KR100863665B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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아키라 하라다
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다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
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Abstract

처리실 밖으로 기판을 통해 처리액이 누출되는 것을 방지한다.
기판 처리 장치는, 반송 기구(1)와, 현상액을 기판(S)에 공급함으로써 현상 처리를 실시하는 처리실(121)을 갖는 현상 처리부(12)와, 이들을 제어하는 컨트롤러(60)를 구비한다. 현상 처리부(12) 중 상류 측의 개구부(15)의 근방에는, 기판(S)의 반송 상태를 검출 가능한 검출 기구(7)가 설치된다. 또, 현상 처리부(12)의 바로 상류 측에는, 기판(S)에 대해 그 상류 측으로부터 하류 측으로 향하는 고압 에어를 공급 가능한 에어 노즐(21)을 갖는 유출 저지 장치(20)가 배치된다. 컨트롤러(60)는, 검출 기구(7)에 의한 기판(S)의 반송 상태의 검출에 근거하여 기판(S)이 개구부(15)의 위치에서 정체되어 있다고 판단한 경우에는, 기판(S)을 통해 현상액이 처리실(121)로부터 누출되는 것을 방지하기 위해 유출 저지 장치(20)를 작동시킨다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 제1 실시 형태를 나타낸 도면,
도 2는 기판의 반송 상태를 검출하는 검출 기구, 기판 검지 센서 및 반송 기구를 도시한 도면,
도 3은 컨트롤러에 의한 기판 처리 장치의 동작 제어의 일례를 나타낸 플로우차트,
도 4는 유출 저지 장치의 작동 상태를 나타낸 도면,
도 5는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 제2 실시 형태를 나타낸 도면,
도 6은 대형 기판을 처리하는 경우의 이점을 설명하는 도면,
도 7은 유출 저지 장치의 다른 실시 형태를 나타낸 도면((a)는 유출 저지 장치의 비작동 상태, (b)는 작동 상태를 각각 나타낸다),
도 8은 유출 저지 장치의 다른 실시 형태를 나타낸 도면((a)는 유출 저지 장치의 비작동 상태, (b)는 작동 상태를 각각 나타낸다),
도 9는 도 8에 도시한 유출 저지 장치의 변형예를 나타낸 도면,
도 10은 기판의 반송 상태를 검출하기 위한 다른 수단을 나타낸 도면,
도 11은 기판의 반송 상태를 검출하기 위한 다른 수단을 나타낸 도면,
도 12는 유출 저지 장치의 변형예를 나타낸 도면,
도 13은 기판의 반송 상태를 검출하는 검출 기구 및 기판 검지 센서의 배치의 변형예를 나타낸 도면(도 6에 대응하는 도면)이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
1: 반송 기구 6: 종동 롤러
7: 검출 기구 10: 로더
12: 현상 처리부 15: 개구부
121, 141; 처리실 14: 수세 처리부
20: 유출 저지 장치 21: 에어 노즐
30, 50: 액 노즐 46: 기판 검지 센서
60: 컨트롤러 S: 기판
본 발명은, 반도체 웨이퍼, 포토마스크용 유리 기판, 액정 표시 패널용 유리 기판, 광 디스크용 기판 등의 기판에, 에칭액이나 린스액 등의 각종 처리액을 공급하여 기판에 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
상기와 같은 기판 처리 장치로서, 종래부터 복수의 처리실, 예를 들면 박리 처리실, 세정 처리실 및 건조 처리실을 갖고, 박막이 형성된 각형(角形) 유리 기판을 롤러 컨베이어의 구동에 의해 반송하면서 해당 기판에 대해 박리 처리, 린스 처리 및 건조 처리를 차례로 실시하도록 구성된 것이 알려져 있다(예를 들면 특허문 헌 1). 이 장치에서는, 박리 처리실 내의 상류단 및 하류단에 기판의 유무를 검지하는 센서가 배치되어 있으며, 해당 센서에 의해 기판이 검지된 후, 미리 설정된 타이머 시간 내에 기판이 통과하지 않는 경우, 즉 해당 센서에 의한 기판의 검지가 타이머 시간을 초과하여 계속되고 있는 경우에는, 반송 불량이 발생한 것으로 하여 경고를 발하여 장치를 정지시키는 등, 소정의 처리를 실행하도록 되어 있다.
[특허문헌 1] 일본국 특개2001-57355호 공보
상기와 같은 종래의 장치에서는, 센서에 의해 기판이 검지된 직후에 기판이 정지한 경우라도, 타이머 시간이 경과할 때까지는 이상(異常) 처리가 실행되지 않는, 이른바 응답 지연이 있다. 그렇기 때문에, 반송 트러블에 의해 한 장의 기판이 로더(언로더)와 처리실에 걸쳐 정지한 경우, 이상 처리가 실행될 때까지의 동안에, 국소적(기판의 선단 부분)으로 처리액이 공급되어 기판의 처리 불량의 원인이 되고, 또 처리액을 불필요하게 소비하는 것이 고려된다. 또, 기판상에 공급된 처리액이 기판 표면을 유동하여 로더(언로더) 측으로 누출되어, 이로 인해 설비 고장을 초래하는 것이 고려된다. 한 장의 기판이 복수의 처리실에 걸쳐져 정지한 경우도, 인접 설치되는 처리실에 처리액이 누출됨에 따라 동일한 문제가 있다.
본 발명은, 상기 사정에 감안하여 이루어진 것으로서, 상기와 같은 응답 지연에 따른 문제를 회피하는 것으로, 그 제1의 목적은, 기판의 처리 불량을 회피하면서 처리액의 불필요한 소비를 방지하는 것, 또, 제2의 목적은, 기판을 통해 처리실 밖으로 처리액이 누출되는 것을 방지하는 것을 목적으로 하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 기판을 수평 또는 경사진 자세로 반송하는 반송 수단과, 처리액 공급 수단을 구비하고, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 기판에 대해 처리액을 공급함으로써 소정의 처리를 해당 기판에 실시하는 처리실을 구비한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리실의 기판 반입용 및 반출용의 개구부 중 적어도 일방 측의 개구부의 근방에 설치되고, 기판의 반송 상태를 검출하는 검출 수단과, 상기 검출 수단에 의한 검출 결과에 근거하여 상기 기판이 정체되어 있는지의 여부를 판정하는 판정 수단과, 기판이 정체되어 있다고 판정된 경우에, 상기 처리액의 공급을 정지하기 위해 상기 처리액 공급 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하는 것이다.
이 장치에 의하면, 처리실의 개구부의 위치에서의 기판의 반송 상태가 검출 수단에 의해 검출되고, 그 반송 상태에 근거하여, 해당 개구부의 위치에서 기판이 정체되어 있는지의 여부가 판정 수단에 의해 판정된다. 그리고, 정체되어 있는 경우에는, 제어 수단의 제어에 의해 처리액의 공급이 정지된다. 이 구성에서는, 기판의 반송 상태의 검출에 근거하여 기판이 정체되어 있는지의 여부가 판정되기 때문에, 개구부의 위치에서 기판이 정체된 상태가 되면 즉시적으로 해당 상태가 검지된다. 그리고, 이 즉시적인 검지에 근거하여 처리액의 공급이 정지됨으로써, 국소 적(기판의 선단 부분)으로 기판의 처리가 진행되는 것이 억제되고, 또, 처리액의 불필요한 소비가 방지되게 된다.
본 장치에서는, 상기 개구부의 위치에서 정체되어 있는 기판상의 처리액이 처리실 밖으로 유출되는 것을 저지하는 유출 저지 수단을 더 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 판정 수단에 의해 상기 기판이 정체되어 있다고 판정된 경우에는, 상기 처리실 밖으로의 상기 처리액의 유출을 저지하기 위해 상기 유출 저지 수단을 작동시키는 것이 적합하다.
이 장치에 의하면, 처리실의 상기 개구부의 위치에서 기판이 정체되면, 또한 유출 저지 수단이 작동하고, 이에 따라 기판상에 공급된 처리액의 처리실 밖으로의 유출이 방지되게 된다.
한편, 본 발명의 다른 기판 처리 장치는, 기판을 수평 또는 경사진 자세로 반송하는 반송 수단과, 처리액 공급 수단을 구비하고, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 기판에 대해 처리액을 공급함으로써 소정의 처리를 해당 기판에 실시하는 처리실을 구비한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리실의 기판 반입용 및 반출용의 개구부 중 적어도 일방 측의 개구부의 근방에 설치되고, 기판의 반송 상태를 검출 가능한 검출 수단과, 상기 검출 수단에 의한 검출 결과에 근거하여 상기 기판이 정체되어 있는지의 여부를 판정하는 판정 수단과, 상기 개구부의 위치에서 정체되어 있는 기판상의 처리액이 처리실 밖으로 유출되는 것을 저지하는 유출 저지 수단과, 상기 판정 수단에 의해 기판이 정체되어 있다고 판정된 경우에, 상기 유출 저지 수단을 작동시키는 제어 수단을 구비하는 것이다.
이 장치에 의하면, 처리실의 개구부의 위치에서의 기판의 반송 상태가 검출 수단에 의해 검출되고, 그 반송 상태에 근거하여, 해당 개구부의 위치에서 기판이 정체되어 있는지의 여부가 판정 수단에 의해 판정된다. 그리고, 정체되어 있는 경 우에는, 제어 수단의 제어에 의해 유출 저지 수단이 구동된다. 이 구성에서는, 기판의 반송 상태의 검출에 근거하여 기판이 정체되어 있는지의 여부가 판정되기 때문에, 개구부의 위치에서 기판이 정체된 상태가 되면 즉시적으로 해당 상태가 검지된다. 그리고, 이 즉시적인 검지에 근거하여 유출 저지 수단이 구동됨으로써, 기판상에 공급된 처리액의 처리실 밖으로의 유출이 신속하게 저지되게 된다.
이 장치에서, 상기 제어 수단은, 상기 판정 수단에 의해 기판이 정체되어 있다고 판정된 경우에는, 또한 처리액의 공급을 정지하기 위해 상기 처리액 공급 수단을 제어하는 것이 적합하다.
이 장치에 의하면, 기판상의 처리액이 증가하여 처리실 밖으로의 유출이 촉진되는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 또, 계속적으로 처리액이 공급됨으로써 국소적(기판의 선단 부분)으로 기판의 처리가 진행된다는 사태가 억제되고, 또, 처리액의 불필요한 소비가 방지되게 된다.
또한, 상기 장치에 적용되는 유출 저지 수단의 구체적인 구성으로서는, 예를 들면, 작동 상태에 있어서 상기 기판의 표면에 기체를 공급함으로써 해당 기판상에 처리실의 외측으로부터 내측으로 향하는 방향의 기류를 형성하는 것이 적용 가능하다.
이 장치에 의하면, 기판 표면에 형성되는 기류의 압력(기체압)에 의해 기판상의 처리액이 처리실 측으로 되밀림과 동시에 그 역류가 저지된다. 이에 따라 처리실 밖으로의 처리액의 유출이 효과적으로 방지된다.
또, 상기 유출 저지 수단은, 상기 기판을 그 하측으로부터 들어올림 가능한 리프트 업 기구를 갖고, 상기 리프트 업 기구는, 상기 작동 상태에서, 기판이 처리실의 외측으로부터 내측을 향해 전방(前方)이 내려가도록 상기 기판을 들어올리는 것이어도 된다.
이 장치에 의하면, 기판이 실외 측으로부터 실내 측을 향해 경사진 자세가 됨으로써 기판상의 처리액이 처리실 측으로 유하(流下)함과 동시에 그 역류가 저지된다. 이에 따라 처리실 밖으로의 처리액의 유출이 효과적으로 방지된다.
또한, 유출 저지 수단은, 상기 기판의 상면으로부터 이간하는 퇴피 위치와, 상기 기판의 표면에 접촉하여 처리액의 유동을 저지하는 접촉 위치 사이에 변위 가능한 보(堰) 부재를 갖고, 상기 작동 상태에서 상기 보 부재를 상기 접촉 위치에 배치하는 것이어도 된다.
이 장치에 의하면, 보 부재가 기판상에 접촉함으로써 처리액의 유동이 저지되고, 이로 인해 처리실 밖으로의 처리액의 유출이 방지된다.
또한, 상기 검출 수단은, 기판의 상기 반송 상태로서 기판의 이동 속도를 검출하고, 상기 판정 수단은, 상기 검출 수단에 의한 검출 속도가 소정의 속도 이하일 때에 기판이 정체되어 있다고 판정하는 것이 적합하다.
이 장치에 의하면, 기판이 반송되고 있는 경우(이동하고 있는 경우)라 하더라도 소정 속도 이하인 경우에는 기판이 정체되어 있다고 판정되고, 처리액의 공급 정지, 혹은 유출 저지 수단의 작동이라는 처리가 실행되게 된다. 즉, 처리실의 개구부를 기판이 이동하고 있는 경우라도, 반송 이상으로 인해 그 속도가 매우 느린 경우도 있고, 이 경우에는, 기판이 정지하고 있은 경우와 마찬가지로, 기판상의 처 리액이 개구부를 통해 처리실 밖으로 유출되는 것이 고려된다. 이 점, 상기와 같이 소정 속도 이하에서 기판이 반송되는 경우를 정체 상태로서 취급하도록 하면, 보다 확실하게 처리액의 유출을 방지할 수 있게 된다.
또한, 상기 장치에서, 상기 검출 수단은, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 기판의 이동에 수반하여 발생하는 이 기판 표면과의 사이의 마찰력에 의해 회전하는 종동(從動) 롤러를 갖고, 이 종동 롤러의 회전 속도에 따른 신호를 출력하는 것으로서, 상기 판정 수단은, 상기 검출 수단으로부터 출력되는 신호의 상태에 근거하여 상기 판정을 행하는 것이 적합하다.
이 구성에 의하면, 기판과 종동 롤러와의 물리적 접촉에 의해 기판의 반송 상태를 검출하므로, 간단한 구성으로 높은 신뢰성을 갖고 반송 상태의 검출을 행할 수 있게 된다.
(발명의 실시 형태)
본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 이용하여 설명한다.
도 1은 이 발명에 따른 기판 처리 장치의 제1 실시 형태를 나타낸 도면이다. 이 기판 처리 장치에서는, 반송 기구(1)에 의해 기판(S)이 소정의 반송 방향(도 1의 좌방으로부터 우방을 향하는 방향) P로 반송되도록 구성됨과 동시에, 이 반송 기구(1)에 의한 기판 반송 경로를 따라 로더(10)와, 복수의 처리부, 즉 현상 처리부(12)와 수세 처리부(14)가 이 순서로 설치되어 있다.
이 실시 형태에서는, 반송 기구(1)로서 롤러 컨베이어가 적용되고 있다. 이 롤러 컨베이어는, 기판(S)의 반송 방향 P에 직교하는 방향으로 지지축을 배치한 복 수의 롤러(2)가 소정 피치로 반송 방향 P로 병설(竝設) 형성되어 있다. 그리고, 도 2에 도시하는 바와 같이, 구동 모터(도시 생략)에 연결된 구동 풀리(3)와 각 롤러(2)를 거쳐 구동 벨트(4)가 놓여짐으로써, 상기 구동 모터의 구동력에 의해 각 롤러(2)를 동일 방향으로 동기(同期) 회전하고, 롤러(2)상에 탑재된 기판(S)을 수평 자세로 반송 방향 P를 향해 반송하도록 되어 있다. 또한, 롤러 컨베이어는, 동 도면에 도시하는 바와 같이 로더(10), 처리부(12, 14)마다 개별로 구성되어 있으며, 후술하는 컨트롤러(60)에 의해 개별로 구동 제어되도록 되어 있다.
도 1로 돌아가, 로더(10)에는, 도시를 생략하고 있지만 기판의 반입 기구가 배치되어 있으며, 전(前) 공정에서 노광 처리가 실시된 기판이 이 반입 기구에 의해 한 장씩 반송 기구(1)의 롤러(2)상에 이재(移載)되고, 차례로, 현상 처리부(12)로 불출(拂出)되도록 구성되어 있다.
현상 처리부(12) 및 수세 처리부(14)는, 반송 기구(1)에 의해 반송되는 기판(S)에 대해 처리를 실시하기 위한 처리실(121, 141)을 갖고 있다. 각 처리실(121, 141)의 측벽에는 각각 개구부(15)가 형성되어 있으며, 기판(S)의 반입 및 반출이 이 개구부(15)를 통해 행해지도록 되어 있다.
현상 처리부(12)는, 처리실(121) 내에서 기판(S)에 현상액(처리액)을 공급하여 기판(S)을 현상하기 위한 것이다. 이 처리실(121)의 내부에는, 반송 기구(1)의 상방에 현상액 공급용의 복수의 액 노즐(30)이 설치되어 있으며, 반송 기구(1)에 의해 반송되는 기판(S)에 대해 그 상방향으로부터 현상액을 공급 가능하게 구성되어 있다.
현상액의 급배 계통은, 현상액을 저장하는 탱크(32)와, 펌프(36)와, 이 펌프(36)에 의해 압송(壓送)되는 현상액을 상기 액 노즐(30)로 안내하는 공급 배관(34)과, 사용 후의 현상액을 처리실(121)로부터 탱크(32)로 되돌리는 회수 배관(35)과, 이 회수 배관(35)에 개재 설치되는 도면 밖의 필터 등으로 구성되어 있으며, 이에 따라 현상 처리부(12)에 대해 현상액을 순환시키면서 공급하도록 구성되어 있다. 공급 배관(34)에는 현상액의 공급 및 정지, 또한 공급량의 조절을 행하기 위한 전자(電磁) 밸브 등으로 이루어진 가변 밸브(38)가 개재 설치되어 있으며, 이 밸브(38)가 후술하는 컨트롤러(60)에 의해 제어되도록 되어 있다. 또한, 이 실시 형태에서는, 이 현상액의 급배 계통이 본 발명에 따른 처리액 공급 수단에 상당한다.
처리실(121) 내에는, 개구부(15)를 통해 반입되어 오는 기판(S)의 반송 상태를 검출하는 검출 기구(7)(본 발명에 따른 검출 수단에 상당한다)가 설치되어 있으며, 이 검출 기구(7)에 의한 검출 결과에 근거하여 기판(S)이 정체되어 있는지(당실시 형태에서는 기판(S)이 정지해 있는지)의 여부가 후술하는 컨트롤러(60)에 의해 판정되도록 되어 있다. 검출 기구(7)는, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 처리실(121) 내의 가장 상류 측, 즉 기판(S)의 반송 방향에서의 상류 측(이하, 간단히 상류 측이라고 부르고, 이 반대를 하류 측이라고 부른다)에 배치되는 종동 롤러(6)와, 이 롤러(6)에 연결되는 로터리 인코더(40)로 구성되어 있다.
종동 롤러(6)는, 반송 기구(1)의 롤러(2)와 나열되도록 배치되어 있으며, 기판(S)이 반송됨에 따라 발생하는 이 기판 표면과의 사이의 마찰력으로 회전하고, 그 이외의 때는 정지하도록 설치되어 있다. 한편, 인코더(40)는, 종동 롤러(6)의 일단(一端)에 고정되는 슬릿판(42)과, 이 슬릿판(42)을 사이에 두고 배치되는 광의 조사부(44a) 및 수광부(44b)를 구비한 센서(44)로 구성되어 있으며, 조사부(44a)로부터 투광된 광을 슬릿판(42)의 슬릿(42a)을 통해 수광부(44b)로 수광함으로써 그 수광 기간에 따른 펄스 신호를 후술하는 컨트롤러(60)로 출력하도록 구성되어 있다. 즉, 기판(S)이 이동하고 있는 경우에는, 종동 롤러(6)와 슬릿판(42)이 일체적으로 회전하여 인코더(40)로부터 펄스 신호가 정기적으로 출력되기 때문에, 이 펄스 신호의 출력의 유무에 따라 기판(S)이 이동하고 있는지의 여부의 검출이 가능하게 되어 있다. 또한, 도시한 예에서는 슬릿판(42)의 슬릿(42a)은 하나이지만, 복수의 슬릿(42a)을 갖는 슬릿판(42)을 적용하는 것도 가능하다.
또, 종동 롤러(6)와 그 바로 하류 측에 배치되는 롤러(2)와의 사이의 부분에는, 또한 기판(S)의 유무를 검지하기 위한 센서(46)(기판 검지 센서(46)라고 한다)가 배치되어 있다. 이 기판 검지 센서(46)는, 상세하게 도시하지 않지만, 요동 가능하게 지지되는 진자 부재와, 이 진자 부재에 조립되는 자석의 변위에 수반하는 자계의 변화에 따른 신호를 출력하는 홀 소자(자전 변환 소자)를 구비한 이른바 진자형 센서로, 기판(S)과의 접촉에 수반하여 상기 신호를 후술하는 컨트롤러(60)에 출력 하도록 되어 있다.
또한, 검출 기구(7)나 기판 검지 센서(46)는, 후술하는 바와 같이 로더(10)의 하류단의 위치에 배치하도록 해도 된다(도 13 참조). 또, 처리액의 부착에 의한 오검지 등의 문제가 없는 경우에는, 이 기판 검지 센서(46)로서 광의 조사부와 수광부를 일체로 구비한 반사형의 포토 센서를 적용하고, 기판(S)에서 반사하는 광을 수광함으로써 기판(S)을 검지하는 것을 적용해도 된다.
도 1로 돌아가, 현상 처리부(12)의 상류 측에는, 유출 저지 장치(20)(본 발명에 따른 역류 저지 수단 중 하나에 상당한다)이 배치되어 있다. 이 유출 저지 장치(20)는, 반송 트러블에 의해 개구부(15)의 부분에서 기판(S)이 정지한 경우에, 기판(S)을 통해 현상액이 로더(10) 측으로 유출되는 것을 저지하기 위한 장치이다.
이 유출 저지 장치(20)는, 처리실(121)의 상류 측의 개구부(15)의 근방에 배치되는 에어 노즐(21)을 갖고, 에어 공급원(24)으로부터 공급 배관(22)을 통해 공급되는 고압 에어를 반송 기구(1)상의 기판(S)에 대해 그 상류 측으로부터 하류 측을 향해 경사 아래 방향으로 공급하도록 구성되어 있다. 에어 노즐(21)은, 기판(S)의 반송 방향 P와 직교하는 방향으로 신장하는 슬릿 형상의 에어 토출구를 갖고 있으며, 기판(S)에 대해 동 방향으로 간극 없이 에어를 분무할 수 있게 되어 있다. 또한, 에어의 공급 배관(22)에는, 전자 밸브 등으로 이루어진 가변 밸브(23)가 개재 설치되어 있으며, 이 밸브(23)가 후술하는 컨트롤러(60)에 의해 제어되도록 되어 있다.
한편, 수세 처리부(14)는, 처리실(141) 내에서 기판(S)에 순수를 공급하여 기판(S)을 세정하기 위한 것이다. 이 처리실(141)의 내부에는, 반송 기구(1)를 사이에 두고 그 상방측 및 하방측으로 순수 공급용의 복수의 액 노즐(50)이 설치되어 있으며, 반송 기구(1)에 의해 반송되는 기판(S)에 대해 그 상하 양측에서 순수를 공급할 수 있도록 구성되어 있다.
순수의 급배 계통은, 순수를 저장하는 탱크(52)와, 펌프(56)와, 이 펌프(56)에 의해 압송되는 순수를 상기 액 노즐(50)로 안내하는 공급 배관(54) 등으로 구성되어 있다. 공급 배관(54)에는 순수의 공급 및 정지, 혹은 공급량의 조절을 행하기 위한 전자 밸브 등으로 이루어진 가변 밸브(58)가 개재 설치되어 있으며, 이 밸브(58)가 후술하는 컨트롤러(60)에 의해 제어되도록 되어 있다. 또한, 수세 처리부(14)에서는 순수의 순환 사용은 행해지지 않으며, 사용 후의 순수는, 처리실(141)에 접속된 폐액관(55)을 통해 도면 밖의 폐수 탱크에 회수되도록 되어 있다.
도 1에서 부호 26 및 48은, 각각 로더(10) 및 현상 처리부(12)(처리실(121) 내)의 하류단에 배치되는 불출 센서이다. 이 센서(26, 48)는, 상기 기판 검지 센서(46)와 동일한 진자형 센서로 이루어지고, 반송 기구(1)의 구동에 의해 반송되는 기판(S)을 검지하여 컨트롤러(60)에 검지 신호를 출력한다. 컨트롤러(60)는, 이들 불출 센서(26, 48)에 의한 기판(S)의 검지에 근거하여 각 처리부(12, 14)에 있어서의 액의 공급 등을 개시한다.
상기와 같이 구성된 기판 처리 장치에는, 일련의 기판 처리 동작을 제어하는 컨트롤러(60)가 탑재되어 있다. 이 컨트롤러(60)는, 논리 연산을 실행하는 CPU, 그 CPU를 제어하는 여러 가지의 프로그램 등을 기억하는 ROM, 장치 동작 중에 여러 가지의 데이터를 일시적으로 기억하는 RAM 등으로 구성되어 있으며, 반송 기구(1), 로더(10), 현상 처리부(12) 및 수세 처리부(14) 등은 모두 이 컨트롤러(60)에 의해 통괄적으로 제어되도록 되어 있다. 특히, 로더(10)로부터 현상 처리부(12)로의 기 판(S)의 반입 시에는, 상기 검출 기구(7)에 의한 검출 결과에 근거하여 개구부(15)의 위치에서 기판(S)이 정체되어 있는지의 여부(당 실시 형태에서는, 기판(S)이 정지해 있는지의 여부)를 판정하고, 정지해 있는 경우에는, 이하에 설명하는 바와 같이 현상 처리부(12)에 의한 현상액의 공급 및 유출 저지 장치(20)의 작동이 제어됨으로써, 현상액의 로더(10) 측으로의 누출 등이 방지되도록 되어 있다. 즉, 이 실시 형태에서는, 이 컨트롤러(60)가 본 발명에 따른 판정 수단 및 제어 수단으로서 기능한다.
도 3은, 컨트롤러(60)에 의한 동작 제어의 일례를 나타낸 플로우차트이다.
상기 기판 처리 장치에 있어서, 로더(10)에 의해 기판(S)이 롤러(2)상에 반입, 탑재되면, 컨트롤러(60)는, 우선, 로더(10)에 속하는 반송 기구(1)를 작동시켜 기판(S)의 반송을 개시한다(단계 S2).
그리고, 그에 수반하여 불출 센서(26)가 기판(S)을 검지하면(단계 S4에서 YES), 컨트롤러(60)는, 상기 현상 처리부(12)에 속하는 반송 기구(1)를 작동시킴과 동시에, 상기 급배 계통의 밸브(38)를 열림 조작함으로써 처리실(121) 내에서 액 노즐(30)로부터 현상액의 공급을 개시한다(단계 S6).
이어서, 컨트롤러(60)는, 기판 검지 센서(46)에서 기판(S)이 검지되었는지의 여부를 판단하고(단계 S8), 여기서 YES라고 판단하면, 또한 상기 인코더(40)로부터의 출력 펄스가 증가하고 있는지의 여부, 즉 기판(S)이 이동하고 있는지의 여부를 판단한다(단계 S10). 그리고, 여기서 YES라고 판단한 경우에는, 미리 기억된 프로그램(정상 동작 시퀀스)에 따라 기판(S)의 현상 처리를 진행하기 위해 반송 기 구(1) 등을 제어한다(단계 S12).
이에 대해 단계 S10에서 NO라고 판단한 경우에는, 컨트롤러(60)는, 이상 동작 시퀀스에 따라 반송 기구(1) 등을 제어한다. 즉, 기판 검지 센서(46)에 의해 기판(S)이 검지되고 있는 상태로서, 또한 인코더(40)로부터의 출력 펄스가 증가하고 있지 않은 상태란, 개구부(15)의 위치에서 기판(S)이 정지해 있는 상태이며, 이 경우에는, 컨트롤러(60)는, 상기 밸브(38)를 닫힘 조작함으로써 현상액의 공급을 정지함과 동시에, 상기 밸브(23)를 열림 조작함으로써 유출 저지 장치(20)를 작동시키고, 더불어 도면 밖의 경보 장치를 작동시킨다. 이때, 로더(10) 및 현상 처리부(12)에 속하는 반송 기구(1)도 정지시킨다.
이와 같이 현상액의 공급을 정지함으로써, 정지중인 기판(S)상에 현상액이 공급되는 것이 방지되고, 국소적(기판의 선단 부분)으로 기판의 처리가 진행되는 것이 억제됨과 동시에 현상액의 불필요한 소비가 방지되게 된다. 그리고 또한, 유출 저지 장치(20)의 작동에 의해 기판(S)상에 고압 에어가 분무되는 결과, 도 4에 도시하는 바와 같이, 기판(S)상에 처리실(121)의 외측으로부터 내측으로 향하는 방향의 기류가 형성되고, 이 기류의 압력(기체압)에 의해 기판상의 현상액이 처리실(121) 내부로 되밀림과 동시에 그 역류가 방지되게 된다. 이에 따라 현상액이 기판(S)을 통해 처리실(121)로부터 로더(10) 측으로 누출되는 것이 방지된다. 특히, 상기와 같이 현상액의 공급이 정지되어 있음에 따라, 기판(S)상의 처리액이 증가하여 처리실(121) 밖으로의 유출이 촉진되는 것이 방지된다.
또한, 단계 S8에서 NO라고 판단한 경우, 이 경우에도 상기 인코더(40)로부터 의 출력 펄스가 증가하고 있는지의 여부를 판단한다(단계 S14). 그리고, 여기서 YES라고 판단한 경우에는, 상기와 마찬가지로 단계 S16으로 이행하고, 이에 따라 이상 동작 시퀀스에 따라 반송 기구(1) 등을 제어한다. 즉, 기판 검지 센서(46)에 의해 기판(S)이 검지되어 있지 않은 상태로 인코더(40)로부터의 출력 펄스가 증가하는 상태란, 필요로 하는 기판 검지 센서(46)가 고장나 있는 경우로서, 이 경우도, 컨트롤러(60)는, 기판 검지 센서(46)의 메인터넌스를 위해 상기와 동일하게 이상 동작 시퀀스에 따라 반송 기구(1) 등을 제어한다. 또한, 단계 S14에서 NO라고 판단한 경우에는, 기판(S)이 아직 처리실(121)에 반입되어 있지 않은 상태이며, 이 경우에는 단계 S8로 이행한다.
이상 설명한 바와 같이, 이 기판 처리 장치에서는, 로더(10)로부터 개구부(15)를 통해 현상 처리부(12)로 반입되는 기판(S)에 반송 트러블이 발생하고, 해당 개구부(15)의 위치에서 기판(S)이 정지(정체)한 경우에는, 상기와 같이 현상액의 공급을 정지시키고, 또한 유출 저지 장치(20)를 작동시킴으로써 기판(S)상의 현상액이 로더(10) 측으로 누출되는 것을 방지하도록 하고 있기 때문에, 예를 들면 기판(S)의 처리 불량이나, 누출 현상액에 기인하는 로더(10)의 고장, 또한 현상액의 불필요한 소비 등을 유효하게 방지할 수 있다.
뿐만 아니라, 이 기판 처리 장치에서는, 기판 검지 센서(46)에 추가하여, 기판(S)이 이동하고 있는지의 여부를 검출할 수 있는 검출 기구(7)를 개구부(15)의 근방에 설치하고 있으므로, 기판(S)이 정지한 경우에는, 그 상태를 이 검출 기구(7)에 의해 즉시적으로 검출할 수 있다. 그리고, 이러한 즉시적인 기판 정지의 검지에 근거하여 이상 동작 시퀀스로 이행하는 결과, 현상액의 공급을 가급적 신속하게 정지시킬 수 있고, 또, 유출 저지 장치(20)를 가급적 신속하게 작동시킬 수 있게 된다. 따라서, 반송 이상으로 인해 개구부(15)의 위치에서 기판(S)이 정지한 경우의 상기와 같은 트러블, 즉 기판(S)의 처리 불량이나, 누출 현상액에 기인하는 로더(10)의 고장, 또한 현상액의 불필요한 소비 등을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
다음에, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 제2 실시 형태에 대해 설명한다.
도 5는 제2 실시 형태에 따른 기판 처리 장치를 도시하고 있다. 이 기판 처리 장치는, 제1 실시 형태의 기판 처리 장치에 대해 추가로 이하의 구성을 부가한 것이다.
즉, 제2 실시 형태의 기판 처리 장치에서는, 수세 처리부(14)에 대해서도 현상 처리부(12)와 마찬가지로, 그 처리실(141)의 상류 측의 개구부(15)의 근방에는 기판 검지 센서(46') 및 검출 기구(7')가 설치되어 있다. 이들 기판 검지 센서(46') 및 검출 기구(7')는, 현상 처리부(12)의 것(기판 검지 센서(46), 검출 기구(7))과 기본적으로 동일 구성이며, 따라서, 대응하는 부재의 부호에 「 '」를 부여하여 구별함으로써 상세 도면을 생략하기로 한다.
또하, 이 기판 처리 장치에는, 제1 형태의 유출 저지 장치(20)를 제1 유출 저지 장치(20)로 하고, 이것과는 별도로 제2 유출 저지 장치(20')가 설치되어 있다.
제2 유출 저지 장치(20')는, 수세 처리부(14)에서의 처리실(141)의 상류 측 의 개구부(15)의 근방에 배치되는 에어 노즐(21')을 갖고, 상기 공급 배관(22)으로부터 분기하는 공급 배관(25)을 통해 공급되는 고압 에어를 반송 기구(1)상의 기판(S)에 대해 하류 측으로부터 상류 측을 향해 경사 아래 방향으로 공급하도록 구성되어 있다.
에어 노즐(2l')은, 상기 노즐(21)과 마찬가지로 기판(S)의 반송 방향 P와 직교하는 방향으로 신장하는 슬릿 형상의 에어 토출구를 갖고 있으며, 기판(S)에 대해 동 방향으로 간극 없이 에어를 분무할 수 있게 되어 있다. 또한, 공급 배관(25')에는, 전자 밸브 등으로 이루어진 가변 밸브(23')가 개재 설치되어 있으며, 이 밸브(23')가 컨트롤러(60)에 의해 제어되도록 되어 있다.
이 제2 실시 형태의 기판 처리 장치에서는, 현상 처리부(12)로부터 수세 처리부(14)에 기판(S)이 반입될 때에, 컨트롤러(60)가, 검출 기구(7')(인코더(40')) 및 기판 검지 센서(46')로부터의 신호 출력에 근거하여 도 3에 도시한 플로우차트에 준하여 유출 저지 장치(20') 등을 구동 제어함으로써, 현상액의 수세 처리부(14) 측으로의 누출 등이 방지되도록 되어 있다.
즉, 검출 기구(7')(인코더(40')) 및 기판 검지 센서(46')로부터의 출력 신호에 근거하여 동 도면에 도시하는 바와 같이 기판(S)이 개구부(15)의 위치에서 정지해 있는 상태가 검지되면(단계 S10에서 NO), 컨트롤러(60)는, 상기 밸브(58)를 닫힘 조작함으로써 수세 처리부(14)에서의 순수의 공급을 정지함과 동시에 상기 밸브(23')를 열림 조작함으로써 제2 유출 저지 장치(20')를 작동시킨다. 이때, 상기 밸브(38)를 닫힘 조작함으로써 현상 처리부(12)에서의 현상액의 공급도 정지한다.
이와 같이 현상액 및 순수의 공급이 정지됨에 따라, 예를 들면 국소적(기판의 후단 부분)으로 기판의 처리가 진행되는 것이 억제되고, 또, 현상액이나 순수의 불필요한 소비가 방지되게 된다. 또, 제2 유출 저지 장치(20')의 에어 노즐(21')로부터 기판(S)상에 고압 에어가 분무됨으로써, 기판상의 현상액이 처리실(121) 내부로 되밀림과 동시에 그 역류가 저지되고, 이로 인해 현상액이 기판(S)을 통해 수세 처리부(14) 측으로 누출되는 것이 방지된다.
이러한 제2 실시 형태의 기판 처리 장치에 의하면, 현상 처리부(12)의 상류 측의 개구부(15)의 위치에서 기판(S)이 정지한 경우의 로더(10) 측으로의 현상액의 누출 등에 더하여, 현상 처리부(12)의 하류 측의 개구부(15)의 위치에서 기판(S)이 정지한 경우의 수세 처리부(14) 측으로의 현상액의 누출 등이 유효하게 방지된다.
또한, 이러한 제2 실시 형태의 기판 처리 장치는, 대형 기판(S)을 처리하는 경우에도 유용하게 된다. 즉, 도 6에 도시하는 바와 같이, 현상 처리부(12)의 처리실(121)보다 대형의 기판(S)을 처리하는 경우에는, 동 도면에 도시하는 바와 같이 기판(S)이 로더(10)로부터 수세 처리부(14)에 걸쳐 존재하는 상태로 정지해 버리는 것이 상정된다. 이 경우, 이 기판 처리 장치에 의하면, 현상액의 공급이 정지되고, 또한 제1 및 제2 유출 저지 장치(20, 20')의 작동에 의해 처리실(121)의 상류 측 및 하류 측으로부터 각각 기판(S)에 대해 처리실 내부로 향하는 방향의 고압 에어가 분무되기 때문에, 현상액이 기판(S)을 통해 로더(10) 측, 혹은 수세 처리부(14) 측으로 누출되는 것이 유효하게 방지되게 된다.
그런데, 이상 설명한 기판 처리 장치는, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 바람직한 실시 형태의 예시이며, 그 구체적인 구성은 본 발명의 요지를 이탈하지 않는 범위에서 적절하게 변경 가능하다. 예를 들면, 이하와 같은 구성을 채용하는 것도 가능하다.
(1) 유출 저지 장치(20)로서 도 7, 도 8에 도시하는 바와 같은 것을 채용하는 것도 가능하다.
〈a〉도 7에 도시하는 유출 저지 장치(20)
이 유출 저지 장치(20)는, 상하 방향으로 두께를 갖고, 또한 롤러(2)의 축방향으로 연장되는 가늘고 긴 역류 방지 바(70)(본 발명에 따른 보 부재에 상당한다)와, 이 역류 방지 바(bar)(70)를 반송 기구(1) 상방의 퇴피 위치(도 7(a)에 나타내는 위치)와 롤러(2)에 지지된 기판 표면에 접촉시키는 접촉 위치(도 7(b))에 걸쳐 변위시키는 액추에이터(72) 등을 구비한다. 그리고, 통상은 시일 부재(70)를 퇴피 위치에 세트하고, 기판(S)에 반송 이상(기판(S)의 정지)이 발생하면 역류 방지 바(70)를 접촉 위치에 세트하고, 이에 따라 기판(S)상의 현상액의 유동을 이 역류 방지 바(70)에 의해 저지한다. 즉, 이 역류 방지 바(70)에 의해 현상액의 로더(10) 측으로의 누출을 방지하도록 되어 있다.
또한, 이 유출 저지 장치(20)에 있어서, 역류 방지 바(70)의 재질은 수지나 고무 등, 시일성이 높은 것이 적합하다. 또, 역류 방지 바(70)는, 롤러(2)의 길이 방향으로 직선 형상인 것 이외에, 평면에서 볼 때 활 형상으로 만곡한 형상이나, 현상 처리부(12) 측을 향해 열린 평면에서 볼 때 コ자형의 형상이어도 된다. 또, 단면 형상도, 동 도면에 도시하는 바와 같이 원형인 것 이외에 직사각형인 것이어 도 된다.
〈b〉도 8에 도시하는 유출 저지 장치(20)
이 유출 저지 장치(20)는, 로더(10)의 반송 기구(1)에 일체로 조립되어 있으며, 에어 실린더 등의 액추에이터(76)의 작동에 의해 반송 기구(1)의 일부의 롤러(2)를 상방으로 들어올리는 리프트 업 기구(74)를 구비하고 있다. 그리고, 통상은 롤러(2)를 기준 위치, 즉 기판 반송이 가능한 위치에 세트하고(도 8(a)에 나타낸 상태), 기판(S)에 반송 이상(기판(S)의 정지)이 발생하면 리프트 업 기구(74)를 작동시켜 롤러(2)를 리프트 업하고(도 8(b)에 나타낸 상태), 이에 따라 처리실(121)의 외측으로부터 내측을 향해 전방이 내려가도록 기판(S)을 경사시킨다. 즉, 이와 같이 기판(S)이 경사짐에 따라 기판(S)상의 현상액이 그 표면을 따라 처리실(121) 측으로 유하함과 동시에 그 역류가 방지되고, 그 결과, 로더(10) 측으로의 현상액의 누출이 방지되도록 되어 있다. 또한, 이 경우에는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 개별의 액추에이터(76a∼76c)에 의해 각각 구동되는 복수의 리프트 업 기구(74a∼74c)를 설치하고, 현상 처리부(12) 측으로부터 상류 측을 향해 서서히 롤러(2)의 높이가 높아지도록 유출 저지 장치(20)를 구성해도 된다. 이 구성에 의하면, 기판(S)을 매끄럽게 경사시키는 것이 가능해지기 때문에 기판(S)의 손상 등의 트러블을 수반하지 않고 효과적으로 현상액의 유출을 방지하는 것이 가능하게 된다.
또한, 여기서는 현상 처리부(12)의 상류 측에 배치되는 유출 저지 장치(20)의 예에 대해서만 설명하였지만, 제2 실시 형태의 기판 처리 장치에 대해 적용되는 제2 유출 저지 장치(20')에 대해서도 동일한 구성을 채용하는 것이 가능하다.
(2) 기판(S)의 반송 상태를 검출하는 수단으로서는, 실시 형태와 같은 검지 기구(7, 7') 이외에, 도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같은 센서를 이용하도록 해도 된다.
〈a〉도 10에 도시하는 센서(80)
이 센서(80)는, 동 도면에 도시하는 바와 같이 발광 다이오드 등의 광원부(80a)와, 이 광원부(80a)로부터 투광되어 기판(S)에서 반사한 광(화상)을 수광하는 촬상 소자(80b)를 일체로 구비하고 있다. 이러한 센서(80)을 개구부(15)의 상측 벽면 등에 고정하고, 반송 기구(1)의 작동에 의해 반송되는 기판 표면의 화상을 연속적으로 취입하여 그 화상 신호를 컨트롤러(60)에 출력함으로써, 이 화상의 변화에 근거하여 기판(S)의 반송 상태, 즉 기판(S)이 이동하고 있는지의 여부를 검지하도록 해도 된다. 또한, 유사한 구성(보다 간소한 구성)으로서, 광원부로부터 투광 되어 기판(S)에서 반사한 광을 수광 소자에 의해 수광하고, 그 수광 신호의 유무의 변화에 근거하여 기판(S)의 반송 상태를 검지하도록 해도 된다.
〈b〉도 11에 도시하는 센서(82)
이 센서(82)는, 동 도면에 도시하는 바와 같이 반송 기구(1)에 의한 기판(S)의 반송 경로를 사이에 두고 서로 대향하여 배치되는 광원부(82a)와 수광부(82b)를 구비하고 있으며, 광원부(82a)로부터 투광되어 기판(S)을 투과하는 광을 광원부(82a)에서 수광하도록 구성되어 있다. 그리고, 기판(S)에는 그 반송 방향으로 소정 피치로 차광용 마크(M)가 부여되어 있다. 이러한 센서(82a)를 개구부(15)에 고정하고, 기판(S)의 반송에 수반하여, 수광부(82b)에 의한 수광 신호를 컨트롤러(60)에 출력함으로써, 기판(S)의 차광용 마크(M)에 따른 레벨의 출력 신호(펄스 신호)의 변화에 근거하여 기판(S)이 이동하고 있는지의 여부를 검지하도록 해도 된다.
(3) 실시 형태에서는, 기판(S)이 정체되어 있는 경우로서, 기판(S)이 정지해 있는 상태를 검지하고, 이 검지에 근거하여 유출 저지 장치(20, 20')를 작동시키는 등의 이상 동작 시퀀스를 실행하도록 하고 있지만, 예를 들면, 기판(S)의 반송 상태로서 기판(S)의 이동 속도를 검지하고, 이 검지 속도에 근거하여 이상 동작 시퀀스로 이행하도록 해도 된다. 구체적으로는, 미리 기판(S)의 기준 속도(임계값)를 설정해 두고, 검지 속도가 이 기준 속도 이하인 경우에는 기판(S)이 정체되어 있다고 하여 이상 동작 시퀀스를 실행하도록 해도 된다. 즉, 기판(S)이 이동하고 있는 경우라도 그 속도가 매우 느린 경우에는, 기판(S)이 정지해 있는 경우와 마찬가지로, 기판(S)상의 현상액이 해당 기판(S)을 통해 로더(10) 측으로 유동하는 것이 고려된다. 이 점, 상기와 같이 기준 속도 이하에서 기판이 반송되는 경우를 기판(S)의 정지 상태와 동등하게 취급하도록 하면, 기판(S)이 기준 속도 이하의 극히 저속도로 이동하고 있는 것과 같은 상황에서도 유출 저지 장치(20, 20')를 작동시킬 수 있어, 현상 처리부(12)로부터의 현상액의 누출을 보다 확실하게 방지하는 것이 가능하게 된다는 이점이 있다.
또한, 이 경우에는, 인코더(40)(이동 상태 검출 수단(7, 7'))로부터의 출력 펄스의 펄스 수 또는 펄스 폭에 근거하여 기판(S)의 이동 속도를 구하도록 하면 된 다.
예를 들면 인코더(40)로서 복수의 슬릿(42a)이 둘레 방향으로 등간격으로 배열되는 슬릿판(42)을 구비한 것을 적용하고, 단위시간당 펄스 수 변동을 상시 감시하여, 하기 식에 근거하여 기판(S)의 이동 속도를 연산하도록 하면 된다.
기판 속도=(L/S)×(Dp/T1)
여기서, L; 종동 롤러의 둘레 길이
S; 슬릿(42a)의 수
Dp/T1; 펄스 속도(Dp; 펄스 수, T1; 단위시간)
또, 기판(S)의 반송 상태를 검출하는 수단으로서 도 10에 도시하는 바와 같은 센서(80)를 이용하는 경우에는, 단위시간당 화상의 변위량에 근거하여 기판(S)의 이동 속도를 구하도록 하면 된다. 또, 도 11에 도시한 센서(82)를 이용하는 경우에는, 상기 인코더(40)의 경우와 마찬가지로 출력 펄스의 펄스 수 등에 근거하여 근거하여 기판(S)의 이동 속도를 구하도록 하면 된다.
(4) 실시 형태에서는, 개구부(15)의 위치에서 기판(S)이 정지(정체)한 경우의 이상 동작 시퀀스로서 현상액을 정지시키는 조치와, 유출 저지 장치(20)를 작동시키는 조치의 쌍방을 실행하고 있지만, 어느 한쪽만의 조치를 행하도록 해도 된다. 즉, 현상액을 정지시키는 조치만을 행하는 경우에는, 유출 저지 장치(20) 그 자체를 생략하고, 반대로, 유출 저지 장치(20)를 설치하는 경우에는, 현상액의 정지 제어를 생략하도록 해도 된다. 단, 반송 이상으로 인해 개구부(15)의 위치에서 기판(S)이 정지한 경우의 트러블, 즉 기판(S)의 처리 불량, 누출 현상액에 기인하 는 로더(10)의 고장, 또한 현상액의 불필요한 소비 등을 종합적으로 방지하는데 있어서는, 실시 형태와 같이 쌍방의 조치를 행하는 것이 적합하다.
(5) 실시 형태에서는, 유출 저지 장치(20)는, 처리실(121)의 상류 측의 개구부(15)의 근방에만 에어 노즐(21)을 배치한 구성으로 되어 있지만, 예를 들면 도 12에 도시하는 바와 같이, 처리실(121)의 내측(개구부(15)의 바로 하류의 위치)에 에어 노즐(21)을 배치한 구성으로 해도 된다. 이 구성에 의하면, 보다 효과적으로 현상액의 누출을 방지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 도시를 생략하지만, 도 6에 도시한 유출 저지 장치(20')의 구성에 대해서도 마찬가지이다.
(6) 실시 형태에서는, 검출 기구(7)나 기판 검지 센서(46)는, 현상 처리부(12)의 가장 상류 측, 구체적으로는 처리실(121)의 최상류의 위치에 배치되어 있지만, 로더(10)의 가장 하류 측의 위치에 배치하도록 해도 된다. 도 6에 도시한 검출 기구(7')나 기판 검지 센서(46')에 대해서도 마찬가지로, 현상 처리부(12)의 가장 하류 측(처리실(121)의 최하류의 위치)에 배치하도록 해도 된다. 즉, 도 13에 도시하는 바와 같이, 검출 기구(7, 7')나 기판 검지 센서(46, 46')를 배치하도록 해도 된다. 이러한 구성에서도 개구부(15)에서의 기판(S)의 반송 상태를 양호하게 검출할 수 있다.
(7) 실시 형태에서는, 기판 처리 장치의 구성예로서 로더(10), 현상 처리부(12) 및 세면 처리부(14)를 구비한 장치에 대해 설명하였지만, 물론, 이외의 처리부 등을 갖는 기판 처리 장치에 대해서도 본 발명은 적용 가능하다. 또, 실시 형태의 반송 기구(1)는, 기판(S)을 수평 자세로 반송하지만, 경사진 자세로 반송하 는 것이어도 된다.
본 발명의 기판 처리 장치에 의하면, 처리실의 개구부의 위치에서 기판이 정체된 경우에는, 그 상태를 신속하게 검지하여 처리액의 공급을 정지시키므로, 계속적으로 처리액이 공급됨에 따라 국소적(기판의 선단 부분)으로 기판의 처리가 진행되어 처리 불량을 초래한다는 사태를 유효하게 회피할 수 있고, 또, 처리액의 불필요한 소비를 방지할 수도 있다.
또, 본 발명의 다른 기판 처리 장치에 의하면, 처리실의 개구부의 위치에서 기판이 정체된 경우에는, 그 상태를 신속하게 검지하여 처리액이 처리실 밖으로 유출되는 것을 저지하는 유출 저지 수단을 작동시키므로, 기판을 매체로 하여 처리액이 처리실 밖으로 누출되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.

Claims (9)

  1. 기판을 수평 또는 경사진 자세로 반송하는 반송 수단과, 처리액 공급 수단을 구비하고, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 기판에 대해 처리액을 공급함으로써 소정의 처리를 해당 기판에 실시하는 처리실을 구비한 기판 처리 장치에 있어서,
    상기 처리실의 기판 반입용 및 반출용의 개구부 중 적어도 일방 측의 개구부의 근방에 배치되고, 기판의 반송 상태를 검출하는 검출 수단과,
    상기 검출 수단에 의한 검출 결과에 근거하여 상기 기판이 정체되어 있는지의 여부를 판정하는 판정 수단과,
    상기 개구부의 위치에서 상기 기판이 정체되어 있다고 판정된 경우에, 상기 처리액의 공급을 정지하기 위해 상기 처리액 공급 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 개구부의 위치에서 정체되어 있는 기판상의 처리액이 처리실 밖으로 유출되는 것을 저지하는 유출 저지 수단을 더 구비하고,
    상기 제어 수단은, 상기 판정 수단에 의해 상기 기판이 정체되어 있다고 판정된 경우에는, 상기 처리실 밖으로의 상기 처리액의 유출을 저지하기 위해 상기 유출 저지 수단을 작동시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 기판을 수평 또는 경사진 자세로 반송하는 반송 수단과, 처리액 공급 수단을 구비하고, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 기판에 대해 처리액을 공급함으로써 소정의 처리를 해당 기판에 실시하는 처리실을 구비한 기판 처리 장치에 있어서,
    상기 처리실의 기판 반입용 및 반출용의 개구부 중 적어도 일방 측의 개구부의 근방에 설치되고, 기판의 반송 상태를 검출 가능한 검출 수단과,
    상기 검출 수단에 의한 검출 결과에 근거하여 상기 기판이 정체되어 있는지의 여부를 판정하는 판정 수단과,
    상기 개구부의 위치에서 정체되어 있는 기판상의 처리액이 처리실 밖으로 유출되는 것을 저지하는 유출 저지 수단과,
    상기 판정 수단에 의해 기판이 정체되어 있다고 판정된 경우에, 상기 유출 저지 수단을 작동시키는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제어 수단은, 상기 판정 수단에 의해 기판이 정체되어 있다고 판정된 경우에는, 또한 처리액의 공급을 정지할 수 있도록 상기 처리액 공급 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유출 저지 수단은, 작동 상태에서 상기 기판의 표면에 기체를 공급함으 로써 해당 기판상에 처리실의 외측으로부터 내측으로 향하는 방향의 기류를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유출 저지 수단은, 상기 기판을 그 하측으로부터 들어올림 가능한 리프트 업 기구를 갖고, 상기 리프트 업 기구는, 상기 작동 상태에서, 기판이 처리실의 외측으로부터 내측을 향해 전방이 내려가도록 상기 기판을 들어올리는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 청구항 2 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유출 저지 수단은, 상기 기판의 상면으로부터 이간하는 퇴피 위치와, 상기 기판의 표면에 접촉하여 처리액의 유동을 저지하는 접촉 위치 사이에서 변위 가능한 보 부재를 갖고, 상기 작동 상태에서 상기 보 부재를 상기 접촉 위치에 배치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검출 수단은, 기판의 반송 상태로서 기판의 이동 속도를 검출하고,
    상기 판정 수단은, 상기 검출 수단에 의한 검출 속도가 소정의 속도 이하일 때에 기판이 정체되어 있다고 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 청구항1 내지 청구항 4중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검출 수단은, 상기 반송 수단에 의해 반송되는 기판의 이동에 수반하여 발생하는 이 기판 표면과의 사이의 마찰력에 의해 회전하는 종동 롤러를 갖고, 이 종동 롤러의 회전 속도에 따른 신호를 출력하는 것으로서,
    상기 판정 수단은, 상기 검출 수단으로부터 출력되는 신호 상태에 근거하여 상기 판정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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