JP2022092713A5 - - Google Patents

Description

本発明に係る基板処理装置は、基板の両面を処理する基板処理装置であって、一方の面を上方に向けた姿勢で搬送される前記基板の搬送面より上方に配置され、前記一方の面に対して第１処理液を吐出する第１ノズルを含む上側配置部材と、搬送される前記基板の搬送面より下方に配置され、前記基板の他方の面に対して第２処理液を吐出する第２ノズルと、を備え、前記第２ノズルは、前記第２処理液の吐出方向が前記基板の前記他方の面に対して斜めになるように、配置され、前記第２ノズルの吐出圧は、前記基板が無いときに前記上側配置部材に前記第２処理液が到達しない吐出圧である、構成となる。

搬送方向Ｄｔに向けて傾けて設けられる第２シャワーノズル２４のその傾き角度α、即ち、純水の吐出方向は、例えば、図５に示すように、基板Ｗの搬送面Ｓｔとその搬送面Ｓｔの上側に配置された第１シャワーノズル２３を含む上側配置部材（本実施の一形態では、第１シャワーパイプ２１、第１シャワーパイプ２１を固定するブラケット、配管ホース等を含む）との間の最小距離ｈ１、搬送面Ｓｔと第２シャワーノズル２４の先端との間の距離ｈ２、及び純水（第２処理液）による基板Ｗの裏面の処理（この場合、洗浄処理）に必要な吐出圧（洗浄吐出圧：第１吐出圧）に基づいて、決めることができ、予め実験などにより求められる。具体的には、基板Ｗの裏面の処理（洗浄）に必要な吐出圧となり、かつ、第２シャワーノズル２４から吐出される純水が前記上側配置部材（第１シャワーノズル２３等）にとどかないように第２シャワーノズル２４の傾き角度αを決めることができる。言い換えると、傾き角度αは、図５に示すように、第２シャワーノズル２４から洗浄吐出圧で吐出された純水の軌跡において、最高到達点が、基板Ｗの搬送面Ｓｔから最小距離ｈ１の高さ以下となるように設定される。また、第２吐出圧を高くするほど、第２シャワーノズル２４の傾き角度αを小さくすればよい。

Claims (10)

1. 基板の両面を処理する基板処理装置であって、
   一方の面を上方に向けた姿勢で搬送される前記基板の搬送面より上方に配置され、前記一方の面に対して第１処理液を吐出する第１ノズルを含む上側配置部材と、
   搬送される前記基板の搬送面より下方に配置され、前記基板の他方の面に対して第２処理液を吐出する第２ノズルと、を備え、
   前記第２ノズルは、前記第２処理液の吐出方向が前記基板の前記他方の面に対して斜めになるように、配置され、
   前記第２ノズルから吐出される前記第２処理液の吐出圧は、前記基板が無いときに前記上側配置部材に前記第２処理液が到達しない吐出圧である基板処理装置。
2. 基板の両面を処理する基板処理装置であって、
   一方の面を上方に向けた姿勢で搬送される前記基板の搬送面より上方に配置され、前記一方の面に対して第１処理液を吐出する第１ノズルを含む上側配置部材と、
   搬送される前記基板の搬送面より下方に配置され、前記基板の他方の面に対して第２処理液を吐出する第２ノズルと、を備え、
   前記第２ノズルから吐出される前記第２処理液の吐出圧は、前記他方の面に対して垂直に吐出した場合には前記上側配置部材に到達する吐出圧であって、前記第２ノズルは、前記第２処理液が前記上側配置部材に到達しないように、吐出方向が斜めになるように設けられる基板処理装置。
3. 前記第２ノズルは、前記第２処理液の吐出方向が前記基板の搬送方向における下流側に向けて斜めになるように配置された、請求項１または２記載の基板処理装置。
4. 前記第１処理液と前記第２処理液とは異なる種類の処理液である、請求項１乃至３のいずれかに記載の基板処理装置。
5. 前記第１処理液はオゾン水であり、前記第２処理液は純水である、請求項４記載の基板処理装置。
6. 前記第１ノズルは、前記一方の面に垂直に前記第１処理液を吐出する請求項１乃至５のいずれかに記載の基板処理装置。
7. 前記基板を検出する検出器と、
   前記検出器による前記基板の検出信号を基に取得した前記基板の搬送位置に応じて、前記第２ノズルから吐出される前記第２処理液の吐出圧を変更するように制御する制御装置と、を有する、請求項１乃至６のいずれかに記載の基板処理装置。
8. 前記検出器は、前記第２ノズルより前記基板の搬送方向における上流側に配置され、
   前記制御装置は、前記検出器によって前記基板が検出されたタイミングから第１所定時間後に前記第２ノズルから前記第２処理液を第１吐出圧にて吐出させ、前記第２処理液の第１吐出圧での吐出開始タイミングから第２所定時間後に、前記第２処理液の吐出圧を前記第１吐出圧より低い第２吐出圧に切り換える吐出圧切換制御部を含む、請求項７記載の基板処理装置。
9. 前記吐出圧切換制御部は、前記第２ノズルからの前記第２処理液の第１吐出圧での吐出タイミングから前記第２所定時間後に、前記第２ノズルからの前記第２処理液の吐出を停止させる、吐出開始・停止制御部を含む、請求項８記載の基板処理装置。
10. 前記第２ノズルはシャワーパイプに設けられたノズルであって、前記第２ノズルは前記シャワーパイプに複数設けられ、
    前記シャワーパイプは、前記基板の搬送方向に所定間隔で複数本設けられ、
    前記制御装置は、前記第１吐出圧と前記第２吐出圧との切り換えを、前記シャワーパイプ毎に行う請求項８または９記載の基板処理装置。