KR100908361B1 - 토출 노즐의 세정장치 - Google Patents

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다이스케 노지리
마사노리 고다
다카시 구로키
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쥬가이로 고교 가부시키가이샤
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    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/50Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter

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Abstract

토출 노즐의 선단부에 존재하고 있는 도포액을, 많은 세정액을 사용하지 않고 간단한 설비로서 효율적으로 제거할 수 있도록 한다.
토출 노즐(20) 선단의 슬릿 모양의 토출구(21)로부터 토출(吐出)된 도포액(22)을 보유하는 회전 롤러(11)의 토출 노즐과 접촉하지 않도록 설치하고, 이 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거하는 블레이드(12)를 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동가능하게 설치함과 동시에, 이 블레이드보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽의 위치에, 블레이드와 함께 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동하는 세정용 브러시(12b)를 설치하고, 회전 롤러의 외주면에 세정액(14)을 공급하는 세정액 공급장치를 세정용 브러시보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽에 설치하여, 블레이드에 의해 도포액을 회전 롤러로부터 제거하는 단계에서는 회전 롤러에 세정액이 공급되지 않도록 하는 한편, 적어도 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 단계에서, 상기 블레이드 및 세정용 브러시를 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동시키도록 했다.

Description

토출 노즐의 세정장치{DISCHARGE NOZZLE WASHING APPARATUS}
도 1은, 본 발명의 참고(參考) 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 도포작업 후에 토출 노즐을 회전 롤러의 위쪽으로 인도한 상태를 나타낸 개략 설명도.
도 2는, 상기 참고 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거하는 블레이드를 회전 롤러의 외주면에 접촉하도록 하여 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동시키는 상태를 나타낸 개략 설명도.
도 3은, 상기 참고 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 토출 노즐의 토출구로부터 회전 롤러의 외주면에 토출된 도포액을, 회전 롤러의 외주면에 접촉하여 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동하는 블레이드에 의해 회전 롤러로부터 제거하는 상태를 나타낸 개략 설명도.
도 4는, 상기 참고 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 토출 노즐을 상승시켜 회전 롤러의 외주면으로부터 격리시키는 한편, 세정조(槽)를 승강장치로 상승시켜 회전 롤러의 하부를 세정조에 수용된 세정액에 침지시킨 상태를 나타낸 개략 설명도.
도 5는, 상기 참고 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 세정액이 수용된 세정조 안에 브러시 부재를 설치한 변경예의 개략 설명도.
도 6은, 같은 참고 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 분사노즐을 세정조에 설치한 변경예의 개략 설명도.
도 7은, 본 발명의 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 블레이드와 함께 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동하게 하여, 블레이드보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽에 세정액 공급노즐과 세정용 브러시 및 제2 브러시를 설치한 변경예의 개략 설명도.
도 8은, 도 7에 나타낸 변경예의 부분 확대 설명도.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
11: 회전 롤러 12: 블레이드
12a: 세정액 공급노즐 12b: 세정용 브러시
12c: 제2 블레이드 13: 구동장치 14: 세정액 15: 세정조 16: 승강장치 17: 회수조 18: 세정액 분사노즐 19: 브러시 부재
20: 토출 노즐 21: 토출구
22: 도포액
본 발명은 유리, 수지 필름, 금속박 등의 여러 가지 피도포체(被塗布體)에 다양한 도포액을 도포(塗布)하는 도포장치에 설치된 토출 노즐을 세정하는데 사용하는 토출 노즐의 세정장치에 관한 것이다.
특히, 상기 토출 노즐의 선단부에 설치된 슬릿 모양의 토출구로부터 피도포체에 도포액을 공급하여 도포를 행한 후에, 다음 도포를 행할 때까지의 사이에 토출구가 설치된 토출 노즐의 선단부를 세정하도록 한 토출 노즐의 세정장치에 관한 것이다.
종래부터, 플라스마 디스플레이 패널, 유기(有機) 일렉트로루미네선스(Electroluminescence:EL) 디스플레이 패널, 액정 디스플레이 패널 등을 제조함에 있어서, 도포장치에 따라 유리, 수지 필름, 금속박 등의 여러 가지 피도포체에 각각의 도포액을 도포하고 있다.
그리고 이와 같은 도포장치로서는, 일반적으로 토출 노즐의 선단부에 설치된 슬릿 모양의 토출구로부터 도포액을 피도포체에 공급하도록 하는 것이 사용되고 있다.
여기서, 상기한 바와 같은 도포장치에 있어서, 상기 토출 노즐로부터 다수의 피도포체에 도포액을 차례로 공급하여 도포를 행할 경우, 도포작업과 도포작업과의 사이의 대기 시간에, 상기 토출 노즐의 선단부에 존재하고 있는 도포액이 건조하여 그 농도가 상승했다.
그리고 이와 같이 토출 노즐 선단부에 존재하고 있는 도포액의 농도가 상승 한 상태에서, 다음 도포작업을 행하면, 고농도화된 도포액에 의해 피도포체에 줄무늬 모양의 도포 얼룩이 생기거나, 막(膜)의 끊어짐이 발생하는 등의 문제가 있었다.
이 때문에 종래에는, 일본 특허공개 2001-310147호 공보에 나타낸 바와 같이, 세정조 안에 수용된 세정액 속에 회전 롤러의 일부를 침지시키고, 다음의 도포작업을 행하기 전에, 세정액에서 돌출된 회전 롤러의 외주면에 슬릿 모양의 토출구가 설치된 토출 노즐을 접근하게 하여, 이 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 토출시킴으로써, 고농도화(高濃度化)된 도포액을 회전 롤러의 외주면에 공급하고, 고농도화된 도포액을 토출 노즐의 선단부로부터 제거하는 한편, 도포액이 공급된 회전 롤러의 외주면에 샤워 노즐로부터 세정액을 분출시켜, 이 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거하고, 이와 같이 제거된 도포액과 세정액을 상기 세정조 안에 수용하고, 또한 이 세정조 안에 수용된 도포액과 세정액을 포함한 액체를 순환시켜 회전 롤러의 외주면에 분사시키도록 하는 것도 제안되고 있다.
그러나, 이와 같이 도포액이 공급된 회전 롤러의 외주면에 샤워 노즐로부터 세정액을 분출시켜서 이 회전 롤러 외주면에서의 도포액을 제거하는 경우에, 회전 롤러의 외주면에 존재하는 도포액을 충분히 제거하기 위해서는, 샤워 노즐로부터 분사되는 새로운 세정액이 대량으로 필요해지므로 운영비(running cost)가 매우 높아짐과 동시에, 세정 후에 세정액의 처리가 문제였다.
또한, 세정조 안에 수용된 도포액과 세정액을 포함한 액체를 순환시켜서 회전 롤러의 외주면에 분사시킬 경우에는, 회전 롤러의 외주면에 존재하고 있는 도포액을 충분히 제거하는 것이 곤란해지고 또한, 도포액과 세정액을 포함한 액체를 정화하여 순환시킬 경우에는, 정화장치 등의 설비가 필요하게 되어, 비용이 높아지는 동시에 장치가 대형화하는 등의 여러 가지 문제가 있었다.
또한, 최근에는 일본 특허공개 2004-167476호 공보에 나타낸 바와 같이, 도포액이 공급된 회전 롤러의 외주면에 순환시킨 세정액을 분출하게 하는 순환액 샤워 노즐이나, 회전 롤러의 외주면에 새로운 세정액을 분사하게 하는 신액(新液) 샤워 노즐 및 회전 롤러의 외주면에 접촉시켜 부착되어 있는 도포액을 긁어서 떨어뜨리는 블레이드나 브러시 롤러 등을 설치하도록 한 세정장치도 제안되고 있다.
그러나 이와 같은 세정장치에는, 회전 롤러의 외주면에 공급된 도포액을 충분히 제거하기 위해 많은 장치가 필요하게 되고, 비용이 높아짐과 동시에 장치가 대형화되는 문제가 있으며 또한, 이 경우에도 상기한 바와 같이 신액 샤워 노즐로부터 회전 롤러의 외주면에 새로운 세정액을 항상 분사시키기 위해, 많은 세정액이 필요하게 되어 운영비가 높아짐과 동시에, 세정 후 세정액의 처리가 문제였다.
본 발명은, 토출 노즐의 선단부에서의 슬릿 모양의 토출구로부터 피도포체에 도포액을 차례로 공급하여 도포를 행하는 도포장치에 있어서, 다음 도포작업을 행하기 전에 상기 토출 노즐 선단부의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 공급하고, 토출 노즐의 선단부에 존재하고 있는 고농도의 도포액을 제거함에 있어, 회전 롤러의 외주면에 공급된 도포액을, 많은 세정액을 사용하지 않고, 간단한 설비로 효율적으로 제거할 수 있음과 동시에, 회전 롤러의 외주면에 줄무늬 모양의 얼룩이 발생하는 일도 없고, 토출 노즐의 선단부에 존재하는 도포액의 제거가 항상 적절하게 행해지도록 하는 것을 과제로 하는 것이다.
본 발명에서는, 상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여, 도포액을 피도포체에 공급하는 슬릿 모양의 토출구가 설치되어 있는 토출 노즐의 선단부를 세정하는 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 상기 토출 노즐과 접촉하지 않도록 일정 간격을 두고 설치되어, 상기 토출구로부터 토출된 도포액을 외주면 보유하게 되는 회전 롤러와, 상기 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태로 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동할 수 있게 설치되어, 상기 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거하는 블레이드와, 상기 회전 롤러의 회전 방향에 있어서 상기 블레이드보다도 더 하류쪽의 위치에, 상기 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태로 상기 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동할 수 있게 설치되어, 상기 블레이드와 함께 상기 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거하는 세정용 브러시와, 상기 회전 롤러의 회전방향에 있어서 상기 세정용 브러시보다도 더 하류쪽의 위치에 설치하여, 상기 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치를 포함하고 있으며, 상기 세정액 공급장치는, 상기 블레이드가 상기 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거한 후에, 상기 회전 롤러에 세정액을 공급하고, 상기 세정액 공급장치로부터 상기 회전 롤러에 세정액이 공급된 후에는, 상기 세정용 브러시가 상기 회전 롤러의 외주면에 남아 있는 도포액을 제거하도록 한 것이다.
또한, 본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기 토출 노즐의 토출구로부터 토출된 도포액이 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 단계에서도, 상기 블레이드 및 세정용 브러시를 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동시키는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기 세정용 브러시보다도 회전 롤러의 회전 방향 하류쪽의 위치에, 상기 블레이드 및 세정용 브러시와 함께 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동하는 제2 블레이드를 설치하도록 하거나, 또한 상기 블레이드와 세정용 브러시와의 사이에 상기 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급노즐을 설치하도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서는, 상기 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치로서, 세정액을 수용시킨 세정조를 이동 가능하게 설치하고, 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 블레이드로 제거하는 단계에서는, 세정조에 수용된 세정액에 회전 롤러가 침지되지 않도록 하고 세정조를 이동시켜서, 회전 롤러에 세정액이 공급되지 않도록 하고, 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급할 때, 상기 세정조를 이동시켜 회전 롤러를 세정조에 수용된 세정액에 침지되게 하는 것이 가능하다.
또한, 이와 같이 세정조에 수용된 세정액에 회전 롤러를 침지시켰을 때, 이 회전 롤러의 외주면에 접촉하게 하여 세정조 안에 브러시 부재를 설치하는 것이 바람직하다.
본 발명에서의 그 밖의 목적, 특징 및 이점은 첨부 도면을 따라 이하에 상세하게 기술하는 바람직한 실시형태의 설명으로 명백하게 될 것이다.
[발명을 실시하기 위한 최선의 형태]
[실시형태]
이하, 첨부 도면에 의거하여 본 발명의 참고 실시형태에 관한 토출 노즐의 세정장치를 설명하고, 그 다음 본 참고 실시형태에 관한 토출 노즐의 세정장치를 더욱 개선한 본 발명의 실시형태에 관한 토출 노즐의 세정장치에 관하여 구체적으로 설명한다.
또한 본 발명에 관한 토출 노즐의 세정장치는 하기(下記)의 실시형태에 나타낸 것에 한정하지 않고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 적절하게 변경해서 실시할 수 있는 것이다.
참고 실시형태에 관한 토출 노즐의 세정장치에서는, 도 1 ∼ 도 4에 나타낸 바와 같이, 회전장치(도시하지 않음)에 의해 회전 구동되는 회전 롤러(11)의 외주면에 선단부가 접촉하도록 하여 블레이드(12)가 설치되고. 이 블레이드(12)를 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉시킨 상태에서, 도 2에 나타낸 바와 같이, 이 블레이드(12)를 실린더나 모터 등의 구동장치(13)에 의해 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 하고 있다.
또한, 상기 블레이드(12)보다도 회전 롤러(11)의 회전방향 하류쪽의 위치에 세정액 공급장치로서 세정액(14)을 수용시킨 세정조(15)를 설치하고, 이 세정조(15)를 실린더 등의 승강장치(16)에 의해 승강할 수 있게 하며, 이 승강장치(16)에 의하여 세정조(15)를 상승시킨 상태에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 회전 롤러(11)의 하부가 세정조(15)에 수용되어 있는 세정액(14)에 침지(浸漬)되도록 하고 있다.
다음으로, 이 참고 실시형태에 있어서의 토출 노즐의 세정장치를 이용하여 토출 노즐(20)의 선단부를 세정하는 경우에 대해서 설명한다.
우선, 토출 노즐(20)의 선단부에 설치된 슬릿 모양의 토출구(21)로부터 피도포체(도시하지 않음)에 도포액(22)을 공급하여 도포를 행한 다음, 도 1에 나타낸 바와 같이, 이 토출 노즐(20)을 회전 롤러(11)의 위쪽으로 인도하게 한다. 여기서, 상기 토출 노즐(20)의 선단부에는 도포액(22)이 남아 있는 상태로, 이 도포액(22)이 건조하여 농도가 상승한 상태에서 다음 도포작업을 행하면, 고농도화된 도포액(22)에 의해 피도포체에 줄무늬 모양의 도포 얼룩이 생기거나, 막의 끊어짐이 발생하기도 한다.
여기서 이 토출 노즐의 세정장치에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 토출 노즐(20)을 하강시키고, 이 토출 노즐(20)의 선단부를 상기 회전 롤러(11)의 외주면에 접근하게 하여, 토출 노즐(20)의 선단부와 회전 롤러(11)의 외주면이 일정 간격, 통상 30μm∼500μm 범위의 간격이 되도록 한다.
그리고, 상기 회전 롤러(11)를 회전장치에 의해 회전시키는 동시에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 블레이드(12)를 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉시킨 상태에서 구동장치(13)에 의해 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동시키도록 한다.
또한 이 상태에서는, 세정액(14)을 수용한 상기 세정조(15)를 상기 승강장치(16)에 의하여 하강시킨 상태로 유지하고, 회전 롤러(11)의 하부가 세정조(15)에 수용되어 있는 세정액(14)에 침지되지 않도록 하고 있다.
그리고, 상기와 같은 상태에서, 토출 노즐(20)의 선단부에 설치된 슬릿 모양의 토출구(21)로부터 도포액(22)을 예비 토출시켜서, 이 토출 노즐(20)의 선단부에 남아 있는 도포액(22)을 회전 롤러(11)의 외주면에 공급하고, 그 회전 롤러(11)의 외주면에 보유된 도포액(22)을 회전 롤러(11)에 의해 상기 블레이드(12)의 위치로 인도하여, 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동하고 있는 블레이드(12)에 의해, 상기 도포액(22)을 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 제거하여 회수조(17)로 회수하게 한다.
이와 같이 한 경우, 상기 회전 롤러(11)의 외주면에 보유된 도포액(22)의 일부가 건조되어 점도가 높은 덩어리 모양이 되고, 이것이 블레이드(12)의 위치에서 회전 롤러(11)의 외주면에 남았다 하더라도, 블레이드(12)가 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동하기 때문에, 덩어리 모양의 도포액(22)이 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 쉽게 박리된다.
그 결과, 이 덩어리 모양의 도포액(22)이 통상의 도포액(22)과 함께 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 이탈(離脫)하여 회수조(17)에 회수되고, 회전 롤러(11) 외주면의 둘레방향에 따른 줄무늬 모양의 얼룩 발생이 억제되게 된다.
다음으로, 이와 같이 토출 노즐(20)로부터 예비 토출시킨 도포액(22)을 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 제거하여 회수조(17)로 회수시킨 후에는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 회전 롤러(11)의 외주면에 접근된 상태의 상기 토출 노즐(20)을 상승시켜, 이 토출 노즐(20)을 피도포체로 인도한 후, 다음 도포작업을 행하도록 하는 한편, 상기 세정조(15)를 승강장치(16)로 상승시켜서, 회전 롤러(11)의 하부를 세정조(15)에 수용된 세정액(14)에 침지하게 한다.
여기서, 이와 같이 회전 롤러(11)의 하부를 세정조(15)에 수용된 세정액(14)에 침지시키면, 이 세정조(15)에 수용된 세정액(14)이 회전 롤러(11)의 외주면에 공급되어, 회전 롤러(11)의 외주면에 조금 남아 있는 도포액(22)이 상기 세정액(14)에 의해 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 쉽게 제거된다.
그리고, 이와 같이 회전 롤러(11)의 외주면에 공급된 세정액(14)이 회전 롤러(11)의 회전에 의해 상기 블레이드(12)의 위치로 인도되면, 상기한 바와 같이 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동하는 블레이드(12)에 의해, 이 세정액(14)이 회전 롤러(11)의 외주면에 조금 남아 있는 도포액(22)과 함께 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 제거되어 회수조(17)로 회수되게 된다.
이 경우에도, 상기 회전 롤러(11)의 외주면에 보유된 도포액(22)의 일부가 건조되어 덩어리 모양이 되고, 이것이 블레이드(12)의 위치에 있어서 회전 롤러(11)의 외주면에 남았다 하더라도, 블레이드(12)가 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동하기 때문에, 덩어리 모양의 도포액(22)이 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 쉽게 박리된다.
그리고, 이 덩어리 모양의 도포액(22)이 블레이드(12)에 의해 세정액(14)과 함께 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 이탈하여 회수조(17)로 회수되게 된다. 이 때문에, 덩어리 모양의 도포액(22)에 의해 회전 롤러(11)의 외주면의 둘레방향에 따른 줄무늬 형상의 얼룩이 발생하는 것이 더욱 억제되고, 회전 롤러(11)의 외주면이 균일한 상태가 되어, 다음에 토출 노즐(20)의 선단부를 세정하는 경우에도, 상기 회전 롤러(11)의 외주면이 균일한 상태로 유지되며, 토출 노즐(20) 선단부의 세정이 적절하게 행해지게 된다.
또한, 토출 노즐의 세정장치에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 세정액(14)이 수용되어 있는 세정조(15) 안에 브러시 부재(19)를 설치하고, 상기한 바와 같이 세정조(15)에 수용되어 있던 세정액(14)에 침지시킨 회전 롤러(11) 하부의 외주면에, 이 브러시 부재(19)를 접촉하게 하는 것도 가능하다.
그리고, 이와 같이 세정조(15)에 있어서의 세정액(14)에 침지되어 있던 회전 롤러(11)의 하부 외주면에 브러시 부재(19)를 접촉시키면, 상기한 바와 같이 세정액(14)이 공급되어 있던 회전 롤러(11)의 외주면에 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동하는 블레이드(12)를 접촉시켜, 회전 롤러(11)의 외주면에 남아 있는 도포액(22)을 세정액(14)과 함께 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 제거하여 회수조(17)로 회수시킬 때, 상기 블레이드(12)에 의해 제거되지 않은 얇은 도포액(22) 막이 회전 롤러(11)의 외주면에 남았다 하더라도, 이와 같이 얇은 도포액(22) 막이 상기 브러시 부재(19)에 의해 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 적절하게 제거되게 된다.
또한, 이 토출 노즐의 세정장치에 있어서는, 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 공급하는 세정액 공급장치로서, 세정액(14)을 수용한 세정조(15)를 사용하게 하였지만, 도 6에 나타낸 바와 같이, 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 공급하는 세정액 분사노즐(18)을 세정조(15)에 설치하도록 하는 것도 가능하다.
그리고, 이와 같이 세정액 분사노즐(18)을 세정조(15)에 설치한 경우에는, 상기한 바와 같이 토출 노즐(20)로부터 예비 토출되었던 도포액(22)을 블레이드(12)에 의해 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 제거한 다음, 이 세정액 분사노즐(18)로부터 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 분사시켜서 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 공급하게 한다.
그리고, 회전 롤러(11)의 외주면에 남아 있는 도포액(22)을 상기한 바와 같이 하여 세정액(14)과 함께 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 회수조(17)로 회수시키는 한편, 세정액 분사노즐(18)에서 회전 롤러(11)의 외주면에 분사되어 회전 롤러(11)의 외주면에 보유되지 않았던 세정액(14)을 세정조(15)로 회수하도록 한다.
그리고 본 실시형태에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기한 바와 같은, 참고 실시형태의 토출 노즐의 세정장치에 첨가하여, 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 블레이드(12)와 함께 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동하게 하여, 상기 블레이드(12)보다도 회전 롤러(11)의 회전방향 하류쪽에, 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 공급하는 세정액 공급노즐(12a)을 설치함과 동시에, 이 세정액 공급노즐(12a)보다도 회전 롤러(11)의 회전방향 하류쪽에, 상기 회전 롤러(11)의 외주면에 접촉하게 하여 세정용 브러시(12b)와 제2 블레이드(12c)를 설치하고 있다.
여기서, 이와 같이 블레이드(12) 외에 세정액 공급노즐(12a)과 세정용 브러 시(12b) 및 제2 블레이드(12c)를 설치한 경우에도, 상기한 바와 같이 토출 노즐(20)로부터 예비 토출되었던 도포액(22)을 블레이드(12)에 의해 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 제거한 다음, 회전 롤러(11)의 하부를 세정조(15)에 수용된 세정액(14)에 침지시켜, 이 세정조(15)에 수용되어 있던 세정액(14)을 회전 롤러(11)의 외주면에 공급하게 한다.
그리고, 이 실시형태의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기 블레이드(12)와 함께 세정액 공급노즐(12a)과 세정용 브러시(12b) 및 제2 블레이드(12c)를 회전 롤러(11)의 축 방향으로 왕복 이동시킴과 동시에, 상기 블레이드(12)와 세정용 브러시(12b)와의 사이에서, 상기 세정액 공급노즐(12a)로부터 회전 롤러(11)의 외주면에 세정액(14)을 공급한다.
이렇게 하면, 상기한 바와 같이 회전 롤러(11)의 외주면에 남아 있는 도포액(22)이 상기 블레이드(12)에 의해 세정액(14)과 함께 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 제거되어 회수조(17)로 회수됨과 동시에, 이 블레이드(12)에 의해 제거되지 않는 회전 롤러(11)의 외주면에 얇은 도포액(22) 막이 남았다 하더라도, 이 얇은 도포액(22) 막에 상기 세정액 공급노즐(12a)로부터 세정액(14)이 공급되어, 이 얇은 도포액(22) 막이 세정액(14)과 함께 상기 세정용 브러시(12b)와 제2 블레이드(12c)에 의해 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 적절하게 제거되어 회수조(17)로에 회수되게 된다.
또한, 회전 롤러(11)의 외주면으로부터 제거된 도포액(22)이 세정용 브러시(12b)나 제2 블레이드(12c)에 부착하였다 하더라도, 이 도포액(22)이 상기 세정 액(14)에 의해 세정용 브러시(12b)나 제2 블레이드(12c)로 씻겨 내리므로, 세정용 브러시(12b)나 제2 블레이드(12c)에 부착됐던 도포액이 건조하여 점도가 높은 덩어리 모양이 되는 일은 없다.
또한, 상기 실시형태에서는 세정용 브러시(12b)를 사용한 예를 나타냈지만, 적당한 탄력이 있으면서 표면이 요철(凹凸)을 가지면 좋으므로, 스펀지나 네트 망(網)을 사용한 경우에도 동등한 작용효과를 얻을 수 있다.
본 발명을 상기 실시형태에서 충분히 설명하였지만, 당업자에게는 여러 가지 변경 및 수정이 가능함을 명백히 유념해야 한다.
그러므로, 이러한 변경 및 수정이 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한 본 발명에 포함되는 것으로 간주해야 한다.
본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 토출하도록 함에 있어, 회전 롤러를 토출 노즐과 접촉하지 않도록 일정 간격을 두고 설치하였기 때문에, 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 토출시킬 때, 회전 롤러의 외주면에 건조한 도포액 가루가 남아 있더라도, 이 도포액 가루가 토출 노즐의 선단부에 부착되는 것이 방지되어, 토출 노즐의 선단부에 존재하는 농도가 높아진 도포액이 적절하게 제거됨과 동시에, 토출 노즐의 토출구로부터 새롭게 토출된 도포액이 토출 노즐의 선단부에 적절히 보유되게 된다.
또한, 본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 상기한 바와 같이 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 블레이드에 의해 제거하는 단계에서는, 이 블레이드보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽에 있어서 이동 가능하게 설치된 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급하지 않도록 하였기 때문에, 회전 롤러에 공급하는 세정액의 양을 적게 할 수 있는 동시에, 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액이 세정액에 섞이는 것이 억제되어, 세정액 공급장치로부터 공급되는 세정액이 깨끗한 상태로 유지되게 된다.
그 결과, 본 발명에서의 토출 노즐의 세정장치에서는, 세정액의 소비량이 감소하여, 운영비가 저감(低減) 되는 동시에, 종래와 같이 세정액을 정화(淨化)시키는 정화장치 등의 설비를 설치할 필요가 없으므로, 설비비용도 저감되면서 장치가 대형화되는 일도 없다.
또한, 본 발명에 있어서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서는, 상기한 바와 같이 토출 노즐의 토출구로부터 토출되어 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 블레이드 및 세정용 브러시로 제거한 다음, 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급하기 때문에, 깨끗한 세정액이 회전 롤러의 외주면에 공급된다.
또한, 이와 같이 세정액 공급장치로부터 회전 롤러에 세정액을 공급한 단계에서, 상기 블레이드와 함께 세정용 브러시를 회전 롤러의 외주면에 접촉시킨 상태에서 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동하도록 하였기 때문에, 상기 세정액에 의해 도포액이 회전 롤러의 외주면에서 쉽게 제거되게 함과 동시에, 상기 블레이드로 제거할 수 없는 회전 롤러의 외주면에 있어서의 도포액의 얇은 막도, 상기 세정용 브러시로 충분히 제거된다.
또한, 본 발명에 있어서의 토출 노즐의 세정장치에 있어서, 상기 블레이드나 세정용 브러시가 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동함에 따라서, 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있는 도포액이 건조되어 점도가 높은 덩어리 모양이 되더라도, 그 덩어리 모양의 도포액이 회전 롤러의 외주면으로부터 쉽게 박리되고, 이 덩어리 모양의 도포액이 세정액과 함께 회전 롤러의 외주면으로부터 적절하게 제거되어, 회전 롤러의 외주면의 둘레방향에 따른 줄무늬 모양의 얼룩이 발생하는 일 없이, 다음 토출 노즐의 선단부를 세정하는 경우에도, 토출 노즐 선단부의 세정을 적절히 행할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에의 토출 노즐의 세정장치에서, 상기 블레이드나 세정용 브러시를 토출 노즐의 토출구로부터 도포액을 회전 롤러의 외주면에 토출되는 단계에서도, 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동하도록 하면, 회전 롤러의 외주면에 보유되어 있던 도포액이 그 블레이드나 세정용 브러시에 의해 균일하게 제거되어, 회전 롤러의 외주면의 둘레방향에 따른 줄무늬 모양의 얼룩이 발생하는 것이 한층 방지된다.
또한, 상기 세정용 브러시보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽의 위치에, 상기 블레이드 및 세정용 브러시와 함께 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동하는 제2 블레이드를 설치하면, 상기 세정용 브러시에 의해 제거되는 도포액이 이 제2 블레이드에 의하여 회수되어 도포액이 세정액에 혼입되는 것을 억제할 수 있게 된다.
또한, 상기 블레이드와 세정용 브러시와의 사이에 회전 롤러에 세정액을 공 급하는 세정액 공급노즐을 설치하고, 이 세정액 공급노즐로부터 세정액을 공급하면, 세정용 브러시에 의해 회수된 도포액이 세정용 브러시에 부착하더라도, 부착된 도포액이 이 세정액에 의해 세정용 브러시로부터 제거되며, 부착된 도포액이 세정용 브러시에 있어서 건조되어 점도가 높은 덩어리 모양이 되는 것도 방지된다.
또한, 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치로서, 세정액이 수용된 세정조를 이동 가능하게 설치하고, 이 세정조를 이동하여 세정조에 수용된 세정액에 회전 롤러를 침지시켜 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급할 때, 이 회전 롤러의 외주면에 접촉하도록 세정조 안에 브러시 부재를 설치하면, 상기 블레이드에 의해 제거할 수 없는 회전 롤러의 외주면에 있어서의 도포액의 얇은 막을 이 브러시 부재에 의해 적절하게 제거할 수 있게 된다.

Claims (6)

  1. 도포액을 피도포체에 공급하는 슬릿 모양의 토출구가 설치되어 있는 토출 노즐의 선단부를 세정하는 토출 노즐의 세정장치에 있어서,
    상기 토출 노즐과 접촉하지 않도록 일정 간격을 두고 설치되어, 상기 토출구로부터 토출된 도포액을 외주면에 보유하게 되는 회전 롤러와,
    상기 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태로 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동할 수 있게 설치되어, 상기 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거하는 블레이드와,
    상기 회전 롤러의 회전 방향에 있어서 상기 블레이드보다도 더 하류쪽의 위치에, 상기 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태로 상기 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동할 수 있게 설치되어, 상기 블레이드와 함께 상기 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거하는 세정용 브러시와,
    상기 회전 롤러의 회전방향에 있어서 상기 세정용 브러시보다도 더 하류쪽의 위치에 설치하여, 상기 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치를 포함하고 있으며,
    상기 세정액 공급장치는, 상기 블레이드가 상기 회전 롤러의 외주면에 보유된 도포액을 제거한 후에, 상기 회전 롤러에 세정액을 공급하고,
    상기 세정액 공급장치로부터 상기 회전 롤러에 세정액이 공급된 후에는, 상기 세정용 브러시가 상기 회전 롤러의 외주면에 남아 있는 도포액을 제거하는 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세정용 브러시보다도 회전 롤러의 회전방향 하류쪽의 위치에, 상기 블레이드 및 세정용 브러시와 함께 회전 롤러의 외주면에 접촉한 상태에서 회전 롤러의 축 방향으로 왕복 이동하는 제2 블레이드를 설치한 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 블레이드와 세정용 브러시와의 사이에, 상기 회전 롤러의 외주면에 세정액을 공급하는 세정액 공급노즐을 설치한 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 세정액 공급장치로서, 세정액이 수용된 세정조를 이동 가능하게 설치한 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 세정조에 수용된 세정액에 상기 회전 롤러를 침지시켰을 때, 상기 회전 롤러의 외주면에 접촉하도록 상기 세정조 안에 브러시 부재를 설치한 것을 특징으로 하는 토출 노즐의 세정장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100975129B1 (ko) * 2008-06-27 2010-08-11 주식회사 디엠에스 노즐 립 클리너를 구비한 슬릿 코터
EP3000537B1 (en) * 2013-05-20 2017-11-22 Omron Corporation Washing position confirmation device, fluid delivery position confirmation device, washing position confirmation system, and fluid delivery position confirmation method
CN105182689A (zh) * 2015-10-30 2015-12-23 京东方科技集团股份有限公司 一种涂胶装置及其出胶喷嘴的清洗方法
CN107175188B (zh) * 2017-06-27 2019-05-24 武汉华星光电技术有限公司 一种涂布机上胶装置及系统
CN107321538A (zh) * 2017-08-16 2017-11-07 深圳市泰达机器人有限公司 一种喷漆设备喷嘴自动清洗装置
CN107694992A (zh) * 2017-11-15 2018-02-16 湖州中洲电磁线有限公司 一种漆包线漆膜层清洗装置
JP7206653B2 (ja) * 2018-07-05 2023-01-18 コニカミノルタ株式会社 ヘッドクリーニング装置、画像形成装置、および画像形成装置のヘッドクリーニング方法
CN109047075A (zh) * 2018-08-30 2018-12-21 浙江工业大学 一种法兰焊缝自动清洁机
CN115213049A (zh) * 2021-04-20 2022-10-21 仕兴机械工业股份有限公司 具有胶量调节器的封边机的涂胶机构

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050055410A (ko) * 2003-12-08 2005-06-13 엘지.필립스 엘시디 주식회사 노즐 세정장치
JP2005254090A (ja) * 2004-03-10 2005-09-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050055410A (ko) * 2003-12-08 2005-06-13 엘지.필립스 엘시디 주식회사 노즐 세정장치
JP2005254090A (ja) * 2004-03-10 2005-09-22 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置

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