JP6752081B2 - 接液ノズルの洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
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Description
さらに別な観点によれば、本発明は、基板上に処理液を供給して当該基板を処理する液処理装置内に設けられ、前記処理の際に基板上の処理液と接触する接液ノズルを洗浄する装置であって、前記液処理装置内に設けられ、前記接液ノズルを受容する受容部と、前記接液ノズルの汚れ具合を検査する検査装置とを有し、前記接液ノズルは、光を透過する材料からなり、前記検査装置は、前記接液ノズルに対して光を照射する発光部と、接液ノズルを透過した光を受光する受光部とを有することを特徴としている。
30 現像処理装置
31 下部反射防止膜形成装置
32 レジスト塗布装置
33 上部反射防止膜形成装置
40 熱処理装置
140 スピンチャック
154 純水供給ノズル
155、159 ノズル駆動部
158 現像液供給ノズル
170 ノズルバス
171 駆動機構
172 発光部
173 受光部
200 制御部
P 純水
R レジスト膜
W ウェハ
Claims (15)
- 基板上に処理液を供給して当該基板を処理する液処理装置内に設けられ、前記処理の際に基板上の処理液と接触する接液ノズルを洗浄する方法であって、
前記接液ノズルは、光を透過させる材料からなり、
前記液処理装置内で前記接液ノズルに対して光を照射し前記接液ノズルの汚れ具合を検査し、当該検査の結果に基づいて前記接液ノズルを洗浄することを特徴とする、接液ノズルの洗浄方法。 - 前記検査の結果に基づいて行う洗浄は、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給することによって行うことを特徴とする、請求項1に記載の接液ノズルの洗浄方法。
- 前記検査の結果に基づいて行う洗浄は、既に行った洗浄の回数に基づいて、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給することによって行うかまたはより洗浄度合いの高い洗浄方法によって行うことを特徴とする、請求項1または2に記載の接液ノズルの洗浄方法。
- 前記より洗浄度合いの高い洗浄方法は、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給し、さらに前記受容部内に洗浄液の液流を発生させることによって行うことを特徴とする、請求項3に記載の接液ノズルの洗浄方法。
- 前記より洗浄度合いの高い洗浄方法は、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給し、さらに当該受容部内を加熱することによって行うことを特徴とする、請求項3または4に記載の接液ノズルの洗浄方法。
- 前記より洗浄度合いの高い洗浄方法は、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給し、当該受容部内で前記接液ノズルに対してブラシ部材を接触させることによって行うことを特徴とする、請求項3〜5のいずれか一項に記載の接液ノズルの洗浄方法。
- 基板上に処理液を供給して当該基板を処理する液処理装置内に設けられ、前記処理の際に基板上の処理液と接触する接液ノズルを洗浄する方法であって、
前記液処理装置内で前記接液ノズルの汚れ具合を検査し、当該検査の結果に基づいて前記接液ノズルを洗浄し、
前記検査の結果に基づいて行う洗浄は、既に行った洗浄の回数に基づいて、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給することによって行うかまたはより洗浄度合いの高い洗浄方法によって行うことを特徴とする、接液ノズルの洗浄方法。 - 前記より洗浄度合いの高い洗浄方法は、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給し、さらに前記受容部内に洗浄液の液流を発生させることによって行うことを特徴とする、請求項7に記載の接液ノズルの洗浄方法。
- 前記より洗浄度合いの高い洗浄方法は、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給し、さらに当該受容部内を加熱することによって行うことを特徴とする、請求項7または8に記載の接液ノズルの洗浄方法。
- 前記より洗浄度合いの高い洗浄方法は、前記接液ノズルを受容する受容部内に洗浄液を供給し、当該受容部内で前記接液ノズルに対してブラシ部材を接触させることによって行うことを特徴とする、請求項7〜9のいずれか一項に記載の接液ノズルの洗浄方法。
- 基板上に処理液を供給して当該基板を処理する液処理装置内に設けられ、前記処理の際に基板上の処理液と接触する接液ノズルを洗浄する装置であって、
前記液処理装置内に設けられ、前記接液ノズルを受容する受容部と、前記接液ノズルの汚れ具合を検査する検査装置とを有し、
前記接液ノズルは、光を透過する材料からなり、前記検査装置は、前記接液ノズルに対して光を照射する発光部と、接液ノズルを透過した光を受光する受光部とを有することを特徴とする、接液ノズルの洗浄装置。 - 前記受容部の少なくとも底部は回転自在に構成されていることを特徴とする、請求項11に記載の接液ノズルの洗浄装置。
- 前記受容部の底部には、凹凸が形成されていることを特徴とする、請求項11に記載の接液ノズルの洗浄装置。
- 前記受容部内には、前記接液ノズルに接触可能なブラシ部材が設けられていることを特徴とする、請求項11に記載の接液ノズルの洗浄装置。
- 前記受容部内を加熱するヒータを有することを特徴とする、請求項11〜14のいずれか一項に記載の接液ノズルの洗浄装置。
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