CN112893307A - 液刀及清洗方法 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种液刀及清洗方法。具体地，所述液刀包括：液刀本体，包括注液通道和与所述注液通道连通的狭缝，并被配置为液体经由所述注液通道注入并经所述狭缝流出；以及超声发生器，设置于所述液刀本体上，并被配置为对流经所述狭缝的液体施加超声波，以清洁所述狭缝。通过在液刀本体上设置超声发生器，利用超声波对狭缝进行清洁，从而保障液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的均匀性，进而避免产品不良，提高产品品质及性能。

Description

液刀及清洗方法

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种液刀及清洗方法。

背景技术

在薄膜晶体管制备工艺中，湿法蚀刻及洗净工艺设备需要通过液刀对基板进行预润湿、清洗作用，旨在使化学溶液、超纯水能够均匀的涂布于基板表面，保证基板表面化学反应、洗净均一性。在设备实际生产过程中，由于液刀刀口位置狭缝(slit)较小，以及刀口微观形貌存在缺陷，容易发生微粒附着或结晶的状况，阻塞刀口，导致水帘在对应位置处出现分叉或流量减小等情况，影响化学反应、洗净的均一性，导致产品出现明暗不均(Mura)或蚀刻不良，最终影响产品品质及性能。

发明内容

有鉴于此，本公开实施例的目的在于提出一种液刀及清洗方法，以解决现有液刀存在的技术问题。

基于上述目的，第一方面，本公开实施例提供了一种液刀，包括：

液刀本体，包括注液通道和与所述注液通道连通的狭缝，并被配置为液体经由所述注液通道注入并经所述狭缝流出；以及

超声发生器，设置于所述液刀本体上，并被配置为对流经所述狭缝的液体施加超声波，以清洁所述狭缝。

进一步地，多个所述超声发生器沿所述液刀本体的长度方向等间隔设置且作用范围覆盖所述狭缝。

进一步地，所述超声发生器的数量根据所述液刀本体的长度以及所述超声发生器的功率确定。

进一步地，还包括：

限位件，包括用于放置所述超声发生器的凸起部；以及

连接件，被配置为连接所述限位件和液刀本体，使得所述超声发生器贴紧所述液刀本体。

进一步地，所述超声发生器表面具有聚四氟乙烯涂层。

进一步地，还包括：

采样组件，被配置为采集所述液体经由所述狭缝形成的水帘的状态信息；以及

控制组件，被配置为根据所述状态信息控制所述超声发生器的工作状态。

进一步地，所述采样组件包括：

压力探针，被配置为采集所述水帘的水压信息；

转向机构，连接所述压力探针且被配置为调整所述压力探针相对所述水帘的流动路径的距离；以及

移动机构，连接所述转向机构且被配置为驱动所述转向机构沿所述液刀本体的长度方向移动。

进一步地，所述转向机构包括第一连接杆、第二连接杆和转向件；所述第一连接杆和所述第二连接杆分别连接所述压力探针和所述移动机构，所述转向件用于调整所述第一连接杆和所述第二连接杆之间的角度。

进一步地，所述移动机构包括：

导轨，延伸方向与所述液刀本体的长度方向平行；以及

驱动件，设置于所述导轨上且连接所述转向机构，被配置为驱动所述转向机构沿所述导轨移动。

第二方面，本公开实施例提供一种液刀的清洗方法，其中，所述液刀包括超声发生器和采样组件，所述清洗方法，包括：

利用采样组件获取液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的状态信息；

根据所述状态信息确定所述液刀的目标清洗区域；以及

控制对应于所述目标清洗区域的超声发生器执行清洗操作。

进一步地，还包括：

响应于所述清洗操作执行完成，采集所述目标清洗区域的状态信息；

响应于根据所述目标清洗区域的状态信息确定所述目标清洗区域的状态不满足所述液刀的预设工作条件，重复执行所述清洗操作。

进一步地，所述采样组件包括压力探针；

所述获取液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的状态信息，具体包括：

利用压力探针采集所述水帘的水压信息；其中，所述水压信息包括对应于所述水帘的多个子区域的多个子水压信息；

所述根据所述状态信息确定所述液刀的目标清洗区域，具体包括：

分别计算每个子水压信息与预设水压值的差值；

确定与所述预设水压值的差值大于预设误差值的所述子水压信息对应的子区域为目标清洗区域。

进一步地，还包括：

响应于液刀流量调整，重新确定所述预设水压值，具体包括：

利用压力探针采集所述水帘的全部子区域对应的多个子水压信息；

响应于所述多个子水压信息的集中程度符合预设集中条件，确定所述多个子水压信息的均值为预设水压值。

进一步地，所述采样组件还包括转向机构和移动机构；其中，所述转向机构连接所述压力探针且被配置为调整所述压力探针相对于所述水帘的流动路径的距离；所述移动机构连接所述转向机构且被配置为驱动所述转向机构沿所述液刀本体的长度方向移动；

所述利用压力探针采集所述水帘的水压信息的步骤包括：

控制所述转向机构调整所述压力探针至所述水帘的流动路径上；

利用所述压力探针采集与其相对的水帘子区域的子水压信息；

控制所述移动机构调整所述压力探针沿所述液刀本体的长度方向移动，并利用所述压力探针采集其余子区域的子水压信息；以及

控制所述转向机构调整所述压力探针远离所述水帘的流动路径。

进一步地，还包括：

根据所述移动机构相对于所述液刀本体的位置，确定所述子水压信息和所述子区域的对应关系。

从上面所述可以看出，本公开实施例提供的液刀，通过在液刀本体上设置超声发生器，利用超声波对狭缝进行清洁，从而保障液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的均匀性，进而避免产品不良，提高产品品质及性能。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本说明书一个或多个实施例提供的一种水帘状态的示意图；

图2为本说明书一个或多个实施例提供的液刀的一种结构示意图；

图3为本说明书一个或多个实施例提供的液刀的部分结构的俯视图；

图4为本说明书一个或多个实施例提供的超声发生器和液刀本体的一种连接结构的示意图；

图5为图2中液刀结构的侧视图；

图6为本说明书一个或多个实施例提供的液刀清洗方法的流程示意图；

图7为本说明书一个或多个实施例提供的确定预设水压值的流程示意图。

具体实施方式

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。

需要说明的是，除非另外定义，本公开实施例使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

当液刀本体1的刀口位置发生微粒附着或结晶，将阻塞刀口导致水帘2在对应位置处出现分叉21(请参阅图1)或流量减小(图中未示出)等情况。目前相关的液刀分叉处理办法中，主要采用人工清洁，即使用相应厚薄规，对堵塞位置进行刮拭。此方法在实际操作过程中，耗费时间较长，若分叉位置处于液刀中部，人员刮拭难度增大，同时，在刮拭过程中，厚薄规会对液刀刀口造成不同程度的损伤，影响水帘均匀性，损伤位置结晶风险增加。

鉴于此，第一方面，本说明书一个或多个实施例提供一种能够实现自清洁的液刀。请参阅图2～图5，所述液刀，包括：

液刀本体1，包括注液通道(图中未示出)和与所述注液通道连通的狭缝11(参见图3和图4)，并被配置为液体经由所述注液通道注入并经所述狭缝11流出；以及

超声发生器3，设置于所述液刀本体1上，并被配置为对流经所述狭缝11的液体施加超声波，以清洁所述狭缝。

从上述实施例可以看出，通过在液刀本体上设置超声发生器，利用超声波对狭缝进行清洁，从而保障液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的均匀性，进而避免产品不良，提高产品品质及性能。相比于采用厚薄规的技术方案，无需人工操作简单方便，同时也能够有效避免对液刀本体造成损伤，降低结晶概率、延长液刀的使用寿命。

需要说明的是，参阅图3，液刀本体1包括相对设置的第一表面12和第二表面13，所述狭缝11位于所述第一表面12和第二表面13之间。基于此，所述超声发生器3设置于第一表面和第二表面两者的至少一者上。本实施例对于所述超声发生器在所述液刀本体上的位置不做具体限定。

示例性的，参阅图3，所述液刀本体的第一表12和第二表面13均设置所述超声发生器3。可选地，位于两个表面的超声发生器3交替设置。这样的方式有助于提高流经所述狭缝的液体接收到的超声波的均衡性。可选地，位于两个表面的超声发生器3对称设置(图中未示出)。

示例性的，如图4所示，所述超声发生器3设置于第一表面或第二表面上。

在本说明书一个或多个实施例中，多个所述超声发生器3沿所述液刀本体1的长度方向等间隔设置且作用范围覆盖所述狭缝。这样的设置能够保证对所述狭缝各个位置均进行有效的清洁，同时能够确保每个超声发生器3均能发挥较好的作用。

需要说明的是，为确保多个所述超声发生器的作用范围覆盖所述狭缝，相邻的超声发生器的作用范围可以存在部分重叠，这里不做具体限定。

进一步地，所述超声发生器的数量根据所述液刀本体的长度以及所述超声发生器的功率确定。

这里，所述超声发生器的功率越大，其对应的作用范围越大；反之，所述超声发生器的功率越小，其对应的作用范围越小。因此，基于液刀本体的长度和采用超声发生器的功率，确定所述超声发生器的数量能够在保障清洗效果的同时减少超声发生器的数量，节约成本的同时使得结构整体更加精简。

对于超声发声器和所述液刀本体的连接方式，本公开实施例提供示例性说明。

如图4所示，在本说明书一个或多个实施例中，还包括：限位件5，包括用于放置所述超声发生器3的凸起部；以及

连接件6，被配置为连接所述限位件5和液刀本体1，使得所述超声发生器3贴紧所述液刀本体1。这里，对于连接件6不做具体限定，例如螺钉。

需要说明的是，超声波在固体中的传播效果优于气体，因此通过限位件5和连接件6结合的技术方案，使得所述超声发生器3贴紧所述液刀本体1，有利于保障超声波的有效传播。

作为一个可替换的实施方式，所述液刀本体1上设置有卡接槽，所述超声发生器卡入所述卡接槽中实现固定。

可选地，所述卡接槽内表面背离所述狭缝的一侧设置有弹性体。在所述超声发生器卡入后，在所述弹性体的作用下贴紧所述液刀本体，从而保障超声波的传播效果。

在一些实施例中，所述超声发生器3表面具有聚四氟乙烯涂层。借助聚四氟乙烯的保护作用，使得所述超声发生器能够在酸、碱等腐蚀性环境下的工作，满足多种生产条件的需求。

需要说明的是，薄膜晶体管制备过程中，在工艺的间隙可以对所述液刀进行清洗。这样的频繁清洗虽然能够保障液刀的清洁程度，但是需要耗费较多的资源，例如电能、水资源等。若根据工人观察来控制液刀的清洗步骤，不仅浪费人力资源，而且厚薄规清洗容易对液刀造成不可逆的损伤。

基于此，在本说明书一个或多个实施例中，如图2和图5所示，所述液刀还包括：

采样组件4，被配置为采集所述液体经由所述狭缝11形成的水帘2的状态信息；以及

控制组件(图中未示出)，被配置为根据所述状态信息控制所述超声发生器3的工作状态。

需要说明的是，这里的控制组件结合采用组件4和超声发生器，能够执行下述的清洁方法，不再赘述。

通过设置采样组件4和控制组件，能够提高对液刀清洗的精确性。水帘的状态信息不符合预设工艺条件时，则需要进行清洗；反之，则无需进行清洗，进而达到节约资源的目的。

作为一个可选的实施例，所述采样组件可以是图像采集设备，例如摄像头。控制组件可以通过对图像采集设备采集得到的水帘图像进行解析，通过判断是否存在分叉来确定所述超声波发生器的工作状态。例如，响应于存在分叉，则所述超声波发生器执行清洗操作；否则，无需进行清洗。

对于狭缝中污染物未导致水帘分叉，仅使水帘出现厚度不匀的情况，图像采集设备较难捕捉。作为一个可选的实施例，如图2和图5所示，所述采样组件包括：

压力探针41，被配置为采集所述水帘的水压信息；

转向机构42，连接所述压力探针且被配置为调整所述压力探针41相对所述水帘2的流动路径的距离；以及

移动机构43，连接所述转向机构42且被配置为驱动所述转向机构42沿所述液刀本体1的长度方向移动。

通过利用压力探针41采用所述水帘的水压信息，不仅能够发现水帘分叉的区域也能够发现水帘的厚度变化的区域，实现对水帘状态的全面检测，有利于针对水帘的状态，采用相应的处理措施。

例如，狭缝中存在污染物，导致水帘分叉或水帘的厚度变小，对应位置的水压降低，则利用超声波发生器对所述狭缝进行清洁。

又如，液刀刀口发生破损，导致厚度变大，对应位置的水压升压，则可以提示更换液刀本体。

在一些实施例中，如图5所示，所述转向机构42包括第一连接杆421、第二连接杆423和转向件422；所述第一连接杆421和所述第二连接杆423分别连接所述压力探针41和所述移动机构43，所述转向件422用于调整所述第一连接杆421和所述第二连接杆423之间的角度。

通过这样的方式，在需要采集水帘的水压信息时，调整所述压力探针41至所述水帘2的流动路径上，实现对水压信息的采集；在采集完毕后调整所述压力探针41远离所述水帘2的流动路径，从而避免压力探针41影响液刀正常工作。

需要说明的是，所述转向件422可以是气缸、电机等，这里不做限定。

在一些实施例中，所述移动机构43包括：

导轨，延伸方向与所述液刀本体1的长度方向平行；以及

驱动件(图中未标示)，设置于所述导轨上且连接所述转向机构42，被配置为驱动所述转向机构沿所述导轨移动。

需要说明的是，本领域技术人员能够合理设置所述导轨，例如连接于所述液刀本体上；又如，连接于液刀本体之外的框架上，本说明书不做限定。

本实施例对驱动件不做具体限定，例如电机、气缸等。

通过这样的方式，通过驱动件带动所述转向机构沿液刀本体的长度方向移动，实现利用一个压力探针41采集整个水帘的水压信息，具有成本低廉的优势。

需要说明的是，本领域技术人员也可以根据需要合理设置多个压力探针，以便提高采集效率，这里不做具体限定。

第二方面，本说明书一个或多个实施例，还提供一种液刀的清洗方法，其中，所述液刀包括超声发生器和采样组件。具体地，请参阅图6，所述清洗方法包括：

S601：利用采样组件获取液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的状态信息。

这里，液刀的狭缝存在污染物时，将导致水帘的状态发生变化，例如分叉或厚度改变等。因此，水帘的状态信息能够反映液刀的狭缝中的污染情况。

需要说明的是，根据采样组件的具体类型，所述状态信息也相应的不同。例如，采用组件包括图像采集设备，则状态信息包括图像信息。又如，采用组件包括压力探针，则状态信息包括水压信息。

S602：根据所述状态信息确定所述液刀的目标清洗区域。

这里，结合前述，利用所述状态信息能够确定狭缝中存在污染物的部位，也就是液刀需要进行清洗的区域。

S603：控制对应于所述目标清洗区域的超声发生器执行清洗操作。

由上述实施例可以看出，通过采样组件和超声波发生器，能够实现液刀精确的自动清洗，对液刀无损伤且能够有效节约资源。

在一些实施例中，所述的清洗方法，还包括：

响应于所述清洗操作执行完成，采集所述目标清洗区域的状态信息；

响应于根据所述目标清洗区域的状态信息确定所述目标清洗区域的状态不满足所述液刀的预设工作条件，重复执行所述清洗操作。

需要说明的是，这里预设工作条件根据状态信息的类型具体确定，这里不做具体限定。例如，状态信息为水压信息，则所述预设工作条件可以是水压信息置于预设范围内。

通过采集所述目标清洗区域的状态信息，能够对目标清洗区域的清洗效果进行检查，在不满足预设工作条件的情况下，重复执行清洗操作，从而有效保障对液刀的清洗效果，确保液刀的状态满足工艺条件的要求。

在本说明书一个或多个实施例中，所述采样组件包括压力探针；

所述获取液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的状态信息，具体包括：

利用压力探针采集所述水帘的水压信息；其中，所述水压信息包括对应于所述水帘的多个子区域的多个子水压信息。

需要说明的是，通常狭缝沿所述液刀本体的长度方向延伸，因此对应水帘的宽度通常和所述液刀本体的长度接近。为了确保所述水压信息的精确度，需要分别采集水帘不同区域的水压信息。

这里，对于子区域的划分不做具体限定，本领域技术人员能够根据需求，进行灵活选择。

进一步地，所述根据所述状态信息确定所述液刀的目标清洗区域，具体包括：

分别计算每个子水压信息与预设水压值的差值。

确定与所述预设水压值的差值大于预设误差值的所述子水压信息对应的子区域为目标清洗区域。

这里，预设水压值可以根据经验设定，也可以采用下述实施例的方案由液刀自动确定，这里不做限定。预设误差值可以根据液刀精度要求、经验数据等设定，这里不做限定。

通过这样的技术方案，利用压力探针实现目标清洗区域的确定，既能够确定分叉的区域，又能够确定水帘的厚度变化的区域，具有实现方便，精确度高等优势。

在本说明书一个或多个实施例中，如图7所示，所述的清洗方法，还包括响应于液刀流量调整，重新确定所述预设水压值，具体包括：

S701：利用压力探针采集所述水帘的全部子区域对应的多个子水压信息；

S702：响应于所述多个子水压信息的集中程度符合预设集中条件，确定所述多个子水压信息的均值为预设水压值。

可选地，所述集中程度可以采用平均数、众数、中位数等来体现，预设集中条件可以根据集中程度的参数进行具体选择，这里不做限定。

需要说明的是，多个子水压信息不符合预设集中条件时，表明此时水帘的水压差异较大，不符合预设工作条件的要求，需对液刀进行清洗。

在一些实施例中，所述采样组件还包括转向机构和移动机构；其中，所述转向机构连接所述压力探针且被配置为调整所述压力探针相对于所述水帘的流动路径的距离；所述移动机构连接所述转向机构且被配置为驱动所述转向机构沿所述液刀本体的长度方向移动；

所述利用压力探针采集所述水帘的水压信息的步骤包括：

控制所述转向机构调整所述压力探针至所述水帘的流动路径上；

利用所述压力探针采集与其相对的水帘子区域的子水压信息；

控制所述移动机构调整所述压力探针沿所述液刀本体的长度方向移动，并利用所述压力探针采集其余子区域的子水压信息；以及

控制所述转向机构调整所述压力探针远离所述水帘的流动路径。

需要说明的是，所述转向机构和移动机构的结构可采用如前所述的结构，这里不再赘述。

通过这样的技术方案，利用转向机构、移动机构和压力探针，实现对水帘的水压信息的采集。其中，转向机构的使用实现了压力探针相对于水帘的流动路径的距离的调整，达到兼容采集水压信息和液刀正常工作的技术效果。

作为一个可选的实施例，还包括：根据所述移动机构相对于所述液刀本体的位置，确定所述子水压信息和所述子区域的对应关系。这样的方式能够实现简单方便的确定子水压信息和子区域的对应关系。

对于移动机构相对于所述液刀本体的位置，在移动机构初始位置和液刀本体的位置已知的条件下，可以通过移动机构的移动距离来判断，这里不做详述。

需要说明的是，上述对本说明书特定实施例进行了描述。其它实施例在所附权利要求书的范围内。在一些情况下，在权利要求书中记载的动作或步骤可以按照不同于实施例中的顺序来执行并且仍然可以实现期望的结果。另外，在附图中描绘的过程不一定要求示出的特定顺序或者连续顺序才能实现期望的结果。在某些实施方式中，多任务处理和并行处理也是可以的或者可能是有利的。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本公开的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本说明书一个或多个实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。

本说明书一个或多个实施例旨在涵盖落入所附权利要求的宽泛范围之内的所有这样的替换、修改和变型。因此，凡在本说明书一个或多个实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种液刀，其特征在于，包括：

液刀本体，包括注液通道和与所述注液通道连通的狭缝，并被配置为液体经由所述注液通道注入并经所述狭缝流出；以及

超声发生器，设置于所述液刀本体上，并被配置为对流经所述狭缝的液体施加超声波，以清洁所述狭缝。

2.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，多个所述超声发生器沿所述液刀本体的长度方向等间隔设置且作用范围覆盖所述狭缝。

3.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述超声发生器的数量根据所述液刀本体的长度以及所述超声发生器的功率确定。

4.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，还包括：

限位件，包括用于放置所述超声发生器的凸起部；以及

连接件，被配置为连接所述限位件和液刀本体，使得所述超声发生器贴紧所述液刀本体。

5.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述超声发生器表面具有聚四氟乙烯涂层。

6.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，还包括：

采样组件，被配置为采集所述液体经由所述狭缝形成的水帘的状态信息；以及

控制组件，被配置为根据所述状态信息控制所述超声发生器的工作状态。

7.根据权利要求6所述的液刀，其特征在于，所述采样组件包括：

压力探针，被配置为采集所述水帘的水压信息；

转向机构，连接所述压力探针且被配置为调整所述压力探针相对所述水帘的流动路径的距离；以及

移动机构，连接所述转向机构且被配置为驱动所述转向机构沿所述液刀本体的长度方向移动。

8.根据权利要求7所述的液刀，其特征在于，所述转向机构包括第一连接杆、第二连接杆和转向件；所述第一连接杆和所述第二连接杆分别连接所述压力探针和所述移动机构，所述转向件用于调整所述第一连接杆和所述第二连接杆之间的角度。

9.根据权利要求7所述的液刀，其特征在于，所述移动机构包括：

导轨，延伸方向与所述液刀本体的长度方向平行；以及

驱动件，设置于所述导轨上且连接所述转向机构，被配置为驱动所述转向机构沿所述导轨移动。

10.一种液刀的清洗方法，其特征在于，所述液刀包括超声发生器和采样组件，所述清洗方法，包括：

利用采样组件获取液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的状态信息；

根据所述状态信息确定所述液刀的目标清洗区域；以及

控制对应于所述目标清洗区域的超声发生器执行清洗操作。

11.根据权利要求10所述的清洗方法，其特征在于，还包括：

响应于所述清洗操作执行完成，采集所述目标清洗区域的状态信息；

响应于根据所述目标清洗区域的状态信息确定所述目标清洗区域的状态不满足所述液刀的预设工作条件，重复执行所述清洗操作。

12.根据权利要求10所述的清洗方法，其特征在于，所述采样组件包括压力探针；

所述获取液体经由所述液刀的狭缝形成的水帘的状态信息，具体包括：

利用压力探针采集所述水帘的水压信息；其中，所述水压信息包括对应于所述水帘的多个子区域的多个子水压信息；

所述根据所述状态信息确定所述液刀的目标清洗区域，具体包括：

分别计算每个子水压信息与预设水压值的差值；

确定与所述预设水压值的差值大于预设误差值的所述子水压信息对应的子区域为目标清洗区域。

13.根据权利要求12所述的清洗方法，其特征在于，还包括：

响应于液刀流量调整，重新确定所述预设水压值，具体包括：

利用压力探针采集所述水帘的全部子区域对应的多个子水压信息；

响应于所述多个子水压信息的集中程度符合预设集中条件，确定所述多个子水压信息的均值为预设水压值。

14.根据权利要求12所述的清洗方法，其特征在于，所述采样组件还包括转向机构和移动机构；其中，所述转向机构连接所述压力探针且被配置为调整所述压力探针相对于所述水帘的流动路径的距离；所述移动机构连接所述转向机构且被配置为驱动所述转向机构沿所述液刀本体的长度方向移动；

所述利用压力探针采集所述水帘的水压信息的步骤包括：

控制所述转向机构调整所述压力探针至所述水帘的流动路径上；

利用所述压力探针采集与其相对的水帘子区域的子水压信息；

控制所述移动机构调整所述压力探针沿所述液刀本体的长度方向移动，并利用所述压力探针采集其余子区域的子水压信息；以及

控制所述转向机构调整所述压力探针远离所述水帘的流动路径。

15.根据权利要求14所述的清洗方法，其特征在于，还包括：

根据所述移动机构相对于所述液刀本体的位置，确定所述子水压信息和所述子区域的对应关系。

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