KR0160178B1 - 기판세정용 브러쉬 장치와 브러쉬 자동 세척장치 - Google Patents

기판세정용 브러쉬 장치와 브러쉬 자동 세척장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판(2)을 세정하는 과정에서 브러쉬(103)의 모(3a)에 기판세정중에 붙게되는 미세한 먼지입자등이 완전히 제거되지 않아 기판(2)에 다시 붙게되어 기판의 완전한 세정작용이 이루어지지 않으므로 브러쉬(103)의 모(3a)에 남아있는 먼지 등을 완전히 제거할 수 있도록 하므로서, 완전한 기판(2)세정이 이루어지도록 하는 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치에 관한 것이다.
종래 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치는 노즐(107)에서 분사되어지는 순수(108)에 의하여 브러쉬(103)에 붙어있게 되는 먼지 등을 제거하게 되므로서, 브러쉬(103)의 모(103a)에 붙어있게 되는 먼지 등을 완전히 제거하기 위해서는 많은 양의 순수(108)가 필요하게 되며, 또한 브러쉬(103)의 모(103a)에 붙게되는 먼지 등을 완전히 제거하지 못하여 브러쉬(103)의 모(103a)가 한 번 회전하여 다시 기판(102)에 닿게 될 경우 브러쉬(103)의 모(103a)에 남아있던 먼지등이 다시 기판(102)에 붙게되는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 이와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여브래킷(11)과 같은 제거수단을 형성하고, 기판(2)의 이송상태를 인식하여 상기의 제거수단을 온,오프시켜 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 먼지 등을 제거하게 되므로서, 브러쉬(3)의 모(3a)를 씻어내기 위한 순수(7)의 양이 브러쉬(3)의 모(3a)를 적실정도의 양정도 만으로도 충분하여 순수(7)의 양을 줄일수 있게되고, 또한 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있게 되는 먼지 등을 완전히 제거할수 있어, 기판(2)의 세정작용을 완전하게 수행할 수 있게 되는 것이다.

Description

기판세정용 브러쉬장치와 브러쉬 자동세척장치
본 발명은 기판을 세정하는 과정에서 브러쉬의 모에 기판세정중에 붙게되는 미세한 먼지입자등이 완전히 제거되지 않아 기판에 다시 붙게되어 기판의 완전한 세정작용이 이루어지지 않으므로 브러쉬의 모에 남아있는 먼지 등을 완전히 제거할 수 있도록 하므로서, 완전한 기판세정이 이루어지도록 하는 기판세정용 브러쉬장치와 브러쉬 자동세척장치에 관한 것이다.
먼저 제2도에 도시된 바와같이, 기판(102)을 세정하는 장치의 브러쉬(103)는 로울러(101)로 이송되어지는 기판(102)의 상,하 양측으로 각각 위치하게 되고, 회전하면서 기판(102)에 묻어있는 미세한 입자의 먼지 등을 브러쉬(103)에 형성되어 있는 모(103a)로 닦게 되고, 이와같이 닦이는 먼지 등의 일부는 브러쉬(103)의 모(103a)에 옮겨붙게 된다.
상기에서와 같이 브러쉬(103)의 모(103a)에 옮겨붙은 먼지등은 노즐(107)에서 분사되어지는 순수(108)에 의하여 씻겨 제거되어 지게 되면서 기판(102)의 세정 공정이 이루지게 되는 것이다.
도면 제1도는 상기에서와 같은 기판(102) 세정과정에서의 기판(102)의 상측과 하측헤서 기판(102)에 밀착되어지게 되는 종래 기판세정용 브러쉬장치의 구성을 나타낸 사시도로서, 제1도를 참조하여 그 구성 및 작용효과를 설명하면 다음과 같다.
종래 기판세정용 브러쉬장치의 구성은 로울러(101)에 의해 이송되어지는 기판(102)과, 상기 기판(102)에 밀착하여 기판(102)상에 묻어있는 미세한 먼지 등을 제거하는 브러쉬(103)와, 상기 브러쉬(103)의 중심에 위치하여 모터(104)로 부터 회전력을 인가받아 브러쉬(103)를 회전시키는 회전축(105)과, 상기 회전축(105)을 고정지지하는 하우징(106)과, 상기 브러쉬(103)에 옮겨붙은 먼지 등을 제거하도록순수(108)를 분사하는 노즐(107)로 구성된다.
그리고 상기 브러쉬(103)는 기판(102)에 직접 닿으면서 기판(102)의 먼지 등을 제거하도록 하는 모(103a)로 구성된다.
이와같이 구성되는 종래 기판세정용 브러쉬장치는 제2도에서와 같이, 로울러(101)에 의하여 이송되어져 기판(102)이 브러쉬(103)의 공정구역으로 들어오면, 모터(104)의 회전력으로 회전축(105)을 통하여 회전하는 브러쉬(103)가 기판(102)에 밀착되어지면서 제3도와같이, 브러쉬(103)의 모(103a)가 기판(102)의 미세한 입자 등을 제거하게 된다.
이때 기판(102)에 묻어있던 미세한 입자등 먼지의 일부는 브러쉬(103)의 모(103a)에 옮겨붇게 되고, 이와같이 브러쉬(103)의 모(103a)에 옮겨붙게 되는 먼지등은 노즐(107)에 분사되어지는 순수(108)에 의하여 씻겨져 브러쉬(103)의 모(103a)로 부터 제거되어지게 되므로 기판(102)의 먼지 등을 완전히 제거하게 된다.
그러나 이와같은 구조의 종래 기판세정용 브러쉬장치는 노즐(107)에서 분사 되어지는 순수(108)에 의하여 브러쉬(103)에 붙어있게 되는 먼지 등을 제거히게 되므로서, 브러쉬(103)의 모(103a)에 붙어있게 되는 먼지 등을 완전히 제거하기 위해서는 많은 양의 순수(108)가 필요하게 되며, 또한 브러쉬(103)의 모(103a)에 붙게되는 먼지 등을 완전히 제거하지 못하여 브러쉬(103)의 모(103a)가 한 번 회전하여 다시 기판(102)에 닿게 될 경우 브러쉬(103)의 모(103a)에 남아있던 먼지등이 다시 기판(102)에 붙게되는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 이와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 로울러에 의하여 이송되어지는 기판의 이송상태를 검출하고, 검출된 기판의 위치를 인식하여 브러쉬의 모에 붙어있게 되는 먼지 등을 제거하도록 제거수단을 동작시켜, 브러쉬의 모에 남아있는 먼지 등을 완전히 제거하여 주므로서, 기판의 완전한 세정공정을 수행할 수 있도록 한 것으로 본 발명 기판세정용 브러쉬장치와 브러쉬세척장치의 구성 및 작용 효과를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
제1도는 종래 기판세정용 브러쉬장치의 구성을 보인 사시도.
제2도는 종래 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치 기판세정공정을 보인 동작상태도.
제3도는 종래 기판세정용 브러쉬장치의 브러쉬 세정상태를 보인 동작상태도.
제4도는 본 발명 기판세정용 브러쉬장치의 구성을 보인 사시도.
제5도의 (a)∼(b)는 본 발명 기판세정용 브러쉬 자동세척장치의 기판 진행에 따른 기판 세정공정을 순서대로 보인 동작상태도.
제6도는 본 발명 기판세정용 브러쉬장치의 브래킷이 오프상태에서의 상측 브러쉬 상측브러쉬 세척상태를 보인 동작상태도.
제7도는 본 발명 기판세정용 브러쉬장치의 브래킷이 온상태에서의 하측브러쉬 세척상태를 보인 동작상태도.
제8도는 본 발명 기판세정용 브러쉬장치의 브래킷이 오프상태에서의 하측브러쉬 세척상태를 보인 동작상태도.
제9도는 본 발명 기판세정용 브러쉬장치의 브래킷이 온상태에서의 하측브러쉬 세척상태를 보인 동작상태도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 로울러 2 : 기판
3 : 브러쉬 3a : 모
4 : 모터 5 : 회전축
6 : 하우징 7 : 순수
8 : 노즐 9 : 구동수단
10 : 커넥팅로드 11 : 브래킷
12 : 제어수단 13 : 감지수단
먼저, 본 발명 기판세정용 브러쉬장치의 구성부터 설명하면, 제4도 및 제5도에 도시된 바와같이, 로울러(1)에 의해 이송되어지는 기판(2)과, 상기 기판(2)에 밀착하여 기판(2)상에 묻어있는 미세한 먼지 등을 제거하도록 모(3a)를 형성한 브러쉬(3)와, 상기 브러쉬(3)의 중심에 위치하여 모터(4)로부터 회전력을 인가받아 브러쉬(3)를 회전시키는 회전축(5)과, 상기 회전축(5)을 고정지지하는 하우징(6)과, 상기 브러쉬(3)에 옮겨붙은 먼지 등을 제거하도록 순수(7)를 브러쉬(3)의 표면에 분사하는 노즐(8)과, 커넥팅로드(10)를 왕복이동시키는 구동수단(9)과, 상기 구동수단(9)에 의하여 왕복이동하여 브래킷(11)을 브러쉬(3)의 중심방향으로 이동하도록하는 커넥팅로드(10)와, 상기 커넥팅로드(10)에 의하여 브러쉬(3)의 중심방향으로 이동하여 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 미세한 입자의 먼지 등을 제거하도록 하는 브래킷(11)으로 구성된다.
그리고 상기에서와같이 구성되는 기판세정용 브러쉬장치를 참조하여 본 발명 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치 구성을 설명하면 다음과 같다.
도면 제5도에 도시된 바와같이, 본 발명 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치의 구성은 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 먼지를 제거하는 브래킷(11)을 형성한 브러쉬장치와, 상기 브러쉬장치의 브래킷(11)을 구동시키는 구동수단(9)과, 상기 구동수단(9)을 제어하는 제어수단(12)과, 기판(2)의 이송상태를 감지하여 제어수단(12)이 기판(2)의 위치를 인식하도록 하는 감지수단(13)으로 구성된다.
그리고 상기 브러쉬장치는 이송되어져오는 기판(2)의 상측과 하측에 적절히 배치하고, 상기 감지수단(13)은 브러쉬장치의 사이사이에 적당한 간격으로 위치하도록 하고, 상기 제어수단(12)은 기판(2)이 없다고 감지수단(13)에서 감지되면 해당되는 브러쉬장치의 브래킷(11)을 동작시키도록 구성된다.
이와같이 구성된 본 발명 기판세정용 브러쉬장치와 브러쉬 장동세척장치는 로울러(1)에 의해 이송되어지는 기판(2)의 상측가 하측에 브러쉬(3)가 위치하여 로울러(1)에 의하여 기판(2)이 이송되어져 오면 모터(4)에 의해 회전하는 회전축(5)을 통하여 회전하여 기판(2)에 밀착되어지면서 기판(2)에 묻어있는 먼지 등을 브러쉬(3)의 모(3a)에 의하여 제거되어지게 된다.
이때 브러쉬(3)의 모(3a)에 기판(2)에 묻어있던 먼지 등의 일부가 묻어오게되는바, 이와같이 브러쉬(3)의 모(3a)에 묻어있는 먼지등은 노즐(8)에서 분사되어 지는 순수(7)에 의해 씻겨지게 된다.
한편 기판(2)의 로울러(1)에 의해 이송되어질 때 감지수단(13)에서 기판(2)의 이송상태를 검출하고, 이를 제어수단(12)에서 인식하여 구동수단(9)을 온, 오프시켜 커넥팅로드(10)를 왕복운동시키므로서, 커넥팅로드(10)에 연결되어 있는 브래킷(11)이 브러쉬(3)의 중심부로 향하여 이동하게 되어 제6도∼제9도에서와 같이, 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 먼지 등을 제거하게 된다.
도면 제5도는 감지수단(13)에서 기판의 이송상태를 인식하여 브래킷(11)을 동작시키는 기판세정용 브러쉬 자동세척장치의 동작상태를 순서대로 나타낸 것으로, (a)에서부터 시작하여 (e)와 같이 진행하게 되며, 도면에 나타난 바와같이, 기판(2)이 브러쉬(3)의 위를 지나간후이거나 다음 기판(2)이 진행될 브러쉬(3)에 밀착되지 않았을 경우 즉, 기판(2)이 없을 경우를 감지수단(13)에서는 감지하여 제어수단(12)으로 신호를 보내면 제어수단(12)에서 구동수단(9)를 온, 오프 시켜 브래킷(11)을 브러쉬(3)의 모(3a)에 접근시키므로서, 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 먼지 등을 털어내게 된다.
이와같이 기판(2)이 지나가게 될 때에는 브러쉬(3)의 모(3a)에 의하여 기판(2)위의 미세한 입자의 먼지 등을 제거하면서 노즐(8)에서 분사 된 순수(7)에 의해 씻어내고, 기판(2)위의 먼지중에 일부가 브러쉬(3)의 모(3a)에 묻어나오면 기판(2)이 지나가고 난뒤에 다음 기판(2)이 이송되오기 전에 브래킷(11)을 동작시켜 브러쉬의 모(3a)에 남아있는 일부 먼지를 완전히 제거하게 된다.
이상에서 설명한 바와같이 브래킷(11)과 같은 제거수단을 형성하고, 기판(2)의 이송상태를 인식하여상기의 제거수단을 온, 오프시켜 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 먼지 등을 제거하게 되므로서, 브러쉬(3)의 모(3a)를 씻어내기 위한 순수(7)의 양이 브러쉬(3)의 모(3a)를 적실정도의 양정도 만으로도 충분하여 순수(7)의 양을 줄일수 있게되고, 또한 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있게 되는 먼지 등을 완전히 제거할수 있어, 기판(2)의 세정작용을 완전하게 수행할 수 있게 되는 것이다.

Claims (3)

  1. 로울러(1)에 의해 이송되어지는 기판(2)과, 상기 기판(2)에 밀착하여 기판(2)상에 묻어있는 미세한 먼지 등을 제거하도록 모(3a)를 형성한 브러쉬(3)와, 상기 브러쉬(3)의 중심에 위치하여 모터(4)로부터 회전력을 인가받아 브러쉬(3)를 회전시키는 회전축(5)과, 상기 회전축(5)을 고정지지하는 하우징(6)과, 상기 브러쉬(3)에 옮겨붙은 먼지 등을 제거하도록 순수(7)를 브러쉬(3)의 표면에 분사하는 노즐(8)로 구성된 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치에 있어서, 온,오프 동작하여 커넥팅로드(10)를 왕복이동시키는 구동수단(9)과, 상기 구동수단(9)에 의하여 왕복이동하여 브래킷(11)을 브러쉬(3)의 중심방향으로 이동 하도록 하는 커넥팅로드(10)와, 상기 커넥팅로드(10)에 의하여 브러쉬(3)의 중심방향으로 이동하여 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 미세한 입자의 먼지 등을 제거하도록 하는 브래킷(11)으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판세정용 브러쉬장치.
  2. 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 먼지를 제거하는 브래킷(11)을 형성한 브러쉬장치와, 상기 브러쉬장치의 브래킷(11)을 구동시키는 구동수단(9)과, 상기 구동수단(9)을 제어하는 제어수단(12)과, 기판(2)의 이송상태를 감지하여 제어수단(12)이 기판(2)의 위치를 인식하도록 하는 감지수단(13)으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판세정용 브러쉬 자동세척장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 브러쉬장치는 이송되어져오는 기판(2)의 상측과 하측에 적절히 배치하고, 상기 감지수단(13)은 브러쉬장치의 사이사이에 적당한 간격으로 위치하도록 하고, 상기 제어수단(12)은 기판(2)이 없다고 감지수단(13)에서 감지하면 해당되는 브러쉬장치의 브래킷(11)을 동작시키도록 하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판세정용 브러쉬 자동세척장치.
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