KR100685919B1 - 세정 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 롤 브러시에 순수를 공급받아 방출할 수 있는 내부 공간과 다수의 동공을 구비함으로써 공정을 단순화시키고 세정력을 증대시키는 세정 장치에 관한 것으로서, 특히 롤 브러시를 구비한 세정장치에 있어서, 상기 롤 브러시는 다수의 동공을 가지는 브러시 유닛과, 상기 브러시 유닛에 연결되어 세정수를 공급하는 공급관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

롤 브러시, 세정, 캐비테이션 제트 유닛

Description

세정 장치{Cleaning Device}

도 1은 종래 기술에 의한 세정장치의 구성도.

도 2는 종래 기술에 의한 롤 브러시의 측면도.

도 3은 본 발명에 의한 세정장치의 구성도.

도 4는 본 발명에 의한 롤 브러시의 측면도.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 롤 브러시의 단면도.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 롤 브러시의 단면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호설명

11 : 기판 12 : 롤 브러시

13 : 공급관 14 : 반송 롤러

15 : 포털 16 : 동공

17 : 브러시 유닛 18 : 캐비테이션 제트 유닛

본 발명은 세정장치에 관한 것으로, 특히 롤 브러시에 순수를 공급받아 방출할 수 있는 내부 공간과 다수의 동공을 구비함으로써 공정을 단순화시키고 세정력 을 증대시키는 세정 장치에 관한 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 세정 장치를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술에 의한 세정장치의 구성도이고, 도 2는 종래 기술에 의한 롤 브러시의 측면도이다.

도 1 및 도 2를 참고하여 종래 기술에 의한 세정장치를 살펴보면, 세정할 기판(1)의 상,하측에 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시(2)와, 상기 롤 브러시(2)에 연결되어 상기 롤 브러시(2)를 회전하도록 구동시키는 구동모터(미도시)와, 상기 기판(1) 상,하부 측에 각각 위치하여 상기 기판(1)을 향해 세정수를 분사시키는 파이프 샤워(3)와, 상기 기판(1)을 로딩부(Loader)에서 언로딩부(Unloader)까지 정지시키지 않고 계속 이동시키는 반송 롤러(4)로 구성된다.

이 때, 상기 세정 장치에 의해 세정되는 기판은 액정표시소자의 기판, 반도체 기판 등 그 종류를 불문한다.

그리고, 상기 롤 브러시(2)는 도 2에 도시된 바와 같이 그 표면에 수많은 포털(5)을 가지고 있어서, 기판의 오염 물질을 제거한다.

하지만, 롤 브러시의 고속 회전시 포털과 포털 사이 간격이 넓어져서 장기 사용시 오염 입자의 제거능력이 떨어지고, 포털이 서로 뭉쳐져 기판 전면에 대한 균일한 세정을 얻기가 힘들다.

상기와 같이 구성된 세정장치는 상기 기판(1)이 이동하는 방향과 반대 방향 또는 같은 방향으로 상기 롤 브러시(2)를 회전시켜 그 상호 회전력에 의해 세정이 이루어지도록 한다.

또한, 상기 파이프 샤워(3)에서는 상기 롤 브러시(2)의 오염을 제거하고, 제거된 오염 입자의 비산을 방지하고, 상기 기판(1) 상에 남아있는 유기오염을 제거하고 또한, 기판과 롤 브러시와의 계면 마찰을 줄일 수 있도록 하기 위해 순수를 분사한다.

이때, 상기 기판(1)의 표면에 존재하는 오염의 제거정도는 상기 롤 브러시(2)의 회전력, 상기 기판(1)과 롤 브러시(2)의 밀착력, 상기 기판(1)의 이동속도, 상기 롤 브러시(2)의 포결상태 등에 의해서 결정된다.

특히, 상기 롤 브러시(2)의 포결상태는 시간이 지남에 따라 변하게 되는데, 기판과 접촉되는 롤 브러시의 포결이 도 3에 도시된 바와 같이 한쪽 방향으로 치우치게 되어 오염 제거능력이 떨어진다.

즉, 상기와 같은 종래의 세정 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.

첫째, 롤 브러시의 고속 회전시 포털과 포털 사이의 간격이 넓어져서 롤 브러시의 장기 사용시 오염 입자의 제거능력이 떨어진다.

둘째, 노즐을 통해 순수 또는 세정액을 기판에 분사시킨후, 롤 브러시를 회전시켜 오염 물질을 제거하는데, 이 때 상기 순수 또는 세정액에 의해 롤 브러시의 포털이 서로 뭉쳐져 기판의 전표면에 대한 균일한 세정이 불가능하게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 롤 브러시에 순수를 공급받아 외부로 방출할 수 있는 내부 공간과 다수의 동공을 구비함으로써 공정을 단순화시키고 세정력을 증대시키는 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 세정 장치는 롤 브러시를 구비한 세정장치에 있어서, 상기 롤 브러시는 다수의 동공을 가지는 브러시 유닛과, 상기 브러시 유닛에 연결되어 세정수를 공급하는 공급관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

즉, 본 발명에 의한 세정 장치는 롤 브러시 내부에 순수를 공급받아 방출할 수 있는 공간을 형성하여 별도로 파이프 샤워를 설치하지 않는 것을 특징으로 한다.

특히, 종래에는 롤 브러시의 물리적 힘에 의해서만 오염 물질을 제거했던 반면, 본 발명에서는 다수의 미세한 동공을 가지는 롤 브러시를 회전시키면서 세정수를 방출하므로 오염 입자 제거능력이 향상되고 포털이 서로 뭉치지 않게 된다.

이 때, 공급관을 통해 공급되는 세정수가 채워지는 공간은 따로 형성함 없이 롤 브러시의 내부 공간을 이용하거나 또는, 롤 브러시의 내부에 캐비테이션 제트 유닛(Cavitation Jet Unit, 이하, '캐비테이션 유닛'으로 축약함)을 따로 장착함으로써 형성한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 의한 세정 장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 의한 세정장치의 구성도이고, 도 4는 본 발명에 의한 롤 브러시의 측면도이다.

도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 롤 브러시의 단면도이고, 도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 롤 브러시의 단면도이다.

제 1 실시예

도 3 및 도 4를 참고하여 본 발명의 제 1 실시예에 의한 세정장치를 살펴보면, 세정할 기판(11)의 상,하측에 적어도 하나 이상 설치되어 다수의 동공을 가지는 롤 브러시(12)와, 상기 롤 브러시(12)에 연결되어 상기 롤 브러시(12)를 회전시켜 주는 구동모터(미도시)와, 상기 롤 브러시(12)와 연결되어 상기 롤 브러시에 세정수를 공급해 주는 공급관(13)과, 상기 기판(11)을 로딩부(Loader)에서 언로딩부(Unloader)까지 정지시키지 않고 계속 이동시키는 반송 롤러(14)로 구성된다.

특히, 상기 롤 브러시(12)는, 도 4 및 도 5에서와 같이, 공급관(13)으로부터 공급되는 세정수를 채울 수 있는 빈 내부공간을 가지며 표면에 다수개의 동공(16)과 포털(15)을 가진다.

이 때, 세정 장치에 의해 세정되는 상기 기판(11)은 액정표시소자의 기판, 반도체 기판 등 그 종류를 불문한다.

그리고, 상기 기판(11)의 상면과 롤 브러시(roll brush)(12)는 서로 밀착되도록 설치되어 상기 롤 브러시가 회전할 때, 상기 기판(11) 상의 오염이 제거되도록 한다.

특히, 상기 롤 브러시(12)가 회전할 때, 공급관(13)에 의해 공급된 세정수가 상기 롤 브러시(12)에 다수개 형성된 동공(16)을 통해 외부로 방출된다.

이 때, 상기 롤 브러시(12)의 회전력을 크게 하거나, 세정수를 공급하는 공급관의 수압을 높이거나, 동공의 크기를 작게 하여 그 수를 많게 하면 세정력이 크게 증대된다.

또한, 동공에 의해 물이 방출되므로 그 사이에 형성된 포털이 뭉치는 것도 방지할 수 있다.

따라서, 롤 브러시 자체의 오염 입자 제거 능력이 향상되고 수명이 길어진다.

제 2 실시예

본 발명의 제 2 실시예에 의한 세정장치를 살펴보면, 세정할 기판의 상,하측에 적어도 하나 이상 설치되어 다수의 동공을 가지는 롤 브러시와, 상기 롤 브러시에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전시켜 주는 구동모터와, 상기 롤 브러시와 연결되어 상기 롤 브러시에 세정수를 공급해 주는 공급관과, 상기 기판을 로딩부(Loader)에서 언로딩부(Unloader)까지 정지시키지 않고 계속 이동시키는 반송 롤러로 구성된다.

특히, 상기 롤 브러시(12)는 도 6에 도시된 바와 같이 공급관(13)으로부터 공급되는 세정수를 채울 수 있는 빈 내부공간을 가지는 캐비테이션 유닛(18)과, 회전하면서 포털(15)을 이용하여 기판의 오염을 제거하는 브러시 유닛(17)으로 구성된다.

이 때, 상기 캐비테이션 유닛(18)과 브러시 유닛(17)은 상기 공급관(13)에 의해 공급된 세정수가 방출될 수 있도록 다수개의 미세한 동공(16)을 가진다.

상기 캐비테이션 유닛(18)과 브러시 유닛(17)의 동공(16)은 위치가 서로 일치하여도 되고 또는 일치하지 않아도 된다.

또한, 세정을 위해 상기 브러시 유닛(17)이 회전할 때, 상기 캐비테이션 유 닛(18)은 회전하여도 되고 회전하지 않아도 되는데, 회전시 그 방향은 상기 브러시 유닛(17)과의 회전 방향과 서로 무관하다.

이와 같이 형성된 세정장치는 기판(11)의 상면과 롤 브러시(roll brush)(12)가 서로 밀착되도록 설치되어 상기 롤 브러시가 회전할 때, 상기 기판(11) 상의 오염이 제거되도록 하는데, 상기 롤 브러시 회전시, 공급관(13)에 의해 공급된 세정수가 캐비테이션 유닛(18)과 브러시 유닛(17)의 동공(16)으로 동시에 방출되어 마찰을 감소시키고 잔여 오염 물질을 제거한다.

이 때, 상기 브러시 유닛(17)의 회전력 또는 캐비테이션 유닛(18)의 회전력을 크게 하거나, 세정수를 공급하는 공급관의 수압을 높이거나, 동공의 크기를 작게 하여 그 수를 많게 하면 세정력이 크게 증대된다.

또한, 동공에 의해 물이 방출되므로 그 사이에 형성된 포털이 서로 뭉치지 않으며, 롤 브러시 자체의 세정이 간단해진다.

상기에서와 같이 형성된 세정장치는 액정표시소자의 기판, 반도체 기판 등 다양한 기판을 세정할 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 세정 장치는 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 물리적 힘에 의해서만 오염 물질을 제거했던 종래의 롤 브러시와 달리, 동공을 가진 롤 브러시를 이용함으로써 기포를 형성하여 오염 입자 제거 능력을 향상시킨다.

둘째, 롤 브러시의 동공으로 방출되는 공급수에 의해 브러시 표면의 포털이 서로 뭉치지 않게 되어 오염 제거능력이 향상되고 세정 불량이 감소한다. 그리고, 롤 브러시를 보다 오래 사용할 수 있다.

셋째, 롤 브러시 내부에 캐비테이션 제트 유닛(Cavitation Jet Unit)을 장착함으로써 세정력이 현저히 증대된다.

넷째, 롤 브러시 내부에 세정수 공급관를 연결시킴으로써 별도로 파이프 샤워를 설치하지 않아도 되므로 세정 장치의 면적을 최소화할 수 있다.

Claims (12)

1. 기판을 세정하기 위해 롤 브러시를 구비한 세정장치에 있어서, 상기 롤 브러시는

   다수의 동공을 가지는 브러시 유닛;

   상기 브러시 유닛 표면에 부착되고 상기 기판에 접촉되는 포털;

   상기 브러시 유닛에 연결되어 세정수를 공급하는 공급관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 세정 장치는

   세정할 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시;

   상기 롤 브러시에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전시켜 주는 구동모터;

   상기 기판을 이동시켜 주는 반송 롤러를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 롤 브러시는 회전되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 브러시 유닛의 동공을 통해 세정수가 방출되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 롤 브러시에서 방출되는 세정수의 수압은 공급관의 수압, 상기 동공의 크기, 동공의 수 또는 롤 브러시의 회전력에 의존하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
6. 세정 장치의 롤 브러시에 있어서,

   다수의 동공을 가지는 브러시 유닛;

   상기 브러시 유닛 내부에 장착되어 다수의 동공을 가지는 캐비테이션 유닛;

   상기 캐비테이션 유닛에 연결되어 세정수를 공급하는 공급관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 세정 장치는

   세정할 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시;

   상기 롤 브러시에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전시켜 주는 구동모터;

   상기 기판을 이동시켜 주는 반송 롤러를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
8. 제 6 항에 있어서, 상기 브러시 유닛은 회전되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
9. 제 6 항에 있어서, 상기 캐비테이션 유닛은 회전되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 캐비테이션 유닛은 상기 브러싱 유닛과 서로 무관한 방향으로 회전되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
11. 제 6 항에 있어서, 상기 브러시 유닛과 캐비테이션 유닛의 동공을 통해 세정수가 방출되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
12. 제 6 항에 있어서, 상기 롤 브러시에서 방출되는 세정수의 수압은 공급관의 수압, 상기 동공의 크기, 동공의 수, 브러시의 유닛의 회전력 또는 캐비테이션 유닛의 회전력에 의존하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.

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