KR20020053427A - 세정 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 롤 브러시를 회전과 동시에 진동시킴으로써 브러시 표결의 치우침을 방지하여 세정력을 증대시키는 세정 장치에 관한 것으로서, 특히 기판을 세정하는 세정 장치에 있어서, 상기 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시와, 상기 롤 브러시에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전 및 진동시켜 주는 구동모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

세정 장치{Cleaning Device}

본 발명은 세정 장치에 관한 것으로, 특히 롤 브러시를 회전시킴과 동시에 진동(Oscillation)시키면서 기판의 표면 오염을 제거하는 세정 장치에 관한 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 세정 장치를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술에 의한 세정 장치의 평면도이고, 도 2는 종래 기술에 의한 세정 장치의 측면도이다.

그리고, 도 3은 종래 기술에 의한 세정 장치의 문제점을 설명하기 위한 롤 브러시의 부분 정면도이다,

도 1 및 도 2를 참고하여 종래 기술에 의한 세정 장치를 살펴보면, 세정할 기판(1)의 상,하측에 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시(2)와, 상기 롤 브러시(2)에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전하도록 구동시키는 구동모터(미도시)와, 상기 기판(1) 상,하부 측에 각각 위치하여 상기 기판(1)을 향해 세정수를 분사시키는 파이프 샤워(미도시)와, 상기 기판(1)을 로딩부(Loader)에서 언로딩부(Unloader)까지 정지하지 않고 계속 이동시켜 주는 롤러(4)로 구성된다.

이 때, 상기 세정 장치에 의해 세정되는 기판은 액정표시소자의 기판, 반도체 기판 등 다양하게 응용 가능하다.

상기와 같이 구성된 세정 장치는 상기 기판(1)이 이동하는 방향과 반대 방향 또는 같은 방향으로 상기 롤 브러시(2)를 회전시켜 그 상호 회전력에 의해 세정이 이루어지도록 한다.

또한, 상기 파이프 샤워에서는 상기 롤 브러시(2)의 오염을 제거하고, 제거된 오염 입자의 비산을 방지하고, 상기 기판(1) 상에 남아있는 유기오염을 제거고 또한, 기판과 롤 브러시와의 계면 마찰을 줄일 수 있도록 하기 위해 초순수를 분사한다.

이때, 상기 기판(1)의 표면에 존재하는 오염의 제거정도는 상기 롤 브러시(2)의 회전력, 상기 기판(1)과 롤 브러시(2)의 밀착력, 상기 기판(1)의 이동속도, 상기 롤 브러시(2)의 표결상태 등에 의해서 결정된다.

특히, 상기 롤 브러시(2)의 표결상태는 회전에 의해 시간이 지남에 따라 변하게 되는데, 기판과 접촉되는 롤 브러시(2)의 표면의 포털(3)이 도 3에 도시된 바와 같이 한쪽 방향으로 치우치게 되어 오염 제거 능력이 떨어진다.

그러나, 상기와 같은 종래의 세정 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.

기존의 세정 장치는 롤 브러시의 회전만으로 기판을 세정하는데, 시간이 경과함에 따라 기판과의 마찰에 의해 브러시의 표결이 한 쪽 방향으로 치우치게 되어 계속적으로 그 상태를 유지한다.

따라서, 표결이 치우친 부위의 입자 제거력이 떨어지게 되어 기판의 전표면에 대한 균일한 세정이 불가능하게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 기판 세정시 롤 브러시를 회전시킴과 동시에 회전축에 대해 진동시켜 줌으로써 브러시 표결의 치우침을 방지하여 세정력을 증대시키는 세정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 세정 장치의 평면도.

도 2는 종래 기술에 의한 세정 장치의 측면도.

도 3은 종래 기술에 의한 세정 장치의 문제점을 설명하기 위한 롤 브러시의 부분 정면도,

도 4는 본 발명에 의한 세정 장치의 평면도.

도 5는 본 발명에 의한 세정 장치의 측면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호설명

11 : 기판 12 : 롤 브러시

14 : 롤러

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 세정 장치는 기판을 세정하는 세정 장치에 있어서, 상기 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상 설치된 롤브러시와, 상기 롤 브러시에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전 및 진동시켜 주는 구동모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

즉, 기판 세정시 롤 브러시를 회전시킴과 동시에 회전축에 평행하게 진동시켜줌으로써 브러시 표결의 치우침을 방지하고 또한, 세정 방향을 종축 및 횡축으로 동시에 행하여 세정력을 증대시킨다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 세정 장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 의한 세정 장치의 평면도이고, 도 5는 본 발명에 의한 세정 장치의 측면도이다.

도 4 및 도 5를 참고하여 본 발명에 의한 세정 장치를 살펴보면, 세정할 기판(11)의 상,하측에 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시(12)와, 상기 롤 브러시(12)에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전시킴과 동시에 회전축에 평행하게 진동되도록 롤 브러시를 구동시켜 주는 구동모터(미도시)와, 상기 기판(1) 상,하부 측에 각각 위치하여 상기 기판(11)을 향해 세정수를 분사시켜 주는 파이프 샤워(미도시)와, 상기 기판(11)을 로딩부(Loader)에서 언로딩부(Unloader)까지 정지하지 않고 계속 이동시키는 롤러(14)로 구성된다.

이 때, 세정 장치에 의해 세정되는 상기 기판(11)은 액정표시소자의 유리기판, 반도체 기판 등 그 종류를 불문한다.

그리고, 상기 기판(11)의 상면과 롤 브러시(roll brush)(12)는 서로 밀착되도록 설치되어 상기 롤 브러시가 회전 및 진동할 때, 상기 기판(11) 상의 오염이제거되도록 한다.

상기와 같이 구성된 세정 장치는 상기 기판(11)의 이동 방향의 반대방향 또는 같은방향으로 상기 롤 브러시(12)를 회전시킴과 동시에 회전축에 평행하도록 롤 브러시를 진동시켜 기판이 이중으로 세정되도록 한다.

이와 같이 진동시킬 때, 서로 대응되는 상,하측의 롤 브러시가 같은 방향으로 진동되어도 되고 서로 다른 방향으로 진동되어도 된다.

이로써, 세정 장치의 세정력이 증대된다.

또한, 회전과 동시에 롤 브러시를 진동시켜 줌으로써 롤 브러시의 표결이 한 쪽 방향으로 치우치는 것도 방지된다.

따라서, 롤 브러시 자체의 오염 입자 제거 능력이 향상되고 수명이 길어진다.

상기 파이프 샤워에서는 상기 롤 브러시(12)의 오염을 제거하고, 제거된 오염 입자의 비산을 방지하고, 상기 기판(11) 상에 남아있는 유기오염을 제거할 수 있도록 하기 위해 초순수를 분사한다.

상기와 같은 본 발명의 세정 장치는 다음과 같은 효과가 있다.

첫재, 롤 브러시을 회전시킴과 동시에 회전축에 평행하게 진동시켜줌으로써 브러시 표결의 치우침이 방지되어 오염 제거 능력이 향상되고 기판 전면에 대한 균일한 세정이 가능하게 되어 세정 불량이 감소한다.

둘째, 롤 브러시의 장기 사용이 가능하게 된다.

셋째, 기판 세정시 롤 브러시를 회전시킴과 동시에 진동시켜 이중으로 세정하므로 세정력이 현저히 증대된다.

따라서, 세정력이 증대됨과 동시에 생산성이 향상된다.

Claims (4)

1. 기판을 세정하는 세정 장치에 있어서,

   상기 기판의 상측과 하측에 각각 적어도 하나 이상 설치된 롤 브러시;

   상기 롤 브러시에 연결되어 상기 롤 브러시를 회전 및 진동시켜 주는 구동모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 세정 장치는

   상기 기판을 향해 세정수를 분사시켜 주는 파이프 샤워;

   상기 기판을 이동시켜 주는 롤러를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 롤 브러시의 진동방향은 서로 무관한 것을 특징으로 하는 세정 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 롤 블러시의 표결이 어느 한쪽으로 치우치지 않는 것을 특징으로 하는 세정 장치.