CN110315435A - 加工装置 - Google Patents

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Abstract

提供加工装置，其利用干净的清洗部件持续清洗板状工件的下表面。加工装置(1)具有：单元(7)，其对保持单元所保持的工件进行磨削；搬出单元(4)，其使加工后的工件在与保持面垂直的方向上远离保持面；机构(8)，其对工件的下表面进行清洗；和单元(14)，其使搬出单元和清洗机构在保持面方向上相对移动，清洗机构具有：辊清洗部件(80)，其在与移动单元的移动方向交叉的方向上与保持面平行地延伸；清洗部件旋转单元(81)；桶(82)，其形成使辊清洗部件的侧面一部分在延伸方向上露出而得的露出部并且使辊清洗部件的除露出部以外的部位浸没于水中；和水提供源(83)，其向桶贮水，一边使水从桶上部溢出一边使工件下表面与在桶内旋转的辊清洗部件的露出部抵接从而进行清洗。

Description

加工装置
技术领域
本发明涉及对板状工件进行加工的加工装置。
背景技术
对板状工件进行磨削的磨削装置中，使呈环状配设有磨削磨具的磨削磨轮旋转而利用磨削磨具对保持工作台的保持面所保持的板状工件进行磨削。并且，在使磨削后的板状工件从保持工作台脱离之前，在保持工作台上对被磨削面进行清洗，然后利用搬出单元对板状工件进行保持，使板状工件远离保持工作台，利用清洗刷(例如，参照专利文献1)或清洗海绵对曾被保持工作台保持过的板状工件的下表面(被保持面)进行清洗。
专利文献1：日本特开2003-045841号公报
但是，在板状工件的下表面的清洗中，附着于板状工件的污染物会附着于清洗刷或清洗海绵。并且，有时由于该污染物会再次附着于板状工件而无法使板状工件成为被充分清洗的状态。为了防止该情况，作业者定期进行清洗刷或清洗海绵的清扫。
由此，在对加工后的板状工件的下表面(被保持面)进行清洗的情况下，存在如下的课题：即使作业者不进行清洗刷或清洗海绵等清洗部件的清扫作业，也能够利用干净的清洗部件持续对板状工件进行清洗。
发明内容
本发明提供一种加工装置，即使作业者不进行清洗部件的清扫作业，也能够利用干净的清洗部件持续对板状工件进行清洗。
本发明的加工装置具有：加工单元，其对保持单元的保持面上所保持的板状工件利用磨削磨具进行磨削或利用研磨垫进行研磨；搬出单元，其使利用该加工单元进行了加工的板状工件在与该保持面垂直的方向上远离该保持面；清洗机构，其对该搬出单元所保持的板状工件的下表面进行清洗；以及移动单元，其使该搬出单元和该清洗机构在该保持面方向上相对移动，其中，该清洗机构具有：圆筒状的辊清洗部件，其在与该移动单元的移动方向交叉的方向上与该保持面平行地延伸；旋转单元，其以该辊清洗部件的中心轴为轴进行旋转；桶，其形成使该辊清洗部件的侧面的一部分在延伸方向上细长地露出而得的露出部，并且收纳该辊清洗部件的除该露出部以外的部位并使该部位浸没于水；以及水提供单元，其向该桶贮水，一边使该水提供单元所提供的水从该桶的上部溢出，一边使该搬出单元所保持的该板状工件的下表面与在该桶内进行旋转的该辊清洗部件的该露出部抵接，对该板状工件的下表面进行清洗。
优选上述加工装置具有空气喷射单元，该空气喷射单元与所述辊清洗部件的延伸方向平行地延伸并且在对板状工件进行清洗时的所述清洗机构相对于所述搬出单元的行进方向上配设在该清洗机构的后方侧，该空气喷射单元对该搬出单元所保持的板状工件喷射空气，利用空气使通过该清洗机构进行了清洗的板状工件的下表面干燥。
本发明的加工装置具有：清洗机构，其对搬出单元所保持的板状工件的下表面进行清洗；以及移动单元，其使搬出单元和清洗机构在保持面方向上相对移动，其中，清洗机构具有：圆筒状的辊清洗部件，其在与移动单元的移动方向交叉的方向上与保持面平行地延伸；旋转单元，其以辊清洗部件的中心轴为轴进行旋转；桶，其形成使辊清洗部件的侧面的一部分在延伸方向上细长地露出而得的露出部，并且收纳辊清洗部件的除露出部以外的部位并使部分浸没于水；以及水提供单元，其向桶贮水，一边使水提供单元所提供的水从桶的上部溢出，一边使搬出单元所保持的板状工件的下表面与在桶内进行旋转的辊清洗部件的露出部抵接，对板状工件的下表面进行清洗，因此在工件清洗中，附着于辊清洗部件的污染物在桶的水中被洗掉，在清洗中，污染物不会从辊清洗部件再次附着于板状工件，从而能够利用干净的辊清洗部件继续对板状工件的下表面进行清洗。
加工装置具有空气喷射单元，该空气喷射单元与辊清洗部件的延伸方向平行地延伸并且在对板状工件进行清洗时的所述清洗机构相对于所述搬出单元的行进方向上配设在该清洗机构的后方侧，空气喷射单元对搬出单元所保持的板状工件喷射空气，从而能够与辊清洗部件的清洗一起利用空气对板状工件的下表面进行干燥，因此能够在移动单元的板状工件的一个方向的清洗进给中对板状工件的下表面进行清洗和干燥，从而能够缩短清洗时间。
附图说明
图1是示出加工装置的一例的立体图。
图2是将清洗机构和空气喷射单元的一例放大而示出的立体图。
图3是示出已利用清洗机构开始进行板状工件的下表面的清洗的状态的立体图。
图4是示出通过清洗机构对板状工件的下表面进行清洗并通过空气喷射单元对板状工件的下表面进行干燥的状态的剖视图。
标号说明
W：板状工件；1：加工装置；10：基座；11：柱；30：保持单元；300：吸附部；300a：保持面；301：框体；39：罩；39a：波纹罩；38：分隔壁；14：移动单元；140：滚珠丝杠；141：导轨；142：电动机；143：可动板；5：加工进给单元；7：加工单元；740：磨削磨具；16：加工室；160：侧板；161：搬入搬出口；162：顶板；163：加工单元进入口；4：搬出单元；40：气缸机构；41：臂部；42：保持垫；421：吸引管；43：吸引源；8：清洗机构；80：辊清洗部件；801：露出部；81：旋转单元；810：旋转轴；811：电动机；82：桶；82a：底板；82b、82c：侧板；820：水提供口；83：水提供单元；830：水提供管；831：水提供源；86：支承台；2：空气喷射单元。
具体实施方式
图1所示的加工装置1是通过具有磨削磨具740的加工单元7对保持单元30所保持的板状工件W进行磨削加工的装置，加工装置1具有：沿Y轴方向延伸的基座10；以及竖立设置于基座10上的后部侧(+Y方向侧)的柱11。另外，加工装置1也可以是能够通过安装成能够旋转的研磨垫对板状工件W实施研磨加工的研磨装置。
例如外形为圆形的保持单元30具有：吸附部300，其由多孔部件等构成，对板状工件W进行吸附；以及框体301，其对吸附部300进行支承。吸附部300与真空产生装置等未图示的吸引源连通，通过吸引源进行吸引而产生的吸引力传递至作为吸附部300的露出面的保持面300a，从而保持单元30能够在保持面300a上对板状工件W进行吸引保持。
另外，保持单元30通过能够与保持单元30一起移动的罩39围绕周围，并且通过配设于保持单元30的下方的旋转单元34能够绕Z轴方向的轴心旋转。
在保持单元30、罩39以及与罩39连结的波纹罩39a的下方配设有使保持单元30在保持面300a方向(Y轴方向)上移动的移动单元14。移动单元14具有：滚珠丝杠140，其具有Y轴方向的轴心；一对导轨141，它们配设成与滚珠丝杠140平行；电动机142，其与滚珠丝杠140连结，使滚珠丝杠140转动；以及可动板143，其内部所具有的螺母与滚珠丝杠140螺合，可动板143的底部在导轨141上滑动，当电动机142使滚珠丝杠140转动时，与此相伴，可动板143被导轨141引导而在Y轴方向上移动，从而借助旋转单元34而配设在可动板143上的保持单元30和罩39在Y轴方向上移动。另外，波纹罩39a随着保持单元30的移动而在Y轴方向上伸缩。
在柱11的前表面上配设有在Z轴方向(铅垂方向)上进行加工进给的加工进给单元5，该加工进给单元5使加工单元7相对于保持单元30的保持面300a远离或接近。加工进给单元5具有：滚珠丝杠50，其具有Z轴方向的轴心；一对导轨51，它们配设成与滚珠丝杠50平行；电动机52，其与滚珠丝杠50的上端连结，使滚珠丝杠50转动；以及升降板53，其内部的螺母与滚珠丝杠50螺合，升降板53的侧部与导轨51滑动接触，随着电动机52使滚珠丝杠50转动，升降板53被导轨51引导而在Z轴方向上往复移动，固定于升降板53的加工单元7在Z轴方向上进行加工进给。
对保持单元30所保持的板状工件W进行磨削加工的加工单元7具有：旋转轴70，其轴向是Z轴方向；壳体71，其将旋转轴70支承为能够旋转；电动机72，其对旋转轴70进行旋转驱动；圆形板状的安装座73，其与旋转轴70的下端连接；磨削磨轮74，其以能够装卸的方式安装于安装座73的下表面上；以及支托75，其对壳体71进行支承，支托75的侧面固定于加工进给单元5的升降板53上。
在磨削磨轮74的底面上呈环状固定有大致长方体形状的多个磨削磨具740。在旋转轴70的内部，在旋转轴70的轴向上贯通而设置有与磨削水提供源连通的作为磨削水的通道的流路，流路通过安装座73在磨削磨轮74的底面上开口，以便能够朝向磨削磨具740喷出磨削水。
另外，加工单元7可以是具有由无纺布等构成的研磨垫的研磨单元。
在基座10上的柱11的前方且加工单元7的下方的位置例如配设有箱状的加工室16。在构成加工室16的侧板160上形成有搬入搬出口161，保持单元30从搬入搬出口161通过，从而能够将保持单元30收纳在加工室16内。搬入搬出口161能够通过未图示的挡板进行开闭。在构成加工室16的顶板162上形成有供加工单元7进入至加工室16内的圆形状的加工单元进入口163。
在基座10上的保持单元30的移动路径的一侧配设有搬出单元4，该搬出单元4使利用加工单元7加工后的板状工件W在与保持单元30的保持面300a垂直的方向(Z轴方向)上远离保持面300a。
搬出单元4例如具有：气缸机构40，其竖立设置于基座10上，能够将后述的保持垫42移动到规定的高度位置；臂部41，其固定于气缸机构40的上端侧，在保持单元30的移动路径的上方侧水平(+X方向)地延伸；以及保持垫42，其配设于臂部41的前端侧的下表面上，对板状工件W进行吸引保持。
保持垫42例如形成为与板状工件W的外形相匹配的矩形状，保持垫42的下表面由多孔部件等构成，成为对板状工件W进行吸引保持的保持面。保持垫42的该保持面经由吸引管421而与真空产生装置等吸引源43连通。
如图1、图2所示，加工装置1具有清洗机构8，该清洗机构8对搬出单元4所保持的板状工件W的下表面Wa进行清洗。清洗机构8配设于保持单元30的附近，能够与保持单元30一起通过移动单元14在Y轴方向上往复移动。即，清洗机构8例如配设于罩39的上表面上。
另外，清洗机构8的配设部位不限于本实施方式所示的例子，例如，也可以借助连结部件按照向-Y方向离开规定的距离的状态安装于保持单元30的框体301的侧面上。
在图2中放大示出的清洗机构8具有：圆筒状的辊清洗部件80，其在与移动单元14使保持单元30移动的方向(Y轴方向)交叉(垂直)的方向(X轴方向)上与保持单元30的保持面300a平行地延伸；旋转单元81，其以辊清洗部件80的中心轴为轴进行旋转；桶82，其形成使辊清洗部件80的侧面的一部分在延伸方向(X轴方向)上细长地露出而得的露出部801，并且收纳辊清洗部件80的除露出部801以外的部分并使该部位浸没于水；以及水提供单元83，其向桶82提供清洗水。
沿X轴方向延伸的圆筒状的辊清洗部件80在本实施方式中是将具有规定的厚度的海绵成型为圆筒状而成的，辊清洗部件80具有板状工件W的长度方向的长度以上的长度。作为海绵，例如使用将聚氨酯发泡成型而制作的海绵、PVA海绵、或在橡胶中混炼发泡剂等而成型的海绵等。另外，辊清洗部件80并不限于海绵，例如也可以是将具有弹力性的化学纤维等形成为直毛状并使其密集、进而形成为辊状而成的清洗刷。
辊清洗部件80成为如下的状态：在其筒内插入有旋转单元81的旋转轴810，并相对于旋转轴810固定。
桶82例如由大致长方形状的底板82a和从底板82a的四边竖立设置的四张侧板构成，桶82的上部开口。例如在构成桶82的两张侧板82b、82c(在桶82的长度方向(X轴方向)上面对的侧板82b、82c)上分别朝向厚度方向贯通形成有具有轴承的未图示的贯通孔，固定了辊清洗部件80的旋转轴810通过该贯通孔而贯穿插入至桶82中。
桶82的容积例如成为能够将辊清洗部件80整体收纳的大小。如图2所示，通过调整辊清洗部件80所安装的旋转轴810在桶82内的配设高度位置，从而得到辊清洗部件80的侧面的一部分在延伸方向(X轴方向)上细长地从桶82内探出而露出而得的露出部801。另外，成为在辊清洗部件80与桶82的底板82a之间形成有规定大小的间隙(参照图4)的状态。
在旋转轴810的+X方向侧的一端，借助连接器等而连接有电动机811。电动机811使旋转轴810旋转，从而安装于旋转轴810的辊清洗部件80也在桶82内绕X轴方向的轴心旋转。
如图2、图4所示，桶82例如固定于一对支承台86上，该一对支承台86与桶82在同一方向上延伸并且固定于罩39上，在桶82的下方的间隙中，配设有由具有挠性的管等构成的水提供管830。水提供管830与由泵等构成且能够提供纯水等清洗水的水提供源831连通，通过水提供管830和水提供源831构成向桶82贮存水的水提供单元83。如图4所示，例如在桶82的底板82a上沿桶82的延伸方向隔开等间隔而形成有多个水提供口820，各水提供口820与水提供管830连通。
如图2、图4所示，本实施方式中的加工装置1具有空气喷射单元2，该空气喷射单元2与辊清洗部件80的延伸方向(X轴方向)平行地延伸，且在对板状工件W进行清洗时的清洗机构8相对于搬出单元4的行进方向(+Y方向)上配设于清洗机构8的后方侧(-Y方向侧)，空气喷射单元2对搬出单元4所保持的板状工件W喷射空气。
空气喷射单元2例如配设于桶82的侧板上。空气喷射单元2例如具有：台部20，其沿X轴方向延伸；喷射口21，其在台部20的上表面上按照隔开规定的间隔排列的方式开口有多个；空气提供源22，其由压缩机和压缩空气贮存容器等构成，对各喷射口21提供压缩空气；以及引导板23，其将从喷射口21喷射的空气例如引导至辊清洗部件80侧。
具有与台部20相同程度的长度的引导板23例如固定于台部20的上表面上，朝向辊清洗部件80侧缓缓地弯曲。
各喷射口21不限于形成为图2所示那样的圆孔状的例子，例如也可以形成为细幅的缝状，也可以形成为在台部20的上表面上呈一条连续地直线状延伸的细幅的缝。
另外，各喷射口21也可以不朝向正上方而朝向+Y方向侧的斜上方开口，也可以不具有引导板23。
例如，在罩39上的保持单元30与清洗机构8之间配设有分隔壁38，分隔壁38防止从清洗机构8的桶82溢出的混入有磨削屑等污染物的清洗水流入至保持单元30侧。
以下，说明对保持单元30所保持的板状工件W进行磨削加工的情况下的加工装置1的动作。图1所示的板状工件W例如是外形为矩形状的大型的基板，在图1中在朝向下方的板状工件W的下表面Wa上形成有电路，朝向上方的板状工件W的上表面Wb成为实施磨削加工的被磨削面。另外，板状工件W并不限于图示的例子，也可以是圆形板状的半导体晶片等。
首先，将板状工件W载置于保持单元30的保持面300a上并进行吸引保持。接着，移动单元14使保持着板状工件W的保持单元30向+Y方向移动。另外，将加工室16的未图示的挡板打开，在保持单元30通过侧板160的搬入搬出口161而被搬入至加工室16内之后，将挡板关闭。
将保持着板状工件W的保持单元30移动至加工单元7的下方，按照磨削磨具740的旋转轨迹通过板状工件W的旋转中心的方式进行板状工件W和加工单元7的对位。
通过图1所示的电动机72使旋转轴70旋转驱动，磨削磨轮74随之进行旋转。另外，加工单元7通过图1所示的加工进给单元5向-Z方向进给，磨削磨轮74通过加工单元进入口163而进入至加工室16内。然后，旋转的磨削磨具740与板状工件W的上表面Wb抵接而进行磨削加工。另外，旋转单元34使保持单元30旋转，从而保持于保持面300a上的板状工件W也进行旋转，因此对板状工件W的整个上表面Wb进行磨削。在磨削加工中，将磨削水提供至磨削磨具740与板状工件W的接触部位，进行接触部位的冷却、清洗。
在按照规定的量对板状工件W的上表面Wb进行了磨削之后，加工单元7被加工进给单元5向+Z方向提起，磨削磨具740远离板状工件W。接着，移动单元14使保持着磨削完成的板状工件W的保持单元30向-Y方向移动。另外，将加工室16的未图示的挡板打开，保持单元30通过未图示的搬入搬出口161而被搬出至加工室16外。
移动单元14使吸引保持着板状工件W的保持单元30向-Y方向移动直至搬出单元4的正下方的位置。
如图3所示，气缸机构40使保持垫42下降而使保持垫42的保持面与板状工件W的上表面Wb接触。将吸引源43进行动作而产生的吸引力传递至保持垫42的保持面，从而保持垫42对板状工件W进行吸引保持。解除保持单元30对板状工件W的吸引保持，搬出单元4使利用加工单元7加工后的板状工件W向+Z方向远离保持单元30的保持面300a。
如图4所示，水提供源831向水提供管830送出清洗水，该清洗水贮存于桶82内。即使在桶82内被清洗水充满之后，也继续进行来自水提供源831的清洗水的提供，从而成为清洗水从桶82的上部溢出的状态，成为辊清洗部件80的除露出部801以外的部位被收纳在桶82中并被水浸没的状态。另外，成为辊清洗部件80整体充分含有清洗水的状态。
将对板状工件W进行吸引保持的搬出单元4的保持垫42通过气缸机构40(参照图3)定位于规定的高度位置，以便板状工件W的下表面Wa与辊清洗部件80的露出部801接触。另外，如图4所示，移动单元14使清洗机构8向+Y方向按照规定的清洗进给速度移动，从而辊清洗部件80的露出部801与板状工件W的下表面Wa接触。即，露出部801被推抵于板状工件W并与板状工件W的下表面Wa相匹配地发生变形，使接触面积最大化。
在该状态下，电动机811使旋转轴810旋转，从而与旋转轴810一起旋转的辊清洗部件80从-Y方向侧朝向+Y方向侧而对板状工件W的下表面Wa进行清洗。
随着辊清洗部件80的露出部801对板状工件W的下表面Wa进行清洗，附着在板状工件W上的磨削屑等污染物会附着在旋转的辊清洗部件80的侧面上。附着于该辊清洗部件80的污染物随着辊清洗部件80的旋转而进入至桶82内，通过贮存在桶82内的清洗水从辊清洗部件80的侧面洗掉。在该污染物的比重比清洗水小的情况下，该污染物与从桶82中溢出的清洗水一起流向桶82的外部，因此不会再次附着于辊清洗部件80。因此，通过持续从水提供源831向桶82提供清洗水，桶82内保持贮存有一定量的清洁的清洗水的状态。
另一方面，在该污染物的比重比清洗水大的情况下，为了确保该污染物不沉淀至桶82的底板82a，从桶82的底板82a侧提供清洗水，在污染物沉淀之前使污染物与清洗水一起从桶82溢出，使桶82的内部维持干净的状态，从而确保污染物不会再次附着于辊清洗部件80。另外，也可以具有排水阀(未图示)，该排水阀在每清洗一张板状工件W时将桶82的清洗水排水。
在本实施方式中，利用上述清洗机构8对板状工件W的下表面Wa进行清洗，并且通过与清洗机构8一起向+Y方向移动的空气喷射单元2对板状工件W的清洗后的下表面Wa进行干燥。即，空气提供源22进行动作而对台部20提供压缩空气，将该空气从喷射口21朝向板状工件W的下表面Wa喷射。其结果是，附着在清洗后的板状工件W的下表面Wa上的清洗水被该空气吹飞，从而对板状工件W的下表面Wa进行干燥。即，板状工件W的下表面Wa的清洗后的部位按照连续的方式进行干燥。
清洗机构8和空气喷射单元2移动至从搬出单元4所保持的板状工件W的下方彻底通过的+Y方向的规定的位置，从而板状工件W的下表面Wa成为被清洗且干燥的状态。
如上所述，本发明的加工装置1具有：清洗机构8，其对搬出单元4所保持的板状工件W的下表面Wa进行清洗；以及移动单元14，其使搬出单元4和清洗机构8在Y轴方向上相对地移动，清洗机构8具有：圆筒状的辊清洗部件80，其在与移动单元14的移动方向交叉的方向上与保持单元30的保持面300a平行地延伸；旋转单元81，其以辊清洗部件80的中心轴为轴进行旋转；桶82，其形成使辊清洗部件80的侧面的一部分在延伸方向上细长地露出而得的露出部801，并且收纳辊清洗部件80的除露出部801以外的部位并使该部位浸没于水；以及水提供单元83，其向桶82贮水，一边使通过水提供单元83提供的水从桶82的上部溢出，一边使搬出单元4所保持的板状工件W的下表面Wa与在桶82内旋转的辊清洗部件80的露出部801抵接，从而对板状工件W的下表面Wa进行清洗，因此在工件清洗中，附着于辊清洗部件80上的污染物在桶82的水中被洗掉，在清洗中，污染物不会从辊清洗部件80再次附着于板状工件W，从而能够利用干净的辊清洗部件80继续对板状工件W的下表面Wa进行清洗。
加工装置1具有空气喷射单元2，该空气喷射单元2与辊清洗部件80的延伸方向平行地延伸并且在对板状工件W进行清洗时的清洗机构8相对于搬出单元4的行进方向(+Y方向)上配设于清洗机构8的后方侧，空气喷射单元2对搬出单元4所保持的板状工件W的下表面Wa喷射空气，从而能够按照连续的方式利用空气使通过辊清洗部件80进行了清洗的板状工件W的下表面Wa干燥，因此能够在移动单元14的板状工件W的一个方向的清洗进给(向+Y方向的一次通行的清洗进给)中对板状工件W的下表面Wa进行清洗和干燥，从而缩短清洗时间。
另外，本发明的加工装置1并不限于上述实施方式，另外，对于附图所示的装置的各结构的形状等，也不限于此，可以在能够发挥本发明的效果的范围内适当进行变更。
例如，也可以采用搬出单元4能够在Y轴方向上移动的结构，在板状工件W的下表面Wa的清洗时，不使保持单元30在Y轴方向上移动，而使对板状工件W进行保持的搬出单元4相对于保持单元30相对地移动而进行清洗。

Claims (2)

1.一种加工装置，其具有：
加工单元，其对保持单元的保持面上所保持的板状工件利用磨削磨具进行磨削或利用研磨垫进行研磨；
搬出单元，其使利用该加工单元进行了加工的板状工件在与该保持面垂直的方向上远离该保持面；
清洗机构，其对该搬出单元所保持的板状工件的下表面进行清洗；以及
移动单元，其使该搬出单元和该清洗机构在该保持面方向上相对移动，
其中，
该清洗机构具有：
圆筒状的辊清洗部件，其在与该移动单元的移动方向交叉的方向上与该保持面平行地延伸；
旋转单元，其以该辊清洗部件的中心轴为轴进行旋转；
桶，其形成使该辊清洗部件的侧面的一部分在延伸方向上细长地露出而得的露出部，并且收纳该辊清洗部件的除该露出部以外的部位并使该部位浸没于水；以及
水提供单元，其向该桶贮水，
一边使该水提供单元所提供的水从该桶的上部溢出，一边使该搬出单元所保持的该板状工件的下表面与在该桶内进行旋转的该辊清洗部件的该露出部抵接，对该板状工件的下表面进行清洗。
2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该加工装置具有空气喷射单元，该空气喷射单元与所述辊清洗部件的延伸方向平行地延伸并且在对板状工件进行清洗时的所述清洗机构相对于所述搬出单元的行进方向上配设在该清洗机构的后方侧，该空气喷射单元对该搬出单元所保持的板状工件喷射空气，利用空气使通过该清洗机构进行了清洗的板状工件的下表面干燥。
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