JP2013071033A - ノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 洗浄機構60は、超音波振動子15を収納するとともに、この超音波振動子15を冷却するための冷却水13を貯留する冷却水貯留部11を備える。また、洗浄機構60は、冷却水貯留部11に貯留された冷却水13中にその下面が浸漬された状態で配設され、その内部に溶液14を貯留する溶液貯留部12を備える。スリットノズル41を溶液14中に浸漬した状態で超音波振動子15が超音波振動を発振した場合には、この超音波振動は、冷却水13および溶液貯留部12を介して溶液14に伝達される。
【選択図】 図6
Description
11 冷却水貯留部
12 溶液貯留部
12a 傾斜面
12b 傾斜面
12c 傾斜面
13 冷却水
14 溶液
15 超音波振動子
16 溶液供給管
19 上部開口部
41 スリットノズル
44 吐出口
60 洗浄機構
61 洗浄ブロック
62 待機ポッド
71 飛散防止カバー
73 飛散防止板
74 仕切板
81 左側面洗浄ブラシ
82 下面洗浄ブラシ
83 右側面洗浄ブラシ
84 第2ノズル
85 第3ノズル
86 第3ノズル
87 第1ノズル
92 管路
95 ポンプ
96 開閉弁
97 冷却器
100 溶液供給部
S 基板
Claims (9)
- ノズルの下端部に形成された塗布液の吐出口を洗浄するためのノズル洗浄装置であって、
液体を貯留するとともに、この液体中に浸漬された超音波振動子を収納する液体貯留部と、
前記液体貯留部に貯留された液体中に浸漬された状態で配設され、塗布液を溶解する溶液を内部に貯留するとともに、前記ノズルの下端部を前記溶液中に浸漬可能とする上部開口部を備え、前記液体を介して付与される前記超音波振動子による超音波振動を、前記溶液に伝達する溶液貯留部と、
を備えたことを特徴とするノズル洗浄装置。 - 請求項1に記載のノズル洗浄装置において、
前記溶液貯留部の底部には傾斜面が形成され、前記塗布液から析出した固形物を回収するための凹部が形成されるとともに、当該凹部付近には、前記溶液貯留部より溶液を排出するための溶液排出部が形成されるノズル洗浄装置。 - 請求項2に記載のノズル洗浄装置において、
前記ノズルは、下端部に形成された吐出口がスリット状のスリットノズルであり、
前記溶液貯留部の底部は、前記スリット状の吐出口の長手方向に向けて傾斜する傾斜面および前記スリット状の吐出口の長手方向と直交する方向に向けて傾斜する傾斜面を備え、これらの傾斜面の下端部付近に前記溶液排出部が形成されるノズル洗浄装置。 - 請求項3に記載のノズル洗浄装置において、
前記傾斜面の上端部付近には、前記溶液貯留部内に溶液を供給するための溶液供給部が配設されるノズル洗浄装置。 - 請求項4に記載のノズル洗浄装置において、
前記溶液排出部と前記溶液供給部とを接続する溶液の循環路を備えるノズル洗浄装置。 - 請求項3から請求項5のいずれかに記載のノズル洗浄装置において、
前記溶液貯留部の上方において、前記スリットノズルの下端部に形成されたスリット状の塗布液の吐出口に向けて溶液を吐出する溶液吐出部を有するノズル洗浄ブロックをさらに備えるノズル洗浄装置。 - 請求項6に記載のノズル洗浄装置において、
前記ノズル洗浄ブロックは、前記スリットノズルの下端部に形成されたスリット状の吐出口に向けて気体を噴出する気体噴出部を備えるノズル洗浄装置。 - 請求項6に記載のノズル洗浄装置において、
前記ノズル洗浄ブロックを、前記スリットノズルにおけるスリット状の塗布液の吐出口に沿って往復移動させる移動機構を備えるノズル洗浄装置。 - 請求項1から請求項8のいずれかに記載のノズル洗浄装置を備えた塗布装置。
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