JP6857682B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
基板を搬送路に沿って搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送される前記基板を処理液により処理する処理部と、
前記搬送部により搬送される前記基板を検出する基板検出部と、
を有し、
前記基板検出部は、前記搬送部により搬送される前記基板の下面側から流体を吐出する吐出部と、前記搬送路を挟んで前記吐出部と対向する位置において、前記吐出部からの前記流体の到達を検出する検出部と、
を有し、
前記検出部は、前記吐出部から吐出された流体によって揺動する揺動部と、前記揺動部の前記揺動を検出するセンサ部と、
を有することを特徴とする。
本発明の第1の実施形態について図1から図3を参照して説明する。
図1に示すように、第1の実施形態に係る基板処理装置10は、処理室20と、搬送部30と、処理部40と、基板検出部50と、制御部60とを備えている。
次に、前述の基板処理装置10が行う基板処理(基板処理工程)について説明する。
前述の実施形態に対して、次のように変更を加えても構わない。
2 揺動板
2a 本体
2b 受板
2c 錘
2d、2e ストッパ
2e 磁石
2f 検出板
10 基板処理装置
20 処理室
30 搬送部
40 処理部
41(41a、41b) シャワー
43 タンク
44 回収管
50(50a、50b) 基板検出部
51 揺動部
52 センサ部
52a 磁気センサ
53 流体吐出部
53a ノズル
60 制御部
W 基板
m 流体
Claims (10)
- 基板を搬送路に沿って搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送される前記基板を処理液により処理する処理部と、
前記搬送部により搬送される前記基板を検出する基板検出部と、
を有し、
前記基板検出部は、前記搬送部により搬送される前記基板の下面側から流体を吐出する吐出部と、前記搬送路を挟んで前記吐出部と対向する位置において、前記吐出部からの前記流体の到達を検出する検出部と、
を有し、
前記検出部は、前記吐出部から吐出された流体によって揺動する揺動部と、前記揺動部の前記揺動を検出するセンサ部と、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記揺動部は、前記基板の搬送方向と平行な軸を中心に揺動する揺動板を有することを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記揺動板は、本体と、前記本体の一端に鈍角を有して支持される受板と、を有することを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。
- 前記受板には錘が取り付けられ、この錘により、前記揺動板には、前記軸を中心に前記基板側の回転モーメントが付加されることを特徴とする請求項3記載の基板処理装置。
- 前記受板は、前記吐出部から吐出される前記流体が前記基板に遮られて前記受板に届かない状態で、前記本体との接続部に対して前記搬送路側に傾斜する状態とされることを特徴とする請求項3または4記載の基板処理装置。
- 基板を搬送路に沿って搬送する搬送部と、
前記搬送部により搬送される前記基板を処理液により処理する処理部と、
前記搬送部により搬送される前記基板を検出する基板検出部と、
を有し、
前記基板検出部は、前記搬送部により搬送される前記基板の下面側から流体を吐出する吐出部と、前記搬送路を挟んで前記吐出部と対向する位置において、前記吐出部からの前記流体の到達を検出する検出部と、
を有し、
前記検出部は、前記吐出部から供給される流体で回転する回転体を有し、
前記基板検出部は、前記回転体の回転状態から前記流体の到達を検出することを特徴とする基板処理装置。 - 前記流体は、前記処理液と同一の処理液であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記処理部で使用された処理液を回収するための回収管と、
前記回収管によって回収された前記処理液を貯留するタンクと、
を備え、
前記処理部は、前記タンクに回収されて貯留された前記処理液を再度、前記処理部による処理に使用することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記吐出部からは、前記基板が前記吐出部の上方に到来する前から前記流体が吐出されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記処理部は、
前記基板の搬送方向に沿って設けられた複数のシャワーと、
前記シャワーに供給される前記処理液が流れる液供給管と、を有し、
前記吐出部は、ノズルを有し、前記ノズルは、前記液供給管に接続されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の基板処理装置。
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