KR102654631B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

[과제] 기판의 처리 라인이 장대해지는 것을 억제할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
[해결수단] 기판을 반송로를 따라, 일방향 및 이것에 역행하는 역방향의 양 방향으로 반송 가능한 반송 장치(20)와, 기판의 반송로의 상방에, 길이 방향이 상기 반송로에 대하여 수평면 내에서 교차하는 방향을 따라 마련되고, 반송로를 향하여 슬릿형의 개구로부터 처리액을 토출하는 아쿠아 나이프(40)를 갖는다. 아쿠아 나이프(40)는, 반송로측에 개구를 갖고, 처리액을 저류 가능한 저류부(41)와, 일단이 상기 개구로부터 돌출하고, 타단이 저류부의 내부로 들어가도록 마련되고, 처리액의 토출 방향을 유도하는 토출 방향 안내판(42)과, 토출 방향 안내판을 회전시켜, 처리액의 토출 방향을 변경시키는 토출 방향 변경부를 구비한다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명의 실시형태는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치나 반도체 장치의 제조 공정에 있어서는, 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 기판에 대하여, 처리액을 공급하여, 세정 처리나 약액 처리를 행하는 처리 공정을 갖는다. 이 처리 공정에서는, 처리액으로서 순수나 약액 등을 이용하여, 1장 1장의 기판에 대하여 이 처리액을 분사하여 처리하는 매엽 방식이 채용되는 경우가 있다.
매엽 방식에 의해 기판을 처리하는 경우, 기판의 반송로의 상방이나 하방에 슬릿형의 개구를 갖는 아쿠아 나이프(슬릿 노즐)를 배치하고, 반송되는 기판에 대하여, 개구로부터 처리액을 커튼형의 처리액막으로서 공급하는 것이 행해진다. 아쿠아 나이프는, 샤워 노즐과 비교하여, 기판에 균일하게 처리액을 공급할 수 있기 때문에, 처리 불균일(처리가 균일하지 못함)이 발생하기 쉬운 기판이나, 처리 공정에 있어서 적합하다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2004-305930호 공보
기판은, 그 처리 공정에 있어서, 처리액의 공급을 복수회 받지만, 처리마다 아쿠아 나이프 등의 처리액 공급 기구 및, 이것이 마련된 챔버가 필요로 된다. 이 때문에, 기판의 처리 라인 전체가 장대해져 버려, 기판 처리 장치 전체의 대형화나, 제조 비용의 증가로 이어진다.
그래서, 본 발명은 기판의 처리 라인이 장대해지는 것을 억제할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
실시형태에 따른 기판 처리 장치는,
기판을 반송로를 따라, 일방향 및 이것에 역행하는 역방향의 양 방향으로 반송 가능한 반송 장치와,
상기 기판의 반송로의 상방에, 길이 방향이 상기 반송로에 대하여 수평면 내에서 교차하는 방향을 따라 마련되고, 상기 반송로를 향하여 슬릿형의 개구로부터 처리액을 토출하는 아쿠아 나이프
를 갖고,
상기 아쿠아 나이프는,
상기 반송로측에 개구를 갖고, 처리액을 저류 가능한 저류부와,
일단이 상기 개구로부터 돌출하고, 타단이 상기 저류부의 내부로 들어가도록 마련되고, 상기 처리액의 토출 방향을 유도하는 토출 방향 안내판과,
상기 토출 방향 안내판을 회전시켜, 상기 처리액의 토출 방향을 변경시키는 토출 방향 변경부
를 구비한다.
본 발명의 실시형태에 따르면, 기판의 처리 라인이 장대해지는 것을 억제할 수 있다.
도 1은 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 측면도이다.
도 2는 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 3은 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 아쿠아 나이프의 토출 방향 안내판이 제2 회전 위치에 있는 상태를 나타내는 측면도이다.
도 4는 제2 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 측면도이다.
도 5는 제3 실시형태에 따른 아쿠아 나이프의 개략 구성을 나타내는 측면도이다.
도 6은 제4 실시형태에 따른 아쿠아 나이프의 개략 구성을 나타내는 측면도이다.
도 7은 제5 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 아쿠아 나이프가 제1 회전 위치에 있고, 검출부가 초기 위치에 위치 결정되어 있는 상태를 나타내는 측면도이다.
도 8은 제5 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 아쿠아 나이프가 제1 회전 위치에 있고, 검출부가 검출 위치에 위치 결정되어 있는 상태를 나타내는 측면도이다.
도 9는 제5 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 아쿠아 나이프의 토출 방향 안내판이 제2 회전 위치에 있고, 검출부가 초기 위치에 위치 결정되어 있는 상태를 나타내는 측면도이다.
도 10은 제5 실시형태에 따른 기판 처리 장치에 있어서, 아쿠아 나이프의 토출 방향 안내판이 제2 회전 위치에 있고, 검출부가 검출 위치에 위치 결정되어 있는 상태를 나타내는 측면도이다.
<제1 실시형태>
제1 실시형태에 대해서, 도 1∼3을 참조하여 설명한다. 실시형태에 있어서의 기판 처리 장치(1)는, 예컨대, 기판의 세정 처리 장치나, 기판의 표면에 포토레지스트의 피막을 형성하는 처리 장치, 노광 처리 장치, 현상 처리 장치, 에칭 처리 장치, 박리 처리 등의 프로세스 처리 장치 등으로 할 수 있다.
(기본 구성)
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)는, 처리실(10)과, 반송 장치(20)와, 검출부(30a, 30b)와, 아쿠아 나이프(40)와, 제어 장치(50)를 구비하고 있다. 처리 대상의 기판(W)으로서는, 예컨대, 유리 기판이나, 액정 기판, 반도체 기판 등의 직사각 형상의 기판이 이용된다.
처리실(10)은, 기판(W)이 반송되는 반송로(H1)를 내부에 갖는 케이스(챔버)이고, 기판(W)이 반송로(H1)를 따라 처리실(10) 내를 이동 가능하게 형성되어 있다. 이 처리실(10)은, 반송로(H1)를 이동하는 기판(W)을 처리하는 방으로서 기능한다. 처리실(10)에 있어서, 기판(W)이 반송되는 반송로(H1)의 일방측에는, 기판(W)을 처리실(10) 내에 반입하기 위한 개구인 반입구(11)를 갖고 있다. 또한, 기판(W)이 반송되는 반송로(H1)에 있어서의 타방측에는, 처리실(10) 내의 기판(W)을 반출하기 위한 개구인 반출구(12)를 갖고 있다. 또한, 처리실(10)의 바닥면에는, 액을 배출하는 배출구(도시하지 않음)가 형성되어 있다.
반송 장치(20)는, 기판(W)을 반송로(H1)를 따라, 일방향 및 이것에 역행하는 역방향으로 왕복 운동하여 반송하는 것이 가능하게 형성되어 있다. 반송 장치(20)는, 복수의 반송 롤러(21)를 갖고 있고, 이들의 반송 롤러(21)에 의해 기판(W)을 반송한다. 각 반송 롤러(21)는, 각각의 길이 방향이 기판(W)의 반송 방향(A1)에 대하여, 수평면 내에서 직교하도록 위치되고, 반송로(H1)를 형성하도록 소정 간격으로 나열되어 있다. 이들 반송 롤러(21)는, 처리실(10) 내에 정회전 및 역회전이 가능하게 마련되어 있고, 구동원(도시하지 않음)에 의해 서로 동기하여 회전하도록 구성되어 있다. 반송 롤러(21)는, 각각, 복수의 롤러(21a)와, 샤프트(21b)를 갖고 있다. 각 롤러(21a)는, 소정 간격으로 샤프트(21b)에 부착되어 있다. 샤프트(21b)가 회전하면, 그 샤프트(21b)에 부착된 각 롤러(21a)가 회전한다. 이러한 각 반송 롤러(21) 상에 배치된 기판(W)은, 회전하는 각 반송 롤러(21)에 의해, 반송로(H1)를 따라 반송된다.
검출부(30a), 검출부(30b)는, 기판(W)의 도래 및 반송 위치를 파악하기 위해, 기판(W)을 검출하고, 기판(W)을 검출한 것을 나타내는 검출 신호를 제어 장치(50)에 출력한다. 검출부(30a)는, 처리실(10) 내에 있어서, 기판의 반송 방향(A1)의 상류측에서, 반송로(H1)의 상방에 마련된다. 검출부(30b)는, 처리실(10) 내에 있어서, 반송 방향(A1)의 하류측에서, 반송로(H1)의 상방에 마련된다. 검출부(30a), 검출부(30b)는 각각, 예컨대, 반송로(H1)를 향하여, 광(예컨대 레이저 광)을 조사하는 투광부와, 기판(W)에 의해 반사된 반사광을 검출하는 수광부를 구비하는 광 센서이다.
검출부(30a), 검출부(30b)가 후술하는 아쿠아 나이프(40)의 근방에 마련된 경우, 아쿠아 나이프(40)로부터 토출되는 처리액에 의해 기판(W)의 검출이 방해될 우려가 있다. 그 때문에, 검출부(30a, 30b)는, 아쿠아 나이프(40)로부터 토출되는 처리액이 닿지 않는 위치에 마련되는 것이 바람직하다.
아쿠아 나이프(40)는, 반송로(H1)의 상방에 마련되고, 반송로(H1)를 따라 반송되는 기판(W)에 처리액을 공급한다. 아쿠아 나이프(40)는, 하방에 슬릿형의 개구를 갖고, 그 길이 방향이 반송로(H1)에 대하여 수평면 내에서 교차하는 방향(본 실시형태에서는 직교하는 방향)을 따라 마련된다. 반송 방향(A1)에 수평면 내에서 직교하는 방향에 있어서, 아쿠아 나이프(40)가 갖는 슬릿형의 개구의 길이는, 반송되는 기판(W)의 길이 이상으로 되어 있다. 아쿠아 나이프(40)에 대한 상세한 것은 후술한다. 또한, 아쿠아 나이프(40)는, 도시하지 않는 처리액 공급 탱크 등의 처리액 공급원 및 펌프 등의 송액 기구에 접속되어 있다. 송액 기구는, 예컨대 펌프의 출력을 변경함으로써, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출량(단위 시간당의 토출량)을 조정할 수 있다.
제어 장치(50)는, 각 부를 집중적으로 제어하는 마이크로 컴퓨터와, 기판 처리에 관한 처리 정보나 각종 프로그램 등을 기억하는 기억부를 갖고 있다. 제어 장치(50)는, 기판 처리 정보나 각종 프로그램에 기초하여, 반송 장치(20)나 아쿠아 나이프(40) 등의 각 부를 제어한다. 또한, 제어 장치(50)는, 검출부(30a), 검출부(30b)로부터 출력된 검출 신호를 수신한다. 제어 장치(50)는, 예컨대, 수신한 검출 신호에 기초하여, 기판(W)의 반송 위치를 판단하여, 반송 롤러(21)의 회전 방향을 변경한다.
(아쿠아 나이프)
다음에 아쿠아 나이프(40)의 구조를 설명한다. 아쿠아 나이프(40)는, 저류부(41)와 토출 방향 안내판(42)과 회전축(43)(토출 방향 변경부)을 구비한다.
저류부(41)는, 반송로(H1)측에 개구를 갖고 있다. 이 개구는, 반송로(H1)에 근접함에 따라, 개구 면적이 넓어지도록 마련되어 있다. 그리고, 후술하는 토출 방향 안내판(42)에 의해, 처리액을 저류 가능하게 마련되며, 개구가 슬릿형으로 형성된다.
토출 방향 안내판(42)은, 저류부(41)의 하방에, 일단이 저류부(41)의 개구로부터 돌출하고, 타단이 저류부(41)의 내부로 들어가도록 마련된 판형의 부재이다. 반송 방향(A1)에 수평면 내에서 직교하는 방향에 있어서, 토출 방향 안내판(42)의 길이는, 저류부(41)의 개구와 대략 동일하다. 이하, 설명의 편의상, 토출 방향 안내판(42)에 있어서 반송로(H1)에 가까운 측을 선단부(42a), 반송로(H1)에 먼 측으로서 저류부(41)의 내부로 들어간 부분을 후단부(42b)로 한다.
토출 방향 안내판(42)의 반송 방향(A1)에 수평면 내에서 직교하는 방향에 있어서의 단부의 각각에는, 회전축(43)이 마련되어 있다. 토출 방향 안내판(42)은, 회전축(43)에 고정되어 있고, 회전축(43)이 회전함으로써, 토출 방향 안내판(42)이 회전한다. 또한, 토출 방향 안내판(42)의 후단부(42b)는, 저류부(41)의 내부에 접촉하여, 그 회전이 규제된다. 처리액 공급원으로부터 송액되어, 저류부(41)에 저류된 처리액은, 저류부(41)의 개구 및 토출 방향 안내판(42)의 선단부(42a)에 의해 형성된 슬릿형의 개구로부터, 선단부(42a)를 따르도록 유도되어, 토출된다. 토출 방향 안내판(42)의 회전 위치에 의해, 처리액이 토출되는 방향을 변경할 수 있다. 즉, 토출 방향 안내판(42)은, 처리액의 토출 방향을 유도한다.
(기판 처리 공정)
다음에, 전술한 기판 처리 장치(1)가 행하는 기판 처리 공정의 일례에 대해서 설명한다. 이 예는, 기판(W)이 처리실 내를 1.5 왕복하여, 아쿠아 나이프(40)에 의한 처리액의 공급을 3회 받는 것이다.
도 1 및 도 2에 나타내는 기판 처리 장치(1)에서는, 반송 장치(20)의 각 반송 롤러(21)가 정회전하고 있다. 기판(W)은, 반입구(11)로부터 반입되면, 반송 롤러(21)의 회전에 의해, 반송로(H1)를 따라 이동한다. 반입되는 기판(W)은, 예컨대, 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)보다 상류 공정의 장치(처리조)에 있어서, 샤워 노즐 등으로부터 처리액(예컨대, 박리액이나, 현상액)의 공급을 받아, 표면에 액막이 형성된 기판이다.
검출부(30a)에 의해 기판(W)이 검출되면, 검출 신호가 제어 장치(50)에 송신된다. 이 검출 신호를 수신한 제어 장치(50)는, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액(예컨대, 순수나, CO2수 등의 세정액)의 토출을 개시한다. 이때, 토출 방향 안내판(42)은, 선단부(42a)가 후단부(42b)보다 반송 방향(A1)에 있어서의 상류측이 되는 것 같은 회전 위치(이하, 제1 회전 위치라고 함)에 위치되어 있다. 이에 의해, 아쿠아 나이프(40)로부터, 반송되는 기판(W)에 대하여 반송 방향(A1)의 상류측을 향하여 처리액이 토출된다. 기판의 반송 방향 상류측을 향하여 처리액을 토출시키면, 아쿠아 나이프(40)로부터 토출된 처리액과, 반송되는 기판의 상대 속도가 증가하기 때문에, 효율적으로 기판 상의 액체(액막)를 배제하여, 아쿠아 나이프(40)로부터 토출된 처리액으로 치환할 수 있다.
또한, 검출부(30a)에 의해 기판(W)이 검출된다는 것은, 검출부(30a)에 의해 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부를 검출하거나, 검출부(30a)에 의해 기판(W)에 있어서의 반송 방향 상류측의 단부를 검출하거나 하는 것이다. 검출부(30a)는, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부를 검출함으로써 검출 신호를 제어 장치(50)에 송신하여도 좋고, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 상류측의 단부를 검출함으로써 검출 신호를 제어 장치(50)에 송신하여도 좋다. 검출부(30a)가 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부를 검출하는 경우, 검출부(30a)는, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부에 의해 반사된 반사광을 검출함으로써 검출 신호를 제어 장치(50)에 송신한다. 또한, 검출부(30a)가 기판(W)에 있어서의 반송 방향 상류측의 단부를 검출하는 경우, 검출부(30a)는, 기판(W)으로부터 반사된 반사광을 검출한 후, 반사광을 검출할 수 없게 되면 검출 신호를 제어 장치(50)에 송신한다.
아쿠아 나이프(40)로부터 처리액이 토출되고 있는 상태에서, 기판(W)이 아쿠아 나이프(40)에 대향하는 위치를 통과하면, 기판(W)의 표면에 처리액이 공급되어, 기판(W)이 처리액에 의해 처리되어 간다. 이때, 기판(W)의 표면으로부터 낙하한 처리액은, 처리실(10) 내의 바닥면에 마련된 배출구로부터 배출된다.
아쿠아 나이프(40)에 의해 처리액의 공급을 받은 기판(W)은, 처리실(10)의 반송 방향(A1)에 있어서의 하류측까지 반송된다. 검출부(30b)에 의해 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출되면, 검출 신호가 제어 장치(50)에 송신된다. 이 검출 신호를 수신한 제어 장치(50)는, 반송 장치(20)의 구동을 일시적으로 정지시키고, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출도 일시적으로 정지시킨다. 또한, 아쿠아 나이프(40)의 회전축(43)을 회전(도 1에서는 반시계 방향으로 회전)시킴으로써, 토출 방향 안내판(42)의 회전 위치를 변경한다. 이때의 상태를 도 3에 나타낸다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 토출 방향 안내판(42)은, 선단부(42a)가 후단부(42b)보다 반송 방향(A2)에 있어서의 상류측이 되는 것 같은 회전 위치(이하, 제2 회전 위치라고 함)에 위치된다. 또한, 반송 방향(A2)은, 반송 방향(A1)에 역행하는 방향이다. 또한, 처리액의 공급을 정지할 때의 기판(W)의 반송 위치는, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 상류측의 단부가 아쿠아 나이프(40)의 바로 아래를 통과한 위치이다.
토출 방향 안내판(42)의 회전 위치의 변경이 완료하면, 제어 장치(50)는, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출을 재개시킨다. 또한, 반송 장치(20)의 반송 롤러(21)를 역회전으로 구동시킨다. 이에 의해, 기판(W)은 반송 방향(A2)으로 반송되어, 재차 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 공급을 받는다. 이때도, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액은, 기판(W)에 대하여 기판의 반송 방향의 상류측(반송 방향(A2)에 있어서의 상류측)을 향하여 토출되게 된다. 그리고, 처리실(10)의 반송 방향(A2)에 있어서의 하류측(즉, 반송 방향(A1)에 있어서의 상류측)까지 반송된다.
처리실(10)의 반송 방향(A2)에 있어서의 하류측까지 반송된 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30a)에 의해 검출되면, 검출 신호가 제어 장치(50)에 송신된다. 이 검출 신호를 수신한 제어 장치는, 반송 장치(20)의 구동을 일시적으로 정지시키고, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출도 일시적으로 정지시킨다. 또한, 아쿠아 나이프(40)의 회전축(43)을 회전(도 3에서는 시계 방향에 회전)시킴으로써, 토출 방향 안내판(42)의 회전 위치를 재차 제1 회전 위치로 변경한다. 토출 방향 안내판(42)의 회전 위치의 변경이 완료하면, 제어 장치(50)는, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출을 재개시키고, 반송 롤러(21)도 정회전으로 구동시킨다.
기판(W)은, 전술한 바와 마찬가지로, 반송 방향(A1)의 하류측까지 반송되면서 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 공급을 받는다. 그리고, 반송 방향(A1)에 있어서의 하류까지 반송된 기판(W)은, 반출구(12)로부터 반출된다.
이상 설명한 바와 같이, 제1 실시형태에 의하면, 정회전과 역회전이 가능한 반송 롤러(21)를 가짐으로써, 기판(W)이 반송로(H1)를 따라, 일방향(반송 방향(A1)) 및 이것에 역행하는 역방향(반송 방향(A2))의 양 방향으로 반송된다. 기판(W)이, 처리실(10) 내의 반송로(H1)를 왕복하도록 반송됨으로써, 기판(W)에 대하여, 복수회, 아쿠아 나이프(40)로부터 처리액을 공급할 수 있다. 이에 의해, 아쿠아 나이프가 1개여도, 기판(W)에 대하여 복수회 처리액을 공급할 수 있다. 혹은, 아쿠아 나이프가 1개여도, 기판(W)에 대하여 장시간 또는 대량으로 처리액을 공급할 수 있다. 따라서, 처리 라인이 길어져, 장치 전체가 대형화하는 것을 억제할 수 있다.
더구나, 기판(W)에 처리액을 공급하는 아쿠아 나이프(40)는, 처리액을 토출하는 방향을 변경할 수 있게 되어 있다. 보다 구체적으로는, 아쿠아 나이프(40)가 갖는 토출 방향 안내판(42)이 회전함으로써, 기판(W)이 어느 쪽의 방향으로 반송되고 있을 때에도, 기판의 반송 방향의 상류측을 향하여 처리액을 공급할 수 있다. 이에 의해, 처리실(10) 내에서 기판(W)을 왕복시키도록 기판을 반송하여, 처리하였다고 해도, 기판의 반송 방향에 관계없이, 효율적으로 기판(W) 상의 액체(액막)를 배제하여, 아쿠아 나이프(40)로부터 새롭게 공급된 처리액으로 치환할 수 있다.
여기서, 처리실(10)에 있어서의 기판(W)의 반송 방향의 길이를 작게 하는 것에 대해서 검토한다. 기판(W)에 있어서의 반송 방향 상류측의 단부를 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출하는 경우, 검출부(30a), 검출부(30b)를 아쿠아 나이프(40)의 근방에 마련할 필요가 있다. 그러나, 전술한 바와 같이, 검출부(30a), 검출부(30b)를 아쿠아 나이프(40)의 근방에 마련하면, 아쿠아 나이프(40)로부터 토출되는 처리액에 의해 기판(W)의 검출이 방해될 우려가 있다.
기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부를 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출하면, 검출부(30a), 검출부(30b)를 아쿠아 나이프(40)로부터 떨어진 위치에 마련할 수 있다. 이 경우, 기판(W)이 처리실(10) 내를 왕복하여 처리액의 공급을 받기 위해서는, 반송 방향(A2)을 따라 반송되는 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부에 토출 방향 안내판(42)이 제2 회전 위치에 있는 아쿠아 나이프(40)로부터 처리액이 공급되는 위치까지, 반송 방향(A1)을 따라 기판(W)은 반송된다.
따라서, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부에 아쿠아 나이프(40)로부터 처리액이 공급되는 위치에 기판(W)이 있는 것을 검출부(30b) 혹은, 검출부(30a)에 의해 검출하는 것이 바람직하다. 또한, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부에 아쿠아 나이프(40)로부터 처리액이 공급되는 위치보다 기판(W)이 반송 방향 하류측의 위치에 반송되는 것은, 처리실(10)에 있어서의 기판(W)의 반송 방향의 길이의 증대를 초래한다.
따라서, 검출부(30a)는, 반입구(11)가 마련된 처리실(10)의 내벽 또는 그 근방에 마련되는 것이 바람직하다. 검출부(30b)는, 반출구(12)가 마련된 처리실(10)의 내벽 또는 그 근방에 마련되는 것이 바람직하다. 검출부(30a), 검출부(30b)를 전술한 바와 같이 마련함으로써, 처리실(10)에 있어서의 기판(W)의 반송 방향의 길이를 가장 작게 형성할 수 있다. 따라서, 기판(W)의 처리 라인이 장대해지는 것을 억제할 수 있다.
또한, 검출부(30a)(검출부(30b))가 반입구(11)(반출구(12))에 마련됨으로써 기판(W)의 처리 라인이 장대해지는 것을 억제할 수 있는 것은, 반입구(11)로부터 아쿠아 나이프(40)까지의 길이와, 아쿠아 나이프(40)로부터 반출구(12)까지의 길이가 같은 경우이다. 또한, 반입구(11)로부터 아쿠아 나이프(40)까지의 길이 및 아쿠아 나이프(40)로부터 반출구(12)까지의 길이는, 각각 기판(W)에 있어서의 반송 방향의 길이보다 약간 길어진다.
또한, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부를 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출함으로써, 처리액의 공급을 정지하는 것이 바람직하다. 또한, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출된 타이밍에 아쿠아 나이프(40)의 회전축(43)을 회전시키는 것이 바람직하다. 또한, 토출 방향 안내판(42)의 회전 위치의 변경이 완료하면, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출을 재개시키고, 반송 롤러(21)의 회전 방향을 전환하도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 전술한 설명에서는, 기판(W)이 처리실 내를 1.5 왕복하도록 하여, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 공급을 3회 받는 예를 들었지만, 이에 한정되지 않는다. 왕복의 횟수를 변경함으로써, 기판(W)에 처리액을 공급하는 횟수를 변경할 수 있다. 이 횟수에 따라, 공급되는 처리액량 또는 처리 시간도 조정할 수 있다. 또한, 처리실(10)에 반출구(12)를 마련하지 않고, 반입구와 반출구를 공용하도록 하여도 좋다. 즉, 처리실에 마련된 개구로부터 반입되어, 소정 횟수의 처리를 받은 기판(W)은, 동일한 개구로부터 반출되도록 하여도 좋다.
<제2 실시형태>
다음에 제2 실시형태에 대해서, 도 4를 참조하여 설명한다. 또한, 제2 실시형태에서는, 제1 실시형태와의 상위점(처리액을 전환하는 점)에 대해서 설명하고, 그 외의 설명은 생략한다.
제2 실시형태에 따른 아쿠아 나이프(40)는, 처리액 공급 탱크 등의 처리액 공급원이, 복수 마련되어 있는 점에서 제1 실시형태와 상위하다. 복수의 처리액 공급원은, 전환하기 위한 밸브 등을 통해, 아쿠아 나이프(40)에 접속되어 있다. 이에 의해, 아쿠아 나이프(40)로부터 토출하는 처리액의 종류를 변경할 수 있도록 마련된다. 제2 실시형태에 있어서는, 기판에 대하여, 제1 처리액(예컨대 박리액이나, 현상액)과, 제2 처리액(예컨대, 순수나, CO2수 등의 세정액)의 2종류의 처리액으로 처리하는 예를 설명한다. 처리 대상의 기판은, 예컨대, 표면에 RGB 레지스트막이 형성된 기판이나, 컬러 필터 공정 또는 회로 패턴을 형성하는 성막 기판, TFT 어레이 공정의 기판으로 할 수 있다. 또한, 기판의 종류 및 처리액의 종류는, 이에 한정되지 않는다.
아쿠아 나이프(40)에는, 도중에 분기된 배관을 통해, 제1 처리액 공급원(61)과, 제2 처리액 공급원(62)이 접속되어 있다. 아쿠아 나이프(40)와 제1 처리액 공급원(61) 사이에는, 제1 밸브(63)가 마련된다. 아쿠아 나이프(40)와 제2 처리액 공급원(62) 사이에는, 제2 밸브(64)가 마련된다. 제1 밸브(63) 및 제2 밸브(64)는, 그 개폐가, 제어 장치(50)에 의해 제어된다. 제어 장치(50)는, 제1 밸브(63) 및 제2 밸브(64)의 개폐와, 도시하지 않는 펌프 등의 송액 기구를 제어함으로써, 아쿠아 나이프(40)로부터 어느 하나의 처리액을 토출시킨다.
반입구(11)로부터 반입된 기판(W)이, 검출부(30a)에 의해 검출되면, 검출 신호가 제어 장치(50)에 송신된다. 이 검출 신호를 수신한 제어 장치(50)는, 제1 밸브(63)를 개방 상태, 제2 밸브(64)를 폐쇄 상태로 하여, 아쿠아 나이프(40)로부터 제1 처리액(예컨대, 박리액)의 토출을 개시한다. 이때, 토출 방향 안내판(42)은, 제1 회전 위치이다. 기판(W)은, 반송 방향(A1)으로 반송되면서, 아쿠아 나이프(40)로부터 제1 처리액의 공급을 받는다.
제1 처리액의 공급을 받은 기판(W)이, 처리실(10)의 반송 방향(A1)에 있어서의 하류측까지 반송되면, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30b)에 검출되고, 제어 장치(50)에 검출 신호가 송신된다. 이 검출 신호를 수신한 제어 장치(50)는, 반송 장치(20)의 구동을 일시적으로 정지한다.
이어서, 제어 장치(50)는, 제1 밸브(63)를 폐쇄 상태로 하여, 제1 처리액의 토출을 정지한다. 제1 처리액의 토출이 정지되었다면, 회전축(43)을 회전시켜, 토출 방향 안내판(42)을 제2 회전 위치로 변경한다. 그리고, 제2 밸브(64)를 개방 상태로 하여, 아쿠아 나이프(40)로부터 제2 처리액(예컨대, 순수)을 토출시킨다. 즉, 기판(W)을 일방향으로 반송할 때와, 기판(W)을 일방향과는 역행하는 역방향으로 반송할 때에, 아쿠아 나이프(40)로부터 토출되는 처리액을 전환한다. 저류부(41)의 내부에 있는 제1 처리액이, 제2 처리액에 치환되었다면, 반송 장치(20)의 구동을 재개하여, 기판(W)을 반송 방향(A2)으로 반송한다. 기판(W)은, 반송 방향(A2)으로 반송되면서, 아쿠아 나이프(40)로부터 제2 처리액의 공급을 받는다. 또한, 미리 실험 등에 의해 저류부(41)의 내부의 액이 완전히 치환되기까지의 소정 시간을 구해 두어, 제2 처리액의 토출을 개시하고 나서 소정 시간이 경과하였다면, 제2 처리액으로 치환된 것으로 하여, 반송 장치(20)의 구동을 재개하면 좋다.
기판(W)이, 제2 처리액의 공급을 받아, 반송 방향(A2)에 있어서의 하류측까지 반송된 것이, 검출부(30a)에 의해 검출되면, 제2 밸브(64)를 폐쇄 상태로 하여, 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출을 정지한다. 그리고, 반송 롤러(21)를 정회전시켜, 기판(W)을 반송 방향(A1)으로 반송한다. 반송 방향(A1)에 있어서의 하류까지 반송된 기판(W)은, 반출구(12)로부터 반출된다.
이상 설명한 바와 같이, 제2 실시형태에 의하면, 제1 실시형태와 마찬가지로, 처리 라인이 길어져, 장치 전체가 대형화하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 토출 방향 안내판(42)을 가짐으로써, 기판(W)을 어느 쪽의 방향으로 반송하고 있을 때라도, 기판의 반송 방향 상류측을 향하여 처리액을 공급할 수 있기 때문에, 효율적으로 기판(W) 상의 액체를 치환할 수 있다.
또한, 제2 실시형태에 의하면, 아쿠아 나이프(40)에 복수의 처리액 공급원이 접속되어, 토출하는 처리액을 전환하는 것이 가능하기 때문에, 하나의 처리실에서 다른 처리액을 이용한 처리를 행할 수 있다. 이에 의해, 복수의 처리액에 의해 기판(W)을 처리하는 경우에 있어서도, 복수의 처리실을 마련하지 않아도 되게 되기 때문에, 처리 라인이 길어져, 장치가 대형화하는 것을 억제할 수 있다.
<제3 실시형태>
다음에 제3 실시형태에 대해서, 도 5를 참조하여 설명한다. 제3 실시형태는, 전술한 제1 실시형태 또는 제2 실시형태의 변형예이기 때문에, 제1 실시형태 또는 제2 실시형태와의 상위점(아쿠아 나이프로부터의 처리액의 토출 방향에 따라, 토출압이 다른 점)에 대해서 설명하고, 그 외의 설명은 생략한다.
제3 실시형태에 따른 아쿠아 나이프(140)는, 회전축(143)의 중심(S)(회전축)이, 저류부(141)의 개구의 폭(아쿠아 나이프(140)가 연장되는 방향에 직교하는 방향의 길이로서, 도 5에 있어서의 좌우 방향의 길이)에 있어서의 중앙(C)에 대하여, 반송 방향(A1)의 하류측으로 어긋난 위치에 마련된다. 이에 의해, 회전축(143)에 고정된 토출 방향 안내판(142)이 제1 회전 위치에 있을 때(도 5의 (a))보다, 토출 방향 안내판(142)이 제2 회전 위치에 있을 때(도 5의 (b)) 쪽이, 저류부(141)의 개구와 토출 방향 안내판(142)에 의해 형성되는 슬릿의 폭이 좁아진다. 즉, 아쿠아 나이프(140)는, 저류부(141)의 슬릿형의 개구의 폭을 변경 가능하다. 슬릿의 폭이 좁아지면, 단위 시간당의 토출량이 동일하여도, 기판(W)에 대한 처리액의 토출압을 강하게 할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 제3 실시형태에 의하면, 반송 방향(A1)의 상류측을 향하여 처리액을 토출할 때보다, 반송 방향(A2)의 상류측을 향하여 처리액을 토출할 때 쪽이, 기판(W)에 대한 토출압을 강하게 할 수 있다.
예컨대, 반송 방향(A1)으로 반송하면서 약한 토출압으로 기판을 조세정(粗洗淨)한 후에, 반송 방향(A2)으로 반송하면서 강한 토출압으로 마무리 세정할 수 있다. 이에 의해, 처리 불균일(처리가 균일하지 못함)이 발생하기 쉬운 기판에 있어서도, 처리 불균일의 발생을 억제할 수 있어, 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 전술한 제2 실시형태로서 설명한 바와 같이, 복수의 처리액을 전환 가능하게 마련하면, 처리액의 종류에 따라, 토출압을 선택할 수 있다. 보다 상세하게는, 토출하는 처리액의 종류에 따라(즉 처리 공정에 따라), 기판(W)의 반송 방향과, 토출 방향 안내판(142)의 회전 위치를 선택함으로써, 토출압을 변경할 수 있다. 이에 의해, 처리 공정에 알맞은 토출압으로 할 수 있다.
예컨대, 표면에 RGB 레지스트막이 형성된 기판이나, 각종 에칭 공정 후의 레지스트 기판의 처리에 있어서, 반송 방향(A1)으로 반송하면서 약한 토출압으로 박리액을 공급한 후에, 반송 방향(A2)으로 반송하면서 강한 토출압으로 처리액(예컨대 순수)을 공급할 수 있다. 액정 기판에 대하여 박리액을 공급하는 경우, 기판에 대한 토출압을 약하게 함으로써, 두꺼운 액막이 형성되어, 기판 표면의 막을 충분히 팽윤시킬 수 있다. 이 후, 처리액의 공급에 있어서는, 박리액의 공급 시간보다, 기판에 대한 토출압을 강화함으로써, 기판 표면의 액의 흐름이 빨라지기 때문에, 팽윤한 막을 균일하게 제거할 수 있다.
<제4 실시형태>
다음에 제4 실시형태에 대해서 도 6을 참조하여 설명한다. 제4 실시형태는, 전술한 제1 실시형태 또는 제2 실시형태의 변형예이기 때문에, 제1 실시형태 또는 제2 실시형태와의 상위점(아쿠아 나이프로부터의 처리액의 토출압이 조정 가능한 점)에 대해서 설명하고, 그 외의 설명은 생략한다.
제4 실시형태에 따른 아쿠아 나이프(240)의 토출 방향 안내판(242)은, 그 후단부(242b)가 탄성 부재로 형성되어, 압박을 받으면 휘어지도록 되어 있다. 탄성 부재는, 예컨대 수지이다.
도 6의 (a)에 나타내는 바와 같은 아쿠아 나이프(240)의 회전축(243)을 회전시키면, 토출 방향 안내판(242)의 후단부(242b)가, 저류부(241)의 내부에 접촉한다. 이에 의해, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 반송 방향 상류측(도 6에 있어서는 좌측)을 향하여 처리액을 토출 가능하게, 선단부(242a)측에 슬릿이 형성된다. 여기서, 회전축(243)을 더 회전시키면, 도 6의 (c)에 나타내는 바와 같이, 토출 방향 안내판(242)도 회전하지만, 후단부(242b)는 저류부(241)의 내부에 접촉하고 있기 때문에, 휘어짐이 더 커진다. 이와 같이, 후단부(242b)가 휘어짐으로써, 처리액을 토출하는 슬릿의 폭을 작게 할 수 있다.
이와 같이, 제4 실시형태에 의하면, 아쿠아 나이프(240)의 후단부(242b)를 탄성 부재로 형성함으로써, 토출 방향 안내판(242)의 회전량에 의해, 처리액을 토출하는 슬릿폭을 조정할 수 있다. 슬릿폭을 조정함으로써, 처리 대상의 기판(W)의 종류나, 처리액의 종류, 처리 공정에 의해, 바람직한 토출압으로 조정할 수 있게 되어, 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.
<제5 실시형태>
다음에 제5 실시형태에 대해서, 도 7 내지 도 10을 참조하여 설명한다. 또한, 제5 실시형태에서는, 제1 실시형태와의 상위점(처리액의 공급을 정지하기 위한 검출기를 더 마련하는 점)에 대해서 설명하고, 그 외의 설명은 생략한다.
제5 실시형태에 따른 검출부(30c)는, 처리액의 공급을 정지하는 타이밍을 제어 장치(50)가 파악하기 위해, 기판(W)의 유무를 검출한다. 검출부(30c)가 기판(W)의 유무를 검출하면, 기판(W)의 유무를 검출한 것을 나타내는 검출 신호를 제어 장치(50)에 송신한다. 즉, 검출부(30c)는, 기판(W)의 유무를 검출하여, 처리액의 공급을 정지할 타이밍을 제어 장치(50)가 파악하기 위한 검출 신호를 제어 장치(50)에 송신한다.
검출부(30c)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 인접하는 2개의 반송 롤러(21) 사이에 마련된다. 검출부(30c)는, 기판(W)에 처리액이 닿지 않게 되는 순간에 제어 장치(50)에 보내는 검출 신호가 변화하는 위치에 마련되는 것이 바람직하다. 예컨대, 검출부(30c)는, 아쿠아 나이프(40)의 근방에 있으며, 서로 인접하는 2개의 반송 롤러(21) 사이에 마련되는 것이 바람직하다. 검출부(30c)는, 진자 부재(30c1), 지축(30c2), 검출용 롤러(30c3), 웨이트(30c4), 마그넷(30c5), 검출 센서(30c6)를 갖는다.
진자 부재(30c1)는, 처리실(10)의 내벽에 마련된 도시하지 않는 부착부에 지점이 되는 지축(30c2)을 중심으로 하여 요동 가능하게 부착되어 있다. 진자 부재(30c1)는, 일단과 타단을 갖는 직선형의 판 부재이다. 진자 부재(30c1)는, 지축(30c2)을 중심으로 하여, 도시하지 않는 부착부를 따라, 기판(W)의 반송 방향과 수직인 방향과 기판(W)의 반송 방향으로 형성되는 면내에 있어서, 회전 방향(R)과 역회전 방향(R1)을 따라 요동 가능하다.
검출용 롤러(30c3)는, 도시하지 않는 부착 축부를 이용하여 진자 부재(30c1)의 일단에, 회전 가능하게 부착되어 있다. 진자 부재(30c1)의 타단에는, 금속제의 웨이트(30c4)가 고정되어 있다. 웨이트(30c4)는, 검출용 롤러(30c3)와의 중량 밸런스를 맞추기 위해 마련되어 있다. 웨이트(30c4) 속에는, 마그넷(30c5)이 부착되어 있다.
검출 센서(30c6)는, 진자 부재(30c1)가 후술하는 초기 위치(P1)에 위치되어 있는 상태에서, 마그넷(30c5)에 약간 간격을 띄운 상태로 대면하도록, 도시하지 않는 부착부에 고정되어 있다. 검출 센서(30c6)는, 도시하지 않는 전기 배선을 통해 제어 장치(50)와 접속된다. 검출 센서(30c6)는, 진자 부재(30c1)가 후술하는 검출 위치(P2) 혹은, 후술하는 검출 위치(P3)가 되었을 때에, 즉 기판(W)이 검출용 롤러(30c3)를 밀어 내렸을 때에, 마그넷(30c5)의 발생하는 자계의 변화를 검출한다. 기판(W)이 검출용 롤러(30c3)를 밀어 내렸을 때에 발생하는 마그넷(30c5)의 자계의 변화를 검출함으로써, 검출 센서(30c6)는, 기판(W)을 검출한 신호를 제어 장치(50)에 보낸다.
진자 부재(30c1)는, 기판(W)과 접촉하지 않은 상태에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 초기 위치(P1)에 위치 결정되어 있다. 진자 부재(30c1)가 초기 위치(P1)에 위치 결정되어 있음으로써, 진자 부재(30c1)의 길이 방향은, 기판(W)의 반송 방향과 수직인 방향과 평행하다. 초기 위치(P1)에 있어서, 검출용 롤러(30c3)는, 반송 장치(20)에 의해 반송되는 기판(W)의 높이에 위치한다. 그리고, 기판(W)이 반송 방향(A1)으로 이동하였을 때에 검출용 롤러(30c3)에 접촉하고, 진자 부재(30c1)가 지축(30c2)을 중심으로 하여 회전 방향(R)으로 회전 운동한다. 회전 방향(R)으로 회전 운동한 진자 부재(30c1)는, 도 8에서 나타내는 바와 같이 검출 위치(P2)에 설치된다.
검출 위치(P2)는, 반송 방향(A1)을 따라 반송된 기판(W)이 검출용 롤러(30c3)를 밀어 내렸을 때의 검출부(30c)의 위치이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 진자 부재(30c1)가 검출 위치(P2)로 회전하였을 때에, 즉 기판(W)이 검출용 롤러(30c3)를 밀어 내렸을 때에는, 진자 부재(30c1)의 길이 방향은, 기판(W)의 반송 방향과 수직인 방향에 대하여, 소정의 각도만큼, 지축(30c2)을 중심으로 하여 회전 방향(R)으로 회전된다. 이에 의해, 마그넷(30c5)은, 검출 센서(30c6)로부터 회전 방향(R)으로 떨어진다.
또한, 검출 위치(P3)는, 반송 방향(A2)을 따라 반송된 기판(W)이 검출용 롤러(30c3)를 밀어 내렸을 때의 검출부(30c)의 위치이다. 기판(W)이 반송 방향(A2)을 따라 이동하여 기판(W)이 검출용 롤러(30c3)에 접촉하면, 진자 부재(30c1)가 지축(30c2)을 중심으로 하여 역회전 방향(R1)으로 소정의 각도만큼 회전 운동한다. 그리고, 진자 부재(30c1)는, 도 10에서 나타내는 바와 같이 검출 위치(P3)의 위치로 회전한다. 이에 의해, 마그넷(30c5)은, 검출 센서(30c6)로부터 역회전 방향(R1)으로 떨어진다.
검출용 롤러(30c3)(도시하지 않는 부착 축부)와 지축(30c2) 사이의 거리는, 지축(30c2)과 마그넷(30c5)(웨이트(30c4)) 사이의 거리에 비해서, 바람직하게는 짧게 설정되어 있다. 이에 의해, 진자 부재(30c1)가 검출 위치(P2)(검출 위치(P3))로부터 초기 위치(P1)에 역회전 방향(R1)(회전 방향(R))으로 회전하여 복귀할 수 있다.
먼저, 아쿠아 나이프(40)의 토출 방향 안내판(42)이 제1 회전 위치에 있을 때의 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 공급을 정지하는 방법을 설명한다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 아쿠아 나이프(40)의 토출 방향 안내판(42)이 제1 회전 위치에 있을 때, 기판(W)이 반송 방향(A1)을 따라 반송되는 도중에, 검출용 롤러(30c3)는, 기판(W)의 이면에 의해 눌린다. 그 때문에, 진자 부재(30c1)는, 도 7에 나타내는 초기 위치(P1)로부터, 도 8에 나타내는 검출 위치(P2)로 지축(30c2)을 중심으로 하여 회전 방향(R)으로 회전한다.
진자 부재(30c1)가 지축(30c2)을 중심으로 하여 회전 방향(R)으로 회전함으로써, 마그넷(30c5)도 지축(30c2)을 중심으로 하여 회전 방향(R)으로 회전된다. 마그넷(30c5)이 회전하면, 마그넷(30c5)은, 도 7에 나타내는 검출 센서(30c6)에 대향한 상태로부터 도 8에 나타내는 검출 센서(30c6)로부터 떨어진 위치로 이동한다. 따라서, 마그넷(30c5)으로부터 발생하는 자계를 검출 센서(30c6)에 의해 검출할 수 없게 된다. 검출 센서(30c6)는, 자계를 검출할 수 없게 된 것을 나타내는 검출 신호를 제어 장치(50)에 보낸다. 검출 신호를 수취한 제어 장치(50)는, 기판(W)을 검출하고 있다고 판단한다.
제어 장치(50)는, 기판(W)의 반송 방향을 확인한다. 제어 장치(50)는, 기판(W)이 반송 방향(A1)을 따라 반송되고 있는 것을 확인하면, 기판(W)의 반송 위치는, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 아쿠아 나이프(40)의 바로 아래를 통과한 위치가 아니라고 판단한다. 이 경우, 제어 장치(50)는, 기판(W)의 반송 위치에 관한 판단을 행하기 전과 마찬가지로, 반송 장치(20)나 아쿠아 나이프(40) 등의 각 부의 제어를 유지한다.
기판(W)이 또한 반송 방향(A1)으로 반송되어, 기판(W)이 검출용 롤러(30c3)로부터 떨어지면, 진자 부재(30c1)는, 중력의 힘으로 역회전 방향(R1)으로 회전하여 검출 위치(P2)로부터 초기 위치(P1)에 복귀한다. 진자 부재(30c1)가 초기 위치(P1)에 복귀하면, 마그넷(30c5)이 검출 센서(30c6)로부터 떨어진 상태로부터 대향한 상태로 되돌아간다. 마그넷(30c5)이 검출 센서(30c6)와 대향한 상태로 되돌아가면, 마그넷(30c5)의 자계를 검출 센서(30c6)가 검출한다. 마그넷(30c5)의 자계를 검출 센서(30c6)가 검출하면, 검출 센서(30c6)는, 자계를 검출할 수 없게 된 것을 나타내는 검출 신호를 제어 장치(50)에 보내는 것을 정지한다. 그러면, 제어 장치(50)는 마그넷(30c5)의 자계를 검출한 것을 인식하여, 기판(W)은 검출하고 있지 않다고 판단한다.
제어 장치(50)는, 기판(W)의 반송 방향을 확인한다. 제어 장치(50)는, 기판(W)이 반송 방향(A1)을 따라 반송되고 있는 것을 확인하면, 기판(W)의 반송 위치는, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 아쿠아 나이프(40)의 바로 아래를 통과한 위치라고 판단한다. 이 경우, 제어 장치(50)는, 기판(W)의 반송 위치는, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 아쿠아 나이프(40)의 바로 아래를 통과한 위치라고 판단하고 나서 수초 후에 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 공급을 정지한다. 이와 같이 함으로써, 검출부(30b)에서 기판(W)을 검출하고 나서 처리액의 공급을 정지하는 경우와 비교하여, 기판(W)에 처리액이 닿지 않게 되고 나서 곧바로 처리액의 공급을 정지할 수 있다. 따라서, 처리액의 소비를 억제할 수 있다.
다음에, 아쿠아 나이프(40)의 토출 방향 안내판(42)이 제2 회전 위치에 있을 때의 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 공급을 정지하는 방법을 설명한다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 아쿠아 나이프(40)의 토출 방향 안내판(42)이 제2 회전 위치에 있을 때, 기판(W)이 반송 방향(A2)을 따라 반송되는 도중에, 검출용 롤러(30c3)는, 기판(W)의 이면에 의해 눌린다. 그 때문에, 진자 부재(30c1)는, 도 9에 나타내는 초기 위치(P1)로부터, 도 10에 나타내는 검출 위치(P3)로 지축(30c2)을 중심으로 하여 역회전 방향(R1)으로 회전한다.
진자 부재(30c1)가 지축(30c2)을 중심으로 하여 역회전 방향(R1)으로 회전함으로써, 마그넷(30c5)도 지축(30c2)을 중심으로 하여 역회전 방향(R1)으로 회전된다. 마그넷(30c5)이 회전하면, 마그넷(30c5)은, 도 9에 나타내는 검출 센서(30c6)에 대향한 상태로부터 도 10에 나타내는 검출 센서(30c6)로부터 떨어진 위치로 이동한다. 따라서, 마그넷(30c5)으로부터 발생하는 자계를 검출 센서(30c6)에 의해 검출할 수 없게 된다. 검출 센서(30c6)는, 자계를 검출할 수 없게 된 것을 나타내는 검출 신호를 제어 장치(50)에 보낸다. 검출 신호를 수취한 제어 장치(50)는, 기판(W)을 검출하고 있다고 판단한다.
제어 장치(50)는, 기판(W)의 반송 방향을 확인한다. 제어 장치(50)는, 기판(W)이 반송 방향(A2)을 따라 반송되고 있는 것을 확인하면, 기판(W)의 반송 위치는, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 아쿠아 나이프(40)의 바로 아래를 통과한 위치라고 판단한다. 이 경우, 제어 장치(50)는, 기판(W)의 반송 위치는, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 아쿠아 나이프(40)의 바로 아래를 통과한 위치라고 판단하고 나서 수초 후에 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 공급을 정지한다. 이와 같이 함으로써, 검출부(30a)에서 기판(W)을 검출하고 나서 처리액의 공급을 정지하는 경우와 비교하여, 기판(W)에 처리액이 닿지 않게 되고 나서 곧바로 처리액의 공급을 정지할 수 있다. 따라서, 처리액의 소비를 억제할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 제5 실시형태에 의하면, 제1 실시형태와 마찬가지로, 처리 라인이 길어져, 장치 전체가 대형화하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 처리액의 소비량을 억제할 수 있다.
기판 처리 장치(1)는, 반송로(H1)에 있어서 기판(W)을 왕복시키면서 기판(W)의 끝에서 끝까지 처리액을 공급한다. 그 때문에, 반송 롤러(21)가 정회전하는 경우와 역회전하는 경우에 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부에 처리액이 닿는 위치가 다르다. 반송 롤러(21)의 정회전과 역회전으로 기판(W)에 처리액이 최초로 닿는 위치가 다른 만큼, 처리실(10)의 반송 방향의 길이를 길게 할 필요가 있다. 따라서, 기판(W)에 처리액이 닿지 않게 되고 나서 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출될 때까지 시간이 걸려 버린다.
그 때문에, 검출부(30c)에서 기판(W)의 유무를 검출함으로써, 처리액이 쓸데없이 공급되는 시간을 삭감할 수 있다. 그 결과, 처리액의 소비량을 억제할 수 있다. 처리액이 쓸데없이 공급되는 시간을 삭감하기 위해, 검출부(30c)는, 기판(W)에 처리액이 닿지 않게 되는 순간에 제어 장치(50)에 보내는 검출 신호가 변화하는 위치에 마련되는 것이 바람직하다. 예컨대, 검출부(30c)는, 아쿠아 나이프(40)의 근방에 있으며, 서로 인접하는 2개의 반송 롤러(21) 사이에 마련되는 것이 바람직하다. 또한, 제어 장치(50)가 기판(W)을 검출하고 있다고 판단하고 나서 몇 초 후에 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 공급을 정지할지는, 실험이나 시뮬레이션 등으로 미리 구해 두면 좋다.
또한, 검출부(30c)에 의해 처리액의 토출을 정지시키는 것은, 반송 방향과 평행한 방향의 길이가 다른 복수 종류의 기판(W)을 기판 처리 장치(1)가 세정하는 경우에 바람직하다. 예컨대, 기판 처리 장치(1)는, 반송 방향과 평행한 방향의 길이가 가장 긴 기판(W)에 있어서, 처리실(10)에 있어서의 기판(W)의 반송 방향의 길이가 가장 작아지록 형성된다. 이 경우, 반송 방향과 평행한 방향의 길이가 가장 긴 기판(W)에 있어서는, 기판(W)의 처리 라인이 장대해지는 것을 억제할 수 있다.
그러나, 그 외의 종류의 기판(W)에 있어서는, 기판(W)의 처리 라인이 장대해져 버린다. 이러한 경우에도, 검출부(30c)에 의해 처리액의 토출을 정지시킴으로써, 처리액이 쓸데없이 공급되는 시간을 삭감할 수 있다. 그 결과, 처리액의 소비량을 억제할 수 있다.
또한, 제5 실시형태에 대해서, 제1 실시형태와의 상위점에 대해서 설명하였지만, 제2 실시형태 내지 제4 실시형태 중 적어도 하나의 실시형태를 조합하여 실시하여도 좋다.
<그 외의 실시형태>
전술한 설명에 있어서, 아쿠아 나이프(40(140, 240))는, 그 길이 방향이 반송 방향(A1)에 수평면 내에서 직교하는 방향을 따라 마련된다고 하였지만, 이에 한정되지 않는다. 아쿠아 나이프(40(140, 240))의 길이 방향을 반송 방향(A1)에 수평면 내에서 경사하여 교차하는 방향에 마련하여도 좋다.
또한, 전술한 설명에 있어서, 토출 방향 안내판(42(142, 242))을 회전시킴으로써, 기판(W)의 반송 방향의 상류측을 향하여 처리액을 공급하는 것을 설명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 토출 방향 안내판(42)을 회전시킴으로써, 반송 방향의 하류측을 향하여 처리액을 공급하도록 하여도 좋다. 반송 방향의 하류측을 향하여 처리액을 공급하면, 기판(W)에 공급된 처리액이, 기판(W) 상에서 반송 방향 상류측으로 흐르는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 표면이 건조한 기판을 처리하는 경우에는, 아쿠아 나이프(40)로부터 공급된 처리액이, 기판 상에서 반송 방향 상류측의 건조면에 흐르는 것을 억제할 수 있다. 아쿠아 나이프로부터 토출된 처리액이, 기판의 반송에 따라, 순차, 기판의 건조면에 공급되게 되기 때문에, 균일하게 처리할 수 있다.
또한, 전술한 설명에 있어서, 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 기판(W)을 검출하는 것을 설명하였지만, 검출부(30a) 혹은 검출부(30b) 대신에 검출부(30c)에 의해 기판(W)을 검출하도록 하여도 좋다.
또한, 전술한 설명에 있어서, 반송로(H1)에 있어서의 반송 방향 하류측에 기판(W)이 있는 경우에, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출되면, 검출 신호가 제어 장치에 송신되어 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출을 일시적으로 정지시키는 것을 설명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 반송로(H1)에 있어서의 반송 방향 상류측에 기판(W)이 있는 경우에, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출되고 나서 소정의 시간이 경과하였다면 아쿠아 나이프(40)로부터의 처리액의 토출을 일시적으로 정지시키도록 하여도 좋다.
전술한 바와 같이, 기판(W)에 처리액이 닿지 않게 되고 나서 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출될 때까지 시간이 걸려 버린다. 그 때문에, 반송로(H1)에 있어서의 반송 방향 상류측에 기판(W)이 있는 경우에, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출되고 나서 처리액이 기판(W)에 닿지 않게 되기까지의 시간을 미리 구해 두고, 그 시간을 소정의 시간으로서 제어 장치(50)에 기억시킨다. 이와 같이 함으로써, 처리액이 쓸데없이 공급되는 시간을 삭감할 수 있다. 그 결과, 처리액의 소비량을 억제할 수 있다. 또한, 소정의 시간은, 실험이나 시뮬레이션 등으로 미리 구해 두면 좋다.
또한, 반송로(H1)에 있어서의 반송 방향 상류측에 기판(W)이 있는 경우에, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부가 검출부(30a) 혹은 검출부(30b)에 의해 검출되고 나서 소정의 시간 후에 처리액의 토출을 정지시키는 것은, 검출부(30c)와 마찬가지로, 반송 방향과 평행한 방향의 길이가 다른 복수 종류의 기판(W)을 기판 처리 장치(1)가 세정하는 경우에 바람직하다.
또한, 전술한 설명에 있어서, 검출부(30a), 검출부(30b), 및 검출부(30c)는, 기판(W)의 소정 개소(예컨대, 기판(W)에 있어서의 반송 방향 하류측의 단부)를 검출한다고 하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 검출부(30a), 검출부(30b), 및 검출부(30c)에 의해 기판(W)이 검출된 시점을 기준으로 하여, 기판(W)의 반송 위치를 판단하는 제어 장치(50)도 검출부에 포함된다. 즉, 제어 장치(50)는, 검출부(30a), 검출부(30b), 및 검출부(30c)에 의해 기판(W)이 검출된 시간이나 기판(W)의 반송 속도에 기초하여 기판(W)의 반송 위치를 검출한다.
또한, 전술한 제2 실시형태의 설명에 있어서, 기판(W)에 대하여, 반송 방향(A1)으로 반송하면서 제1 처리액을 공급하고, 반송 방향(A2)으로 반송하면서 제2 처리액을 공급하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 반송 방향(A1)과 반송 방향(A2)으로 반송하면서, 2회 이상 제1 처리액을 공급한 후에, 제2 처리액으로 전환하여도 좋다. 마찬가지로, 제2 처리액을 2회 이상 공급하여도 좋다.
또한, 제1 처리액, 제2 처리액의 2종류를 예시하여 설명하였지만, 아쿠아 나이프(40)에 3종류 이상의 처리액 공급원을 접속하여, 3종류 이상의 처리액에 의한 처리를 할 수 있도록 하여도 좋다. 이 경우에 있어서도, 각 처리액에 의한 처리는, 1회씩이어도 좋고, 복수회씩이어도 좋다.
또한, 전술한 제3 실시형태의 설명에 있어서, 회전축(143)의 중심(S)(회전축)이, 저류부(141)의 개구의 폭에 있어서의 중앙(C)에 대하여, 반송 방향(A1)의 하류측으로 어긋난 위치에 마련된다고 하였지만, 반송 방향(A1)의 상류측으로 어긋난 위치에 마련하여도 좋다. 이 경우, 반송 방향(A1)의 상류측을 향하여 처리액을 토출할 때 쪽이, 반송 방향(A2)의 상류측을 향하여 처리액을 토출할 때보다, 슬릿폭이 좁아지기 때문에 토출압이 강해진다.
또한, 전술한 제4 실시형태의 설명에 있어서, 후단부(242b)가 탄성 부재로 형성된다고 하였지만, 토출 방향 안내판(242) 전체를, 탄성을 갖는 동일 재료로 형성하여도 좋고, 선단부(242a)와 후단부(242b)를 다른 재료로 형성하여도 좋다. 적어도 후단부(242b)를 탄성 부재로 형성하면, 슬릿폭을 조정하는 것이 가능하다. 또한, 선단부(242a)를 강성이 있는 재료(후단부(242b)보다 강성이 높은 재료)로 형성하면, 토출하는 처리액의 무게에 의해, 슬릿폭이 변하여 버리는 것을 억제할 수 있다.
또한, 전술한 제5 실시형태의 설명에 있어서, 하나의 검출 센서(30c6)에 의해 처리액의 공급을 정지시킨다고 하였지만, 복수의 검출 센서(30c6)가 처리실(10) 내에 마련되어도 좋다. 예컨대, 아쿠아 나이프(40)와 반출구(12) 사이에 검출 센서(30c6)를 마련하여도 좋다.
또한, 전술한 제5 실시형태의 설명에 있어서, 검출 센서(30c6)가 마그넷(30c5)으로부터 발생하는 자계를 검출한다고 하였지만, 검출광이나 하중을 검출하여도 좋고, 진자 부재(30c1)가 검출 센서(30c6)와 접촉하여 도통하는 것을 검출하여도 좋다.
이상, 본 발명의 몇 가지의 실시형태를 설명하였지만, 이들 실시형태는, 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않는다. 이들 신규의 실시형태는, 그 외의 여러 가지 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 여러 가지의 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함되며, 청구범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함된다.
1 기판 처리 장치
10 처리실
20 반송 장치
21 반송 롤러
21a 롤러
21b 샤프트
30 검출 장치
30a 검출부
30b 검출부
30c 검출부
30c1 진자 부재
30c2 지축
30c3 검출용 롤러
30c4 웨이트
30c5 마그넷
30c6 검출 센서
40 아쿠아 나이프
41 저류부
42 토출 방향 안내판
42a 선단부
42b 후단부
43 회전축
50 제어 장치
61 제1 처리액 공급원
62 제2 처리액 공급원
63 제1 밸브
64 제2 밸브
140 아쿠아 나이프
141 저류부
142 토출 방향 안내판
143 회전축
240 아쿠아 나이프
241 저류부
242 토출 방향 안내판
242a 선단부
242b 후단부
243 회전축
A1 반송 방향
A2 반송 방향
H1 반송로
W 기판

Claims (8)

  1. 기판 처리 장치로서,
    기판을 반송로를 따라, 일방향 및 이것에 역행하는 역방향의 양 방향으로 반송 가능한 반송 장치와,
    상기 기판의 반송로의 상방에, 길이 방향이 상기 반송로에 대하여 수평면 내에서 교차하는 방향을 따라 마련되고, 상기 반송로를 향하여 슬릿형의 개구로부터 처리액을 토출하는 아쿠아 나이프
    를 갖고,
    상기 아쿠아 나이프는,
    상기 반송로측에 개구를 갖고, 처리액을 저류 가능한 저류부와,
    일단이 상기 개구로부터 돌출하고, 타단이 상기 저류부의 내부로 들어가도록 마련되고, 상기 처리액의 토출 방향을 유도하는 토출 방향 안내판과,
    상기 토출 방향 안내판을 회전시켜, 상기 처리액의 토출 방향을 변경시키는 토출 방향 변경부
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 반송 위치를 검출하는 검출부
    를 더 갖고,
    상기 검출부에 의해 검출된 상기 반송 위치에 기초하여, 상기 토출 방향 변경부에 의해 상기 토출 방향 안내판을 회전시키고, 상기 아쿠아 나이프로부터, 상기 기판의 반송 방향 상류를 향하여 상기 처리액을 토출하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 아쿠아 나이프는, 복수의 처리액 공급원에 접속되고,
    상기 기판을 상기 일방향으로 반송할 때와, 상기 기판을 상기 역방향으로 반송할 때에, 상기 아쿠아 나이프로부터 토출되는 처리액의 토출 방향을 전환하는 기판 처리 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 아쿠아 나이프는, 상기 슬릿형의 개구의 폭을 변경 가능한 것인 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 토출 방향 변경부는, 상기 토출 방향 안내판이 고정된 회전축이며,
    상기 회전축은, 상기 개구의 폭 방향에 있어서의 중앙으로부터 어긋난 위치에 마련되는 것인 기판 처리 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 토출 방향 안내판은, 상기 저류부의 내부에 접촉하는 후단부가 탄성 부재로 마련되는 것인 기판 처리 장치.
  7. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 처리액의 공급을 정지할 때의 상기 기판의 반송 위치는, 상기 기판에 있어서의 반송 방향 상류측의 단부가 상기 아쿠아 나이프의 바로 아래를 통과한 위치인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 장치나 상기 아쿠아 나이프를 제어하는 제어 장치와,
    상기 기판의 유무를 검출하여, 상기 처리액의 공급을 정지하는 타이밍을 상기 제어 장치가 파악하기 위한 검출 신호를 상기 제어 장치에 송신하는 검출부
    를 더 갖는 기판 처리 장치.
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