KR970008394A - 세정장치 및 그의 제어방법 - Google Patents

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
피처리체(반도체웨이퍼)의 세정장치 및 그의 제어방법.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
피처리체 세정장치의 이상상태에 대한 대책을 자동적으로 취함으로써 장치의 약액의 상태를 정확하게 파악함.
3. 발명의 해결방법의 요지
피처리체를 반송하기 위한 로우더부와, 처리된 피처리체를 반송하기 위한 언로우더부와, 피처리체를 약액으로 세정하기 위한 약액조와, 피처리체를 순수한 물로 세정하기 위하여 순수 세정조를 가지며 로우더부로부터 언로우더부의 방향으로 약액조의 하류에 차례로 배열된 다수개의 세정유니트와, 피처리체를 로우더부와 그 로우더부에 인접한 세정유니트의 사이, 인접한 세정유니트들의 사이, 및 언로우더부와 그 언로우더부에 인접한 세정유니트의 사이에서 반송하기 위한 다수개의 반송장치와, 약액상태 및 세정작용상태를 검지하기 위하여, 약액조 및 세정유니트내에 마련된 다수개의 센서 및, 센서로부터의 각 신호에 응답하여 이상상태에 대한 측정 처리를 수행하기 위한 제어부를 포함하여 구성된 세정장치 및 제어방법.
4. 발명의 중요한 용도
피처리세상에 형성된 파티클이나, 유기오염물, 금속불순물과 같은 오염물을 효과적으로 제거함.

Description

세정장치 및 그의 제어방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일 실시예의 세정장치를 나타내는 모식적 사시도.

Claims (25)

  1. 처리되었거나 또는 처리하여야 할 피처리체를 반송하기 위한 반송수단과; 피처리체를 약액으로 세정하기 위하여 하나 이상의 약액조를 가지는 약액조수단과; 상기 약액조에 딸려 있으며, 피처리체를 순수한 물로 세정하기 위한 하나 이상의 순수 세정조를 가지는 하나 이상의 세정유니트와; 상기 반송수단과 상기 세정유니트의 사이에서 상기 피처리체를 반송하기 위한 하나 이상의 반송장치와; 약액 처리상태 및 세정작용상태를 검출하기 위하여, 상기 약액조 및 세정유니트내에 마련된 다수개의 센서 및; 상기 센서들로부터의 신호에 따라서 이상상태에 대한 대책을 행하기 위한 제어수단을 포함하여 구성되는 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 센서는 상기 약액의 온도가 정상범위로부터 벗어나고 제1단계 이상범위내에 있을때 제1단계 이상신호를 발생하고 상기 약액의 온도가 상기 제1단계 이상범위로부터 벗어나고 제2단계 이상범위내에 있을 때 제2단계 이상신호를 발생하도록 상기 약액의 온도를 검출하기 위한 온도센서를 포함하며, 상기 제어수단은 상기 제2단계 이상신호에 따라서 이상상태에 대한 대책을 행하는 수단으로서의 상기 반송장치에 의하여 피처리체를 상기 약액조의 하류에 위치한 순수 세정조로 반송하도록 상기 반송장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 센서는 배출량이 소정범위보다 적을 때 이상신호를 발생하도록 배출계에 마련된 배출센서를 포함하며, 상기 제어수단은 상기 이상신호가 소정시간보다 오래 계속될 때 이상상태에 대한 대책을 행하는 수단으로서의 상기 반송장치에 의하여 피처리체를 상기 약액조의 하류에 위치한 순수 세정조로 반송하도록 상기 반송장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 약액조 수단은 상기 약액조의 약액을 순환하기 위한 순환수단을 가지며, 상기 센서는 약액의 순환상태를 검출하기 위하여 순환루프내에 마련된 순환계 센서를 포함하며, 상기 제어수단은 상기 순환계 센서로부터 보내온 순환의 이상상태를 나타내는 신호에 따라서 피처리체를 들어올리고 약액조의 하류에 위치한 순수 세정조로 반송하도록 상기 반송장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 순수한 물을 공급하기 위한 배출/공급수단을 더욱 포함하여 구성되며, 상기 약액조는 개방/폐쇄가능한 덮개를 가지며, 상기 센서는 상기 덮개의 개방/폐쇄상태를 검출하기 위한 개폐센서를 포함하며, 상기 제어수단은 상기 개폐센서가 상기 덮개의 개방/폐쇄상태의 이상을 검출한 때에 상기 개방/폐쇄센서의 검출신호에 따라서 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 상기 배출/공급수단으로 순수한 물을 배출하도록 상기 배출/공급수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 순수한 물을 공급하기 위한 배출/공급수단을 더욱 포함하여 구성되며, 상기 센서는 상기 약액의 온도가 정상범위로부터 벗어나고 제1단계 이상범위내에 있을 때 제1단계 이상신호를 발생하고 상기 약액의 온도가 상기 제1단계 이상범위로부터 벗어나고 제2단계 이상범위내에 있을 때 제2단계 이상신호를 발생하도록 상기 약액의 온도를 검출하기 위한 온도센서를 포함하며, 상기 제어수단은 상기 제2단계 이상신호에 따라서 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 상기 배출/공급수단으로 순수한 물을 공급하도록 상기 배출/공급수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 순수한 물을 공급하기 위한 배출/공급수단을 더욱 포함하여 구성되며, 상기 센서는 배출량이 소정범위보다 적을 때 이상신호를 발생하도록 배출계에 마련된 배출센서를 포함하며, 상기 제어수단은 상기 이상신호가 소정시간보다 오래 계속될 때 이상상태에 대한 대책을 행하는 수단으로서 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 순수한 물을 공급하도록 상기 배출/공급수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 순수한 물을 공급하기 위한 배출/공급수단과 상기 약액조의 약액을 순환하기 위한 순환루프를 더욱 포함하여 구성되며, 상기 센서는 상기 순환루프내에 마련되며, 약액의 순환상태를 검출하기 위한 순환계 센서를 포함하며, 상기 제어수단은 상기 순환계 센서로부터 보내온 순환계의 이상상태를 나타내는 신호에 따라서 그 이상상태에 대한 대책을 행하는 수단으로서 약액을 상기 약액조로부터 배출하고 순수한 물을 공급하도록 상기 배출/공급수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  9. 처리되었거나 또는 처리하여야 할 피처리체를 반송하기 위한 반송부와; 피처리체를 약액으로 세정하기 위한 하나 이상의 약액조와; 피처리체를 순수한 물로 세정하기 위하여 하나 이상의 순수 세정조를 가지는 다수의 세정유니트와; 상기 반송부와 상기 반송부에 인접한 상기 세정유니트 및 상기 인접한 세정유니트들 사이에서 피처리체를 반송하기 위한 다수개의 반송장치와; 약액상태 및 세정작용상태를 검출하기 위하여, 상기 약액조 및 세정유니트내에 마련된 다수개의 센서 및; 상기 센서들로부터의 신호에 따라서 이상상태에 대한 대책을 행하기 위한 제어수단을 포함하여 구성되는 세정장치.
  10. 약액조내의 약액으로 반송 수단에 의하여 반송된 피처리체를 세정하고; 상기 약액조내에서 약액으로 세정된 피처리체를 순수세정조로 반송하고; 약액으로 세정된 피처리체를 상기 순수세정조내의 순수로 세정하고; 다수개의 센서에 의하여 약액의 처리상태 및 세정작용을 감시하고; 각 센서로부터 보내진 이상검출신호에 따라서 피처리체의 이상상태에 대한 대책을 행하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 감시단계는; 상기 약액의 온도가 온도센서에 의하여 검출되고 상기 검출단계에서 제1단계 이상범위내에 있을 때 경보를 울리는 단계를 포함하며, 상기 대책을 행하는 단계는 상기 약액의 온도가 상기 제1단계 이상범위를 벗어나고 상기 이상상태에 대한 대책을 행하는 단계내의 제2단계 이상범위 내에 있을 때 상기 약액조의 하류에 위치하는 순수 세정조로 피처리체를 반송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 감시단계는 배출계의 배출상태를 감시하는 단계를 포함하며, 상기 대책을 행하는 단계는 배출량의 소정시간보다 오래동안 소정범위보다 적은 상태에서 상기 약액조의 하류에 위치한 순수세정조로 피처리체를 반송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
  13. 제10항에 있어서, 상기 감시단계는 약액의 순환상태를 감시하는 단계를 포함하며, 상기 대책을 행하는 단계는 약액순환의 이상이 검출된 때에 피처리체를 상기 약액조로부터 들어올려서 상기 약액조의 하류에 위치한 순수 세정조로 반송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
  14. 제10항에 있어서, 상기 대책을 행하는 단계는 약액의 온도가 통상의 범위에서 벗어나고 제1단계 이상범위내에 있을 때 경보를 올리는 단계와, 약액의 온도가 상기 제1단계 이상범위에서 벗어나고 제2단계 이상범위에 있을 때 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 순수한 물을 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
  15. 제10항에 있어서,상기 대책을 행하는 단계는 배출량이 소정시간보다 오래동안 소정범위보다 적은 상태일 때 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 순수한 물을 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
  16. 제10항에 있어서, 상기 대책을 행하는 단계는 상기 약액의 순환이상이 검출되었을 때 상기 약액조로부터 약액을 배출하고 순수한 물을 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
  17. 처리되었거나 또는 처리하여야 할 피처리체를 반송하기 위한 반송부와; 상기 피처리체를 세정하기 위하여 다수개의 처리조를 가지는 하나 이상의 세정유니트와; 상기 피처리체를 상기 처리조로 반송하기 위한 하나 이상의 반송장치 및; 상기 피처리체가 적어도 하나의 처리조를 건너뛰어서 하류에 위치한 소정의 처리조로 반송되도록 제어하기 위한 반송제어수단을 포함하여 구성되는 세정장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 소정이 처리조는 상기 세정유니트의 하류에 위치하는 순수 세정조로 구성되는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  19. 제17항에 있어서, 상기 반송제어수단은 상기 반송장치가 선행의 피처리체가 상기 약액조내에서 처리되는 동안 선행하는 약액조를 건너뛰도록 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  20. 제17항에 있어서, 상기 반송제어수단은 상기 피처리체가 상기 처리조를 선택적으로 뛰어넘도록 상기 반송장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 세정장치.
  21. 처리되었거나 또는 처리하여야 할 피처리체를 반송하기 위한 반송부와; 피처리체를 약액으로 세정하기 위한 하나 이상의 약액조를 가지는 약액조 수단과; 피처리체를 순수로 세정하기 위하여 하나 이상의 순수세정조를 가지는 하나 이상의 세정유니트와; 처리되어야 할 피처리체를 세정유니트 및 상기 반송부로 반송하기위한 하나 이상의 반송장치와; 상기 약액을 배출한 후에 피처리체가 상기 약액조의 상류의 소정위치에 도달하였는지를 검지하기 위한 위치검출수단 및; 상기 위치검출수단에 의하여 얻어진 위치신호에 따라 상기 약액조내로 약액을 도입하기 위한 수단을 포함하여 구성되는 세정장치.
  22. 제21항에 있어서, 신규 약액의 도입시점으로부터 상기 약액조로의 시간경과와 상기 약액으로 피처리체를 처리하는 다수개의 시간중의 적어도 하나를 계산하여 약액교체시간을 결정하도록 하는 계산수단을 더욱 포함하여 구성되는 세정장치.
  23. 제21항에 있어서, 약액을 배출한 후에 약액조를 순수한 물로 세척하기 위한 조세척수단을 더욱 포함하여 구성되는 세정장치.
  24. 제21항에 있어서, 상기 위치검출수단은 소정위로서 상기 반송부의 위치를 검출하는 세정장치.
  25. 제21항에 있어서, 상기 위치검출수단은 소정위치로서 상기 약액조의 상류에 위치한 세정유니트와 순수 세정조의 위치를 검출하는 세정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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