KR20160123618A - 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

기판 처리 장치는 기판이 놓여지는 스테이지 일측에 배치되면서 상기 기판의 전면에 제1 약액을 도포할 수 있도록 슬릿 노즐로 이루어지는 제1 도포부를 구비하는 제1 인쇄부; 및 상기 제1 인쇄부와 마주하는 상기 스테이지 타측에 배치되면서 상기 기판에 부분적으로 제2 약액을 도포할 수 있도록 잉크젯 헤드로 이루어지는 제2 도포부를 구비하는 제2 인쇄부를 포함한다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for fabricating integrated circuit}

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 기판의 전면에 약액을 도포할 수 있는 부재 및 기판에 부분적으로 약액을 도포할 수 있는 부재를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

유기발광 다이오드(OLED) 소자의 제조에서는 포토레지스트, 액정, 폴리이미드(PI) 등과 같은 다양한 종류의 약액에 대한 도포가 이루어진다. 상기 포토레지스트, 액정 등과 같은 약액은 기판의 전면을 대상으로 도포가 이루어지고, 상기 폴리이미드 등과 같은 약액은 기판의 부분을 대상으로 도포가 이루어진다. 상기 포토레지스트, 액정 등과 같은 약액의 도포는 기판의 전면에 약액을 도포하는 슬릿 노즐을 구비하는 부재에 의해 달성될 수 있고, 상기 폴리이미드 등과 같은 약액의 도포는 기판에 부분적으로 약액을 도포하는 잉크젯 헤드를 구비하는 부재에 의해 달성될 수 있다.

그리고 상기 유기발광 다이오드 소자의 제조 공정의 개선을 위해서는 현재의 진공 증착 공정을 약액을 도포하는 프린팅 공정, 즉 인쇄 공정으로 대체할 필요가 있다.

따라서 상기 포토레지스트, 액정, 폴리이미드 등과 같은 약액에 대한 도포와 더불어 상기 진공 증착 등의 공정 개선을 위하여 새롭고, 다양한 특성을 가지는 약액에 대한 도포에 대해서도 대처할 필요가 있는 것으로써, 기판의 전면에 약액을 도포할 수 있는 부재 및 기판에 부분적으로 약액을 도포할 수 있는 부재를 일체로 포함하는 장치에 대한 개발이 필요한 실정이다.

본 발명의 목적은 기판의 전면에 약액을 도포할 수 있는 부재 및 기판에 부분적으로 약액을 도포할 수 있는 부재를 일체 구조로 구비하는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판이 놓여지는 스테이지 일측에 배치되면서 상기 기판의 전면에 제1 약액을 도포할 수 있도록 슬릿 노즐로 이루어지는 제1 도포부를 구비하는 제1 인쇄부; 및 상기 제1 인쇄부와 마주하는 상기 스테이지 타측에 배치되면서 상기 기판에 부분적으로 제2 약액을 도포할 수 있도록 잉크젯 헤드로 이루어지는 제2 도포부를 구비하는 제2 인쇄부를 포함할 수 있다.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 상기 제1 인쇄부는 상기 제1 도포부의 근방에 상기 제1 도포부의 슬릿 노즐을 세정하는 제1 세정부를 구비하고, 상기 제2 인쇄부는 상기 제2 도포부의 근방에 상기 잉크젯 헤드를 세정하는 제2 세정부를 구비할 수 있다.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 상기 제1 세정부는 세정액을 수용하는 세정조; 회전 구동함에 의해 상기 세정조의 세정액에 침지됨과 아울러 상기 슬릿 노즐과 면접하여 상기 슬릿 노즐로부터 상기 제1 약액을 제거하는 프라이밍 롤러; 및 상기 슬릿 노즐로부터 상기 제1 약액을 제거함에 따라 상기 프라이밍 롤러에 부착되는 상기 제1 약액을 제거하도록 상기 프라이밍 롤러와 면접하게 상기 프라이밍 롤러의 일측에 구비되는 제1 블레이드를 포함할 수 있다.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 상기 제2 세정부는 상기 제2 약액을 토출하는 상기 잉크젯 헤드와 면접함에 상기 잉크젯 헤드를 세정하도록 구비되는 제2 블레이드를 포함할 수 있다.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 상기 제1 약액은 점도가 10cp 이상이고, 상기 제2 약액은 점도가 10cp 이하일 수 있다.

본 발명의 기판 처리 장치에 따르면, 기판의 전면에 약액을 도포할 수 있는 부재 및 기판에 부분적으로 약액을 도포할 수 있는 부재를 일체 구조로 구비할 수 있다.

따라서 포토레지스트, 액정, 폴리이미드 등과 같은 약액에 대한 도포와 더불어 진공 증착 등의 공정 개선을 위하여 새롭고, 다양한 특성을 가지는 약액에 대한 도포에 대해서도 능동적인 대처가 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 제1 도포부를 세정하기 위한 제1 세정부를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 제2 도포부를 세정하기 위한 제2 세정부를 나타내는 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 기판(10)이 놓여지는 스테이지(12)의 일측에 배치되는 제1 인쇄부(14) 및 상기 제1 인쇄부(14)와 마주하는 상기 스테이지(12)의 타측에 배치되는 제2 인쇄부(16)를 포함할 수 있다. 특히, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 상기 스테이지(12)에 놓여지는 상기 기판(10)을 대상으로 제1 인쇄부(14) 및 제2 인쇄부(16)를 사용하여 공정을 수행할 수 있기 때문에 상기 제1 인쇄부(14) 및 상기 제2 인쇄부(16)가 동일 공간 내에 구비되는 것으로 이해할 수 있다.

여기서 상기 제1 인쇄부(14)는 상기 기판(10)의 전면에 제1 약액을 도포할 수 있도록 슬릿 노즐로 이루어지는 제1 도포부(18)를 구비할 수 있고, 상기 제2 인쇄부(16)는 상기 기판(10)에 부분적으로 제2 약액을 도포할 수 있도록 잉크젯 헤드로 이루어지는 제2 도포부(19)를 구비할 수 있다.

본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 제1 인쇄부(14)를 구체적으로 살펴보면, 상기 제1 인쇄부(14)의 상기 제1 도포부(18)는 긴 바(bar) 형상을 가질 수 있다. 그리고 상기 제1 도포부(18)의 경우 상기 기판(10)과 대면하는 상기 바 형상의 슬릿 노즐의 하단 중앙에는 미세한 슬릿 형상의 토출구가 형성되어 상기 토출구를 통해 일정양의 제1 약액을 상기 기판(10)의 전면에 토출하는 구조를 가질 수 있다.

이에, 상기 제1 도포부(18)는 상기 스테이지(12)에 놓여지는 상기 기판(10)의 일단부에서 일정한 속도를 갖고 종방향으로 전진하면서 상기 제1 약액을 상기 기판(10) 상에 토출시킴으로써 상기 제1 약액을 상기 기판(10)의 전면에 균일하게 도포할 수 있는 것이다.

본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 제2 인쇄부(16)를 구체적으로 살펴보면, 상기 제2 인쇄부(16)의 상기 제2 도포부(19)는 잉크젯 방식으로 상기 제2 약액을 도포할 수 있는 잉크젯 헤드로 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 도포부(19)는 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어 상기 제2 도포부(19)는 3개가 구비될 수 있고, 이 경우 상기 제2 도포부(19)는 갠트리에 결합되는 구조를 가질 수 있다. 아울러 상기 제2 도포부(19)가 결합되는 상기 갠트리는 갠트리 이동 유닛에 의해 이동되는 구조를 가진다. 그리고 상기 제2 도포부(19)의 저면에는 상기 제2 약액을 상기 기판(10)으로 토출할 수 있는 복수 개의 노즐들이 제공된다. 예를 들어, 각각의 상기 제2 도포부(19)에는 128 개 또는 256 개의 노즐들이 제공될 수 있다. 상기 노즐들은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 상기 노즐들은 ㎍ 단위의 양으로 상기 제2 약액을 토출할 수 있다. 각각의 상기 제2 도포부(19)에는 상기 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있으며, 상기 노즐들의 제2 약액에 대한 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.

이에, 상기 제2 도포부(19)는 상기 스테이지(12)에 놓여지는 상기 기판(10)의 타단부에서 일정한 속도를 갖고 종방향으로 전진하면서 상기 제2 약액을 상기 기판(10) 상에 토출시킴으로써 상기 제2 약액을 상기 기판(10)에 부분적으로 도포할 수 있는 것이다.

따라서 언급한 바와 같이 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 상기 제1 인쇄부(14) 및 상기 제2 인쇄부(16)를 하나의 장치 내에 구비되는 구조를 갖도록 형성함으로써 필요에 따라 상기 제1 약액과 상기 제2 약액을 적절히 사용할 수 있고, 그 결과 다양한 패턴 인쇄가 가능하다.

여기서 상기 제1 약액과 상기 제2 약액은 점도로 구분할 수 있는 것으로써, 상기 제1 약액은 약 10cp 이상일 수 있고, 상기 제2 약액의 약 10cp 이하일 수 있다. 즉, 상기 기판(10) 전면에 도포할 수 있는 상기 제1 인쇄부(14)의 경우에는 상기 제1 약액으로써 약 10cp 내지 약 1,000cp 까지의 고점도를 갖는 약액을 사용할 수 있고, 상기 기판(10)에 부분적으로 도포할 수 있는 상기 제2 인쇄부(16)의 경우에는 상기 제2 약액으로써 약 10cp 이하의 저점도를 갖는 약액을 사용할 수 있다.

이에, 본 발명의 기판 처리 장치(100)를 사용할 경우 동일한 상기 기판(10)을 대상으로 고점도의 제1 약액 및 저점도의 제2 약액에 대한 도포를 수행할 수 있기 때문에 상이한 제1 약액과 제2 약액의 이중 도포도 가능하다.

또한, 본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 제1 도포부(18)와 상기 제2 도포부(19)는 서로 다른 축에 고정되도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 제1 도포부(18)와 상기 제2 도포부(19)는 서로 간섭없이 독자적인 움직임에 의해 상기 기판(10)으로 상기 제1 약액 및 상기 제2 약액을 도포할 수 있는 것이다.

그리고 본 발명의 기판 처리 장치(100)에서 상기 제1 인쇄부(14)는 상기 제1 도포부(18)와 함께 후술하는 도 2의 제1 세정부(20)를 더 구비할 수 있고, 상기 제2 인쇄부(16)는 상기 제2 도포부(19)와 함께 후술하는 도 3의 제2 세정부(30)를 더 구비할 수 있다.

도 2는 도 1의 제1 도포부를 세정하기 위한 제1 세정부를 나타내는 도면이다.

도 2를 참호하면, 상기 제1 세정부(20)는 상기 제1 도포부(18)의 근방에 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐을 세정하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 제1 세정부(20)는 상기 바 형상의 슬릿 노즐의 하단 중앙에 배치되는 미세한 슬릿 형상의 토출구를 세정하도록 구비될 수 있는 것이다.

그리고 상기 제1 세정부(20)는 세정액(21)을 수용하는 세정조(23), 회전 구동함에 의해 상기 세정조(23)의 세정액(21)에 침지됨과 아울러 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐과 면접하여 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐로부터 상기 제1 약액을 제거하는 프라이밍 롤러(25), 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐로부터 상기 제1 약액을 제거함에 따라 상기 프라이밍 롤러(25)에 부착되는 상기 제1 약액을 제거하도록 상기 프라이밍 롤러(25)와 면접하게 상기 프라이밍 롤러(25)의 일측에 구비되는 제1 블레이드(27) 등을 포함할 수 있다.

상기 세정조(23)는 세정액(21)을 수용하는 부재로써, 상기 세정액(21)은 상기 프라이밍 롤러(25)에 부착되는 상기 제1 약액을 세정하도록 신너 등을 포함할 수 있다.

상기 프라이밍 롤러(25)에는 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐과 면접함에 의해 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐로부터 제거되는 상기 제1 약액이 부찰될 수 있다. 아울러, 상기 프라이밍 롤러(25)는 그 일부가 상기 세정조(23)에 수용된 상기 세정액(21)에 침지되고, 나머지가 노출되도록 배치되는 구조를 갖는다. 또한, 상기 프라이밍 롤러(25)는 회전하는 구조를 갖도록 구비되는데, 특히 일부가 상기 세정액(21)에 침지되면서 나머지가 상기 세정액(21)으로부터 노출되는 구조를 갖도록 구비된다. 이에, 상기 프라이밍 롤러(25)는 상기 세정액(21)에 침지되면서 회전에 의해 노출되어 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐과 면접함에 의해 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐을 세정할 수 있는 것이다.

상기 제1 블레이드(27)는 상기 프라이밍 롤러(25)의 외주면에 부착되는 상기 제1 약액을 제거하도록 상기 프라이밍 롤러(25)의 외주면과 접촉하게 상기 프라이밍 롤러(25)의 일측에 구비될 수 있다.

이에, 상기 제1 세정부(20)는 상기 제1 블레이드(27)를 사용하여 상기 프라이밍 롤러(25)의 외주면에 부착되는 제1 약액을 계속적으로 제거함으로써 보다 안정적으로 상기 제1 도포부(18)의 슬릿 노즐을 세정할 수 있다.

도 3은 도 1의 제2 도포부를 세정하기 위한 제2 세정부를 나타내는 도면이다.

도 3을 참조하면, 상기 제2 세정부(30)는 상기 제2 도포부(19)의 근방에 상기 제2 도포부(29)의 잉크젯 헤드를 세정하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 제2 세정부(30)는 상기 제2 도포부(29)의 저면에 형성되는 잉크젯 헤드의 복수 개의 노즐들을 세정하도록 구비될 수 있는 것이다.

상기 제2 세정부(30)는 상기 제2 약액을 토출하는 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드와 면접함에 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드를 세정하도록 구비되는 제2 블레이드(31)를 포함할 수 있다.

언급한 바와 같이, 상기 제2 블레이드(31)를 사용한 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드에 대한 세정은 상기 제2 블레이드(31)를 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드와 면접시킴에 의해 이루어진다. 따라서 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드와 면접하는 상기 제2 블레이드(31)는 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드에 가해지는 손상을 어느 정도 감소시키기 위하여 세정액에 젖어있는 상태를 유지할 필요가 있다.

따라서 상기 제2 세정부(30)에서 상기 제2 블레이드(31)의 경우 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드를 세정할 때에는 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드를 향하도록 배치되고, 상기 제2 블레이드(31)를 세정액에 젖어있는 상태를 유지할 때에는 상기 세정액이 수용되는 세정조에 침지하도록 배치된다. 이에, 상기 제2 블레이드(31)는 캠(cam) 및 모터 등과 연결되어 상기 제2 도포부(19)의 잉크젯 헤드와 상기 세정조 사이를 회전하는 배치를 갖도록 구비될 수 있다.

그리고 상기 제2 세정부(30)에서 설명하고 있는 상기 세정조 및 세정액은 도 2에서의 상기 제1 세정부(20)에서 설명하고 있는 상기 세정조(23) 및 세정액(21)과는 서로 다른 것이다.

이와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 상기 제1 세정부(20) 및 상기 제2 세정부(30)를 구비함으로서 상기 제1 도포부(18) 및 상기 제2 도포부(19)를 보다 원활하게 세정할 수 있는 구조를 가질 수 있다.

본 발명의 기판 처리 장치는 기판의 전면에 약액을 도포할 수 있는 부재 및 기판에 부분적으로 약액을 도포할 수 있는 부재가 단일 구성을 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 본 발명의 기판 처리 장치를 사용할 경우 다양한 패턴에 대한 인쇄가 가능하고, 서로 동일한 약액 또는 서로 다른 약액에 대한 인쇄도 동일 공간 내에서 가능하다.

그러므로 본 발명은 새롭고, 다양한 특성을 가지는 약액에 대한 도포에 대해서도 능동적인 대처가 가능함으로써 공정 신뢰도의 향상 및 작업 생산성의 향상을 도모할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 : 기판 12 : 스테이지
14 : 제1 인쇄부 16 : 제2 인쇄부
18 : 제1 도포부 19 : 제2 도포부
20 : 제1 세정부 21 : 세정액
23 : 세정조 25 : 프라이밍 롤러
27 : 제1 블레이드 30 : 제2 세정부
31 : 제2 블레이드

Claims (4)

1. 기판이 놓여지는 스테이지 일측에 배치되면서 상기 기판의 전면에 제1 약액을 도포할 수 있도록 슬릿 노즐로 이루어지는 제1 도포부를 구비하는 제1 인쇄부; 및
   상기 제1 인쇄부와 마주하는 상기 스테이지 타측에 배치되면서 상기 기판에 부분적으로 제2 약액을 도포할 수 있도록 잉크젯 헤드로 이루어지는 제2 도포부를 구비하는 제2 인쇄부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 인쇄부는 상기 제1 도포부의 근방에 상기 제1 도포부의 슬릿 노즐을 세정하는 제1 세정부를 구비하고, 상기 제2 인쇄부는 상기 제2 도포부의 근방에 상기 잉크젯 헤드를 세정하는 제2 세정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
3. 제2 항에 있어서, 상기 제1 세정부는 세정액을 수용하는 세정조; 회전 구동함에 의해 상기 세정조의 세정액에 침지됨과 아울러 상기 슬릿 노즐과 면접하여 상기 슬릿 노즐로부터 상기 제1 약액을 제거하는 프라이밍 롤러; 및 상기 슬릿 노즐로부터 상기 제1 약액을 제거함에 따라 상기 프라이밍 롤러에 부착되는 상기 제1 약액을 제거하도록 상기 프라이밍 롤러와 면접하게 상기 프라이밍 롤러의 일측에 구비되는 제1 블레이드를 포함하고,
   상기 제2 세정부는 상기 제2 약액을 토출하는 상기 잉크젯 헤드와 면접함에 상기 잉크젯 헤드를 세정하도록 구비되는 제2 블레이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
4. 제1 항에 있어서, 상기 제1 약액은 점도가 10cp 이상이고, 상기 제2 약액은 점도가 10cp 이하인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.

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