JP7040871B2 - 基板処理装置、及び基板処理装置の部品検査方法 - Google Patents
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Description
ことが可能になる。
図1は本実施例の基板処理装置100を示す概略構成図、図2は基板処理装置100の処理槽110の要部構成を示す概略正面図である。基板処理装置100は、処理液を処理槽110に貯留し、基板Wを保持するリフター130を用いて、基板を該処理槽110に浸漬して基板Wの洗浄処理等を行ういわゆるバッチ型の装置である。基板処理装置100には、搬送ロボット(図示しない)によって、複数の基板W(以下、ひとまとまりの複数の基板Wをロットともいう)が装置内外に搬入出される。なお、基板処理装置100は、処理液毎に異なる処理槽を用いる多層式の装置であってもよいし、基板Wを処理槽内に保持したまま処理液を入れ換え可能な単層式の装置であってもよい。
メートルの厚さで樹脂コーティングが施される。早期劣化部E1は、基板Wを浸漬槽111で浸漬処理する位置にリフター130を下降させた際に、処理液中に接触(浸漬)する位置に配置される。
)、ROM(Read only memory)、RAM(Random access memory)及び、大容量記憶装置などを備える構成となっている。制御装置160のCPUが所定の処理プログラムを実行することによって、基板処理装置100の搬送ロボット、処理液吐出ノズル120、リフター130などの各動作機構が制御され、基板処理装置100における処理が行われる。
次に、上記判定部161による部品の劣化判定処理について説明する。判定部161は
、早期劣化部E1が劣化しているか否かについて、カメラ140によって撮影された画像に基づいて検査を行う。より具体的には、早期劣化部E1の画像データから得られるRGB色成分による色情報に基づいて、劣化判定を行う。なお、本実施例において劣化判定の対象となるのは早期劣化部E1であるが、真の検査対象部はそれ以外の部分、例えばリフター130のクシバ部Kなどである。
なお、リフター130のクシバ部Kは、基板処理時において処理液に接触するが、早期劣化部E1は可能であれば基板汚染を避けるために基板処理時において処理液に接触しない位置に設けることが望ましい。基板処理装置において発生する薬液蒸気によりリフター130の劣化が進行するような場合においては、早期劣化部E1をリフター130の上方、リフター130の背板や浸漬槽111の上方など、基板処理時においても直接に処理液と接触しない位置に設置していても早期劣化部E1は薬液蒸気により劣化が進行する。したがって、早期劣化部E1の劣化の進行と、リフター130のクシバ部Kの劣化との相関を予め実験などを通じて把握しておくことにより、基板汚染リスクを回避しつつ検査を行うことが可能である。
)、などの違いによって、部品劣化の進行度合いなどが異なってくる。そのため、劣化判定閾値は、データテーブルを用いて、上記様々な条件の組み合わせ毎に設定するとよい。
上記の実施例1においては、早期劣化部E1が、リフター130の板部133のうち、浸漬槽111の処理液中に浸漬する位置に設けられていたが、これ以外の場所に設けられていてもよい。図6に、早期劣化部を他の場所に設ける場合の一例を示す。本変形例においては、早期劣化部E2はリフター130の板部133のうち、処理液に浸漬されない箇所に設けられている。なお、図6において一点鎖線で囲まれた箇所は、処理液中に浸漬される部分を示している。
次に、本発明に係る第2の実施例について説明する。図7は本実施例の基板処理装置200を示す概略構成図である。なお、本実施例に係る基板処理装置200は、実施例1とその構成を略同じくし、早期劣化部E1における劣化現象の検出方法において違いを有するものであるため、実施例1と同じ構成、処理である部分には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
上記実施例2においては、レーザー変位計170を1つ用いて、早期劣化部E1との距離(即ち、早期劣化部E1の膜厚)を計測していたが、複数のレーザー変位計を用いて早期劣化部E1の膜厚を計測するようにしてもよい。具体的には、リフター130の板部133の早期劣化部E1が設けられているのとは反対側の面の、早期劣化部E1に対応する箇所に対してレーザーを照射する、第2のレーザー変位計を設け、板部133の表裏両面から距離を計測する。
続けて、本発明に係る第3の実施例について説明する。図10は本実施例の基板処理装置300を示す概略構成図である。なお、本実施例に係る基板処理装置300は、実施例1とその構成を略同じくし、早期劣化部E1における劣化現象の検出方法において違いを有するものであるため、実施例1と同じ構成、処理である部分には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
査基準記憶部163に保存されている閾値と取得された比抵抗値を比較し(ステップS313)、該比抵抗値が閾値を超えている場合には、基板処理を続行する(S314)。一方、ステップS313において、比抵抗値が閾値を超えていない場合には、出力部164から部品の異常を報知する警告信号を発信する(ステップS115)。
上記実施例3では、比抵抗計180は、浸漬槽111内に設置されていたが、比抵抗計を設置する位置は必ずしも浸漬槽111内に限る必要はなく、早期劣化部E1と接触した液体の比抵抗値を計測できる場所であれば、どこに設置しても構わない。例えば、オーバーフロー槽112の底部に設置してもよいし、排液回収部150内に設置してもよい。
なお、上記の各実施例及び変形例は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な態様には限定されない。本発明は、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、上記の各実施例に記載のそれぞれの計測手段を、併せて備えるようにしてもよい。このような異なる複数の観点での検査を実施することで、より精度の高い検査を実施することができる。
110・・・処理槽
120・・・処理液吐出ノズル
130・・・リフター
140・・・カメラ
150・・・排液回収部
160・・・制御装置
170・・・レーザー変位計
180・・・比抵抗計
E1、E2・・・早期劣化部
W・・・基板
Claims (23)
- 処理液により基板処理を行う基板処理装置であって、
該基板処理装置を構成する、樹脂コーティングされた部品の劣化を検査する検査手段と、
前記樹脂コーティングが、前記部品において検査されるべき樹脂コーティングと比較して劣化しやすく施された早期劣化部と、を有しており、
前記検査手段は、
前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知する、劣化検知手段を備え、
該劣化検知手段による検知結果に基づいて、前記検査対象の部品の劣化の程度を判定し、
前記部品は金属製又は前記樹脂コーティングの下地として金属が用いられるものであって、
前記劣化検知手段は、前記早期劣化部に接触する液体中の所定の金属の濃度を計測する、金属濃度計測手段を備え、該計測された金属の濃度から、前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知すること
を特徴とする、基板処理装置。 - 処理液により基板処理を行う基板処理装置であって、該基板処理装置を構成する、表面が樹脂コーティングされた部品の劣化を検査する検査手段と、
前記樹脂コーティングが、前記部品において検査されるべき前記部品の表面の樹脂コーティングと比較して劣化しやすく施された早期劣化部と、を有しており、
前記検査手段は、
前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知する、劣化検知手段を備え、
該劣化検知手段による検知結果に基づいて、前記部品の劣化の程度を判定し、
前記劣化検知手段は、前記早期劣化部の画像を撮影する撮影手段と、該撮影手段により撮影された画像データから色情報を取得する色情報取得手段と、を備え、前記色情報取得手段により取得された色情報から、前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知すること
を特徴とする、基板処理装置。 - 処理液により基板処理を行う基板処理装置であって、
該基板処理装置を構成する、表面が樹脂コーティングされた部品の劣化を検査する検査手段と、
前記樹脂コーティングが、前記部品において検査されるべき前記部品の表面の樹脂コーティングと比較して劣化しやすく施された早期劣化部と、を有しており、
前記検査手段は、
前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知する、劣化検知手段を備え、
該劣化検知手段による検知結果に基づいて、前記部品の劣化の程度を判定し、
前記部品がリフターであり、
前記早期劣化部が、前記リフターの上方の、処理液に浸漬されない位置、または処理液に浸漬するが基板と接触しない位置に設けられること、
を特徴とする、基板処理装置。 - 処理液により基板処理を行う基板処理装置であって、
該基板処理装置を構成する、表面が樹脂コーティングされた部品の劣化を検査する検査手段と、
前記樹脂コーティングが、前記部品において検査されるべき前記部品の表面の樹脂コーティングと比較して劣化しやすく施された早期劣化部と、を有しており、
前記検査手段は、
前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知する、劣化検知手段を備え、
該劣化検知手段による検知結果に基づいて、前記部品の劣化の程度を判定し、
前記早期劣化部は、前記部品の前記検査されるべき前記部品の前記表面の樹脂コーティングが施された部位から離間した部位であって、その劣化が生じても前記基板または前記基板処理装置に対する悪影響が小さな部位に設けられ、
前記早期劣化部は、前記処理液に対する前記部品における樹脂コーティングの劣化との相関関係を予め反映させた早期劣化検出基準を設定することで、前記部品の劣化が生じる前に、その劣化が検出されるものである、こと
を特徴とする、基板処理装置。 - 前記早期劣化部は、前記検査手段による検査対象となる部品に設けられていること
を特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記部品は前記樹脂コーティングの下地として金属が用いられるものであって、
前記劣化検知手段は、前記早期劣化部に接触する液体中の所定の金属の濃度を計測する、金属濃度計測手段を備え、該計測された金属の濃度から、前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知すること
を特徴とする、請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記金属濃度計測手段は、比抵抗計であること
を特徴とする、請求項1又は6に記載の基板処理装置。 - 前記液体は、前記基板処理装置内部を洗浄する装置洗浄液、及び/又は、前記処理液であること
を特徴とする、請求項1又は6に記載の基板処理装置。 - 前記劣化検知手段は、前記早期劣化部の画像を撮影する撮影手段と、該撮影手段により撮影された画像データから色情報を取得する色情報抽出手段と、を備え、
前記色情報取得手段により取得された色情報から、前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知すること
を特徴とする、請求項3又は4に記載の基板処理装置。 - 前記色情報は、RGB成分の値を含むこと
を特徴とする、請求項2又は9に記載の基板処理装置。 - 前記劣化検知手段は、前記早期劣化部の厚みを測定する、厚み測定手段を備え、該厚み測定手段により測定された早期劣化部の厚みから、前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知すること、
を特徴とする、請求項3又は4に記載の基板処理装置。 - 前記厚み測定手段は、レーザー変位計であること
を特徴とする、請求項11に記載の基板処理装置。 - 前記検査手段は、前記劣化検知手段が検知した前記樹脂コーティングの劣化と所定の閾値との対比に基づいて前記検査対象の部品の劣化の程度を判定すること
を特徴とする、請求項1から12のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記閾値は、前記基板処理装置の仕様、前記基板処理のプロセス、前記液体の供給条件、のうち少なくとも一つを含む条件の違いに応じて設定されていること
を特徴とする、請求項13に記載の基板処理装置。 - 前記検査手段により判定された、検査対象部品の劣化の程度を出力する、出力手段をさらに有しており、
前記出力手段は、前記検査手段により判定された劣化の程度が所定の基準を超えた場合には、警告信号を出力すること
を特徴とする、請求項1から14のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記早期劣化部における樹脂コーティング部分と、該コーティングが施された下地の部分とが、異なる色であること
を特徴とする、請求項1から15のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 処理液により基板処理を行う基板処理装置を構成する、樹脂コーティングされた部品の劣化を検査する方法であって、
前記基板処理装置内に、前記樹脂コーティングが、前記部品において検査されるべき樹脂コーティングと比較して劣化しやすく施された早期劣化部を設ける、早期劣化部配置ステップと、
前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知する、劣化検知ステップと、
該劣化検知ステップによる検知結果に基づいて、検査対象部品の劣化の程度を判定する、劣化判定ステップと、を有し、
前記部品は金属製又は前記樹脂コーティングの下地として金属が用いられるものであって、
前記劣化検知ステップでは、前記早期劣化部に接触する液体中の所定の金属の濃度を計測し、該計測された金属の濃度から、前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知すること
を特徴とする基板処理装置の部品検査方法。 - 処理液により基板処理を行う基板処理装置を構成する、樹脂コーティングされた部品の劣化を検査する方法であって、
前記基板処理装置内に、前記樹脂コーティングが、前記部品において検査されるべき樹脂コーティングと比較して劣化しやすく施された早期劣化部を設ける、早期劣化部配置ス
テップと、
前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知する、劣化検知ステップと、
該劣化検知ステップによる検知結果に基づいて、検査対象部品の劣化の程度を判定する、劣化判定ステップと、を有し、
前記劣化検知ステップでは、前記早期劣化部の画像を撮影して、該撮影された画像データから色情報を取得し、該取得された色情報から前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知すること
を特徴とする基板処理装置の部品検査方法。 - 処理液により基板処理を行う基板処理装置を構成する、樹脂コーティングされた部品の劣化を検査する方法であって、
前記基板処理装置内に、前記樹脂コーティングが、前記部品において検査されるべき樹脂コーティングと比較して劣化しやすく施された早期劣化部を設ける、早期劣化部配置ステップと、
前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知する、劣化検知ステップと、
該劣化検知ステップによる検知結果に基づいて、検査対象部品の劣化の程度を判定する、劣化判定ステップと、を有し、
前記部品はリフターであり、
前記早期劣化部が、前記リフターの上方の、処理液に浸漬されない位置、または処理液に浸漬するが基板と接触しない位置に設けられること
を特徴とする基板処理装置の部品検査方法。 - 前記早期劣化部配置ステップでは、前記早期劣化部を、検査対象となる部品に設けること
を特徴とする、請求項19に記載の基板処理装置の部品検査方法。 - 前記劣化検知ステップでは、
前記早期劣化部の厚みを測定し、該測定された早期劣化部の厚みから前記早期劣化部における樹脂コーティングの劣化を検知すること
を特徴とする、請求項19に記載の基板処理装置の部品検査方法。 - 前記劣化判定ステップでは、
前記劣化検知ステップにおいて検知された前記樹脂コーティングの劣化と、所定の閾値とに基づいて、前記検査対象の部品の劣化の程度を判定すること
を特徴とする、請求項17から21のいずれか一項に記載の基板処理装置の部品検査方法。 - 前記劣化判定ステップにおいて判定された劣化の程度が所定の基準を超えた場合には警告信号を出力する、警告ステップをさらに有すること
を特徴とする、請求項17から22のいずれか一項に記載の基板処理装置の部品検査方法。
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