JP4138504B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板、半導体ウエハ、プリント基板等の基板を搬送しながら基板に対し洗浄、現像、エッチング、剥離などの処理を施す基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＦＰＤ、半導体デバイス、プリント配線板などの製造プロセスにおいて、例えば、薬液を用いて基板を処理した後に、基板を純水で洗浄して、基板に付着した薬液を純水に置換する場合に、搬送ローラによって基板を１枚ずつ水平方向へ搬送しつつ基板上へ純水を吐出して水洗する水平搬送式処理装置が使用される。この処理装置の概略構成の１例を図１４に模式的に示す。
【０００３】
図１４に示した処理装置は、搬入口１２および搬出口（図示せず）を有する水洗処理槽１０を備え、水洗処理槽１０の内部には、図示していないが複数の搬送ローラが並列して配設されている。また、水洗処理槽１０の内部には、二点鎖線で示す基板１の搬送路Ｌを挟んでその上・下両側に、基板１の上・下両面に純水を吹き付ける純水吐出ノズル１４がそれぞれ複数個列設されている。水洗処理槽１０の搬入口１２側には、水洗処理槽１０に隣接して薬液処理槽１６が設置されており、薬液処理槽１６の内部には、基板１の搬送路Ｌを挟んでその上・下両側に、基板１の上・下両面に薬液を吹き付ける薬液吐出ノズル１８がそれぞれ複数個列設されている。そして、基板１は、薬液処理槽１６内から搬入口１２を通って水洗処理槽１０内へ搬入され、搬送ローラにより支持されて水平方向へ搬送されて、水洗処理槽１０内から搬出口を通って搬出され、次の乾燥処理部（図示せず）へ搬送されるようになっている。
【０００４】
また、水洗処理槽１０の底部には、基板１上から水洗処理槽１０の内底部に流れ落ちた液が流出する液回収口５２が形設されており、その液回収口５２に液回収用配管５４が連通接続されている。液回収用配管５４は、回収液５６を貯留する回収タンク５８に流路接続されている。また、回収タンク５８には、送液用配管６０の一端が連通接続され、送液用配管６０の先端は、図示していないが純水吐出ノズル１４に連通接続されている。この送液用配管６０には、フィルタ６２およびポンプ６４がそれぞれ介挿されている。また、図示していないが、回収タンク５８には、純水を補充するための純水供給用配管が接続されている。
【０００５】
上記した構成の処理装置では、薬液処理槽１６内から上面に薬液２が付着した基板１が水洗処理槽１０内へ搬入されてくると、水洗処理槽１０内において搬送ローラによって基板１が搬送されつつ純水吐出ノズル１４から基板１の上・下両面へ純水が吹き付けられて、基板１の上面に付着した薬液２が純水と置換される。この際、基板１面に吹き付けられた純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に水洗処理槽１０の内底部に流下する。水洗処理槽１０の内底部に流下した純水と薬液との混合液は、水洗処理槽１０の内底部上を液回収口５２に向かって流れ、液回収口５２から液回収用配管５４を通って回収タンク５８内へ流入する。そして、回収タンク５８内に貯留された回収液５６は、送液用配管６０を通って純水吐出ノズル１４へ戻され再利用される。このように、純水は循環させながら使用される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように純水と薬液との混合液を循環させながら基板の処理を行う装置においては、純水と薬液との混合液が再利用されて基板１に付着した薬液と置換されるため、薬液の濃度が次第に高くなり、次第に置換効率が低下することになる。また、薬液を含む液が液回収用配管５４、回収タンク５８および送液用配管６０を通って循環させられるため、回収タンク５８の内面、液回収用配管５４や送液用配管６０の内面、ポンプ６４の内部などが汚される、といった問題点がある。
【０００７】
一方、基板１上から水洗処理槽１０の内底部に流下した純水と薬液との混合液を水洗処理槽１０内から廃液として排出するようにすると、廃液量が多くなって廃液処理に費用がかかり、また、純水の使用量も増えてランニングコストが多くかかる、といった問題点がある。
【０００８】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、純水等の処理液の利用効率を高く維持して処理液の使用量を低減させ、廃液量も少なくすることができるとともに、処理効率を高く維持し、液の循環経路における各部材の汚染も最小限に抑えることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、処理槽内において搬送手段により基板を水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜させた姿勢で搬送するとともに、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、前記処理槽の内底面上の、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って仕切り板を立設し、その仕切り板で処理槽の内底部を仕切って、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を回収する回収槽部と吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を低くなった側へ流れて縁辺から流れ落ちる使用済みの処理液を受ける排液槽部とに区画し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記排液槽部が受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記回収槽部が回収し、前記回収槽部内に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記排液槽部内へ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の基板処理装置において、前記仕切り板の上端が、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺に近接するように配置されたことを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明は、処理槽内において搬送手段により基板を水平姿勢で水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、前記処理槽の内底面上の、搬送される基板の両側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿ってそれぞれ仕切り板を立設し、その各仕切り板で処理槽の内底部をそれぞれ仕切って、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を回収する回収槽部と吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を両側へ流れて両縁辺からそれぞれ流れ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の排液槽部とに区画し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記各排液槽部がそれぞれ受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記回収槽部が回収し、前記回収槽部内に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記各排液槽部内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項３記載の基板処理装置において、前記各仕切り板の上端が、搬送される基板の両側の縁辺にそれぞれ近接するように配置されたことを特徴とする。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、前記処理槽の内底面上の、基板の搬入口側に、基板の搬送方向と交差する方向に沿って幅方向仕切り板を立設し、その幅方向仕切り板で処理槽の内底部を仕切って、処理槽内に搬入された基板の前端側縁辺からこぼれ落ちる液体を受ける搬入口側排液槽部を形設し、その搬入口側排液槽部内へ流下した処理液をも排出することを特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る発明は、請求項５記載の基板処理装置において、前記搬入口側排液槽部と前記排液槽部とを連通させたことを特徴とする。
【００１６】
請求項７に係る発明は、処理槽内において搬送手段により基板を水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜させた姿勢で搬送するとともに、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、前記処理槽の内部の、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って、前記吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を低くなった側へ流れて縁辺から流れ落ちる使用済みの処理液を受ける排液樋を横設し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記排液樋が受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記処理槽の内底部が回収し、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下して前記処理槽の内底部に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記排液樋内へ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項８に係る発明は、処理槽内において搬送手段により基板を水平姿勢で水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、前記処理槽の内部の、搬送される基板の両側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って、前記吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を両側へ流れて両縁辺からそれぞれ流れ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の排液樋を横設し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記各排液樋がそれぞれ受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記処理槽の内底部が回収し、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下して前記処理槽の内底部に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記各排液樋内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項９に係る発明は、請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置において、前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において基板中央部が基板両端部より高くなるように支持して搬送することを特徴とする。
【００１９】
請求項１０に係る発明は、請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置において、前記吐出ノズルから基板上へ、基板表面に対し基板の搬送方向と直交する方向における基板両端部側へそれぞれ傾けて処理液を吐出することを特徴とする。
【００２０】
請求項１１に係る発明は、請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置において、前記搬送手段によって搬送される基板の前後両端側縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向と直交する方向に沿って、基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の補助排液樋を配設し、その一対の補助排液樋を基板の移動と同期して水平方向へ移動するように支持し、前記各補助排液樋内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する補助排液路を備えたことを特徴とする。
【００２１】
請求項１２に係る発明は、請求項１ないし請求項１１のいずれかに記載の基板処理装置において、前記処理槽が、純水で基板を洗浄する水洗処理槽であり、その水洗処理槽の基板搬入口側に隣接して、薬液で基板を処理する薬液処理槽が設けられたことを特徴とする。
【００２３】
請求項１に係る発明の基板処理装置においては、基板が搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜した姿勢で搬送されるので、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液は、基板上を低くなった側へ流れて基板の縁辺から流れ落ちる。このとき、基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近には仕切り板が立設されていてその仕切り板で処理槽の内底部が仕切られ回収槽部と排液槽部とに区画されているので、基板が吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、基板の縁辺から流れ落ちた使用済みの処理液は、排液槽部内に流下し、排液路を通って排出される。一方、基板が吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液は、回収槽部内に回収され、液循環系によって吐出ノズルへ戻され再利用される。したがって、使用済みの処理液は再利用されることなく廃棄されるため、基板の処理効率が低下することはなく、また、液循環系を通って使用済みの処理液が流れることがないため、液循環系における各部材の汚染も最小限に抑えられる。一方、回収槽部内に回収された処理液は再利用されるため、処理液の利用効率が高く維持されて処理液の使用量が低減し、廃液量も少なくなる。
【００２４】
請求項２に係る発明の基板処理装置では、基板上を低くなった側へ流れて基板の縁辺から流れ落ちた使用済みの処理液は、確実に排液槽部内に流下し、仕切り板の上端を越えて回収槽部内へ流下することがない。
【００２５】
請求項３に係る発明の基板処理装置においては、処理槽内において基板が搬送手段によって水平姿勢で水平方向へ搬送されつつ、吐出ノズルから基板上へ処理液が吐出されて基板が処理される。そして、基板の処理に使用された処理液は、基板上を両側へ流れて基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。このとき、基板の両側の縁辺の直下位置付近にはそれぞれ仕切り板が立設されていてその各仕切り板で処理槽の内底部がそれぞれ仕切られ回収槽部と一対の排液槽部とに区画されているので、基板が吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた使用済みの処理液は、各排液槽部内に流下し、排液路を通って排出される。一方、基板が吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液は、回収槽部内に回収され、液循環系によって吐出ノズルへ戻され再利用される。したがって、使用済みの処理液は再利用されることなく廃棄されるため、基板の処理効率が低下することはなく、また、液循環系を通って使用済みの処理液が流れることがないため、液循環系における各部材の汚染も最小限に抑えられる。一方、回収槽部内に回収された処理液は再利用されるため、処理液の利用効率が高く維持されて処理液の使用量が低減し、廃液量も少なくなる。
【００２６】
請求項４に係る発明の基板処理装置では、基板上を両側へ流れて基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた使用済みの処理液は、確実に各排液槽部内に流下し、仕切り板の上端を越えて回収槽部内へ流下することがない。
【００２７】
請求項５に係る発明の基板処理装置では、基板の搬入口付近において、前段の処理で使用されて基板に付着した処理液が基板の前端側縁辺からこぼれ落ちたり、吐出ノズルから基板搬送方向の前方に向けて基板上へ吐出された処理液が基板の前端側縁辺からこぼれ落ちたりしたとき、基板の搬入口側には幅方向仕切り板が立設されていてその幅方向仕切り板で処理槽の内底部が仕切られ搬入口側排液槽部が形設されているので、基板の前端側縁辺からこぼれ落ちた液体は、搬入口側排液槽部内に流下し、排出される。請求項７に係る発明の装置では、搬入口側排液槽部内へ流下した液体は、排液槽部内へ流下した使用済みの処理液と共に排液路を通って排出される。
【００２８】
請求項７に係る発明の基板処理装置においては、基板が搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜した姿勢で搬送されるので、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液は、基板上を低くなった側へ流れて基板の縁辺から流れ落ちる。このとき、基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近には基板の搬送方向に沿って排液樋が横設されているので、基板が吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、基板の縁辺から流れ落ちた使用済みの処理液は、排液樋内に流下し、排液路を通って排出される。一方、基板が吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液は、処理槽の内底部に回収され、液循環系によって吐出ノズルへ戻され再利用される。したがって、使用済みの処理液は再利用されることなく廃棄されるため、基板の処理効率が低下することはなく、また、液循環系を通って使用済みの処理液が流れることがないため、液循環系における各部材の汚染も最小限に抑えられる。一方、処理槽の内底部に回収された処理液は再利用されるため、処理液の利用効率が高く維持されて処理液の使用量が低減し、廃液量も少なくなる。
【００２９】
請求項８に係る発明の基板処理装置においては、処理槽内において基板が搬送手段によって水平姿勢で水平方向へ搬送されつつ、吐出ノズルから基板上へ処理液が吐出されて基板が処理される。そして、基板の処理に使用された処理液は、基板上を両側へ流れて基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。このとき、基板の両側の縁辺の直下位置付近にはそれぞれ基板の搬送方向に沿って排液樋が横設されているので、基板が吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた使用済みの処理液は、各排液樋内に流下し、排液路を通って排出される。一方、基板が吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液は、処理槽の内底部に回収され、液循環系によって吐出ノズルへ戻され再利用される。したがって、使用済みの処理液は再利用されることなく廃棄されるため、基板の処理効率が低下することはなく、また、液循環系を通って使用済みの処理液が流れることがないため、液循環系における各部材の汚染も最小限に抑えられる。一方、処理槽の内底部に回収された処理液は再利用されるため、処理液の利用効率が高く維持されて処理液の使用量が低減し、廃液量も少なくなる。
【００３０】
請求項９に係る発明の基板処理装置では、基板は、搬送方向と直交する方向において中央部が両端部より高くなるように支持して搬送されるので、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液は、基板の中央部で左右に分かれ基板上で滞留することなく基板上を中央部からそれぞれ両端部へ流れて基板の縁辺から流れ落ちる。
【００３１】
請求項１０に係る発明の基板処理装置では、基板表面に対し基板の搬送方向と直交する方向における基板両端部側へそれぞれ傾けて処理液が吐出されるので、吐出ノズルから基板上へ吐出された処理液には、それぞれ両端部に向かう流れが形成され、処理液は基板上をそれぞれ両端部へ流れて基板の縁辺から流れ落ちる。
【００３２】
請求項１１に係る発明の基板処理装置では、搬送手段によって基板が搬送されているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液が基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちることがあっても、基板の前後両端側縁辺の直下位置付近には基板の搬送方向と直交する方向に沿って一対の補助排液樋が配設され、その一対の補助排液樋は基板の移動と同期して水平方向へ移動するように支持されているので、基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちた使用済みの処理液は、各補助排液樋内に流下し、補助排液路を通って排出される。
【００３３】
請求項１２に係る発明の基板処理装置では、薬液処理槽で基板の処理に使用されて基板に付着した薬液は、水洗処理槽において基板が純水で洗浄されることにより基板上から除去されて純水で置換される。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１ないし図１３を参照しながら説明する。
【００３５】
図１ないし図３は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図であり、図２および図３は、図１のII−II矢視断面図およびIII−III矢視断面図である。この基板処理装置において基板の処理を行う主要部の構成および動作は、図１４に関して説明した従来の装置と同様であるので、図１ないし図３においても図１４で使用した符号を同一部材に付して、重複する説明を省略する。
【００３６】
この基板処理装置においては、図示していないが、水洗処理槽１０の内部に複数並列して配設された各搬送ローラが、基板１の搬送方向と直交する方向において傾斜するようにそれぞれ支持されている。そして、図３に示すように、基板１は、その搬送方向と直交する方向において傾斜した姿勢で水平方向へ搬送されるようになっている。なお、図２では、便宜上、基板１を傾斜姿勢に描いていない。また、純水吐出ノズル１４から吐出された純水が、薬液処理槽１６内から水洗処理槽１０内へ搬入されてきた基板１の上面を介して上流側の薬液処理槽１６内へ流れ込まないようにするため、純水吐出ノズル１４のうち水洗処理槽１０の搬入口１２に最も近い位置に設置された純水吐出ノズル１４ａは、図２に示すように、基板１の搬送方向における前方に向けて純水を吐出するように吐出口が配置されている。さらに、この基板処理装置では、水洗処理槽１０の内底部が仕切り板２０および幅方向仕切り板２２によって仕切られ、水洗処理槽１０の内底部が回収槽部２４とＬ字形の排液槽部２６とに区画されている。
【００３７】
仕切り板２０は、水洗処理槽１０の内底面上の、傾斜して搬送される基板１の低くなった側の縁辺の直下位置付近に、基板１の搬送方向に沿って立設されている。仕切り板２０の上端は、図３の（ａ）に示しているように、基板１の低くなった側の縁辺に近接するように配置することが好ましい。また、幅方向仕切り板２２は、水洗処理槽１０の内底面上の、基板１の搬入口１２側に、基板１の搬送方向と直交する方向に沿って立設されている。そして、幅方向仕切り板２２の一端部が仕切り板２０の一端部に、鉤形をなすように連接している。
【００３８】
また、水洗処理槽１０の、回収槽部２４の底部には、液回収口２８が形設されており、その液回収口２８に液回収用配管３０が連通接続されている。液回収用配管３０は、回収液３２を貯留する回収タンク３４に流路接続されている。また、回収タンク３４には、フィルタ３８およびポンプ４０がそれぞれ介挿された送液用配管３６の一端が連通接続され、送液用配管３６の先端は、図示していないが、純水吐出ノズル１４、１４ａに連通接続されている。一方、水洗処理槽１０の、排液槽部２６の底部には、液排出口４２が形設されており、その液排出口４２に排液管４４が連通接続されている。
【００３９】
上記した構成を備えた基板処理装置において、図３の（ａ）に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過しているときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を低くなった側へ流れて基板１の縁辺から流れ落ちる。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面を伝って基板１の低くなった側へ流れ基板１の縁辺から流れ落ちる。基板１の縁辺から流れ落ちた純水と薬液との混合液は、排液槽部２６内に流下し、排液槽部２６内から液排出口４２を通って排液管４４内へ流出し、排液管４４を通り廃液として排出される。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面から滴り落ちて回収槽部２４内に流下する。そして、回収槽部２４内に回収された比較的少量の純水は、回収槽部２４内から液回収口２８を通って液回収用配管３０内へ流出し、液回収用配管３０を通って回収タンク３４内へ流入する。そして、回収タンク３４内に貯留された回収液３２は、送液用配管３６を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。なお、このとき下側の純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１に触れた後にその一部が回収タンク３４に戻ることになるが、実質的な不都合はない。すなわち、基板１の下面に付着した薬液には重力が作用するため、上面と比べ下面には元々少量の薬液しか付着していない。そのため、基板１の下面に触れた純水はごく少量の薬液しか含まないため、回収タンク３４に戻して再利用しても実質的に不都合はない。また、薬液処理槽１６には、基板１の下面に付着している薬液を除去する液切りローラを使用する場合もあり、その場合には水洗処理槽１０に入る基板１の下面に付着している薬液はさらに少なくなるので、実質的に不都合はない。
【００４０】
一方、図３の（ｂ）に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過していないときは、純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１面を経由することなくそのまま回収槽部２４内に流下する。回収槽部２４内に流下して回収された多量の純水は、回収槽部２４内から液回収口２８を通って液回収用配管３０内へ流出し、液回収用配管３０を通って回収タンク３４内へ流入する。そして、回収タンク３４内に貯留された回収液（純水）３２は、送液用配管３６を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。この場合には、排液槽部２６内に純水が流下することはほとんどなく、排液槽部２６内から排液管４４を通って排出される廃液量は極く少量である。
【００４１】
また、水洗処理槽１０の搬入口１２付近においては、薬液処理槽１６内から水洗処理槽１０内へ搬入されてきて薬液が付着した基板１に対し、純水吐出ノズル１４ａから基板１の搬送方向の前方に向けて純水が吐出されるため、基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を前方側へ流れて基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちる。基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちた純水と薬液との混合液は、幅方向仕切り板２２によって回収槽部２４から隔てられた排液槽部２６内に流下し、排液槽部２６の内底面上を液排出口４２に向かって流れる。そして、排液槽部２６内から液排出口４２を通って排液管４４内へ流出し、排液管４４を通り廃液として排出される。
【００４２】
上記したように、この基板処理装置では、使用済みの純水はほとんど再利用されることなく薬液と一緒に廃液として廃棄され、基板１の洗浄処理には純水が使用されるので、基板１の処理効率が低下することはない。また、純水と薬液との混合液は、液回収用配管３０内、回収タンク３４内、送液用配管３６内、ポンプ４０の内部などを流れることがないので、それらの部材が薬液で汚染されることは最小限に抑えられる。一方、回収槽部２４内に回収された純水は再利用されるため、純水の使用量を低減させることができ、また、廃液量も少なくなる。
【００４３】
上記した基板処理装置では、純水吐出ノズル１４のうち水洗処理槽１０の搬入口１２に最も近い位置に設置された純水吐出ノズル１４ａは、基板１の搬送方向における前方に向けて純水を吐出するように吐出口が配置されている。また、水洗処理槽１０内へ搬入されてきた基板１の上面を介して上流側の薬液処理槽１６内へ純水が流れ込まないようにするために、水洗処理槽１０の搬入口１２の近傍にエアーナイフを設置するようにしてもよいが、このような構成を備えた装置では、上記した実施形態のように排液槽部２６をＬ字形とし、水洗処理槽１０内へ搬入されてきた基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちる純水および薬液を排液槽部２６内に流下させる必要がある。これに対し、水洗処理槽１０内へ搬入されてきた基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちる純水および薬液の量がそれほど多くならないような場合などには、図４に模式的平面図を示すように、幅方向仕切り板２２を設けずに、水洗処理槽１０の全長にわたり基板１の搬送方向に沿って仕切り板４６を立設し、その仕切り板４６によって水洗処理槽１０の内底部を回収槽部４８と排液槽部５０とに区画するようにしてもよい。
【００４４】
本実施形態では、排液管４４を通って排出される液を廃液として廃棄しているが、この発明においては排液は必ずしも廃液を意味しない。例えば薬液処理槽の下流に水洗処理槽を２つ連続して設ける場合において、両方の水洗処理槽に本発明を適用し、次のように構成することが考えられる。すなわち、下流側の水洗処理槽では、水洗のために新しい未使用の純水を使用する。そして、下流側の水洗処理槽において排液管４４から排出された液は、廃棄することなく、上流側の水洗処理槽へ送り、その上流側の水洗処理槽において、新液として水洗に使用することができる。これは、上流側の水洗処理槽へ搬入される基板には薬液が多量に付着しているのに対し、下流側の水洗処理槽へ搬入される基板は、上流側の水洗処理槽においてすでに一度洗浄され、付着している薬液が極めて少量であるためである。それゆえ、下流側の水洗処理槽において排液管４４から排出される液は、薬液を極めて少量しか含んでおらず、上流側の水洗処理槽においては新液として使用可能な程度であるからである。このように下流側の水洗処理槽で排液管４４から排出される液を上流側の水洗処理槽へ送って再利用することで、純水の使用量をより低減することができる。
【００４５】
また、上記実施形態では、排液槽部２６を、仕切り板２０によって形成される部分と幅方向仕切り板２２によって形成される部分とを連通させた一体のＬ字形としているが、それら２つの部分から別個に排液管を設けて、その両方の排液管を回収タンク３４に接続して連通させてもよい。
【００４６】
次に、図５および図６は、この発明の別の実施形態を示し、図５は、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図であり、図６は、図５のVI−VI矢視断面図である。この基板処理装置においても、基板の処理を行う主要部の構成および動作は、図１４に関して説明した従来の装置と同様であるので、重複する説明を省略する。また、図５および図６において図１ないし図３で使用した符号と同一符号を付した部材は、図１ないし図３に関して説明した上記部材と同一機能を有する同一部材を示し、それらについても重複する説明を省略する。
【００４７】
この基板処理装置においても、図示していないが、水洗処理槽１０の内部に複数並列して配設された各搬送ローラが、基板１の搬送方向と直交する方向において傾斜するようにそれぞれ支持されており、図６に示すように、基板１は、その搬送方向と直交する方向において傾斜した姿勢で水平方向へ搬送されるようになっている。そして、この基板処理装置では、水洗処理槽１０の内部に、基板１の搬送方向に沿って排液樋６６が横設されている。この排液樋６６は、傾斜して搬送される基板１の低くなった側の縁辺の直下位置付近に配置されている。また、排液樋６６の底部には、液排出口６８が形設されており、その液排出口６８に排液管７０が連通接続されている。
【００４８】
一方、水洗処理槽１０の内底部には、液回収口７２が形設されており、その液回収口７２に液回収用配管７４が連通接続されている。そして、図示していないが、図１ないし図３に示した装置と同様に、液回収用配管７４は、回収液を貯留する回収タンクに流路接続され、回収タンクには、フィルタおよびポンプがそれぞれ介挿された送液用配管の一端が連通接続されており、その送液用配管の先端が純水吐出ノズル１４、１４ａに連通接続されている。
【００４９】
上記した構成を備えた基板処理装置において、図６に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過しているときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を低くなった側へ流れて基板１の縁辺から流れ落ちる。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面を伝って基板１の低くなった側へ流れ基板１の縁辺から流れ落ちる。基板１の縁辺から流れ落ちた純水と薬液との混合液は、排液樋６６内に流下し、排液樋６６内から液排出口６８を通って排液管７０内へ流出し、排液管７０を通り廃液として排出される。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面から滴り落ちて水洗処理槽１０の内底部に流下する。そして、水洗処理槽１０の内底部に回収された比較的少量の純水は、水洗処理槽１０の内底部から液回収口７２を通って液回収用配管７４内へ流出し、液回収用配管７４を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。
【００５０】
一方、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過していないときは、純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１面を経由することなくそのまま水洗処理槽１０の内底部に流下する。水洗処理槽１０の内底部に流下して回収された多量の純水は、水洗処理槽１０の内底部から液回収口７２を通って液回収用配管７４内へ流出し、液回収用配管７４を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液（純水）は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。この場合には、排液樋６６内に純水が流下することはほとんどなく、排液樋６６内から排液管７０を通って排出される廃液量は極く少量である。
【００５１】
上記したように、この基板処理装置においても、使用済みの純水はほとんど再利用されることなく薬液と一緒に廃液として廃棄され、基板１の洗浄処理には純水が使用されるので、基板１の処理効率が低下することはない。また、純水と薬液との混合液は、液回収用配管７４内、回収タンク内、送液用配管内、ポンプの内部などを流れることがないので、それらの部材が薬液で汚染されることは最小限に抑えられる。一方、水洗処理槽１０の内底部に回収された純水は再利用されるため、純水の使用量を低減させることができ、また、廃液量も少なくなる。
【００５２】
次に、図７および図８は、この発明のさらに別の実施形態を示し、図７は、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図であり、図８は、図７のVIII−VIII矢視断面図である。この基板処理装置においても、基板の処理を行う主要部の構成および動作は、図１４に関して説明した従来の装置と同様であるので、重複する説明を省略する。また、図７および図８において図１ないし図３で使用した符号と同一符号を付した部材は、図１ないし図３に関して説明した上記部材と同一機能を有する同一部材を示し、それらについても重複する説明を省略する。
【００５３】
この基板処理装置においては、図示していないが、水洗処理槽１０の内部に複数並列して配設された各搬送ローラが水平にそれぞれ支持されており、図８に示すように、基板１は、水平姿勢で水平方向へ搬送されるようになっている。そして、この基板処理装置では、水洗処理槽１０の内底部が一対の仕切り板７６ａ、７６ｂおよび幅方向仕切り板７８によって仕切られ、水洗処理槽１０の内底部が回収槽部８０と一対の排液槽部８２ａ、８２ｂおよび搬入口側排液槽部８４とに区画されている。
【００５４】
一対の仕切り板７６ａ、７６ｂは、水洗処理槽１０の内底面上の、水平姿勢で搬送される基板１の両側の縁辺の直下位置付近に、それぞれ基板１の搬送方向に沿って立設されている。仕切り板７６ａ、７６ｂの上端は、図８に示しているように、基板１の両側の縁辺にそれぞれ近接するように配置することが好ましい。また、幅方向仕切り板７８は、水洗処理槽１０の内底面上の、基板１の搬入口側に、基板１の搬送方向と直交する方向に沿って立設されている。そして、幅方向仕切り板７８の両端部が各仕切り板７６ａ、７６ｂの一端部にそれぞれ鉤形をなすように連接しており、一対の排液槽部８２ａ、８２ｂおよび搬入口側排液槽部８４は、互いに流路的に連絡している。
【００５５】
また、水洗処理槽１０の、回収槽部８０の底部には、液回収口８６が形設されており、その液回収口８６に液回収用配管８８が連通接続されている。液回収用配管８８は、図示していないが、図１ないし図３に示した装置と同様に、回収液を貯留する回収タンクに流路接続され、回収タンクには、フィルタおよびポンプがそれぞれ介挿された送液用配管の一端が連通接続されており、その送液用配管の先端が純水吐出ノズル１４、１４ａに連通接続されている。一方、水洗処理槽１０の、排液槽部８２ａの底部には、液排出口９０が形設されており、その液排出口９０に排液管９２が連通接続されている。
【００５６】
上記した構成を備えた基板処理装置において、図８に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過しているときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を両側へ流れて基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面を伝って基板１の両側へ流れ基板１の両縁辺から流れ落ちる。基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた純水と薬液との混合液は、各排液槽部８２ａ、８２ｂ内にそれぞれ流下し、排液槽部８２ａ、８２ｂ内から液排出口９０を通って排液管９２内へ流出し、排液管９２を通り廃液として排出される。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面から滴り落ちて回収槽部８０内に流下する。そして、回収槽部８０内に回収された比較的少量の純水は、回収槽部８０内から液回収口８６を通って液回収用配管８８内へ流出し、液回収用配管８８を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。
【００５７】
一方、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過していないときは、純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１面を経由することなくそのまま回収槽部８０内に流下する。回収槽部８０内に流下して回収された多量の純水は、回収槽部８０内から液回収口８６を通って液回収用配管８８内へ流出し、液回収用配管８８を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液（純水）は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。この場合には、排液槽部８２ａ、８２ｂ内に純水が流下することはほとんどなく、排液槽部８２ａ、８２ｂ内から排液管９２を通って排出される廃液量は極く少量である。
【００５８】
また、水洗処理槽１０の搬入口付近においては、薬液処理槽１６内から水洗処理槽１０内へ搬入されてきて薬液が付着した基板１に対し、純水吐出ノズル１４ａから基板１の搬送方向の前方に向けて純水が吐出されるため、基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を前方側へ流れて基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちる。基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちた純水と薬液との混合液は、幅方向仕切り板７８によって回収槽部８０から隔てられた搬入口側排液槽部８４内に流下し、搬入口側排液槽部８４の内底面上を液排出口９０に向かって流れる。そして、排液槽部８２ａ内から液排出口９０を通って排液管９２内へ流出し、排液管９２を通り廃液として排出される。
【００５９】
この基板処理装置においても、図１ないし図３に示した装置と同様に、基板１の処理効率が低下することがなく、また、液回収用配管８８内、回収タンク内、送液用配管内、ポンプの内部などの部材が薬液で汚染されることが最小限に抑えられ、一方、純水の使用量を低減させることができ、また、廃液量も少なくなる、といった作用効果が得られる。
【００６０】
また、図９および図１０は、この発明のさらに別の実施形態を示し、図９は、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図であり、図１０は、図９のＸ−Ｘ矢視断面図である。この基板処理装置においても、基板の処理を行う主要部の構成および動作は、図１４に関して説明した従来の装置と同様であるので、重複する説明を省略する。また、図９および図１０において図１ないし図３で使用した符号と同一符号を付した部材は、図１ないし図３に関して説明した上記部材と同一機能を有する同一部材を示し、それらについても重複する説明を省略する。
【００６１】
この基板処理装置においては、図示していないが、水洗処理槽１０の内部に複数並列して配設された各搬送ローラが水平にそれぞれ支持されており、図１０に示すように、基板１は、水平姿勢で水平方向へ搬送されるようになっている。そして、この基板処理装置では、水洗処理槽１０の内部に、基板１の搬送方向に沿って一対の排液樋９４ａ、９４ｂがそれぞれ横設されている。この一対の排液樋９４ａ、９４ｂは、水平姿勢で搬送される基板１の両側の縁辺の直下位置付近にそれぞれ配置されている。また、各排液樋９４ａ、９４ｂの底部には、それぞれ液排出口９６ａ、９６ｂが形設されており、その各液排出口９６ａ、９６ｂにそれぞれ排液管９８ａ、９８ｂが連通接続されている。
【００６２】
一方、水洗処理槽１０の内底部には、液回収口１００が形設されており、その液回収口１００に液回収用配管１０２が連通接続されている。そして、図示していないが、図１ないし図３に示した装置と同様に、液回収用配管１０２は、回収液を貯留する回収タンクに流路接続され、回収タンクには、フィルタおよびポンプがそれぞれ介挿された送液用配管の一端が連通接続されており、その送液用配管の先端が純水吐出ノズル１４、１４ａに連通接続されている。
【００６３】
上記した構成を備えた基板処理装置において、図１０に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過しているときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を両側へ流れて基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面を伝って基板１の両側へ流れ基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた純水と薬液との混合液は、各排液樋９４ａ、９４ｂ内に流下し、各排液樋９４ａ、９４ｂ内から液排出口９６ａ、９６ｂを通って排液管９８ａ、９８ｂ内へ流出し、排液管９８ａ、９８ｂを通り廃液としてそれぞれ排出される。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面から滴り落ちて水洗処理槽１０の内底部に流下する。そして、水洗処理槽１０の内底部に回収された比較的少量の純水は、水洗処理槽１０の内底部から液回収口１００を通って液回収用配管１０２内へ流出し、液回収用配管１０２を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。
【００６４】
一方、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過していないときは、純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１面を経由することなくそのまま水洗処理槽１０の内底部に流下する。水洗処理槽１０の内底部に流下して回収された多量の純水は、水洗処理槽１０の内底部から液回収口１００を通って液回収用配管１０２内へ流出し、液回収用配管１０２を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液（純水）は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。この場合には、排液樋９４ａ、９４ｂ内に純水が流下することはほとんどなく、排液樋９４ａ、９４ｂ内から排液管９８ａ、９８ｂを通って排出される廃液量は極く少量である。
【００６５】
この基板処理装置においても、図５および図６に示した装置と同様に、基板１の処理効率が低下することがなく、また、液回収用配管１０２内、回収タンク内、送液用配管内、ポンプの内部などの部材が薬液で汚染されることが最小限に抑えられ、一方、純水の使用量を低減させることができ、また、廃液量も少なくなる、といった作用効果が得られる。
【００６６】
図７および図８に示した実施形態や図９および図１０に示した実施形態のように、基板１を水平姿勢で水平方向へ搬送するようにしたときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水と薬液との混合液が基板１上を流れにくい、といった可能性がある。このような場合には、図１１に概略側面図を示すように、基板１の下面中央部に当接して基板１を支持する搬送ローラ１０４の径を、基板１の下面両端部にそれぞれ当接して基板１を支持する搬送ローラ１０６、１０６の径より大きくし、基板１を、その搬送方向と直交する方向において中央部が両端部より高くなるように支持して搬送するような構成とすればよい。このような構成とすることにより、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水と基板表面上の薬液との混合液は、基板１の中央部で左右に分かれ基板１上で滞留することなく基板１上を中央部からそれぞれ両端部へ流れて基板１の両縁辺から流れ落ちることとなる。
【００６７】
また、図１２に概略側面図を示すように、各純水吐出ノズル１４を、その吐出口が基板１の両端部の方へ向くようにそれぞれ配置するような構成としてもよい。このような構成とすることにより、各純水吐出ノズル１４から基板１上へ、基板１表面に対し搬送方向と直交する方向における両端部側へそれぞれ傾けて純水が吐出されるので、各純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水には、それぞれ両端部に向かう流れが形成され、純水は薬液と混ざって基板１上を両端部へ流れて基板１の縁辺から流れ落ちることとなる。
【００６８】
また、図１３に基板処理装置の模式的平面図を示すように、水平姿勢で水平方向へ搬送される基板１の前後両端側縁辺の直下位置付近に、それぞれ搬送方向と直交する方向に沿って一対の補助排液樋１０８ａ、１０８ｂを配設し、その一対の補助排液樋１０８ａ、１０８ｂを基板１の移動と同期して水平方向へ移動するように支持するような構成としてもよい。このような構成を備えた基板処理装置では、基板１が搬送されているときに、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出され基板１の洗浄に使用されて薬液と混合された純水が基板１の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちることがあっても、基板１の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちた純水と薬液との混合液は、各補助排液樋１０８ａ、１０８ｂ内にそれぞれ流下し、各補助排液樋１０８ａ、１０８ｂに接続された補助排液路（図示せず）を通って排出されることとなる。
なお、上述した記載においては、薬液処理槽１６に隣接して水洗処理槽１０を備えた基板処理装置について説明したが、この発明は、それ以外の洗浄、現像、エッチング、剥離などの処理を行う基板処理装置にも適用することが可能である。
【００６９】
【発明の効果】
請求項１、請求項３、請求項７および請求項８に係る各発明の基板処理装置を使用すると、純水等の処理液の利用効率を高く維持して処理液の使用量を低減させることができるとともに、廃液量も少なくすることができる。また、基板の処理効率を高く維持することができるとともに、液の循環経路における各部材の汚染も最小限に抑えることができる。
【００７０】
請求項２に係る発明の基板処理装置では、基板上を低くなった側へ流れて基板の縁辺から流れ落ちた使用済みの処理液を確実に廃液として排出することができる。また、請求項４に係る発明の基板処理装置では、基板上を両側へ流れて基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた使用済みの処理液を確実に廃液として排出することができる。
【００７１】
請求項５に係る発明の基板処理装置では、基板の搬入口付近において、基板の前端側縁辺からこぼれ落ちた液体を廃液として排出することができる。
【００７２】
請求項６に係る発明の基板処理装置では、基板の搬入口付近において、基板の前端側縁辺からこぼれ落ちた液体を、排液槽部内へ流下した使用済みの処理液と共に廃液として排出することができる。
【００７３】
請求項９および請求項１０に係る各発明の基板処理装置では、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液を、基板上で滞留させることなく基板の両端部へそれぞれ流動させて基板の縁辺から流れ落ちるようにすることができる。
【００７４】
請求項１１に係る発明の基板処理装置では、基板が搬送されているときに基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちた使用済みの処理液を、廃液として排出することができる。
【００７５】
請求項１２に係る発明の基板処理装置では、薬液処理槽で使用されて基板に付着した薬液を水洗処理槽において基板上から除去して純水で置換する処理において、純水の使用量を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態の１例を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図２】図１のII−II矢視断面図である。
【図３】図１のIII−III矢視断面図である。
【図４】この発明の別の実施形態を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図５】この発明のさらに別の実施形態を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図６】図５のVI−VI矢視断面図である。
【図７】この発明のさらに別の実施形態を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図８】図７のVIII−VIII矢視断面図である。
【図９】この発明のさらに別の実施形態を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図１０】図９のＸ−Ｘ矢視断面図である。
【図１１】基板を水平姿勢で水平方向へ搬送するときに、基板上へ吐出された純水が基板上を流れやすくするための構成例を示し、基板処理装置の一部を示す概略側面図である。
【図１２】同じく、基板上へ吐出された純水が基板上を流れやすくするための別の構成例を示し、基板処理装置の一部を示す概略側面図である。
【図１３】図９に示した基板処理装置の変形例を示す模式的平面図である。
【図１４】従来の基板処理装置の概略構成の１例を模式的に示す側面図である。
【符号の説明】
１ 基板
２ 薬液
１０ 水洗処理槽
１２ 水洗処理槽の搬入口
１４ 純水吐出ノズル
１６ 薬液処理槽
１８ 薬液噴出ノズル
２０、４６、７６ａ、７６ｂ 仕切り板
２２、７８ 幅方向仕切り板
２４、４８、８０ 回収槽部
２６、５０、８２ａ、８２ｂ 排液槽部
２８、７２、８６、１００ 液回収口
３０、７４、８８、１０２ 液回収用配管
３２ 回収液
３４ 回収タンク
３６ 送液用配管
４０ ポンプ
４２、６８、９０、９６ａ、９６ｂ 液排出口
４４、７０、９２、９８ａ、９８ｂ 排液管
６６、９４ａ、９４ｂ 排液樋
８４ 搬入口側排液槽部
１０４、１０６ 搬送ローラ
１０８ａ、１０８ｂ 補助排液樋
【発明の属する技術分野】
この発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板、半導体ウエハ、プリント基板等の基板を搬送しながら基板に対し洗浄、現像、エッチング、剥離などの処理を施す基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＦＰＤ、半導体デバイス、プリント配線板などの製造プロセスにおいて、例えば、薬液を用いて基板を処理した後に、基板を純水で洗浄して、基板に付着した薬液を純水に置換する場合に、搬送ローラによって基板を１枚ずつ水平方向へ搬送しつつ基板上へ純水を吐出して水洗する水平搬送式処理装置が使用される。この処理装置の概略構成の１例を図１４に模式的に示す。
【０００３】
図１４に示した処理装置は、搬入口１２および搬出口（図示せず）を有する水洗処理槽１０を備え、水洗処理槽１０の内部には、図示していないが複数の搬送ローラが並列して配設されている。また、水洗処理槽１０の内部には、二点鎖線で示す基板１の搬送路Ｌを挟んでその上・下両側に、基板１の上・下両面に純水を吹き付ける純水吐出ノズル１４がそれぞれ複数個列設されている。水洗処理槽１０の搬入口１２側には、水洗処理槽１０に隣接して薬液処理槽１６が設置されており、薬液処理槽１６の内部には、基板１の搬送路Ｌを挟んでその上・下両側に、基板１の上・下両面に薬液を吹き付ける薬液吐出ノズル１８がそれぞれ複数個列設されている。そして、基板１は、薬液処理槽１６内から搬入口１２を通って水洗処理槽１０内へ搬入され、搬送ローラにより支持されて水平方向へ搬送されて、水洗処理槽１０内から搬出口を通って搬出され、次の乾燥処理部（図示せず）へ搬送されるようになっている。
【０００４】
また、水洗処理槽１０の底部には、基板１上から水洗処理槽１０の内底部に流れ落ちた液が流出する液回収口５２が形設されており、その液回収口５２に液回収用配管５４が連通接続されている。液回収用配管５４は、回収液５６を貯留する回収タンク５８に流路接続されている。また、回収タンク５８には、送液用配管６０の一端が連通接続され、送液用配管６０の先端は、図示していないが純水吐出ノズル１４に連通接続されている。この送液用配管６０には、フィルタ６２およびポンプ６４がそれぞれ介挿されている。また、図示していないが、回収タンク５８には、純水を補充するための純水供給用配管が接続されている。
【０００５】
上記した構成の処理装置では、薬液処理槽１６内から上面に薬液２が付着した基板１が水洗処理槽１０内へ搬入されてくると、水洗処理槽１０内において搬送ローラによって基板１が搬送されつつ純水吐出ノズル１４から基板１の上・下両面へ純水が吹き付けられて、基板１の上面に付着した薬液２が純水と置換される。この際、基板１面に吹き付けられた純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に水洗処理槽１０の内底部に流下する。水洗処理槽１０の内底部に流下した純水と薬液との混合液は、水洗処理槽１０の内底部上を液回収口５２に向かって流れ、液回収口５２から液回収用配管５４を通って回収タンク５８内へ流入する。そして、回収タンク５８内に貯留された回収液５６は、送液用配管６０を通って純水吐出ノズル１４へ戻され再利用される。このように、純水は循環させながら使用される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように純水と薬液との混合液を循環させながら基板の処理を行う装置においては、純水と薬液との混合液が再利用されて基板１に付着した薬液と置換されるため、薬液の濃度が次第に高くなり、次第に置換効率が低下することになる。また、薬液を含む液が液回収用配管５４、回収タンク５８および送液用配管６０を通って循環させられるため、回収タンク５８の内面、液回収用配管５４や送液用配管６０の内面、ポンプ６４の内部などが汚される、といった問題点がある。
【０００７】
一方、基板１上から水洗処理槽１０の内底部に流下した純水と薬液との混合液を水洗処理槽１０内から廃液として排出するようにすると、廃液量が多くなって廃液処理に費用がかかり、また、純水の使用量も増えてランニングコストが多くかかる、といった問題点がある。
【０００８】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、純水等の処理液の利用効率を高く維持して処理液の使用量を低減させ、廃液量も少なくすることができるとともに、処理効率を高く維持し、液の循環経路における各部材の汚染も最小限に抑えることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、処理槽内において搬送手段により基板を水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜させた姿勢で搬送するとともに、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、前記処理槽の内底面上の、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って仕切り板を立設し、その仕切り板で処理槽の内底部を仕切って、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を回収する回収槽部と吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を低くなった側へ流れて縁辺から流れ落ちる使用済みの処理液を受ける排液槽部とに区画し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記排液槽部が受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記回収槽部が回収し、前記回収槽部内に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記排液槽部内へ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の基板処理装置において、前記仕切り板の上端が、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺に近接するように配置されたことを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明は、処理槽内において搬送手段により基板を水平姿勢で水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、前記処理槽の内底面上の、搬送される基板の両側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿ってそれぞれ仕切り板を立設し、その各仕切り板で処理槽の内底部をそれぞれ仕切って、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を回収する回収槽部と吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を両側へ流れて両縁辺からそれぞれ流れ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の排液槽部とに区画し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記各排液槽部がそれぞれ受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記回収槽部が回収し、前記回収槽部内に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記各排液槽部内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項３記載の基板処理装置において、前記各仕切り板の上端が、搬送される基板の両側の縁辺にそれぞれ近接するように配置されたことを特徴とする。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、前記処理槽の内底面上の、基板の搬入口側に、基板の搬送方向と交差する方向に沿って幅方向仕切り板を立設し、その幅方向仕切り板で処理槽の内底部を仕切って、処理槽内に搬入された基板の前端側縁辺からこぼれ落ちる液体を受ける搬入口側排液槽部を形設し、その搬入口側排液槽部内へ流下した処理液をも排出することを特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る発明は、請求項５記載の基板処理装置において、前記搬入口側排液槽部と前記排液槽部とを連通させたことを特徴とする。
【００１６】
請求項７に係る発明は、処理槽内において搬送手段により基板を水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜させた姿勢で搬送するとともに、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、前記処理槽の内部の、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って、前記吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を低くなった側へ流れて縁辺から流れ落ちる使用済みの処理液を受ける排液樋を横設し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記排液樋が受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記処理槽の内底部が回収し、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下して前記処理槽の内底部に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記排液樋内へ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項８に係る発明は、処理槽内において搬送手段により基板を水平姿勢で水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、前記処理槽の内部の、搬送される基板の両側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って、前記吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を両側へ流れて両縁辺からそれぞれ流れ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の排液樋を横設し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記各排液樋がそれぞれ受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記処理槽の内底部が回収し、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下して前記処理槽の内底部に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記各排液樋内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項９に係る発明は、請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置において、前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において基板中央部が基板両端部より高くなるように支持して搬送することを特徴とする。
【００１９】
請求項１０に係る発明は、請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置において、前記吐出ノズルから基板上へ、基板表面に対し基板の搬送方向と直交する方向における基板両端部側へそれぞれ傾けて処理液を吐出することを特徴とする。
【００２０】
請求項１１に係る発明は、請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置において、前記搬送手段によって搬送される基板の前後両端側縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向と直交する方向に沿って、基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の補助排液樋を配設し、その一対の補助排液樋を基板の移動と同期して水平方向へ移動するように支持し、前記各補助排液樋内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する補助排液路を備えたことを特徴とする。
【００２１】
請求項１２に係る発明は、請求項１ないし請求項１１のいずれかに記載の基板処理装置において、前記処理槽が、純水で基板を洗浄する水洗処理槽であり、その水洗処理槽の基板搬入口側に隣接して、薬液で基板を処理する薬液処理槽が設けられたことを特徴とする。
【００２３】
請求項１に係る発明の基板処理装置においては、基板が搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜した姿勢で搬送されるので、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液は、基板上を低くなった側へ流れて基板の縁辺から流れ落ちる。このとき、基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近には仕切り板が立設されていてその仕切り板で処理槽の内底部が仕切られ回収槽部と排液槽部とに区画されているので、基板が吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、基板の縁辺から流れ落ちた使用済みの処理液は、排液槽部内に流下し、排液路を通って排出される。一方、基板が吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液は、回収槽部内に回収され、液循環系によって吐出ノズルへ戻され再利用される。したがって、使用済みの処理液は再利用されることなく廃棄されるため、基板の処理効率が低下することはなく、また、液循環系を通って使用済みの処理液が流れることがないため、液循環系における各部材の汚染も最小限に抑えられる。一方、回収槽部内に回収された処理液は再利用されるため、処理液の利用効率が高く維持されて処理液の使用量が低減し、廃液量も少なくなる。
【００２４】
請求項２に係る発明の基板処理装置では、基板上を低くなった側へ流れて基板の縁辺から流れ落ちた使用済みの処理液は、確実に排液槽部内に流下し、仕切り板の上端を越えて回収槽部内へ流下することがない。
【００２５】
請求項３に係る発明の基板処理装置においては、処理槽内において基板が搬送手段によって水平姿勢で水平方向へ搬送されつつ、吐出ノズルから基板上へ処理液が吐出されて基板が処理される。そして、基板の処理に使用された処理液は、基板上を両側へ流れて基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。このとき、基板の両側の縁辺の直下位置付近にはそれぞれ仕切り板が立設されていてその各仕切り板で処理槽の内底部がそれぞれ仕切られ回収槽部と一対の排液槽部とに区画されているので、基板が吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた使用済みの処理液は、各排液槽部内に流下し、排液路を通って排出される。一方、基板が吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液は、回収槽部内に回収され、液循環系によって吐出ノズルへ戻され再利用される。したがって、使用済みの処理液は再利用されることなく廃棄されるため、基板の処理効率が低下することはなく、また、液循環系を通って使用済みの処理液が流れることがないため、液循環系における各部材の汚染も最小限に抑えられる。一方、回収槽部内に回収された処理液は再利用されるため、処理液の利用効率が高く維持されて処理液の使用量が低減し、廃液量も少なくなる。
【００２６】
請求項４に係る発明の基板処理装置では、基板上を両側へ流れて基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた使用済みの処理液は、確実に各排液槽部内に流下し、仕切り板の上端を越えて回収槽部内へ流下することがない。
【００２７】
請求項５に係る発明の基板処理装置では、基板の搬入口付近において、前段の処理で使用されて基板に付着した処理液が基板の前端側縁辺からこぼれ落ちたり、吐出ノズルから基板搬送方向の前方に向けて基板上へ吐出された処理液が基板の前端側縁辺からこぼれ落ちたりしたとき、基板の搬入口側には幅方向仕切り板が立設されていてその幅方向仕切り板で処理槽の内底部が仕切られ搬入口側排液槽部が形設されているので、基板の前端側縁辺からこぼれ落ちた液体は、搬入口側排液槽部内に流下し、排出される。請求項７に係る発明の装置では、搬入口側排液槽部内へ流下した液体は、排液槽部内へ流下した使用済みの処理液と共に排液路を通って排出される。
【００２８】
請求項７に係る発明の基板処理装置においては、基板が搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜した姿勢で搬送されるので、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液は、基板上を低くなった側へ流れて基板の縁辺から流れ落ちる。このとき、基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近には基板の搬送方向に沿って排液樋が横設されているので、基板が吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、基板の縁辺から流れ落ちた使用済みの処理液は、排液樋内に流下し、排液路を通って排出される。一方、基板が吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液は、処理槽の内底部に回収され、液循環系によって吐出ノズルへ戻され再利用される。したがって、使用済みの処理液は再利用されることなく廃棄されるため、基板の処理効率が低下することはなく、また、液循環系を通って使用済みの処理液が流れることがないため、液循環系における各部材の汚染も最小限に抑えられる。一方、処理槽の内底部に回収された処理液は再利用されるため、処理液の利用効率が高く維持されて処理液の使用量が低減し、廃液量も少なくなる。
【００２９】
請求項８に係る発明の基板処理装置においては、処理槽内において基板が搬送手段によって水平姿勢で水平方向へ搬送されつつ、吐出ノズルから基板上へ処理液が吐出されて基板が処理される。そして、基板の処理に使用された処理液は、基板上を両側へ流れて基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。このとき、基板の両側の縁辺の直下位置付近にはそれぞれ基板の搬送方向に沿って排液樋が横設されているので、基板が吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた使用済みの処理液は、各排液樋内に流下し、排液路を通って排出される。一方、基板が吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液は、処理槽の内底部に回収され、液循環系によって吐出ノズルへ戻され再利用される。したがって、使用済みの処理液は再利用されることなく廃棄されるため、基板の処理効率が低下することはなく、また、液循環系を通って使用済みの処理液が流れることがないため、液循環系における各部材の汚染も最小限に抑えられる。一方、処理槽の内底部に回収された処理液は再利用されるため、処理液の利用効率が高く維持されて処理液の使用量が低減し、廃液量も少なくなる。
【００３０】
請求項９に係る発明の基板処理装置では、基板は、搬送方向と直交する方向において中央部が両端部より高くなるように支持して搬送されるので、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液は、基板の中央部で左右に分かれ基板上で滞留することなく基板上を中央部からそれぞれ両端部へ流れて基板の縁辺から流れ落ちる。
【００３１】
請求項１０に係る発明の基板処理装置では、基板表面に対し基板の搬送方向と直交する方向における基板両端部側へそれぞれ傾けて処理液が吐出されるので、吐出ノズルから基板上へ吐出された処理液には、それぞれ両端部に向かう流れが形成され、処理液は基板上をそれぞれ両端部へ流れて基板の縁辺から流れ落ちる。
【００３２】
請求項１１に係る発明の基板処理装置では、搬送手段によって基板が搬送されているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液が基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちることがあっても、基板の前後両端側縁辺の直下位置付近には基板の搬送方向と直交する方向に沿って一対の補助排液樋が配設され、その一対の補助排液樋は基板の移動と同期して水平方向へ移動するように支持されているので、基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちた使用済みの処理液は、各補助排液樋内に流下し、補助排液路を通って排出される。
【００３３】
請求項１２に係る発明の基板処理装置では、薬液処理槽で基板の処理に使用されて基板に付着した薬液は、水洗処理槽において基板が純水で洗浄されることにより基板上から除去されて純水で置換される。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について図１ないし図１３を参照しながら説明する。
【００３５】
図１ないし図３は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図であり、図２および図３は、図１のII−II矢視断面図およびIII−III矢視断面図である。この基板処理装置において基板の処理を行う主要部の構成および動作は、図１４に関して説明した従来の装置と同様であるので、図１ないし図３においても図１４で使用した符号を同一部材に付して、重複する説明を省略する。
【００３６】
この基板処理装置においては、図示していないが、水洗処理槽１０の内部に複数並列して配設された各搬送ローラが、基板１の搬送方向と直交する方向において傾斜するようにそれぞれ支持されている。そして、図３に示すように、基板１は、その搬送方向と直交する方向において傾斜した姿勢で水平方向へ搬送されるようになっている。なお、図２では、便宜上、基板１を傾斜姿勢に描いていない。また、純水吐出ノズル１４から吐出された純水が、薬液処理槽１６内から水洗処理槽１０内へ搬入されてきた基板１の上面を介して上流側の薬液処理槽１６内へ流れ込まないようにするため、純水吐出ノズル１４のうち水洗処理槽１０の搬入口１２に最も近い位置に設置された純水吐出ノズル１４ａは、図２に示すように、基板１の搬送方向における前方に向けて純水を吐出するように吐出口が配置されている。さらに、この基板処理装置では、水洗処理槽１０の内底部が仕切り板２０および幅方向仕切り板２２によって仕切られ、水洗処理槽１０の内底部が回収槽部２４とＬ字形の排液槽部２６とに区画されている。
【００３７】
仕切り板２０は、水洗処理槽１０の内底面上の、傾斜して搬送される基板１の低くなった側の縁辺の直下位置付近に、基板１の搬送方向に沿って立設されている。仕切り板２０の上端は、図３の（ａ）に示しているように、基板１の低くなった側の縁辺に近接するように配置することが好ましい。また、幅方向仕切り板２２は、水洗処理槽１０の内底面上の、基板１の搬入口１２側に、基板１の搬送方向と直交する方向に沿って立設されている。そして、幅方向仕切り板２２の一端部が仕切り板２０の一端部に、鉤形をなすように連接している。
【００３８】
また、水洗処理槽１０の、回収槽部２４の底部には、液回収口２８が形設されており、その液回収口２８に液回収用配管３０が連通接続されている。液回収用配管３０は、回収液３２を貯留する回収タンク３４に流路接続されている。また、回収タンク３４には、フィルタ３８およびポンプ４０がそれぞれ介挿された送液用配管３６の一端が連通接続され、送液用配管３６の先端は、図示していないが、純水吐出ノズル１４、１４ａに連通接続されている。一方、水洗処理槽１０の、排液槽部２６の底部には、液排出口４２が形設されており、その液排出口４２に排液管４４が連通接続されている。
【００３９】
上記した構成を備えた基板処理装置において、図３の（ａ）に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過しているときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を低くなった側へ流れて基板１の縁辺から流れ落ちる。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面を伝って基板１の低くなった側へ流れ基板１の縁辺から流れ落ちる。基板１の縁辺から流れ落ちた純水と薬液との混合液は、排液槽部２６内に流下し、排液槽部２６内から液排出口４２を通って排液管４４内へ流出し、排液管４４を通り廃液として排出される。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面から滴り落ちて回収槽部２４内に流下する。そして、回収槽部２４内に回収された比較的少量の純水は、回収槽部２４内から液回収口２８を通って液回収用配管３０内へ流出し、液回収用配管３０を通って回収タンク３４内へ流入する。そして、回収タンク３４内に貯留された回収液３２は、送液用配管３６を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。なお、このとき下側の純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１に触れた後にその一部が回収タンク３４に戻ることになるが、実質的な不都合はない。すなわち、基板１の下面に付着した薬液には重力が作用するため、上面と比べ下面には元々少量の薬液しか付着していない。そのため、基板１の下面に触れた純水はごく少量の薬液しか含まないため、回収タンク３４に戻して再利用しても実質的に不都合はない。また、薬液処理槽１６には、基板１の下面に付着している薬液を除去する液切りローラを使用する場合もあり、その場合には水洗処理槽１０に入る基板１の下面に付着している薬液はさらに少なくなるので、実質的に不都合はない。
【００４０】
一方、図３の（ｂ）に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過していないときは、純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１面を経由することなくそのまま回収槽部２４内に流下する。回収槽部２４内に流下して回収された多量の純水は、回収槽部２４内から液回収口２８を通って液回収用配管３０内へ流出し、液回収用配管３０を通って回収タンク３４内へ流入する。そして、回収タンク３４内に貯留された回収液（純水）３２は、送液用配管３６を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。この場合には、排液槽部２６内に純水が流下することはほとんどなく、排液槽部２６内から排液管４４を通って排出される廃液量は極く少量である。
【００４１】
また、水洗処理槽１０の搬入口１２付近においては、薬液処理槽１６内から水洗処理槽１０内へ搬入されてきて薬液が付着した基板１に対し、純水吐出ノズル１４ａから基板１の搬送方向の前方に向けて純水が吐出されるため、基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を前方側へ流れて基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちる。基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちた純水と薬液との混合液は、幅方向仕切り板２２によって回収槽部２４から隔てられた排液槽部２６内に流下し、排液槽部２６の内底面上を液排出口４２に向かって流れる。そして、排液槽部２６内から液排出口４２を通って排液管４４内へ流出し、排液管４４を通り廃液として排出される。
【００４２】
上記したように、この基板処理装置では、使用済みの純水はほとんど再利用されることなく薬液と一緒に廃液として廃棄され、基板１の洗浄処理には純水が使用されるので、基板１の処理効率が低下することはない。また、純水と薬液との混合液は、液回収用配管３０内、回収タンク３４内、送液用配管３６内、ポンプ４０の内部などを流れることがないので、それらの部材が薬液で汚染されることは最小限に抑えられる。一方、回収槽部２４内に回収された純水は再利用されるため、純水の使用量を低減させることができ、また、廃液量も少なくなる。
【００４３】
上記した基板処理装置では、純水吐出ノズル１４のうち水洗処理槽１０の搬入口１２に最も近い位置に設置された純水吐出ノズル１４ａは、基板１の搬送方向における前方に向けて純水を吐出するように吐出口が配置されている。また、水洗処理槽１０内へ搬入されてきた基板１の上面を介して上流側の薬液処理槽１６内へ純水が流れ込まないようにするために、水洗処理槽１０の搬入口１２の近傍にエアーナイフを設置するようにしてもよいが、このような構成を備えた装置では、上記した実施形態のように排液槽部２６をＬ字形とし、水洗処理槽１０内へ搬入されてきた基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちる純水および薬液を排液槽部２６内に流下させる必要がある。これに対し、水洗処理槽１０内へ搬入されてきた基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちる純水および薬液の量がそれほど多くならないような場合などには、図４に模式的平面図を示すように、幅方向仕切り板２２を設けずに、水洗処理槽１０の全長にわたり基板１の搬送方向に沿って仕切り板４６を立設し、その仕切り板４６によって水洗処理槽１０の内底部を回収槽部４８と排液槽部５０とに区画するようにしてもよい。
【００４４】
本実施形態では、排液管４４を通って排出される液を廃液として廃棄しているが、この発明においては排液は必ずしも廃液を意味しない。例えば薬液処理槽の下流に水洗処理槽を２つ連続して設ける場合において、両方の水洗処理槽に本発明を適用し、次のように構成することが考えられる。すなわち、下流側の水洗処理槽では、水洗のために新しい未使用の純水を使用する。そして、下流側の水洗処理槽において排液管４４から排出された液は、廃棄することなく、上流側の水洗処理槽へ送り、その上流側の水洗処理槽において、新液として水洗に使用することができる。これは、上流側の水洗処理槽へ搬入される基板には薬液が多量に付着しているのに対し、下流側の水洗処理槽へ搬入される基板は、上流側の水洗処理槽においてすでに一度洗浄され、付着している薬液が極めて少量であるためである。それゆえ、下流側の水洗処理槽において排液管４４から排出される液は、薬液を極めて少量しか含んでおらず、上流側の水洗処理槽においては新液として使用可能な程度であるからである。このように下流側の水洗処理槽で排液管４４から排出される液を上流側の水洗処理槽へ送って再利用することで、純水の使用量をより低減することができる。
【００４５】
また、上記実施形態では、排液槽部２６を、仕切り板２０によって形成される部分と幅方向仕切り板２２によって形成される部分とを連通させた一体のＬ字形としているが、それら２つの部分から別個に排液管を設けて、その両方の排液管を回収タンク３４に接続して連通させてもよい。
【００４６】
次に、図５および図６は、この発明の別の実施形態を示し、図５は、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図であり、図６は、図５のVI−VI矢視断面図である。この基板処理装置においても、基板の処理を行う主要部の構成および動作は、図１４に関して説明した従来の装置と同様であるので、重複する説明を省略する。また、図５および図６において図１ないし図３で使用した符号と同一符号を付した部材は、図１ないし図３に関して説明した上記部材と同一機能を有する同一部材を示し、それらについても重複する説明を省略する。
【００４７】
この基板処理装置においても、図示していないが、水洗処理槽１０の内部に複数並列して配設された各搬送ローラが、基板１の搬送方向と直交する方向において傾斜するようにそれぞれ支持されており、図６に示すように、基板１は、その搬送方向と直交する方向において傾斜した姿勢で水平方向へ搬送されるようになっている。そして、この基板処理装置では、水洗処理槽１０の内部に、基板１の搬送方向に沿って排液樋６６が横設されている。この排液樋６６は、傾斜して搬送される基板１の低くなった側の縁辺の直下位置付近に配置されている。また、排液樋６６の底部には、液排出口６８が形設されており、その液排出口６８に排液管７０が連通接続されている。
【００４８】
一方、水洗処理槽１０の内底部には、液回収口７２が形設されており、その液回収口７２に液回収用配管７４が連通接続されている。そして、図示していないが、図１ないし図３に示した装置と同様に、液回収用配管７４は、回収液を貯留する回収タンクに流路接続され、回収タンクには、フィルタおよびポンプがそれぞれ介挿された送液用配管の一端が連通接続されており、その送液用配管の先端が純水吐出ノズル１４、１４ａに連通接続されている。
【００４９】
上記した構成を備えた基板処理装置において、図６に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過しているときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を低くなった側へ流れて基板１の縁辺から流れ落ちる。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面を伝って基板１の低くなった側へ流れ基板１の縁辺から流れ落ちる。基板１の縁辺から流れ落ちた純水と薬液との混合液は、排液樋６６内に流下し、排液樋６６内から液排出口６８を通って排液管７０内へ流出し、排液管７０を通り廃液として排出される。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面から滴り落ちて水洗処理槽１０の内底部に流下する。そして、水洗処理槽１０の内底部に回収された比較的少量の純水は、水洗処理槽１０の内底部から液回収口７２を通って液回収用配管７４内へ流出し、液回収用配管７４を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。
【００５０】
一方、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過していないときは、純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１面を経由することなくそのまま水洗処理槽１０の内底部に流下する。水洗処理槽１０の内底部に流下して回収された多量の純水は、水洗処理槽１０の内底部から液回収口７２を通って液回収用配管７４内へ流出し、液回収用配管７４を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液（純水）は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。この場合には、排液樋６６内に純水が流下することはほとんどなく、排液樋６６内から排液管７０を通って排出される廃液量は極く少量である。
【００５１】
上記したように、この基板処理装置においても、使用済みの純水はほとんど再利用されることなく薬液と一緒に廃液として廃棄され、基板１の洗浄処理には純水が使用されるので、基板１の処理効率が低下することはない。また、純水と薬液との混合液は、液回収用配管７４内、回収タンク内、送液用配管内、ポンプの内部などを流れることがないので、それらの部材が薬液で汚染されることは最小限に抑えられる。一方、水洗処理槽１０の内底部に回収された純水は再利用されるため、純水の使用量を低減させることができ、また、廃液量も少なくなる。
【００５２】
次に、図７および図８は、この発明のさらに別の実施形態を示し、図７は、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図であり、図８は、図７のVIII−VIII矢視断面図である。この基板処理装置においても、基板の処理を行う主要部の構成および動作は、図１４に関して説明した従来の装置と同様であるので、重複する説明を省略する。また、図７および図８において図１ないし図３で使用した符号と同一符号を付した部材は、図１ないし図３に関して説明した上記部材と同一機能を有する同一部材を示し、それらについても重複する説明を省略する。
【００５３】
この基板処理装置においては、図示していないが、水洗処理槽１０の内部に複数並列して配設された各搬送ローラが水平にそれぞれ支持されており、図８に示すように、基板１は、水平姿勢で水平方向へ搬送されるようになっている。そして、この基板処理装置では、水洗処理槽１０の内底部が一対の仕切り板７６ａ、７６ｂおよび幅方向仕切り板７８によって仕切られ、水洗処理槽１０の内底部が回収槽部８０と一対の排液槽部８２ａ、８２ｂおよび搬入口側排液槽部８４とに区画されている。
【００５４】
一対の仕切り板７６ａ、７６ｂは、水洗処理槽１０の内底面上の、水平姿勢で搬送される基板１の両側の縁辺の直下位置付近に、それぞれ基板１の搬送方向に沿って立設されている。仕切り板７６ａ、７６ｂの上端は、図８に示しているように、基板１の両側の縁辺にそれぞれ近接するように配置することが好ましい。また、幅方向仕切り板７８は、水洗処理槽１０の内底面上の、基板１の搬入口側に、基板１の搬送方向と直交する方向に沿って立設されている。そして、幅方向仕切り板７８の両端部が各仕切り板７６ａ、７６ｂの一端部にそれぞれ鉤形をなすように連接しており、一対の排液槽部８２ａ、８２ｂおよび搬入口側排液槽部８４は、互いに流路的に連絡している。
【００５５】
また、水洗処理槽１０の、回収槽部８０の底部には、液回収口８６が形設されており、その液回収口８６に液回収用配管８８が連通接続されている。液回収用配管８８は、図示していないが、図１ないし図３に示した装置と同様に、回収液を貯留する回収タンクに流路接続され、回収タンクには、フィルタおよびポンプがそれぞれ介挿された送液用配管の一端が連通接続されており、その送液用配管の先端が純水吐出ノズル１４、１４ａに連通接続されている。一方、水洗処理槽１０の、排液槽部８２ａの底部には、液排出口９０が形設されており、その液排出口９０に排液管９２が連通接続されている。
【００５６】
上記した構成を備えた基板処理装置において、図８に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過しているときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を両側へ流れて基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面を伝って基板１の両側へ流れ基板１の両縁辺から流れ落ちる。基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた純水と薬液との混合液は、各排液槽部８２ａ、８２ｂ内にそれぞれ流下し、排液槽部８２ａ、８２ｂ内から液排出口９０を通って排液管９２内へ流出し、排液管９２を通り廃液として排出される。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面から滴り落ちて回収槽部８０内に流下する。そして、回収槽部８０内に回収された比較的少量の純水は、回収槽部８０内から液回収口８６を通って液回収用配管８８内へ流出し、液回収用配管８８を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。
【００５７】
一方、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過していないときは、純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１面を経由することなくそのまま回収槽部８０内に流下する。回収槽部８０内に流下して回収された多量の純水は、回収槽部８０内から液回収口８６を通って液回収用配管８８内へ流出し、液回収用配管８８を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液（純水）は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。この場合には、排液槽部８２ａ、８２ｂ内に純水が流下することはほとんどなく、排液槽部８２ａ、８２ｂ内から排液管９２を通って排出される廃液量は極く少量である。
【００５８】
また、水洗処理槽１０の搬入口付近においては、薬液処理槽１６内から水洗処理槽１０内へ搬入されてきて薬液が付着した基板１に対し、純水吐出ノズル１４ａから基板１の搬送方向の前方に向けて純水が吐出されるため、基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を前方側へ流れて基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちる。基板１の前端側縁辺からこぼれ落ちた純水と薬液との混合液は、幅方向仕切り板７８によって回収槽部８０から隔てられた搬入口側排液槽部８４内に流下し、搬入口側排液槽部８４の内底面上を液排出口９０に向かって流れる。そして、排液槽部８２ａ内から液排出口９０を通って排液管９２内へ流出し、排液管９２を通り廃液として排出される。
【００５９】
この基板処理装置においても、図１ないし図３に示した装置と同様に、基板１の処理効率が低下することがなく、また、液回収用配管８８内、回収タンク内、送液用配管内、ポンプの内部などの部材が薬液で汚染されることが最小限に抑えられ、一方、純水の使用量を低減させることができ、また、廃液量も少なくなる、といった作用効果が得られる。
【００６０】
また、図９および図１０は、この発明のさらに別の実施形態を示し、図９は、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図であり、図１０は、図９のＸ−Ｘ矢視断面図である。この基板処理装置においても、基板の処理を行う主要部の構成および動作は、図１４に関して説明した従来の装置と同様であるので、重複する説明を省略する。また、図９および図１０において図１ないし図３で使用した符号と同一符号を付した部材は、図１ないし図３に関して説明した上記部材と同一機能を有する同一部材を示し、それらについても重複する説明を省略する。
【００６１】
この基板処理装置においては、図示していないが、水洗処理槽１０の内部に複数並列して配設された各搬送ローラが水平にそれぞれ支持されており、図１０に示すように、基板１は、水平姿勢で水平方向へ搬送されるようになっている。そして、この基板処理装置では、水洗処理槽１０の内部に、基板１の搬送方向に沿って一対の排液樋９４ａ、９４ｂがそれぞれ横設されている。この一対の排液樋９４ａ、９４ｂは、水平姿勢で搬送される基板１の両側の縁辺の直下位置付近にそれぞれ配置されている。また、各排液樋９４ａ、９４ｂの底部には、それぞれ液排出口９６ａ、９６ｂが形設されており、その各液排出口９６ａ、９６ｂにそれぞれ排液管９８ａ、９８ｂが連通接続されている。
【００６２】
一方、水洗処理槽１０の内底部には、液回収口１００が形設されており、その液回収口１００に液回収用配管１０２が連通接続されている。そして、図示していないが、図１ないし図３に示した装置と同様に、液回収用配管１０２は、回収液を貯留する回収タンクに流路接続され、回収タンクには、フィルタおよびポンプがそれぞれ介挿された送液用配管の一端が連通接続されており、その送液用配管の先端が純水吐出ノズル１４、１４ａに連通接続されている。
【００６３】
上記した構成を備えた基板処理装置において、図１０に示すように、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過しているときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水は、基板１の上面に付着した薬液２と共に基板１上を両側へ流れて基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面を伝って基板１の両側へ流れ基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちる。基板１の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた純水と薬液との混合液は、各排液樋９４ａ、９４ｂ内に流下し、各排液樋９４ａ、９４ｂ内から液排出口９６ａ、９６ｂを通って排液管９８ａ、９８ｂ内へ流出し、排液管９８ａ、９８ｂを通り廃液としてそれぞれ排出される。また、純水吐出ノズル１４から基板１の下面側へ吐出された純水の一部は、基板１の下面から滴り落ちて水洗処理槽１０の内底部に流下する。そして、水洗処理槽１０の内底部に回収された比較的少量の純水は、水洗処理槽１０の内底部から液回収口１００を通って液回収用配管１０２内へ流出し、液回収用配管１０２を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。
【００６４】
一方、純水吐出ノズル１４の設置位置を基板１が通過していないときは、純水吐出ノズル１４から吐出された純水は、基板１面を経由することなくそのまま水洗処理槽１０の内底部に流下する。水洗処理槽１０の内底部に流下して回収された多量の純水は、水洗処理槽１０の内底部から液回収口１００を通って液回収用配管１０２内へ流出し、液回収用配管１０２を通って回収タンク内へ流入する。そして、回収タンク内に貯留された回収液（純水）は、送液用配管を通って純水吐出ノズル１４、１４ａへ戻され再利用される。この場合には、排液樋９４ａ、９４ｂ内に純水が流下することはほとんどなく、排液樋９４ａ、９４ｂ内から排液管９８ａ、９８ｂを通って排出される廃液量は極く少量である。
【００６５】
この基板処理装置においても、図５および図６に示した装置と同様に、基板１の処理効率が低下することがなく、また、液回収用配管１０２内、回収タンク内、送液用配管内、ポンプの内部などの部材が薬液で汚染されることが最小限に抑えられ、一方、純水の使用量を低減させることができ、また、廃液量も少なくなる、といった作用効果が得られる。
【００６６】
図７および図８に示した実施形態や図９および図１０に示した実施形態のように、基板１を水平姿勢で水平方向へ搬送するようにしたときは、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水と薬液との混合液が基板１上を流れにくい、といった可能性がある。このような場合には、図１１に概略側面図を示すように、基板１の下面中央部に当接して基板１を支持する搬送ローラ１０４の径を、基板１の下面両端部にそれぞれ当接して基板１を支持する搬送ローラ１０６、１０６の径より大きくし、基板１を、その搬送方向と直交する方向において中央部が両端部より高くなるように支持して搬送するような構成とすればよい。このような構成とすることにより、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水と基板表面上の薬液との混合液は、基板１の中央部で左右に分かれ基板１上で滞留することなく基板１上を中央部からそれぞれ両端部へ流れて基板１の両縁辺から流れ落ちることとなる。
【００６７】
また、図１２に概略側面図を示すように、各純水吐出ノズル１４を、その吐出口が基板１の両端部の方へ向くようにそれぞれ配置するような構成としてもよい。このような構成とすることにより、各純水吐出ノズル１４から基板１上へ、基板１表面に対し搬送方向と直交する方向における両端部側へそれぞれ傾けて純水が吐出されるので、各純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出された純水には、それぞれ両端部に向かう流れが形成され、純水は薬液と混ざって基板１上を両端部へ流れて基板１の縁辺から流れ落ちることとなる。
【００６８】
また、図１３に基板処理装置の模式的平面図を示すように、水平姿勢で水平方向へ搬送される基板１の前後両端側縁辺の直下位置付近に、それぞれ搬送方向と直交する方向に沿って一対の補助排液樋１０８ａ、１０８ｂを配設し、その一対の補助排液樋１０８ａ、１０８ｂを基板１の移動と同期して水平方向へ移動するように支持するような構成としてもよい。このような構成を備えた基板処理装置では、基板１が搬送されているときに、純水吐出ノズル１４から基板１上へ吐出され基板１の洗浄に使用されて薬液と混合された純水が基板１の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちることがあっても、基板１の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちた純水と薬液との混合液は、各補助排液樋１０８ａ、１０８ｂ内にそれぞれ流下し、各補助排液樋１０８ａ、１０８ｂに接続された補助排液路（図示せず）を通って排出されることとなる。
なお、上述した記載においては、薬液処理槽１６に隣接して水洗処理槽１０を備えた基板処理装置について説明したが、この発明は、それ以外の洗浄、現像、エッチング、剥離などの処理を行う基板処理装置にも適用することが可能である。
【００６９】
【発明の効果】
請求項１、請求項３、請求項７および請求項８に係る各発明の基板処理装置を使用すると、純水等の処理液の利用効率を高く維持して処理液の使用量を低減させることができるとともに、廃液量も少なくすることができる。また、基板の処理効率を高く維持することができるとともに、液の循環経路における各部材の汚染も最小限に抑えることができる。
【００７０】
請求項２に係る発明の基板処理装置では、基板上を低くなった側へ流れて基板の縁辺から流れ落ちた使用済みの処理液を確実に廃液として排出することができる。また、請求項４に係る発明の基板処理装置では、基板上を両側へ流れて基板の両縁辺からそれぞれ流れ落ちた使用済みの処理液を確実に廃液として排出することができる。
【００７１】
請求項５に係る発明の基板処理装置では、基板の搬入口付近において、基板の前端側縁辺からこぼれ落ちた液体を廃液として排出することができる。
【００７２】
請求項６に係る発明の基板処理装置では、基板の搬入口付近において、基板の前端側縁辺からこぼれ落ちた液体を、排液槽部内へ流下した使用済みの処理液と共に廃液として排出することができる。
【００７３】
請求項９および請求項１０に係る各発明の基板処理装置では、吐出ノズルから基板上へ吐出され基板の処理に使用された処理液を、基板上で滞留させることなく基板の両端部へそれぞれ流動させて基板の縁辺から流れ落ちるようにすることができる。
【００７４】
請求項１１に係る発明の基板処理装置では、基板が搬送されているときに基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちた使用済みの処理液を、廃液として排出することができる。
【００７５】
請求項１２に係る発明の基板処理装置では、薬液処理槽で使用されて基板に付着した薬液を水洗処理槽において基板上から除去して純水で置換する処理において、純水の使用量を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態の１例を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図２】図１のII−II矢視断面図である。
【図３】図１のIII−III矢視断面図である。
【図４】この発明の別の実施形態を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図５】この発明のさらに別の実施形態を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図６】図５のVI−VI矢視断面図である。
【図７】この発明のさらに別の実施形態を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図８】図７のVIII−VIII矢視断面図である。
【図９】この発明のさらに別の実施形態を示し、基板処理装置の概略構成を示す模式的平面図である。
【図１０】図９のＸ−Ｘ矢視断面図である。
【図１１】基板を水平姿勢で水平方向へ搬送するときに、基板上へ吐出された純水が基板上を流れやすくするための構成例を示し、基板処理装置の一部を示す概略側面図である。
【図１２】同じく、基板上へ吐出された純水が基板上を流れやすくするための別の構成例を示し、基板処理装置の一部を示す概略側面図である。
【図１３】図９に示した基板処理装置の変形例を示す模式的平面図である。
【図１４】従来の基板処理装置の概略構成の１例を模式的に示す側面図である。
【符号の説明】
１ 基板
２ 薬液
１０ 水洗処理槽
１２ 水洗処理槽の搬入口
１４ 純水吐出ノズル
１６ 薬液処理槽
１８ 薬液噴出ノズル
２０、４６、７６ａ、７６ｂ 仕切り板
２２、７８ 幅方向仕切り板
２４、４８、８０ 回収槽部
２６、５０、８２ａ、８２ｂ 排液槽部
２８、７２、８６、１００ 液回収口
３０、７４、８８、１０２ 液回収用配管
３２ 回収液
３４ 回収タンク
３６ 送液用配管
４０ ポンプ
４２、６８、９０、９６ａ、９６ｂ 液排出口
４４、７０、９２、９８ａ、９８ｂ 排液管
６６、９４ａ、９４ｂ 排液樋
８４ 搬入口側排液槽部
１０４、１０６ 搬送ローラ
１０８ａ、１０８ｂ 補助排液樋
Claims (12)
- 処理槽内において搬送手段により基板を水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、
前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜させた姿勢で搬送するとともに、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、
前記処理槽の内底面上の、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って仕切り板を立設し、その仕切り板で処理槽の内底部を仕切って、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を回収する回収槽部と吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を低くなった側へ流れて縁辺から流れ落ちる使用済みの処理液を受ける排液槽部とに区画し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記排液槽部が受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記回収槽部が回収し、
前記回収槽部内に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記排液槽部内へ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記仕切り板の上端が、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺に近接するように配置された請求項１記載の基板処理装置。
- 処理槽内において搬送手段により基板を水平姿勢で水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、
前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、
前記処理槽の内底面上の、搬送される基板の両側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿ってそれぞれ仕切り板を立設し、その各仕切り板で処理槽の内底部をそれぞれ仕切って、前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を回収する回収槽部と吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を両側へ流れて両縁辺からそれぞれ流れ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の排液槽部とに区画し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記各排液槽部がそれぞれ受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記回収槽部が回収し、
前記回収槽部内に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記各排液槽部内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記各仕切り板の上端が、搬送される基板の両側の縁辺にそれぞれ近接するように配置された請求項３記載の基板処理装置。
- 前記処理槽の内底面上の、基板の搬入口側に、基板の搬送方向と交差する方向に沿って幅方向仕切り板を立設し、その幅方向仕切り板で処理槽の内底部を仕切って、処理槽内に搬入された基板の前端側縁辺からこぼれ落ちる液体を受ける搬入口側排液槽部を形設し、その搬入口側排液槽部内へ流下した処理液をも排出する請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記搬入口側排液槽部と前記排液槽部とを連通させた請求項５記載の基板処理装置。
- 処理槽内において搬送手段により基板を水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、
前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において水平面に対し傾斜させた姿勢で搬送するとともに、前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された 複数の吐出ノズルで構成し、
前記処理槽の内部の、傾斜して搬送される基板の低くなった側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って、前記吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を低くなった側へ流れて縁辺から流れ落ちる使用済みの処理液を受ける排液樋を横設し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記排液樋が受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記処理槽の内底部が回収し、
前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下して前記処理槽の内底部に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記排液樋内へ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 処理槽内において搬送手段により基板を水平姿勢で水平方向へ搬送しつつ処理液吐出手段から基板上へ処理液を吐出して基板を処理する基板処理装置において、
前記処理液吐出手段を、基板の搬送方向に列設された複数の吐出ノズルで構成し、
前記処理槽の内部の、搬送される基板の両側の縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向に沿って、前記吐出ノズルから基板上へ吐出され基板上を両側へ流れて両縁辺からそれぞれ流れ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の排液樋を横設し、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過しているときに、吐出ノズルから基板上へ吐出されて基板上から流れ落ちる処理液を前記各排液樋がそれぞれ受けるとともに、前記搬送手段によって搬送される基板が前記吐出ノズルの設置位置を通過していないときに、吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下する処理液を前記処理槽の内底部が回収し、
前記吐出ノズルから吐出され基板面を経由せずにそのまま流下して前記処理槽の内底部に回収された処理液を前記吐出ノズルへ戻す液循環系を備えるとともに、前記各排液樋内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する排液路を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記搬送手段によって基板を、基板の搬送方向と直交する方向において基板中央部が基板両端部より高くなるように支持して搬送する請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置。
- 前記吐出ノズルから基板上へ、基板表面に対し基板の搬送方向と直交する方向における基板両端部側へそれぞれ傾けて処理液を吐出する請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置。
- 前記搬送手段によって搬送される基板の前後両端側縁辺の直下位置付近に、基板の搬送方向と直交する方向に沿って、基板の前後両端側縁辺からそれぞれこぼれ落ちる使用済みの処理液を受ける一対の補助排液樋を配設し、その一対の補助排液樋を基板の移動と同期して水平方向へ移動するように支持し、前記各補助排液樋内へそれぞれ流下した使用済みの処理液を排出する補助排液路を備えた請求項３、請求項４または請求項８記載の基板処理装置。
- 前記処理槽が、純水で基板を洗浄する水洗処理槽であり、その水洗処理槽の基板搬入口側に隣接して、薬液で基板を処理する薬液処理槽が設けられた請求項１ないし請求項１１のいずれかに記載の基板処理装置。
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