KR100976529B1 - 약액 예비토출장치 - Google Patents

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Abstract

슬릿코터(slit coater)의 슬릿노즐(slit nozzle)로부터 잔류 약액을 예비토출받아서 간편하게 처리할 수 있는 토출약액 예비토출장치를 개시한다.
이러한 약액 예비토출장치는, 슬릿노즐로부터 약액이 예비토출되는 프라이밍 롤러와, 상기 프라이밍 롤러를 회전 구동하는 구동부와, 내부에 세정액이 담겨지며 상기 프라이밍 롤러의 외부면 하부가 상기 세정액 중에 잠기도록 배치되는 세정조와, 상기 세정조를 사이에 두고 좌/우로 배치되어 상기 프라이밍 롤러의 외부면을 향하여 세정용 유체 또는 건조용 유체를 분사하는 제1 유체분사부 및 제2 유체분사부와, 상기 제1 유체분사부 및 제2 유체분사부에서 분사된 세정용 유체 또는 건조용 유체를 흡입력으로 제거 및 수거하는 유체제거수단을 포함한다.
Figure R1020080087622
슬릿노즐, 잔류 약액의 예비토출, 프라이밍 롤러 세정, 제1 유체분사부, 제2 유체분부, 유체제거수단, 흡입력으로 유체 제거 및 수거

Description

약액 예비토출장치{chemical solution pre-discharging apparatus}
본 발명은 슬릿노즐의 잔류 약액을 예비토출하는 작업에 사용되며, 특히 예비토출 작업 중에 토출 약액이 묻어있는 프라이밍 롤러를 간편하게 세정 처리할 수 있는 약액 예비토출장치에 관한 것이다.
평판표시소자용 기판에는 기능성 박막들이 구비되어 있으며, 이 기능성 박막들은 대부분 포토리소그라피(photolithography) 공정으로 형성된다.
상기 포토리소그라피 공정은, 포토레지스트(감광액)와 같은 약액을 기판 측에 일정 두께로 도포하는 작업을 포함하며, 슬릿노즐을 구비한 슬릿코터가 널리 사용된다.
즉, 상기 슬릿코터는, 스테이지 위에 놓여진 기판의 일측에서 타측을 향하여 슬릿노즐이 이동하면서 상기 기판 측에 슬릿코팅(slit coating) 방식으로 약액의 도포가 가능한 구조를 갖는다.
이처럼, 약액의 도포 작업을 진행할 때에는 기판 측에 약액을 균일한 두께로 도포하는 것이 매우 중요하다.
만일, 기판 측에 도포된 약액층의 두께 편차가 발생하거나, 약액층의 표면이 불균일(예; 줄무늬, 물결무늬, 끊김 현상)한 상태가 되면 예를들어, 식각 작업을 진행할 때 패턴의 불량이 과다하게 발생할 수 있다.
상기와 같이 약액이 비정상으로 도포되는 현상은, 대체로 기판 측에 약액을 도포하기 전에 슬릿노즐의 토출 단부 측에 잔류 약액이 불균일하게 분포된 상태일 때 발생하는 것으로 알려져 있다.
상기와 같이 문제를 해결하기 위하여 상기 슬릿코터 상에는 슬릿노즐과 대응하는 약액 예비토출장치가 구비되며, 이러한 약액 예비토출장치로는 2007년 특허 출원되어 등록된 특허 제10-0840528호의 슬릿코터용 예비토출장치가 있다.
하지만, 상기 특허 제10-0840528호는, 슬릿노즐로부터 잔류 약액의 예비토출이 이루어지는 프라이밍 롤러를 세정할 때 여러 가지의 문제가 발생할 수 있다.
즉, 세정 작업 중에 프라이밍 롤러의 세정을 위하여 공급된 용매는 물론이거니와 상기 프라이밍 롤러 외부면에서 분리 제거된 이물질(잔류 약액)들이 아래로 떨어지면서 세정조 내부에 그대로 담겨진다.
그러므로, 세정조의 세정액이 쉽게 오염되어 세정도가 조기에 저하될 수 있으며, 세정액의 잦은 교환에 따른 추가 비용 및 시간 등이 과다하게 발생될 수 있다.
그리고, 오염된 세정액은 프라이밍 롤러의 외부면에 2차 오염을 발생하는 한 요인이 될 수 있다
이러한 문제점은 상기 프라이밍 롤러의 세정 작업시 용매와 이물질들이 아래로 낙하되기 전에 곧바로 제거 및 수거가 가능한 수단을 구비하고 있지 않기 때문 이다.
또한, 상기 특허 제10-0840528호는 프라이밍 롤러 외부면을 향하여 용매를 적하(滴下) 방식으로 공급하면서 세정하는 구조이므로 이러한 용매 적하 방식으로는 상기 프라이밍 롤러 외부면에 달라붙어 있는 잔류 약액을 원활하게 제거하기 어렵다.
더욱이, 상기 프라이밍 롤러 외부면 중에서 세정조의 세정액 중에 침지된 후 외부로 노출되는 부분을 단순하게 나이프의 접촉력을 이용하여 긁어내면서 제거하는 방식으로는 미세한 잔류 액체들을 상기 프라이밍 롤러 표면으로부터 완전히 제거하기 어렵다.
따라서, 상기한 특허 제10-0840528호는, 약액의 예비토출 작업을 진행할 때 프라이밍 롤러에 대응하여 만족할 만한 세정력을 기대할 수 없다.
그리고, 이처럼 프라이밍 롤러의 세정력이 낮으면 예를들어, 약액의 예비토출 작업시 슬릿노즐의 토출부를 오염시켜서 약액의 도포 품질을 더욱 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,
본 발명의 목적은, 프라이밍 롤러를 간편하게 세정할 수 있으며, 특히 세정 작업시 프라이밍 롤러 외부면에서 분리 제거된 이물질(약액)에 의해 세정액이 조기에 오염되거나 2차 오염이 발생하는 것을 방지할 수 있는 약액 예비토출장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여,
슬릿노즐로부터 약액이 예비토출되는 프라이밍 롤러;
상기 프라이밍 롤러를 회전 구동하는 구동부;
내부에 세정액이 담겨지며 상기 프라이밍 롤러의 외부면 하부가 상기 세정액 중에 잠기도록 배치되는 세정조;
상기 세정조를 사이에 두고 좌/우로 배치되어 상기 프라이밍 롤러의 외부면을 향하여 세정용 유체 또는 건조용 유체를 분사하는 제1 유체분사부 및 제2 유체분사부;
상기 제1 유체분사부 및 제2 유체분사부에서 분사된 세정용 유체 또는 건조용 유체를 흡입력으로 제거 및 수거하는 유체제거수단;
을 포함하는 약액 예비토출장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명은 슬릿노즐로부터 예비토출된 약액을 제1 유체분사부 및 제2 유체분사부의 세정용 유체 및 건조용 유체로 불어내면서 프라이밍 롤러 외부면을 간편하게 세정할 수 있다.
특히, 본 발명은 상기 프라이밍 롤러를 향하여 분사된 세정용 유체와 건조용 유체를 흡입력으로 빨아들이면서 제거 및 수거하는 유체제거수단을 구비하고 있으므로 상기 프라이밍 롤러를 향하여 유체를 분사하고, 분사한 유체를 곧바로 제거 및 수거하는 방식으로 세정 작업을 진행할 수 있다.
이와 같은 세정 방식에 의하면, 프라이밍 롤러를 향하여 분사된 세정용 유체 중에 상기 프라이밍 롤러 외부면에서 분리된 이물질(약액)이 포함된 상태로 세정조에 낙하되거나 불규칙하게 튀는 현상을 방지할 수 있다.
그러므로, 세정 작업시 세정조에 담겨진 세정액이 조기에 오염되거나, 프라이밍 롤러의 2차 오염이 발생하는 현상을 효과적으로 방지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.
본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 바람직한 설치 상 태를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 프라이밍 롤러를 지칭한다.
상기 프라이밍 롤러(2)는 도 1에서와 같은 통상의 슬릿코터(C)에서 슬릿노즐(C1)과 대응하는 지점에 설치될 수 있다.
상기 슬릿코터(C)는 기판(G)을 로딩하는 스테이지(C2)가 작업대(C3) 위에 배치되고 상기 슬릿노즐(C1)이 상기 스테이지(C2) 일측에서 타측을 향하여 겐트리장치(C4)를 따라 이동하면서 슬릿 코팅(slit coating) 방식으로 기판(G) 측에 약액(R, 예:포토레지스트)을 도포하는 구조를 갖는다.(도 1참조)
그리고, 상기 겐트리장치(C4)는 도 2에서와 같이 상기 작업대(C3) 상에서 이동 가능하게 설치되는 두 개의 수직지지대(Y1)와, 이 두 개의 수직지지대(Y1) 사이에서 구동원(Y3, 실린더)에 의해 업/다운 동작이 가능하게 연결되는 수평지지대(Y2)로 구성되며, 이 수평지지대(Y2)의 하부에 상기 슬릿노즐(C1)이 부착된다.
즉, 상기 프라이밍 롤러(2)는 상기 슬릿노즐(C1)로 약액(R)을 도포하기 전에 약액(R)의 예비토출 작업을 진행할 수 있도록 상기 작업대(C3) 상에 위치된다. 예를들어, 상기 슬릿노즐(C1)의 이송 구간 내에서 상기 스테이지(C2)와 떨어져서 도 1에서와 같이 위치될 수 있다.
상기 프라이밍 롤러(2)는 상기 슬릿노즐(C1)로부터 약액(R)의 예비토출이 이루어지는 외부면(F)을 가지며 상기 슬릿노즐(C1)의 토출구(N) 길이와 대응하는 길이로 형성된다.
상기 프라이밍 롤러(2)의 재질은 금속이나 합성수지를 사용할 수 있으며, 특히 금속 재질 중에서 내구성 및 내마모성 등이 우수한 SUS를 사용하면 좋다.
상기 프라이밍 롤러(2)는 상기 작업대(C3) 상에서 축선을 중심으로 회전 가능하게 고정 설치된다.
예를들어, 도 2에서와 같이 별도의 지지용 프레임(B) 측에 설치된 두 개의 베어링 블록(B1)에 상기 프라이밍 롤러(2)의 양단이 각각 끼워져서 상기 작업대(C3) 상에서 축선을 중심으로 회전 가능하게 설치될 수 있다.
그리고, 상기 프라이밍 롤러(2)는 구동부(4)로부터 동력을 전달받아서 축선을 중심으로 회전 구동된다.
상기 구동부(4)는 모터(M1)를 구동원으로 사용하고, 상기 모터(M1) 축과 상기 프라이밍 롤러(2) 일단 사이를 동력전달부재(M2)로 연결한 구조로 이루어질 수 있다.
상기 동력전달부재(M2)는 축간(軸間) 동력전달이 가능한 벨트/풀리 또는, 체인/스프라켓 중에서 어느 하나를 사용할 수 있으며, 상기 모터(M1)의 회전력이 상기 프라이밍 롤러(2) 측에 전달될 수 있도록 통상의 방법으로 연결된다.
그리고, 상기 모터(M1)는 예를들어, 통상의 기어드 모터(geared motor)를 사용하면 좋다. 일반적으로 기어드 모터는 도면에는 나타내지 않았지만 감속기(減速器)를 일체로 구비하여 출력 회전수의 감속이 가능하므로 상기 프라이밍 롤러(2)의 회전수를 작업 여건에 따라 적절하게 조절 및 셋팅할 수 있다.
상기 프라이밍 롤러(2) 아래쪽에는 세정조(6)가 위치된다.
상기 세정조(6)는 윗면이 개방된 저장 공간(S)을 구비하고, 이 저장 공간(S)에는 일정량의 세정액(W)이 채워진다.
상기 세정조(6)는 도 1 및 도 2에서와 같이 세정액(W) 중에 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 일측(하부)이 담겨질 수 있도록 상기 작업대(C3) 상에서 상기 지지용 프레임(B) 안쪽에 설치될 수 있다.
즉, 상기 세정조(6)는 상기 구동부(4)에 의해 상기 프라이밍 롤러(2)가 회전될 때 하부의 외부면(F)이 세정액(W) 중에 담겨진 상태로 회전되도록 셋팅된다.
이와 같은 세정조(6) 구조에 의하면, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)이 상기 세정액(W) 중에 일부가 담겨진 상태로 회전하는 이른바, 디핑 방식으로 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 세정할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 도 1에서와 같이 제1 유체분사부(8)와 제2 유체분사부(10)를 포함한다.
상기 제1 유체분사부(8)는 상기 프라이밍 롤러(2)를 향하여 세정용 유체(W1)를 분사하면서 외부면(F)을 세정하기 위한 것이다.
상기 제1 유체분사부(8)는 세정용 노즐(H1)을 구비하고, 이 세정용 노즐(H1)로 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 일측을 향하여 세정용 유체(W1)를 분사할 수 있도록 셋팅된다.
즉, 상기 세정용 노즐(H1)은 도 3을 기준으로 할 때 상기 프라이밍 롤러(2)의 우측에서 외부면(F) 일측을 향하여 세정용 분사(W1)의 분사가 가능하게 셋팅될 수 있다.
그리고, 상기 제2 유체분사부(10)는 상기 프라이밍 롤러(2)를 향하여 건조용 유체(W2)를 분사하면서 외부면(F)을 건조하기 위한 것이다.
상기 제2 유체분사부(10)는 건조용 노즐(H2)을 구비하고, 이 건조용 노즐(H2)로 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 일측을 향하여 건조용 유체(W2)를 분사할 수 있도록 셋팅된다.
즉, 상기 건조용 노즐(H2)은 도 3을 기준으로 할 때 상기 프라이밍 롤러(2)를 사이에 두고 상기 세정용 노즐(H1)의 이격 배치되어 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 향하여 건조용 분사(W2)의 분사가 가능하게 셋팅될 수 있다.
그리고, 상기 각 노즐(H1, H2)들은 유입 포트(L1)를 각각 구비하여 도면에는 나타내지 않았지만 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 상기 유입 포트(L1)를 통해 통상의 방법으로 공급받아서 일정 압력으로 분사할 수 있도록 셋팅된다.
이러한 구조는 해당 분야에서 일반적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
상기 세정용 유체(W1)는 신너(thinner)를 사용하고, 상기 건조용 유체(w2)는 CDA(Clean Dry Air)를 사용하면 좋다.
상기한 제1 및 제2 유체분사부(8, 10)는, 상기 작업대(C3) 상에서 상기 세정조(6)를 사이에 두고 도 3에서와 같이 이격 배치되어 슬릿노즐(C1)로부터 예비토출된 약액(R)이 묻어있는 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 세정용 유체(W1) 및 건조용 유체(W2)로 간편하게 세정/건조할 수 있다.
즉, 상기 제1 유체분사부(8)는, 도 4에서와 같이 예비토출된 약액(R)이 묻어있는 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 향하여 상기 세정용 노즐(H1)로 세정용 유체(W1)를 분사할 수 있다.
그러면, 상기 세정용 유체(W1)의 분사 압력에 의해 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)으로부터 약액(R)이 분리 제거된다.
그러므로, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 중에서 약액(R)이 묻어있는 부분이 상기 세정조(6)에 담겨지기 전에 세정 작업을 한 번 더 진행할 수 있다.
그리고, 상기 제2 유체분사부(10)는, 도 5에서와 같이 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 중에서 상기 세정조(6)에 담겨진 후 외부로 노출되는 부분을 향하여 상기 건조용 노즐(H2)로 건조용 유체(W2)를 분사할 수 있다.
그러면, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 중에서 상기 세정조(6)를 거치면서 세정된 부분에 묻어있는 잔류 약액(R) 및 세정액(W)이 건조용 유체(W2)의 분사 압력에 의해 분리 제거된다.
그러므로, 상기 세정조(6)에 담겨져서 세정된 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 상기 건조용 유체(W2)를 이용하여 간편하게 건조할 수 있다.
상기한 세정용 노즐(H1) 및 건조용 노즐(H2)은 상기 프라이밍 롤러(2) 길이와 대응하도록 슬릿 타입의 분사가 가능한 구조로 이루어진다.
예를들어, 도 3에서와 같이 두 개의 금속판(P)이 마주하는 상태로 결합되어 이들 사이로 슬릿 타입의 분사 유로(P1)가 각각 제공되는 구조일 수 있다.
그리고, 상기 세정용 노즐(H1)이나 건조용 노즐(H2) 내부에는 도 4 및 도 5에서와 같이 상기 분사 유로(P1)와 대응하는 유로용 챔버(Q1, Q2)를 더 형성하면 좋다.
상기 일측 챔버(Q1)는 상기 분사 유로(P1)의 전체 구간 중에서 상기 유입 포 트(L1)와 인접한 지점에 형성하고, 타측 챔버(Q2)는 토출 단부와 인접한 지점에 형성할 수 있다.(도 4 및 도 5 참조)
즉, 외부로부터 유입되는 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)는 상기 유로용 챔버(Q1, Q2)들을 거치면서 상기 분사 유로(P1)의 단부를 통해 분사될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)가 상기 분사 유로(P1) 내부에서 상기 유로용 챔버(Q1, Q2) 측에 일정량 담겨진 상태로 노즐 단부를 향하여 안정적으로 공급될 수 있다. 그러므로, 상기 프라이밍 롤러(2)의 전체 길이에 대응하여 유체의 분사 균일성(uniformity)을 확보할 수 있다.
상기한 제1 유체분사부(8)는 세정용 유체(W1)를 일정 압력으로 분사하는 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 세정용 유체(W1)가 상기 분사 유로(P1)의 각 유로용 챔버(Q1, Q2) 측에 담겨진 상태에서 오버플로우(overflow) 방식으로 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 향하여 세정 가능하게 공급 배출되도록 셋팅할 수도 있다.
그리고, 상기 세정용 노즐(H1) 또는 건조용 노즐(H2)은 고정 자세를 변화시킬 수 있도록 틸팅 가능하게 고정 설치하면 좋다.
예를들어, 도 6에서와 같이 상기 세정용 노즐(H1) 및 건조용 노즐(H2)과 대응하도록 위치된 고정용 브라켓트(U) 일측과 힌지 핀(U1)으로 결합 고정할 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 힌지 핀(U1)의 결합 지점을 중심으로 상기 세정용 노즐(H1) 및 건조용 노즐(H2)들을 도 6에서와 같은 상태로 회전시킬 수 있다.
그러므로, 상기 세정용 노즐(H1)이나 건조용 노즐(H2) 또는 이들 하부에 배치되는 다른 구성부들을 유지 보수할 때 한층 향상된 편의성을 확보할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 갭 조절수단(12)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 갭 조절수단(12)은, 상기 세정용 노즐(H1) 또는 건조용 노즐(H2)의 분사 위치를 조절하기 위한 것으로서, 레일(Z1)과, 이 레일(Z1)을 따라 상기 세정용 노즐(H1) 또는 건조용 노즐(H2)을 이동시키는 조절구(Z2)를 포함한다.
상기 레일(Z1)은 통상의 "LM 가이드"를 사용할 수 있으며, 상기 세정용 노즐(H1) 또는 건조용 노즐(H2)을 이동 가능하게 지지할 수 있도록 상기 작업대(C3) 상에 셋팅된다.
즉, 상기 레일(Z1)은 도 4 및 도 5에서와 같이 상기 세정용 노즐(H1) 또는 건조용 노즐(H2)과 대응하는 지점에서 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 일측을 향하는 이송 구간을 제공할 수 있도록 상기 지지용 프레임(B) 측에 설치될 수 있다.
그리고, 상기 세정용 노즐(H1) 또는 건조용 노즐(H2)은 상기 레일(Z1) 즉, LM 가이드의 이송 블록 위에 고정되어 상기 레일(Z1)의 이송 구간을 따라 전/후로 이동 가능하게 설치된다.
상기 조절구(Z2)는 나사부를 갖는 볼트(스크류)를 사용할 수 있으며, 상기 레일(Z1) 일측 단부 지점에 위치된 지지용 브라켓트(Z3) 측에 회전 가능하게 고정되어 상기 각 노즐(H1, H2)들의 일측과 나사 결합으로 연결 고정될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 조절구(Z2)의 정/역 회전에 의해 상기 세정용 노즐(H1) 또는 건조용 노즐(H2)을 밀거나 당기면서 상기 레일(Z1)을 따라 상기 프라이밍 롤러(2)를 향하여 전/후로 이동시킬 수 있다.
그러므로, 상기 갭 조절수단(12)은 상기 조절구(Z2)의 조작에 의해 상기 세정용 노즐(H1) 또는 건조용 노즐(H2)의 분사 위치를 간편하게 조절 및 셋팅할 수 있으며, 이와 같은 작용에 의해 작업 호환성을 향상시킬 수 있다.
상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 스퀴즈(14, squeeze)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 스퀴즈(14)는, 상기 프라이밍 롤러(2) 외부면(F)에 달라붙은 각종 유체(약액, 세정액, 세정용 유체)를 긁어내는 방식으로 분리 제거하기 위한 것이다.
상기 스퀴즈(14)는 연질의 고무나 실리콘 재질로 이루어지고, 상기 프라이밍 롤러(2)의 길이와 대응하는 크기를 갖는 판상의 형태로 이루어진다.
상기 스퀴즈(14)는 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)과 대응하도록 설치된다.
예를들어, 도 3에서와 같이 상기 세정용 노즐(H1) 및 건조용 노즐(H2)과 약간 떨어진 지점에서 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F) 일측과 각각 접촉이 가능한 상태로 위치될 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 세정조(6)에서 세정 작업을 진행하기 전/후로 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)에 묻어있는 약액(R)이나 세정액(W), 세정용 유체(W1)들을 스크래핑(scraping) 방식으로 한 번 더 제거할 수 있다.
그리고, 상기 스퀴즈(14)는 도 3에서와 같은 압력조절수단(16)에 의해 접촉력의 조절이 가능하게 이루어질 수 있다.
상기 압력조절수단(16)은, 두 개의 가압판(K1)과, 이 가압판(K1) 간격을 조절하는 조임구(K2)를 포함한다.
상기 두 개의 가압판(K1)은 금속판을 사용할 수 있으며, 도 7에서와 같이 상기 스퀴즈(14)를 사이에 두고 마주하는 상태로 위치된다.
그리고, 상기 조임구(K2)는 나사부를 갖는 볼트(스크류)를 사용할 수 있다.
즉, 상기 조임구(K2)는, 상기 두 개의 가압판(K1)을 관통하는 상태로 끼워지며 나사부 일단이 상기 두 개의 가압판(K1) 중에서 뒤쪽에 위치한 가압판(K1)과 나사 결합으로 체결된다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 조임구(K2)의 정/역 회전시 나사 결합력에 의해 상기 두 개의 가압판(K1) 간격을 변화시키면서 상기 스퀴즈(14)의 접촉력을 조절할 수 있다.
예를들어, 상기 조임구(K2)를 조임 방향으로 돌리면 상기 두 개의 가압판(K1) 간격이 좁혀진다.
그러면, 상기 스퀴즈(14)의 양면이 눌려지면서 접촉 단부가 도 7에서와 같이 외측으로 더욱 돌출 되므로 상기 프라이밍 롤러(2)와의 접촉 압력을 높일 수 있다.
그리고, 상기 스퀴즈(14)의 접척력을 낮추려면 상기 조임구(K2)를 반대로 돌려서 조임 상태를 풀면 된다.
그러므로, 상기한 압력조절수단(16)의 작용에 의해 상기 스퀴즈(14)와 프라이밍 롤러(2) 간의 접촉 압력을 작업 환경과 부합하는 상태로 적절하게 조절 및 셋팅할 수 있다.
한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치는, 유체제거수단(18)을 포함한다.
상기 유체제거수단(18)은, 상기 제1 및 제2 유체분사부(8, 10)에서 분사된 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 흡입력으로 제거 및 수거하기 위한 것이다.
도 3을 참조하면, 상기 유체제거수단(18)은, 흡입 유로(J1)를 제공하는 제거용 노즐(J)과, 상기 흡입 유로(J1) 내부에 흡입력을 발생할 수 있도록 상기 제거용 노즐(J)과 연결되는 흡입구동기(J2)를 포함한다.
상기 유체제거수단(18)은, 상기 제1 유체분사부(8) 또는 제2 유체분사부(10)와 대응하여 일체형의 구조를 갖도록 설치하면 좋다.
예를들어, 상기 제거용 노즐(J)을 도 4 및 도 5에서와 같이 상기 세정용 노즐(H1) 및 건조용 노즐(H2)의 저면과 마주하는 상태로 부착하여 이들 부착면 사이로 흡입 유로(J1)가 형성된 노즐 구조로 이루어질 수 있다.
즉, 상기 흡입 유로(J1)는 상기 세정용 노즐(H1) 및 건조용 노즐(H2)의 분사 유로(P1)와 동일한 방향으로 연장 형상된다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 흡입 유로(J1)의 흡입 단부가 상기 세정용 노즐(H1) 및 건조용 노즐(H2)의 토출 단부 아래쪽에 위치된다.
그러므로, 상기 세정용 노즐(H1) 및 건조용 노즐(H2)에 의해 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 향하여 분사된 세정용 유체(W1) 및 건조용 유체(W2)를 곧바로 수거할 수 있는 상태가 된다.
그리고, 상기 흡입구동기(J2)는 통상의 에어 펌프를 사용할 수 있으며, 상기 흡입 유로(J1) 측에 일정 압력의 흡입력이 발생하도록 통상의 방법으로 연결된다.
예를들어, 상기 흡입구동기(J2)는 도 4 및 도 5에서와 같이 상기 제거용 노즐(J)의 배출 포트(L2)와 관체로 연결되어 펌프의 구동시 상기 흡입 유로(J1) 내부에 흡입력의 발생이 가능하도록 셋팅될 수 있다.
상기한 유체제거수단(18)은, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)을 향하여 세정 및 건조가 가능하게 분사된 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2)를 도 8 및 도 9에서와 같이 상기 제거용 노즐(J)의 흡입 유로(J1)를 통해 빨아들이는 방식으로 간편하게 제거 및 수거할 수 있다.
이때, 상기 세정용 유체(W1)나 건조용 유체(W2) 중에는 상기 프라이밍 롤러(2) 측에 달라붙은 약액(R)이나 세정액(W)이 포함된 상태로 함께 제거 및 수거된다.
특히, 이와 같은 작용에 의하면, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)에서 분리된 이물질(약액)이 상기 세정용 유체(W1) 또는 건조용 유체(W2) 중에 포함된 상태로 상기 세정조(6) 내부로 낙하하거나, 불규칙하게 튀는 현상을 방지할 수 있다.
그러므로, 세정 작업시 예를들어, 상기 프라이밍 롤러(2)의 외부면(F)에서 분리된 이물질들에 의해 상기 세정조(6)의 세정액(W)이 조기에 오염되거나, 상기 프라이밍 롤러(2)의 2차 오염이 발생하는 현상을 최대한 억제할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 바람직한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 제1 유체분사부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 제2 유체분사부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 제1 및 제2 유체분사부의 틸팅 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 스퀴즈 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일실시 예에 따른 약액 예비토출장치의 유체제거수단의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
2: 프라이밍 롤러 4: 구동부 6: 세정조
8: 제1 유체분사부 10: 제2 유체분사부 12: 갭 조절수단
14: 스퀴즈 16:압력조절수단 18: 유체제거수단
G: 기판 R: 약액

Claims (14)

  1. 슬릿노즐로부터 약액이 예비토출되는 프라이밍 롤러;
    상기 프라이밍 롤러를 회전 구동하는 구동부;
    내부에 세정액이 담겨지며 상기 프라이밍 롤러의 외부면 하부가 상기 세정액 중에 잠기도록 배치되는 세정조;
    상기 세정조를 사이에 두고 좌/우로 배치되어 상기 프라이밍 롤러의 외부면을 향하여 세정용 유체 또는 건조용 유체를 분사하는 제1 유체분사부 및 제2 유체분사부;
    상기 제1 유체분사부 및 제2 유체분사부에서 분사된 세정용 유체 또는 건조용 유체를 흡입력으로 제거 및 수거할 수 있도록 흡입 유로를 제공하는 제거용 노즐과, 상기 흡입 유로 내부에 흡입력을 발생할 수 있도록 상기 제거용 노즐과 연결되는 흡입구동기로 구성되는 유체제거수단;
    을 포함하는 약액 예비토출장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 유체분사부는,
    두 개의 금속판 사이로 슬릿형의 분사 유로가 제공되는 세정용 노즐로 구성되는 약액 예비토출장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 유체분사부는,
    두 개의 금속판 사이로 슬릿형의 분사 유로가 제공되는 건조용 노즐로 구성되는 약액 예비토출장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 세정용 노즐 또는 건조용 노즐은,
    유로용 챔버를 더 포함하며,
    상기 유로용 챔버는,
    상기 분사 유로와 연통된 상태로 한 군데 또는 복수 개의 지점에 이격 형성되는 약액 예비토출장치.
  5. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 세정용 노즐 또는 건조용 노즐은,
    일측이 힌지 결합으로 고정되어 이 힌지 결합 지점을 중심으로 회전되면서 틸팅이 가능하게 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 약액 예비토출장치.
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡입 유로는,
    상기 세정용 노즐 또는 건조용 노즐의 아래쪽에서 상기 분사 유로와 이격되어 동일한 방향으로 연장 형성되는 약액 예비토출장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡입구동기는,
    에어 펌프를 사용하고 상기 흡입 유로 일측과 유체 공급이 가능하게 연결되는 약액 예비토출장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 프라이밍 롤러의 회전 방향을 따라 한 군데 이상의 지점에 위치하는 스퀴즈를 더 포함하며,
    상기 스퀴즈는,
    판상의 고무나 실리콘으로 이루어지며, 일단이 상기 프라이밍 롤러의 외부면과 접촉 가능하게 셋팅되는 약액 예비토출장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 스퀴즈는 압력조절수단의 누름 압력에 의해 일단이 외측으로 확장되거나 반대로 축소되면서 상기 프라이밍 롤러와의 접촉력이 조절되며,
    상기 압력조절수단은,
    상기 스퀴즈의 일면 및 타면에 배치되는 가압판;
    상기 가압판의 간격을 조절하는 조임구;
    를 포함하는 약액 예비토출장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 조임구는,
    나사부를 갖는 볼트(스크류)를 사용하고,
    상기 두 개의 가압판을 관통하는 방향으로 체결되어 정/역 회전시 나사 결합력에 의해 가압판의 간격 조절이 가능하게 셋팅되는 약액 예비토출장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 유체분사부 또는 제2 유체분사부 일측에는 유체의 분사 위치를 조절하기 위한 갭 조절수단을 더 포함하며,
    상기 갭 조절수단은,
    레일;
    상기 레일을 따라 상기 제1 유체분사부 또는 제2 유체분사부를 이동시키는 조절구;
    를 포함하는 약액 예비토출장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 레일은,
    LM 가이드를 사용하고, 이 LM 가이드의 이송 블록에 상기 제1 유체분사부 또는 제2 유체분사부가 설치되는 약액 예비토출장치.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 조절구는,
    나사부를 갖는 볼트(스크류)를 사용하고,
    나사부 일단이 상기 제1 유체분사부 또는 제2 유체분사부 일측과 나사 결합으로 연결되어 정/역 회전시 나사 결합력으로 밀거나 당기면서 위치 조절이 가능하게 셋팅되는 약액 예비토출장치.
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