CN106824680A - 一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置 - Google Patents

一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置，涉及狭缝喷嘴技术领域，为解决现有排废液槽因胶液容易在凹槽底面残留而导致排废液槽的排液效果不好的问题。该排废液槽包括本体，所述本体的上表面开设有凹槽，所述凹槽的底部设置有排废液通道，所述凹槽的侧面包括至少一个倾斜面，所述倾斜面的底端相对于所述倾斜面的顶端向远离所述本体相应外侧面的方向倾斜，并与所述排废液通道连接，所述倾斜面为平面或弧面。本发明用于排除狭缝喷嘴内残余的胶液。

Description

一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置
技术领域
本发明涉及狭缝喷嘴技术领域，尤其涉及一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置。
背景技术
在显示面板的生产过程中，会用到狭缝喷嘴(Slit Nozzle)来为基板涂胶，由于有些胶液(例如光刻胶)容易干燥固化，因此会在狭缝喷嘴的狭缝内及外侧面上结块，进而造成涂胶不均、SIJI MURA(一种专有名词，意为在涂胶后宏观检测时发现平行于基板长边的一条亮线)等不良现象发生，因此需要对狭缝喷嘴进行定期清洁。
清洁时，首先要将狭缝喷嘴内残余的胶液排出至排废液槽中，现有技术中的排废液槽如图1所示，包括本体01，本体01的上表面开设有凹槽02，凹槽02的底面为平面，且连接有排废液通道03，残余胶液进入凹槽02内，即可通过排废液通道03排出。
然而，由于该凹槽02的底面为平面，因此胶液容易在凹槽02的底面残留，导致排废液槽的排液效果不好。
发明内容
本发明的实施例提供一种用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置，可解决现有排废液槽因胶液容易在凹槽底面残留而导致排废液槽的排液效果不好的问题。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
本发明实施例提供了一种用于狭缝喷嘴的排废液槽，包括本体，所述本体的上表面开设有凹槽，所述凹槽的底部设置有排废液通道，所述凹槽的侧面包括至少一个倾斜面，所述倾斜面的底端相对于所述倾斜面的顶端向远离所述本体相应外侧面的方向倾斜，并与所述排废液通道连接，所述倾斜面为平面或弧面。
进一步的，所述凹槽的开口为长方形开口，沿所述长方形开口的两个长边延伸的所述凹槽的侧面均为所述倾斜面，两个所述倾斜面相对于所述排废液通道中心线所在的竖直面对称设置，且两个所述倾斜面之间的夹角大于或等于45°。
进一步的，所述本体内开设有贯通所述倾斜面的吹气通道。
进一步的，所述本体的上表面设有第一隔垫件，所述第一隔垫件用于防止狭缝喷嘴与所述本体的上表面接触，所述第一隔垫件围绕于所述凹槽的开口周围。
本发明实施例还提供了一种狭缝喷嘴清洗装置，包括上述任一技术方案中的排废液槽，还包括清洗剂容纳槽和超声波发生器，所述清洗剂容纳槽的底部设有超声波换能器，所述超声波换能器与所述超声波发生器连接。
进一步的，所述清洗剂容纳槽的侧壁上设有进液口，底壁上设有出液口。
进一步的，所述清洗剂容纳槽的上表面设有第二隔垫件，所述第二隔垫件用于防止狭缝喷嘴与所述清洗剂容纳槽的上表面接触，所述第二隔垫件围绕于所述清洗剂容纳槽的开口周围。
进一步的，所述清洗剂容纳槽的侧壁上由上至下依次设有第一液位检测器和第二液位检测器；所述第一液位检测器用于检测清洗剂的液面是否到达第一液面高度，当清洗剂的液面到达所述第一液面高度时，所述第一液位检测器发出提示信号；所述第二液位检测器用于检测清洗剂的液面是否到达第二液面高度，当清洗剂的液面低于所述第二液面高度时，所述第二液位检测器发出提示信号。
进一步的，还包括与狭缝喷嘴连接的水平驱动单元和竖直驱动单元，所述水平驱动单元用于驱动所述狭缝喷嘴水平移动，所述竖直驱动单元用于驱动所述狭缝喷嘴竖直移动；所述水平驱动单元包括驱动电机、滑轨以及滑块，所述滑轨水平设置，所述滑块滑动配合于所述滑轨上，所述狭缝喷嘴与所述滑块连接，所述驱动电机可驱动所述滑块沿所述滑轨滑动。
进一步的，所述本体内开设有贯通所述凹槽内表面的清洗剂通道，所述出液口与所述清洗剂通道连通。
本发明实施例提供的用于狭缝喷嘴的排废液槽及狭缝喷嘴清洗装置，由于所述凹槽的侧面包括至少一个倾斜面，所述倾斜面的底端相对于所述倾斜面的顶端向远离所述本体相应外侧面的方向倾斜，并与所述排废液通道连接，所述倾斜面为平面或弧面，因此所述倾斜面可将到达其上的胶液直接导入排废液通道中，从而减少了胶液的残留，进而提升了排废液槽的排液效果。
附图说明
图1为现有技术中用于狭缝喷嘴的排废液槽的示意图；
图2为现有技术中狭缝喷嘴的涂胶示意图；
图3为本发明实施例用于狭缝喷嘴的排废液槽的示意图；
图4为本发明实施例狭缝喷嘴清洗装置的示意图；
图5为图4中清洗剂容纳槽的示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
图2为现有TFT-LCD光刻胶涂布工艺中的狭缝喷嘴涂胶示意图。如图2所示，狭缝喷嘴100由两个金属块101对盒而成，并通过螺栓102固定，两个金属块101中间通过垫片103隔开，以形成狭缝喷嘴100的狭缝a，通常狭缝a的宽度为0.1mm，其宽度可由压紧螺栓104及拉拔螺栓105来控制调节，光刻胶由导管106引入，而后由狭缝a喷出。通过狭缝喷嘴100整体相对基板200线性移动，即可将光刻胶均匀的涂覆在基板200的表面上。
参照图3，本发明实施例提供了一种用于狭缝喷嘴100的排废液槽300，包括本体301，本体301的上表面开设有凹槽302，凹槽302的底部设置有排废液通道303，凹槽302的侧面包括至少一个倾斜面b，倾斜面b的底端相对于倾斜面b的顶端向远离本体301相应外侧面的方向倾斜，并与排废液通道303连接，倾斜面b为平面或弧面。
本发明实施例提供的用于狭缝喷嘴100的排废液槽300，由于凹槽302的侧面包括至少一个倾斜面b，倾斜面b的底端相对于倾斜面b的顶端向远离本体301相应外侧面的方向倾斜，并与排废液通道303连接，倾斜面b为平面或弧面，因此倾斜面b可将到达其上的胶液直接导入排废液通道303中，从而减少了胶液的残留，进而提升了排废液槽300的排液效果。
具体的，凹槽302的开口为长方形开口，沿长方形开口的两个长边延伸的凹槽302的侧面均为倾斜面b，两个倾斜面b相对于排废液通道303中心线所在的竖直面对称设置，且两个倾斜面b之间的夹角大于或等于45°，由此可通过两个倾斜面b对胶液进行导流，从而进一步提升了排废液槽300的排液效果；另外，这样还可避免两个倾斜面b之间的夹角小于狭缝喷嘴100两个外侧面之间的夹角，从而避免了对狭缝喷嘴100的下沉造成阻挡，进而使狭缝喷嘴100的狭缝a能够更靠近排废液通道303进行排液，进而使胶液能够更快速的排出。
为了快速干燥狭缝喷嘴100，本实施例中本体301内开设有贯通倾斜面b的吹气通道305，由此可通过吹气通道305向狭缝喷嘴100吹气，从而将狭缝喷嘴100上残余的液体吹干，进而使狭缝喷嘴100能够快速干燥。吹气通道305内通入的气体优选为氮气，以降低气体的成本，同时提高安全性。
参照图3，本体301的上表面设有第一隔垫件306，第一隔垫件306用于防止狭缝喷嘴100与本体301的上表面接触，从而避免了狭缝喷嘴100对本体301的上表面造成损伤。优选的，第一隔垫件306围绕于凹槽302的开口周围，由此可增大隔垫面积，从而提升了对本体301上表面的保护效果。
另外，长方形开口的两个长边分别与相应的倾斜面b之间设有台阶307。
参照图4和图5，本发明实施例还提供了一种狭缝喷嘴清洗装置，包括上述任一实施例的排废液槽300，还包括清洗剂容纳槽400和超声波发生器500，清洗剂容纳槽400的底部设有超声波换能器600，超声波换能器600与超声波发生器500连接，超声波发生器500用于产生超声波，并且可以控制超声波的频率、强度等参数，超声波换能器600用于将超声波转化为机械振动，而后通过清洗剂容纳槽400的槽壁传导给清洗剂，使清洗剂中产生很多微气泡，微气泡迅速生长、破裂即可分散狭缝喷嘴100上结块的光刻胶，并降低光刻胶与狭缝喷嘴100之间的粘附力，从而使光刻胶与狭缝喷嘴100分离，进而达到有效祛除狭缝喷嘴100上附着的固化光刻胶的目的。本发明实施例的狭缝喷嘴清洗装置利用超声波的空化效应，不仅结构简单、高效，而且是非接触式清洗，可避免人员操作不当对狭缝喷嘴100造成的损伤。
为了方便清洗剂的通入与排出，清洗剂容纳槽400的侧壁上设有进液口401，底壁上设有出液口402。
参照图5，清洗剂容纳槽400的上表面设有第二隔垫件403，第二隔垫件403用于防止狭缝喷嘴100与清洗剂容纳槽400的上表面接触，从而避免了狭缝喷嘴100对清洗剂容纳槽400的上表面造成损伤。优选的，第二隔垫件403围绕于清洗剂容纳槽400的开口周围，由此可增大隔垫面积，从而提升了对清洗剂容纳槽400上表面的保护效果。
进一步的，清洗剂容纳槽400的侧壁上由上至下依次设有第一液位检测器404和第二液位检测器405；第一液位检测器404用于检测清洗剂的液面是否到达第一液面高度，当清洗剂的液面到达第一液面高度时，第一液位检测器404发出提示信号，以防止清洗剂的液面过高造成清洗剂的浪费；第二液位检测器405用于检测清洗剂的液面是否到达第二液面高度，当清洗剂的液面低于第二液面高度时，第二液位检测器405发出提示信号，以防止清洗剂的液面过低影响对狭缝喷嘴100的清洗效果。
清洗剂容纳槽400优选由不锈钢材料制作，不锈钢材料对超声波反射较强，可提升超声波空化效应的效果，从而提升了对狭缝喷嘴100的清洗效果。
参照图4，本实施例中的狭缝喷嘴清洗装置还包括与狭缝喷嘴100连接的水平驱动单元700和竖直驱动单元800，水平驱动单元700用于驱动狭缝喷嘴100水平移动，竖直驱动单元800用于驱动狭缝喷嘴100竖直移动，由此实现了对狭缝喷嘴100的自动化驱动。具体的，水平驱动单元700包括驱动电机(图中未示出)、滑轨701以及滑块702，滑轨701水平设置，滑块702滑动配合于滑轨701上，狭缝喷嘴100与滑块702连接，驱动电机可驱动滑块702沿滑轨701滑动，从而带动狭缝喷嘴100水平移动，进而使狭缝喷嘴100水平移动的更稳定。
本体301内开设有贯通凹槽302内表面的清洗剂通道(图中未示出)，出液口402与清洗剂通道连通，由此，清洗剂容纳槽400内的清洗剂可依次通过出液口402以及清洗剂通道流入凹槽302内，最终流入排废液通道303，从而将排废液槽300内固化的光刻胶清除，也防止了排废液通道303被堵塞的问题。清洗剂容纳槽400内的清洗剂优选为丙二醇单甲醚乙酸酯(C6H12O3)。
本发明狭缝喷嘴清洗装置的具体操作流程如下：
1、通过水平驱动单元700驱动狭缝喷嘴100水平移动至排废液槽300处，将狭缝喷嘴100内残余的胶液排出，同时通过导管106向狭缝喷嘴100内充入稀释剂(通常为丙二醇单甲醚乙酸酯)；
2、通过水平驱动单元700和竖直驱动单元800驱动狭缝喷嘴100移动，使狭缝喷嘴100上需要清洗的部位沉入清洗剂容纳槽400内的清洗剂中；
3、开启超声波发生器500对狭缝喷嘴100进行清洗；
4、通过水平驱动单元700和竖直驱动单元800驱动狭缝喷嘴100再次移动至排废液槽300处，再次通入稀释剂，使狭缝喷嘴100内原有的稀释剂及分散的光刻胶一同排出；
5、向吹气通道305内通入N2，同时通过竖直驱动单元800驱动狭缝喷嘴100上下移动，以达到更好的干燥效果；
6、向狭缝喷嘴100内通入新的胶液。
综上所述，本发明实施例提供的一体化狭缝喷嘴清洗装置，采用超声波清洗取代现有的机械插入式清洗，使机台在连续生产状态下对狭缝喷嘴100狭缝及周边部分进行清洁，不仅有效预防了光刻胶干燥结块堵塞喷头而造成的涂胶不匀、SIJI MURA等不良现象的发生，有效的保证了涂胶工艺的品质，而且还避免了因频繁停机造成的产能损失以及颗粒(particle)带入等问题。通过本发明在连续生产状态下实现自动清洗模式，达到了提前预防，而不是不良发生后补救，从而有效减少了产品的返工率。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种用于狭缝喷嘴的排废液槽，包括本体，所述本体的上表面开设有凹槽，所述凹槽的底部设置有排废液通道，其特征在于，所述凹槽的侧面包括至少一个倾斜面，所述倾斜面的底端相对于所述倾斜面的顶端向远离所述本体相应外侧面的方向倾斜，并与所述排废液通道连接，所述倾斜面为平面或弧面。
2.根据权利要求1所述的排废液槽，其特征在于，所述凹槽的开口为长方形开口，沿所述长方形开口的两个长边延伸的所述凹槽的侧面均为所述倾斜面，两个所述倾斜面相对于所述排废液通道中心线所在的竖直面对称设置，且两个所述倾斜面之间的夹角大于或等于45°。
3.根据权利要求2所述的排废液槽，其特征在于，所述本体内开设有贯通所述倾斜面的吹气通道。
4.根据权利要求1所述的排废液槽，其特征在于，所述本体的上表面设有第一隔垫件，所述第一隔垫件用于防止狭缝喷嘴与所述本体的上表面接触，所述第一隔垫件围绕于所述凹槽的开口周围。
5.一种狭缝喷嘴清洗装置，其特征在于，包括权利要求1～4中任一项所述的排废液槽，还包括清洗剂容纳槽和超声波发生器，所述清洗剂容纳槽的底部设有超声波换能器，所述超声波换能器与所述超声波发生器连接。
6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗剂容纳槽的侧壁上设有进液口，底壁上设有出液口。
7.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗剂容纳槽的上表面设有第二隔垫件，所述第二隔垫件用于防止狭缝喷嘴与所述清洗剂容纳槽的上表面接触，所述第二隔垫件围绕于所述清洗剂容纳槽的开口周围。
8.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗剂容纳槽的侧壁上由上至下依次设有第一液位检测器和第二液位检测器；
所述第一液位检测器用于检测清洗剂的液面是否到达第一液面高度，当清洗剂的液面到达所述第一液面高度时，所述第一液位检测器发出提示信号；
所述第二液位检测器用于检测清洗剂的液面是否到达第二液面高度，当清洗剂的液面低于所述第二液面高度时，所述第二液位检测器发出提示信号。
9.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，还包括与狭缝喷嘴连接的水平驱动单元和竖直驱动单元，所述水平驱动单元用于驱动所述狭缝喷嘴水平移动，所述竖直驱动单元用于驱动所述狭缝喷嘴竖直移动；
所述水平驱动单元包括驱动电机、滑轨以及滑块，所述滑轨水平设置，所述滑块滑动配合于所述滑轨上，所述狭缝喷嘴与所述滑块连接，所述驱动电机可驱动所述滑块沿所述滑轨滑动。
10.根据权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，所述本体内开设有贯通所述凹槽内表面的清洗剂通道，所述出液口与所述清洗剂通道连通。
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