傾斜して交差する方向に設けてもよい。
10 処理室
20 搬送装置
21 搬送ローラ
21a ローラ
21b シャフト
30 検出装置
30a 検出部
30b 検出部
30c 検出部
30c1 振り子部材
30c2 支軸
30c3 検出用ローラ
30c4 ウエイト
30c5 マグネット
30c6 検出センサ
40 アクアナイフ
41 貯留部
42 吐出方向案内板
42a 先端部
42b 後端部
43 回転軸
50 制御装置
61 第1の処理液供給源
62 第2の処理液供給源
63 第1のバルブ
64 第2のバルブ
140 アクアナイフ
141 貯留部
142 吐出方向案内板
143 回転軸
240 アクアナイフ
241 貯留部
242 吐出方向案内板
242a 先端部
242b 後端部
243 回転軸
A1 搬送方向
A2 搬送方向
H1 搬送路
W 基板
Claims (8)
- 基板を搬送路に沿って、一方向およびこれに逆行する逆方向の両方向に搬送可能な搬送装置と、
前記基板の搬送路の上方に、長手方向が前記搬送路に対して水平面内で交差する方向に沿って設けられ、前記搬送路に向けてスリット状の開口から処理液を吐出するアクアナイフと、
を有し、
前記アクアナイフは、
前記搬送路側に開口を有し、処理液を貯留可能な貯留部と、
一端が前記開口から突出し、他端が前記貯留部の内部に入り込むように設けられ、前記処理液の吐出方向を導く吐出方向案内板と、
前記吐出方向案内板を回転させて、前記処理液の吐出方向を変更させる吐出方向変更部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記基板の搬送位置を検出する検出部をさらに有し、
前記検出部により検出された前記搬送位置に基づいて、前記吐出方向変更部により前記吐出方向案内板を回転させ、前記アクアナイフから、前記基板の搬送方向上流に向かって前記処理液を吐出する請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記アクアナイフは、複数の処理液供給源に接続され、
前記基板を前記一方向に搬送するときと、前記基板を前記逆方向に搬送するときとで、前記アクアナイフから吐出される処理液の吐出方向を切り替える請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記アクアナイフは、前記スリット状の開口の幅を変更可能な請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記吐出方向変更部は、前記吐出方向案内板が固定された回転軸であって、
前記回転軸は、前記開口の幅方向における中央からずれた位置に設けられる請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記吐出方向案内板は、前記貯留部の内部に当接する後端部が弾性部材で設けられる請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記処理液の供給を停止する際の前記基板の搬送位置は、前記基板における搬送方向上流側の端部が前記アクアナイフの直下を通過した位置であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記搬送装置や前記アクアナイフを制御する制御装置と、
前記基板の有無を検出し、前記処理液の供給を停止するタイミングを前記制御装置が把握するための検出信号を前記制御装置に送信する検出部をさらに有する請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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