JP2019179830A

JP2019179830A - 加工装置

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Publication number: JP2019179830A
Application number: JP2018067874A
Authority: JP
Inventors: 裕樹阿部; Hiroki Abe
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-03-30
Filing date: 2018-03-30
Publication date: 2019-10-17
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Abstract

【課題】板状ワーク下面を洗浄時に、作業者が洗浄部材の清掃を行わずとも、綺麗な洗浄部材でワークを洗浄し続けられるようにする。【解決手段】保持手段３０で保持したワークを研削する手段７と、加工後ワークを保持面３００ａに直交方向で保持面３００ａから離間させる搬出手段４と、ワーク下面を洗浄する機構８と、保持面方向に搬出手段４と洗浄機構８とを相対移動させる手段１４とを備え、洗浄機構８は、移動手段１４の移動方向に対し交差する方向で且つ保持面３００ａに平行に延在するロール洗浄部材８０と、洗浄部材回転手段８１と、ロール洗浄部材８０の側面一部を延在方向に露出させた露出部を形成しロール洗浄部材８０の露出部以外を水没させる桶８２と、桶８２に貯水する水供給源８３と、を備え、水を桶８２上部から溢れさせつつ桶８２内で回転するロール洗浄部材８０の露出部に搬出手段４が保持するワーク下面を当接させ洗浄する加工装置１。【選択図】図２

Description

本発明は、板状ワークを加工する加工装置に関する。

板状ワークを研削する研削装置は、保持テーブルの保持面で保持した板状ワークを、研削砥石を環状に配設した研削ホイールを回転させ研削砥石で研削している。そして、研削した板状ワークを保持テーブルから離脱させる前に保持テーブル上で被研削面を洗浄し、その後、搬出手段で板状ワークを保持し、保持テーブルから板状ワークを離間させ、保持テーブルに保持されていた板状ワークの下面（被保持面）を洗浄ブラシ（例えば、特許文献１参照）や洗浄スポンジで洗浄している。

特開２００３−０４５８４１号公報

しかし、板状ワークの下面の洗浄において、板状ワークに付着していたゴミが洗浄ブラシ又は洗浄スポンジに付着する。そして、そのゴミが板状ワークに再付着することで、板状ワークが十分に洗浄された状態にならないことがある。これを防ぐために、作業者が洗浄ブラシ又は洗浄スポンジの清掃を定期的に行っている。
よって、加工後の板状ワークの下面（被保持面）を洗浄する場合においては、作業者が洗浄ブラシ又は洗浄スポンジ等の洗浄部材の清掃作業を行わなくとも、綺麗な洗浄部材で板状ワークを継続して洗浄し続けることができるようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、保持手段の保持面で保持した板状ワークを研削砥石で研削または研磨パッドで研磨する加工手段と、該加工手段で加工された板状ワークを該保持面に直交する方向で該保持面から離間させる搬出手段と、該搬出手段が保持する板状ワークの下面を洗浄する洗浄機構と、該保持面方向に該搬出手段と該洗浄機構とを相対的に移動させる移動手段と、を備えた加工装置であって、該洗浄機構は、該移動手段の移動方向に対して交差する方向で且つ該保持面に平行に延在する円筒状のロール洗浄部材と、該ロール洗浄部材の中心軸を軸に回転させる回転手段と、該ロール洗浄部材の側面の一部を延在方向に細長く露出させた露出部を形成すると共に該ロール洗浄部材の該露出部以外を収容し水没させる桶と、該桶に貯水する水供給手段と、を備え、該水供給手段により供給される水を該桶の上部から溢れさせながら該桶内で回転する該ロール洗浄部材の該露出部に該搬出手段が保持する該板状ワークの下面を当接させ、該板状ワークの下面を洗浄する加工装置である。

上記加工装置は、前記ロール洗浄部材の延在方向に平行に延び、且つ板状ワークを洗浄する時の前記搬出手段に対する前記洗浄機構の進行方向において該洗浄機構の後方側に配設され、該搬出手段が保持した板状ワークにエアを噴射するエア噴射手段を備え、該洗浄機構により洗浄された板状ワークの下面をエアで乾燥させると好ましい。

本発明に係る加工装置は、搬出手段が保持する板状ワークの下面を洗浄する洗浄機構と、保持面方向に搬出手段と洗浄機構とを相対的に移動させる移動手段と、を備えた加工装置であって、洗浄機構は、移動手段の移動方向に対して交差する方向で且つ保持面に平行に延在する円筒状のロール洗浄部材と、ロール洗浄部材の中心軸を軸に回転させる回転手段と、ロール洗浄部材の側面の一部を延在方向に細長く露出させた露出部を形成すると共にロール洗浄部材の露出部以外を収容し水没させる桶と、桶に貯水する水供給手段と、を備え、水供給手段により供給される水を桶の上部から溢れさせながら桶内で回転するロール洗浄部材の露出部に搬出手段が保持する板状ワークの下面を当接させ、板状ワークの下面を洗浄するため、ワーク洗浄中にロール洗浄部材に付着したゴミを桶の水中で濯ぎ落として、洗浄中にロール洗浄部材から板状ワークにゴミを再付着させないようにして、綺麗なロール洗浄部材で継続して板状ワークの下面を洗浄できる。

加工装置は、ロール洗浄部材の延在方向に平行に延び、且つ板状ワークを洗浄する時の前記搬出手段に対する前記洗浄機構の進行方向において該洗浄機構の後方側に配設され、搬出手段が保持した板状ワークにエアを噴射するエア噴射手段を備えることで、ロール洗浄部材による洗浄とともに板状ワークの下面をエアで乾燥させることができるため、移動手段による板状ワークの一方向の洗浄送りで板状ワークの下面を洗浄及び乾燥させて洗浄時間を短縮することができる。

加工装置の一例を示す斜視図である。洗浄機構及びエア噴射手段の一例を拡大して示す斜視図である。洗浄機構による板状ワークの下面の洗浄を開始した状態を示す斜視図である。洗浄機構により板状ワークの下面を洗浄し、エア噴射手段により板状ワークの下面を乾燥している状態を示す断面図である。

図１に示す加工装置１は、保持手段３０に保持された板状ワークＷを研削砥石７４０を備える加工手段７により研削加工する装置であり、Ｙ軸方向に延びるベース１０と、ベース１０上の後部側（＋Ｙ方向側）に立設されたコラム１１とを備えている。なお、加工装置１は、回転可能に装着された研磨パッドによって板状ワークＷに研磨加工を施すことができる研磨装置であってもよい。

例えば外形が円形の保持手段３０は、ポーラス部材等からなり板状ワークＷを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部３００の露出面である保持面３００ａに伝達されることで、保持手段３０は保持面３００ａ上で板状ワークＷを吸引保持できる。
また、保持手段３０は、保持手段３０と共に移動可能なカバー３９により周囲を囲まれつつ、保持手段３０の下方に配設された回転手段３４によりＺ軸方向の軸心周りに回転可能となっている。

保持手段３０、カバー３９、及びカバー３９に連結された蛇腹カバー３９ａの下方には、保持手段３０を保持面３００ａ方向（Ｙ軸方向）に移動させる移動手段１４が配設されている。移動手段１４は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ１４０と、ボールネジ１４０と平行に配設された一対のガイドレール１４１と、ボールネジ１４０に連結しボールネジ１４０を回動させるモータ１４２と、内部に備えるナットがボールネジ１４０に螺合し底部がガイドレール１４１上を摺動する可動板１４３とを備えており、モータ１４２がボールネジ１４０を回動させると、これに伴い可動板１４３がガイドレール１４１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動板１４３上に回転手段３４を介して配設された保持手段３０及びカバー３９がＹ軸方向に移動する。また、蛇腹カバー３９ａは保持手段３０の移動に伴ってＹ軸方向に伸縮する。

コラム１１の前面には加工手段７を保持手段３０の保持面３００ａに対して離間又は接近するＺ軸方向（鉛直方向）に加工送りする加工送り手段５が配設されている。加工送り手段５は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の上端に連結しボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し側部がガイドレール５１に摺接する昇降板５３とを備えており、モータ５２がボールネジ５０を回動させることに伴い昇降板５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板５３に固定された加工手段７がＺ軸方向に加工送りされる。

保持手段３０に保持された板状ワークＷを研削加工する加工手段７は、軸方向がＺ軸方向である回転軸７０と、回転軸７０を回転可能に支持するハウジング７１と、回転軸７０を回転駆動するモータ７２と、回転軸７０の下端に接続された円形板状のマウント７３と、マウント７３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール７４と、ハウジング７１を支持し加工送り手段５の昇降板５３にその側面が固定されたホルダ７５とを備える。

研削ホイール７４の底面には、略直方体形状の複数の研削砥石７４０が環状に固定されている。回転軸７０の内部には、研削水供給源に連通し研削水の通り道となる流路が、回転軸７０の軸方向に貫通して設けられており、流路は、マウント７３を通り、研削ホイール７４の底面において研削砥石７４０に向かって研削水を噴出できるように開口している。
なお、加工手段７は、不織布等からなる研磨パッドを備える研磨手段であってもよい。

ベース１０上のコラム１１の前方かつ加工手段７の下方となる位置には、例えば、箱状の加工室１６が配設されている。加工室１６を構成する側板１６０には搬入出口１６１が形成されており、搬入出口１６１を保持手段３０が通過することで、保持手段３０を加工室１６内に収容することができる。搬入出口１６１は図示しないシャッターによって開閉可能となっている。加工室１６を構成する天板１６２には、加工手段７を加工室１６内に進入させる円形状の加工手段進入口１６３が形成されている。

ベース１０上の保持手段３０の移動経路脇には、加工手段７で加工された板状ワークＷを保持手段３０の保持面３００ａに直交する方向（Ｚ軸方向）で保持面３００ａから離間させる搬出手段４が配設されている。
搬出手段４は、例えば、ベース１０上に立設され後述する保持パッド４２を所定の高さ位置に移動可能とするシリンダ機構４０と、シリンダ機構４０の上端側に固定され保持手段３０の移動経路の上方側に水平（＋Ｘ方向）に延びるアーム部４１と、アーム部４１の先端側の下面に配設され板状ワークＷを吸引保持する保持パッド４２とを備えている。

保持パッド４２は、例えば、板状ワークＷの外形に合わせた矩形状をしており、その下面が、ポーラス部材等からなり板状ワークＷを吸引保持する保持面となる。保持パッド４２の該保持面は、吸引管４２１を介して真空発生装置等の吸引源４３に連通している。

図１、２に示すように、加工装置１は、搬出手段４が保持する板状ワークＷの下面Ｗａを洗浄する洗浄機構８を備えている。洗浄機構８は、保持手段３０の近傍に配設され、保持手段３０と共に移動手段１４によってＹ軸方向に往復移動可能となっている。即ち、洗浄機構８は、例えば、カバー３９の上面上に配設されている。
なお、洗浄機構８の配設箇所は本実施形態に示す例に限定されず、例えば、保持手段３０の枠体３０１の側面に連結部材を介して所定距離−Ｙ方向に離した状態で取り付けられていてもよい。

図２に拡大して示す洗浄機構８は、移動手段１４が保持手段３０を移動させる方向（Ｙ軸方向）に対して交差（直交差）する方向（Ｘ軸方向）で且つ保持手段３０の保持面３００ａに平行に延在する円筒状のロール洗浄部材８０と、ロール洗浄部材８０の中心軸を軸に回転させる回転手段８１と、ロール洗浄部材８０の側面の一部を延在方向（Ｘ軸方向）に細長く露出させた露出部８０１を形成すると共にロール洗浄部材８０の露出部８０１以外を収容し水没させる桶８２と、桶８２に洗浄水を供給して貯水する水供給手段８３と、を備えている。

Ｘ軸方向に延びる円筒状のロール洗浄部材８０は、本実施形態においては、所定の厚みを備えるスポンジを円筒状に成型したものであり、板状ワークＷの長手方向の長さ以上の長さを備えている。スポンジとしては、例えば、ポリウレタンを発泡成形して作られるスポンジ、ＰＶＡスポンジ、又はゴムに発泡剤等を練り込み成形されるスポンジ等を用いる。なお、ロール洗浄部材８０は、スポンジに限定されるものではなく、例えば、弾力性を備える化学繊維等を直毛状に形成し密集させ、さらにロール状に形成した洗浄ブラシであってもよい。
ロール洗浄部材８０は、その筒内に回転手段８１の回転シャフト８１０が挿入され、回転シャフト８１０に対して固定された状態となっている。

桶８２は、例えば、略長方形状の底板８２ａと、底板８２ａの四辺から立設される４枚の側板とからなり上部が開口している。例えば、桶８２を構成する２枚の側板８２ｂ、８２ｃ（桶８２の長手方向（Ｘ軸方向）において対面する側板８２ｂ、８２ｃ）には、軸受けを備える図示しない貫通孔がそれぞれ厚さ方向に向かって貫通形成されており、ロール洗浄部材８０が固定された回転シャフト８１０が、この貫通孔を通して桶８２に挿通されている。

桶８２の容積は、例えば、ロール洗浄部材８０全体を収容可能な大きさとなっている。図２に示すように、ロール洗浄部材８０が装着された回転シャフト８１０の桶８２内の配設高さ位置が調整されることで、ロール洗浄部材８０の側面の一部が延在方向（Ｘ軸方向）に細長く桶８２内からはみ出し露出した露出部８０１となる。また、ロール洗浄部材８０と桶８２の底板８２ａとの間には所定の大きさの隙間（図４参照）が形成された状態になる。

回転シャフト８１０の＋Ｘ方向側の一端には、カップリング等を介してモータ８１１が連結されている。モータ８１１が回転シャフト８１０を回転させることで、回転シャフト８１０に装着されたロール洗浄部材８０も桶８２内でＸ軸方向の軸心周りに回転する。

図２、４に示すように、桶８２は、例えば、桶８２と同方向に延在しカバー３９上に固定された一対の支持台８６の上に固定されており、桶８２の下方の隙間には、可撓性を有するチューブ等からなる水供給管８３０が配設されている。水供給管８３０は、ポンプ等から構成され純水等の洗浄水を供給可能な水供給源８３１に連通しており、水供給管８３０と水供給源８３１とにより桶８２に水を貯水する水供給手段８３が構成される。図４に示すように、例えば、桶８２の底板８２ａには、桶８２の延在方向に等間隔空けて複数の水供給口８２０が形成されており、各水供給口８２０は水供給管８３０に連通している。

図２、４に示すように、本実施形態における加工装置１は、ロール洗浄部材８０の延在方向（Ｘ軸方向）に平行に延び、且つ板状ワークＷを洗浄する時の搬出手段４に対する洗浄機構８の進行方向（＋Ｙ方向）において洗浄機構８の後方側（−Ｙ方向側）に配設され、搬出手段４が保持した板状ワークＷにエアを噴射するエア噴射手段２を備える。

エア噴射手段２は、例えば、桶８２の側板に配設されている。エア噴射手段２は、例えば、Ｘ軸方向に延びる台部２０と、台部２０の上面に複数所定間隔を空けて並ぶように開口する噴射口２１と、コンプレッサー及び圧縮エア貯留タンク等からなり各噴射口２１に圧縮エアを供給するエア供給源２２と、噴射口２１から噴射したエアを例えばロール洗浄部材８０側に導く誘導板２３とを備えている。
台部２０と同程度の長さを備える誘導板２３は、例えば、台部２０の上面に固定されており、ロール洗浄部材８０側に向かってなだらかに湾曲している。

各噴射口２１は、図２に示すような丸穴状に形成される例に限定されず、例えば、細幅のスリット状に形成されていてもよいし、台部２０の上面に一本連続的に直線状に延びる細幅のスリットに形成されていてもよい。
また、各噴射口２１は真上を向いているのではなく、＋Ｙ方向側の斜め上方に向かうように開口していてもよいし、誘導板２３を備えないものとしてもよい。

例えば、カバー３９上の保持手段３０と洗浄機構８との間には、区切り壁３８が配設されており、区切り壁３８は、洗浄機構８の桶８２から溢れ出た研削屑等のゴミが混じった洗浄水が保持手段３０側に流れていくことを防ぐ。

以下に、保持手段３０に保持された板状ワークＷを研削加工する場合の加工装置１の動作について説明する。図１に示す板状ワークＷは、例えば、外形が矩形状の大型の基板であり、図１において下方を向いている板状ワークＷの下面Ｗａには回路が形成されており、上方を向いている板状ワークＷの上面Ｗｂは、研削加工が施される被研削面となる。なお、板状ワークＷは図示の例に限定されるものではなく、円形板状の半導体ウェーハ等であってもよい。

まず、板状ワークＷが保持手段３０の保持面３００ａに載置され吸引保持される。次いで、移動手段１４が、板状ワークＷを保持した保持手段３０を＋Ｙ方向へ移動させる。また、加工室１６の図示しないシャッターが開き、保持手段３０が側板１６０の搬入出口１６１を通り加工室１６内に搬入された後、シャッターが閉じられる。

板状ワークＷを保持した保持手段３０が加工手段７の下まで移動して、研削砥石７４０の回転軌道が板状ワークＷの回転中心を通るように板状ワークＷと加工手段７との位置合わせがなされる。
図１に示すモータ７２により回転軸７０が回転駆動されるのに伴って、研削ホイール７４が回転する。また、加工手段７が図１に示す加工送り手段５により−Ｚ方向へと送られ、研削ホイール７４が加工手段進入口１６３を通り加工室１６内に進入していく。そして、回転する研削砥石７４０が板状ワークＷの上面Ｗｂに当接することで研削加工が行われる。また、回転手段３４が保持手段３０を回転させることで保持面３００ａ上に保持された板状ワークＷも回転するので、板状ワークＷの上面Ｗｂの全面が研削される。研削加工中は、研削水が研削砥石７４０と板状ワークＷとの接触部位に対して供給され、接触部位の冷却・洗浄がなされる。

板状ワークＷの上面Ｗｂが所定量研削された後、加工手段７が加工送り手段５により＋Ｚ方向へと引き上げられて、研削砥石７４０が板状ワークＷから離間する。次いで、移動手段１４が、研削済みの板状ワークＷを保持した保持手段３０を−Ｙ方向へ移動させる。また、加工室１６の図示しないシャッターが開き、保持手段３０が図示しない搬入出口１６１を通り加工室１６外に搬出される。

移動手段１４が、板状ワークＷを吸引保持した保持手段３０を搬出手段４の真下の位置まで−Ｙ方向に移動させる。
図３に示すように、シリンダ機構４０が保持パッド４２を降下させて、保持パッド４２の保持面と板状ワークＷの上面Ｗｂとを接触させる。吸引源４３が作動して生み出される吸引力が保持パッド４２の保持面に伝達されることで、保持パッド４２が板状ワークＷを吸引保持する。保持手段３０による板状ワークＷの吸引保持が解除され、搬出手段４が、加工手段７で加工された板状ワークＷを保持手段３０の保持面３００ａから＋Ｚ方向に離間させる

図４に示すように、水供給源８３１が水供給管８３０に洗浄水を送出し、該洗浄水が桶８２内に貯水されていく。桶８２内が洗浄水で満たされた後も、水供給源８３１からの洗浄水の供給が継続してなされることで、洗浄水が桶８２の上部から溢れ出る状態になり、ロール洗浄部材８０の露出部８０１以外が桶８２に収容され水没した状態になる。また、ロール洗浄部材８０全体が洗浄水を十分に含んだ状態になる。

板状ワークＷを吸引保持する搬出手段４の保持パッド４２が、板状ワークＷの下面Ｗａがロール洗浄部材８０の露出部８０１に接触するように、シリンダ機構４０（図３参照）により所定の高さ位置に位置付けられる。また、図４に示すように、移動手段１４が、洗浄機構８を＋Ｙ方向に所定の洗浄送り速度で移動させることで、ロール洗浄部材８０の露出部８０１が、板状ワークＷの下面Ｗａに対して接触していく。即ち、露出部８０１が板状ワークＷに押し付けられ板状ワークＷの下面Ｗａに合わせて変形していき、その接触面積が最大化される。
この状態で、モータ８１１が回転シャフト８１０を回転させることで、回転シャフト８１０と共に回転するロール洗浄部材８０が板状ワークＷの下面Ｗａを−Ｙ方向側から＋Ｙ方向側に向かって洗浄していく。

ロール洗浄部材８０の露出部８０１が板状ワークＷの下面Ｗａを洗浄していくのに伴って、回転するロール洗浄部材８０の側面には、板状ワークＷに付着していた研削屑等のゴミが付着する。このロール洗浄部材８０に付着したゴミは、ロール洗浄部材８０の回転に伴って桶８２内に入り、桶８２に貯水されている洗浄水によりロール洗浄部材８０の側面から濯ぎ落とされる。該ゴミが、洗浄水よりも比重が小さい場合には、桶８２から溢れ出る洗浄水と共に桶８２の外部に流下するので、ロール洗浄部材８０に再び付着することはない。したがって、水供給源８３１から洗浄水が桶８２に供給され続けることで、桶８２内は一定量の清潔な洗浄水が貯水された状態が保たれる。
一方で、該ゴミが洗浄水よりも比重が大きい場合には、該ゴミは桶８２の底板８２ａに沈殿しないように、洗浄水を桶８２の底板８２ａ側から供給させ、ゴミが沈殿する前に桶８２から洗浄水と共に溢れ出させ、桶８２の内部を綺麗な状態で維持させ、ゴミをロール洗浄部材８０に再び付着させないようにする。また、板状ワークＷを１枚洗浄するごとに桶８２の洗浄水を排水させる排水弁（不図示）を備えてもよい。

本実施形態においては、上記洗浄機構８による板状ワークＷの下面Ｗａの洗浄を行うと共に、板状ワークＷの洗浄後の下面Ｗａを洗浄機構８と共に＋Ｙ方向に移動するエア噴射手段２により乾燥させていく。即ち、エア供給源２２が作動して圧縮エアを台部２０に供給し、該エアを噴射口２１から板状ワークＷの下面Ｗａに向かって噴射させる。その結果、洗浄された板状ワークＷの下面Ｗａに付着していた洗浄水が該エアにより吹き飛ばされ、板状ワークＷの下面Ｗａが乾燥する。即ち、板状ワークＷの下面Ｗａの洗浄された箇所が後から追いかけられるように乾燥されていく。

洗浄機構８及びエア噴射手段２が、搬出手段４で保持された板状ワークＷの下方を通過しきる＋Ｙ方向の所定の位置まで移動することで、板状ワークＷの下面Ｗａが洗浄され乾燥された状態になる。

上記のように本発明に係る加工装置１は、搬出手段４が保持する板状ワークＷの下面Ｗａを洗浄する洗浄機構８と、Ｙ軸方向に搬出手段４と洗浄機構８とを相対的に移動させる移動手段１４と、を備え、洗浄機構８は、移動手段１４の移動方向に対して交差する方向で且つ保持手段３０の保持面３００ａに平行に延在する円筒状のロール洗浄部材８０と、ロール洗浄部材８０の中心軸を軸に回転させる回転手段８１と、ロール洗浄部材８０の側面の一部を延在方向に細長く露出させた露出部８０１を形成すると共にロール洗浄部材８０の露出部８０１以外を収容し水没させる桶８２と、桶８２に貯水する水供給手段８３と、を備え、水供給手段８３により供給される水を桶８２の上部から溢れさせながら桶８２内で回転するロール洗浄部材８０の露出部８０１に搬出手段４が保持する板状ワークＷの下面Ｗａを当接させ、板状ワークＷの下面Ｗａを洗浄するため、ワーク洗浄中にロール洗浄部材８０に付着したゴミを桶８２の水中で濯ぎ落として、洗浄中にロール洗浄部材８０から板状ワークＷにゴミを再付着させないようにして、綺麗なロール洗浄部材８０で継続して板状ワークＷの下面Ｗａを洗浄できる。

加工装置１は、ロール洗浄部材８０の延在方向に平行に延び、且つ板状ワークＷを洗浄する時の搬出手段４に対する洗浄機構８の進行方向（＋Ｙ方向）において洗浄機構８の後方側に配設され、搬出手段４が保持した板状ワークＷの下面Ｗａにエアを噴射するエア噴射手段２を備えることで、ロール洗浄部材８０により洗浄された板状ワークＷの下面Ｗａを後から追うようにエアで乾燥させていくことができるため、移動手段１４による板状ワークＷの一方向の洗浄送り（＋Ｙ方向への１パスの洗浄送り）で板状ワークＷの下面Ｗａを洗浄及び乾燥させて洗浄時間を短縮することができる。

なお、本発明に係る加工装置１は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている装置の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
例えば、搬出手段４をＹ軸方向に移動可能な構成として、板状ワークＷの下面Ｗａの洗浄時に、保持手段３０はＹ軸方向に移動させず、板状ワークＷを保持する搬出手段４を保持手段３０に対して相対的に移動させて洗浄を行ってもよい。

Ｗ：板状ワーク
１：加工装置１０：ベース１１：コラム
３０：保持手段３００：吸着部３００ａ：保持面３０１：枠体３９：カバー
３９ａ：蛇腹カバー３８：区切り壁
１４：移動手段１４０：ボールネジ１４１：ガイドレール１４２：モータ１４３：可動板
５：加工送り手段７：加工手段７４０：研削砥石
１６：加工室１６０：側板１６１：搬入出口１６２：天板１６３：加工手段進入口
４：搬出手段４０：シリンダ機構４１：アーム部４２：保持パッド４２１：吸引管４３：吸引源
８：洗浄機構８０：ロール洗浄部材８０１：露出部
８１：回転手段８１０：回転シャフト８１１：モータ
８２：桶８２ａ：底板８２ｂ、８２ｃ：側板８２０：水供給口
８３：水供給手段８３０：水供給管８３１：水供給源
８６：支持台
２：エア噴射手段

Claims

保持手段の保持面で保持した板状ワークを研削砥石で研削または研磨パッドで研磨する加工手段と、該加工手段で加工された板状ワークを該保持面に直交する方向で該保持面から離間させる搬出手段と、該搬出手段が保持する板状ワークの下面を洗浄する洗浄機構と、該保持面方向に該搬出手段と該洗浄機構とを相対的に移動させる移動手段と、を備えた加工装置であって、
該洗浄機構は、該移動手段の移動方向に対して交差する方向で且つ該保持面に平行に延在する円筒状のロール洗浄部材と、該ロール洗浄部材の中心軸を軸に回転させる回転手段と、該ロール洗浄部材の側面の一部を延在方向に細長く露出させた露出部を形成すると共に該ロール洗浄部材の該露出部以外を収容し水没させる桶と、該桶に貯水する水供給手段と、を備え、
該水供給手段により供給される水を該桶の上部から溢れさせながら該桶内で回転する該ロール洗浄部材の該露出部に該搬出手段が保持する該板状ワークの下面を当接させ、該板状ワークの下面を洗浄する加工装置。
前記ロール洗浄部材の延在方向に平行に延び、且つ板状ワークを洗浄する時の前記搬出手段に対する前記洗浄機構の進行方向において該洗浄機構の後方側に配設され、該搬出手段が保持した板状ワークにエアを噴射するエア噴射手段を備え、該洗浄機構により洗浄された板状ワークの下面をエアで乾燥させる請求項１記載の加工装置。