JPH10337543A - 洗浄処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワーク表面にむらを生じさせず、このワーク
表面の洗浄を良好に行うことが可能な洗浄処理装置を提
供すること。 【解決手段】 ワーク１２に付着したパーティクルを洗
浄して除去する洗浄処理装置において、上記ワーク１２
の搬入口１３および搬出口１４が設けられた処理チャン
バ１１と、ワーク１２を搬送して上記処理チャンバ１１
に搬入、搬出させる搬送手段１５と、回転駆動され、上
記搬送手段１５により搬送されるワーク１２に接触し、
このワーク１２に付着したパーティクルを洗浄除去する
洗浄手段１６と、上記洗浄手段１６と上記ワーク１２の
少なくとも一方を上記ワーク１２の搬送方向と交差する
方向に揺動させる揺動手段と、を具備したことを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は被洗浄基板に付着
した微粒子を洗浄液によって洗浄する洗浄方法およびそ
の装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば液晶表示装置や半導体装置の製
造工程においては、被洗浄基板としての液晶用ガラス基
板や半導体ウエハなどのワークを高い清浄度で洗浄する
ことが要求される工程がある。このような工程において
は、矩形状のワークをローラなどの搬送機構によって搬
送しながら洗浄するタイプの洗浄処理装置がある。

【０００３】図７に示すように、上記ワーク１は、チャ
ンバ２外部に設けられた複数の搬送ローラ３によって搬
入口４よりチャンバ２内部へと導入される。このワーク
１は、上記チャンバ２内部でも搬送ローラ３によって矢
印に示す方向に搬送され、搬入口４と対向する位置に設
けられた搬出口５よりチャンバ２の外方に搬出されるよ
うになっている。

【０００４】搬送ローラ３によって搬送されるワーク１
は、上下両面に設けられたロールブラシ７によって洗浄
される。このロールブラシ７は、ワーク１の搬送路の所
定位置に回転可能でかつ固定的に設けられており、上記
搬送ローラ３により搬送されるワーク１に対し、このロ
ールブラシ７が回転しながらワーク１の上下両面に接触
して洗浄するようになっている。

【０００５】このロールブラシ７には、洗浄液を噴射す
る噴射ノズル８が設けられており、上記ロールブラシ７
の回転によってワーク１に付着したパーティクルを良好
に除去することが可能に設けられている。

【０００６】上記ロールブラシ７によって洗浄が終了し
たワーク１は、チャンバ２の搬出口５より搬出され、次
工程へこのワーク１が送り出されるようになっている。
また、このロールブラシ７に代えて、ディスクブラシ機
構で上記ワーク１の表面を洗浄する洗浄処理装置も存在
する。上記ワーク１の上下両面には、軸を中心としつつ
互いに接触するように設けられた円筒状のディスクブラ
シがこのワーク１の搬送方向と直交する方向に並べられ
ている。それぞれのディスクブラシは、ワーク１と離間
する位置にこのディスクブラシを回転駆動させる駆動機
構が設けられており、このディスクブラシに駆動力を与
えてワーク１の表面を摺動し、付着したパーティクルを
除去するように設けられている。このようなディスクブ
ラシが所定の方向に並べられてディスクブラシ機構が構
成されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のようなロールブ
ラシ７によるワーク１の洗浄では、以下のような問題が
生じている。すなわちこのロールブラシ７は、通常ナイ
ロンの束が多数取り付けられて形成されているが、この
ナイロンの束には隙間があるため、上記ワーク１の表面
をこのロールブラシ７が回転摺動すると、ワーク１の表
面の上記ロールブラシ７で洗浄されない部分が洗浄され
ていない洗浄むらとなって残り、そのためこの表面のパ
ーティクルを完全に除去することが難しくなっている。

【０００８】このように、ワーク１の表面のパーティク
ルが除去されずに残った場合、ワーク１の洗浄後にこの
ワーク１が乾燥すると、ワーク１に付着したパーティク
ルが取れ難くなってしまう。

【０００９】また、上述のディスクブラシを用いた洗浄
処理装置においても、ディスクブラシとディスクブラシ
の間が洗浄されていない洗浄むらとなって残ってしま
う。このため、ワーク１の搬送方向に対してディスクブ
ラシが千鳥状に設けられるように、それぞれのディスク
ブラシ機構の位置をずらして設けている。

【００１０】しかしながら、このようにディスクブラシ
機構をずらしてディスクブラシが千鳥状となるように設
けても、それぞれのディスクブラシが固定されているた
め、依然ワーク１の表面にディスクブラシの固定的な位
置での摺動による洗浄むらが生じて解消されず、パーテ
ィクルを除去することが難しくなっている。

【００１１】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、ワーク表面にむらを生じ
させず、このワーク表面の洗浄を良好に行うことが可能
な洗浄処理装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の発明は、ワークに付着したパーティク
ルを洗浄して除去する洗浄処理装置において、上記ワー
クの搬入口および搬出口が設けられた処理チャンバと、
上記ワークを搬送して上記処理チャンバに搬入、搬出さ
せる搬送手段と、回転駆動されるとともに、上記搬送手
段により搬送される上記ワークに接触し、このワークに
付着したパーティクルを洗浄除去する洗浄手段と、上記
洗浄手段と上記ワークの少なくとも一方を上記ワークの
搬送方向と交差する方向に揺動させる揺動手段と、を具
備したことを特徴とする洗浄処理装置である。

【００１３】請求項２記載の発明は、上記洗浄手段はロ
ールブラシであることを特徴とする請求項１記載の洗浄
処理装置である。請求項３記載の発明は、上記洗浄手段
は複数のディスクブラシが一列に並べられてなることを
特徴とする請求項１記載の洗浄処理装置である。

【００１４】請求項１の発明によると、処理チャンバお
よび上記ワークを搬送する搬送手段が設けられ、回転駆
動されて上記搬送手段により搬送されるワークに接触
し、このワークに付着したパーティクルを洗浄除去する
洗浄手段が設けられ、さらに上記洗浄手段と上記ワーク
の少なくとも一方を上記ワークの搬送方向と交差する方
向に揺動させる揺動手段が設けられたため、上記洗浄手
段が揺動しない場合に生じていたワーク表面の洗浄むら
を解消することが可能となり、そのため上記ワーク表面
に付着したパーティクルを良好に除去することが可能と
なっている。

【００１５】請求項２の発明によると、上記洗浄手段は
ロールブラシであるため、上記ワーク表面にパーティク
ルが付着していても、このロールブラシの回転駆動によ
ってワーク表面のパーティクルを掻き取ることが可能と
なっている。これと相俟って、上記洗浄手段が揺動可能
であるため、ワーク表面に付着したパーティクルを万遍
なく除去することが可能となっている。

【００１６】請求項３の発明によると、上記洗浄手段は
複数のディスクブラシが一列に並べられてなるため、上
記ワーク表面との接触面積が大きくなって良好に洗浄で
きるとともに、これらディスクブラシが一列に並べられ
た洗浄手段が揺動可能に設けられているため、上記ワー
クの表面に洗浄むらを生じさせることなく良好に洗浄さ
せることが可能となっている。

【００１７】

【発明の実施の形態】

（第一の実施の形態）以下、この発明の一実施例を図１
ないし図４を参照して説明する。図１に示す洗浄処理装
置１０は処理チャンバ１１を備えており、この処理チャ
ンバ１１は、内部にワーク１２を搬入、搬出させるため
の一対の搬入口１３および搬出口１４を備えている。こ
の搬入口１３および搬出口１４は、上記ワーク１２の大
きさに対応するために、スリット状に形成されていて、
後述する搬送ローラ１５の駆動により、上記ワーク１２
の処理チャンバ１１内部への搬入、搬出を可能としてい
る。

【００１８】上記処理チャンバ１１内部にワーク１２を
搬入、搬出するために、複数の搬送ローラ１５が面一と
なるように設けられている。この搬送ローラ１５は、上
記処理チャンバ１１内部および上記搬入口１３、搬出口
１４付近に所定間隔ごとに設けられており、それぞれの
搬送ローラ１５に外部に設けられた駆動源から駆動力が
伝達されるようになっている。また、これらの機構によ
り搬送手段が構成されており、搬送ローラ１５が回転駆
動されると、上記ワーク１２が図１の矢印に示す方向へ
搬送されるようになっている。

【００１９】上記搬送ローラ１５は、図３に示すように
上記ワーク１２に接触する支持ローラ部１５ａと、この
支持ローラ部１５ａよりも大径なガイドローラ部１５ｂ
とが樹脂などによって一体に形成されてなり、一対の搬
送ローラ１５がローラ軸１５ｃの両端部に支持ローラ部
１５ａを内側に向けて設けられている。

【００２０】上記ローラ軸１５ｃは、図示しない駆動源
によって回転駆動される。それによって、上記ワーク１
２は図１に矢印で示す方向に所定の速度で搬送されるよ
うになっている。

【００２１】上記処理チャンバ１１内部には、上記ワー
ク１２の上面と下面に上下２本で一対をなす、洗浄手段
としての２組のロールブラシ１６がワーク１２の搬送方
向に沿って所定の間隔で設けられている。このロールブ
ラシ１６は、金属軸１７の外周面に、ナイロンの束より
形成されている多数のブラシ毛１６ａが取り付けられて
おり、このブラシ毛１６ａはその先端が上記金属軸１７
に接触する状態で上記筒状軸１８に植設されている。

【００２２】上記金属軸１７は処理チャンバ１１を介し
てアースされており、上記ブラシ毛１６ａがワーク１２
と接触して静電気が発生しても、その静電気がロールブ
ラシ１６に付着するのを防止できる。さらに、静電気に
よるワーク１２のパターンの破壊を未然に防止すること
も可能となっている。

【００２３】上記各ロールブラシ１６の上流側には、上
記ロールブラシ１６およびワーク１２に向けて洗浄液を
噴射する第１のノズル１９が設けられている。各ノズル
１９から洗浄液が噴射されることで、上記ロールブラシ
１６による掻き取り作用と相俟ってワーク１２に付着し
たパーティクルを除去することが可能となっている。

【００２４】なお、本実施の形態においては、これらの
ロールブラシ１６の回転方向は、１組が上記ワーク１２
の搬送方向に逆らう向きに回転しており、もう１組が上
記ワーク１２の搬送方向と同じ向きに回転している。そ
のため、上記ワーク１２がロールブラシ１６との接触時
に生じる摩擦で上記ワーク１２の搬送に支障をきたさな
いようになっている。

【００２５】上記搬送手段を構成する各搬送ローラ１５
の下方には、第２のノズル２０がそれぞれ先端を対向さ
せて配設されている。各ノズル２０からは、上記搬送ロ
ーラ１５に向けて超純水のような洗浄液が吹き付けら
れ、それによって各搬送ローラ１５が洗浄されるように
なっている。そのため、上記搬送ローラ１５は第２のノ
ズル２０により、ワーク１２が接触した際にこの搬送ロ
ーラ１５に付着するパーティクルを除去するようになっ
ている。

【００２６】上記ロールブラシ１６は、図２に示すよう
な構成により、処理チャンバ１１内部で上記ロールブラ
シ１６の長手方向に摺動可能に設けられている。このロ
ールブラシ１６は、支持部材２１にベアリング２２を介
して取り付けられていて、この支持部材２１が揺動する
ことによって上記ロールブラシ１６がワーク１２に対し
て揺動するように設けられている。この支持部材２１
は、この支持部材２１に取り付けられる種々の機構とと
もに揺動手段を構成しており、また処理チャンバ１１の
上方に設けられた後述するリニアガイド部２９によっ
て、この支持部材２１の上記ロールブラシ１６の長手方
向へのスライドがガイドされるようになっている。

【００２７】この支持部材２１の上端には、上記ロール
ブラシ１６に駆動力を与えるための第１のモータ２３が
取り付けられている。この第１のモータ２３は、上記支
持部材２１に固定して取り付けられている。この第１の
モータ２３の駆動軸２３ａには、駆動プーリ２４が取り
付けられており、上記ロールブラシ１６の金属軸１７に
取り付けられた従動プーリ２５とともにこの間にベルト
２６を張設して、上記従動プーリ２５に回転駆動力を伝
達する。それによってロールブラシ１６が回転するよう
になっている。

【００２８】上記支持部材２１は、上端部が所定の厚さ
を有する板状体に形成されており、この板状体の上下両
面には、突出して設けられた突出部２７が所定個数（図
２ではそれぞれ２個ずつ）形成されている。この突出部
２７と、スライド部材２８とで上記支持部材２１の往復
運動をガイドするリニアガイド部２９が構成されてお
り、上記ワーク１２の搬送方向に対して直交する方向に
上記ロールブラシ１６をスライドさせることが可能とな
っている。

【００２９】上記スライド部材２８は、例えば棒状に形
成されていて上記処理チャンバ１１に固定的に取り付け
られており、このスライド部材２８が上記突出部２７に
形成された図示しない挿通孔に挿通される。これによっ
て、上記突出部２７はスライド部材２８に沿ってスライ
ド自在に設けられている。

【００３０】なお、上記第１のモータ２３などの上記処
理チャンバ１１より突出して設けられた部材は、不図示
のケーシングなどに収納される構成となっている。また
図２においては、ワーク１２の上面側のみを洗浄するロ
ールブラシ１６、およびこのロールブラシ１６を揺動さ
せるための機構としての支持部材２１、リニアガイド部
２９、第２のモータ３１などが示されているが、これら
の機構は、上記ワーク１２の下面側を洗浄するロールブ
ラシ１６を揺動させるために共用させてもよく、また別
途これらの機構を設けても構わない（図１においては、
これらの機構は共用されたものとなっている。）。ま
た、ワーク１２の下面側のロールブラシ１６は揺動させ
ず、上面側のロールブラシ１６のみを揺動させる構成と
しても構わない。

【００３１】上記支持部材２１の側方には、カムシャフ
ト３０が例えば軸受機構を介して取り付けられていて、
このカムシャフト３０を介して上記処理チャンバ１１の
外方に設けられた第２のモータ３１の駆動力が伝達され
るようになっている。このカムシャフト３０は、上記処
理チャンバ１１の側方に形成された貫挿孔１１ａより外
方側に突出して設けられている。

【００３２】上記第２のモータ３１の駆動軸３１ａに
は、カム３２が取り付けられており、このカム３２に上
記カムシャフト３０が偏心して回転自在となるように連
結されている。そのため、上記第２のモータ３１が回転
駆動すれば、この第２のモータ３１に連結されているカ
ム３２が回転し、それとともにカム３２に連結されたカ
ムシャフト３０が上記支持部材２１の押し引きの往復運
動を行う。そのため、上記支持部材２１に取り付けられ
たロールブラシ１６が搬送されるワーク１２の搬送方向
に対し直交する方向に、揺動されるようになっている。

【００３３】このような構成の洗浄処理装置１０による
と、ワーク１２が搬送ローラ１５によって処理チャンバ
１１内部に搬入され、このワーク１２を洗浄するロール
ブラシ１６が長手方向に往復運動する。そのため、ロー
ルブラシ１６のブラシ毛１６ａの間に隙間が生じてい
て、このロールブラシ１６の回転駆動のみではワーク１
２の表面に洗浄むらが生じる場合であっても、このロー
ルブラシ１６の揺動によって、上記ワーク１２の表面を
万遍なく洗浄することが可能となっている。

【００３４】すなわち、上記ワーク１２の表面には、ブ
ラシ毛１６ａで摺動されない部分が存在しないことにな
り、そのためこのブラシ毛１６ａでワーク１２の表面に
付着しているパーティクルを掻き取り、そして上記第１
のノズル１９により超純水などの洗浄液を噴射すれば、
このブラシ毛１６ａに付着したパーティクルを除去する
ことが可能となっている。

【００３５】そのため、洗浄処理後にワーク１２が乾燥
しても、ワーク１２の表面の状態を良好なものとするこ
とが可能となっている。 （第二の実施の形態）以下、本発明の第二の実施の形態
について、図５に基づいて説明する。なお、本実施の形
態においては、上述の第一の実施の形態で述べたのと同
様な構成については同じ符号を付して説明することとす
る。

【００３６】図５に示す洗浄処理装置４０は、上述の第
一の実施の形態で示したロールブラシ１６に代えて、複
数のディスクブラシ４１を備えるディスクブラシ機構４
２を有している。ディスクブラシ４１は、例えば、上記
ロールブラシ１６と同様に、図示しない円柱状に設けら
れた金属体と、この金属体の下面と所定の空間が形成さ
れるように取り付けられた覆い体によって構成され、こ
の金属体と覆い体の間にブラシ毛４１ａが植設されてい
て、特にこのブラシ毛４１ａの先端が上記金属体に接触
する状態で植設されている。このようなディスクブラシ
４１が、図５に示すように僅かな隙間を有して一列に並
べられて上記ディスクブラシ機構４２を構成している。

【００３７】なお、このディスクブラシ機構４２も、上
記ワーク１２の上面と下面の２本で一対をなしており、
この一対のディスクブラシ４１がワーク１２の搬送方向
に沿って２組設けられている。

【００３８】上記ディスクブラシ４１の上部には、この
ディスクブラシ４１を回転摺動させるための駆動モータ
４３が取り付けられている。この駆動モータ４３は、上
記ディスクブラシ４１に直接駆動力を付与するように設
けられているが、別途伝達手段を介してこのディスクブ
ラシ４１に駆動力が間接的に与えられる構成としても構
わない。

【００３９】上記駆動モータ４３は、この上部側が支持
部材２１に固定的に取り付けられている。この支持部材
２１は、上記第一の実施の形態で述べた構成と同様の構
成を有するリニアガイド部２９に連結されており、そし
てこのリニアガイド部２９は、上記第一の実施の形態と
同様の構成を有するカムシャフト３０、カム３２、第２
のモータ３１を介して駆動力が伝達されるようになって
いる。そして上記第２のモータ３１が回転駆動すれば、
これらの機構を介して上記ディスクブラシ４１がリニア
ガイド部２９のスライド部材２８によって、上記ワーク
１２の搬送方向と直交する方向へのスライドがガイドさ
れるようになっている。

【００４０】ここで、図５においては、ワーク１２の上
面側のみを洗浄するディスクブラシ４１、およびこのデ
ィスクブラシ４１を揺動させるための機構としての支持
部材２１、リニアガイド部２９、第２のモータ３１など
が示されているが、これらの機構は、上記ワーク１２の
下面側を洗浄するディスクブラシ４１を揺動させるため
に共用させてもよく、また別途これらの機構を設けても
構わない。また、ワーク１２の下面側のディスクブラシ
４１は揺動させず、上面側のディスクブラシ４１のみを
揺動させる構成としても構わない。

【００４１】このような構成の洗浄処理装置４０による
と、ワーク１２を洗浄するためにディスクブラシ４１が
用いられたため、ワーク１２に対する接触面積を大きく
することが可能であり、そのため上記ワーク１２の洗浄
によるパーティクルの除去をより良好に行うことが可能
となっている。

【００４２】それとともに、ディスクブラシ４１が一列
に並べられて設けられたディスクブラシ機構４２が上記
ワーク１２に対して揺動可能に設けられているため、こ
のディスクブラシ機構４２の揺動によって、上記ワーク
１２に洗浄むらを生じさせず、良好に洗浄させることが
可能となっている。

【００４３】（第三の実施の形態）以下、本発明の第三
の実施の形態について、図６を参照して説明する。な
お、本実施の形態においても、上述の第一、第二の実施
の形態で述べた構成と同様のものについては、同じ符号
を付して説明することとする。

【００４４】本実施の形態の洗浄処理装置５０では、上
述の第２のモータ３１、カム３２、カムシャフト３０が
設けられている点では、同様の構成となっているが、上
記カムシャフト３０はこれらの実施の形態とは異なり、
処理チャンバ１１に連結されている。そのため、本実施
の形態では、処理チャンバ１１が第２のモータ３１の回
転駆動によってスライドされるようになっている。

【００４５】この処理チャンバ１１は、図示しないが上
述の第一、第二の実施の形態で述べた構成と同様なリニ
アガイド部により、処理チャンバ１１のスライドがガイ
ドされるようになっている。

【００４６】上記処理チャンバ１１内部には、ワーク１
２を所定方向に向かい搬送する搬送ローラ１５が複数設
けられているが、上記第２のモータ３１を駆動させて処
理チャンバ１１をスライドさせると、この搬送ローラ１
５もスライドされることになり、その結果上記搬送ロー
ラ１５によって搬送されるワーク１２も、このワーク１
２の搬送方向と直交する方向にスライドされるようにな
っている。

【００４７】このようにスライドされるワーク１２に対
し、ワーク１２の洗浄を行うロールブラシ１６は、上記
処理チャンバ１１外部に設けられた所定の部位に固定的
に取り付けられている。そのため、ワーク１２はこのロ
ールブラシ１６に対してスライドされるが、ロールブラ
シ１６は相対的な取り付け位置が変化しないものとなっ
ている。

【００４８】このような構成の洗浄処理装置５０による
と、上記処理チャンバ１１を揺動させることにより、こ
の処理チャンバ１１に設けられた搬送ローラ１５も揺動
させることができ、そのためこの搬送ローラ１５によっ
て搬送されるワーク１２を上記ロールブラシ１６に対し
て揺動させながら洗浄させることが可能となっている。

【００４９】このため、上記ワーク１２の表面を万遍な
く洗浄してこの表面に付着したパーティクルを除去する
ことが可能となっており、またこの揺動によって上記ワ
ーク１２の表面に洗浄むらを生じさせることがなくな
る。よって上記ワーク１２の洗浄処理を良好に行うこと
が可能となっている。

【００５０】なお、この構成においても、上記ロールブ
ラシ１６は、ワーク１２の上面と下面に上下２本で一対
をなしており、このワーク１２の下面側のロールブラシ
１６を揺動させるための機構も、上記ワーク１２の上面
側のロールブラシ１６と共用、もしくは別途設けられた
ものとなっている。

【００５１】以上、本発明について、第一ないし第三の
実施の形態について述べたが、本発明はこれ以外にも種
々変形可能となっている。以下これについて述べる。上
記第三の実施の形態では、処理チャンバ１１を揺動させ
るようになっているが、処理チャンバ１１ではなく、搬
送ローラ１５を揺動させる構成としても構わない。この
場合、上記ワーク１２の搬送に影響を与えるものでなけ
れば、上述のようにワーク１２の表面をむらなく良好に
洗浄させることが可能となっている。

【００５２】また上記第二の実施の形態において、ワー
ク１２の搬送方向に対してディスクブラシ４１が一列で
はなく、例えば千鳥状に並べられる構成であっても構わ
ない。

【００５３】さらに、上記第一の実施の形態ないし第三
の実施の形態では、ワーク１２を洗浄するロールブラシ
１６やディスクブラシ４１などの洗浄手段、もしくはワ
ーク１２を搬送する搬送ローラ１５のいずれか一方側を
揺動させるようになっているが、これら両方側を同時に
揺動させる構成であっても構わない。

【００５４】また、上記ロールブラシ１６の構成も上述
の構成に限られず、例えばナイロンの束よりなるブラシ
毛１６ａをこのロールブラシ１６の長手方向に沿う方向
に列をなして並べ、このブラシ毛１６ａの列が所定間隔
ごとに並べられるようにしても構わない。さらに、この
ロールブラシ１６の全周に亘ってブラシ毛１６ａを取り
付ける構成であっても構わない。

【００５５】

【発明の効果】以上述べたように、請求項１記載の発明
によると、処理チャンバおよび上記ワークを搬送する搬
送手段が設けられ、回転駆動されて上記搬送手段により
搬送されるワークに接触し、このワークに付着したパー
ティクルを洗浄除去する洗浄手段が設けられ、さらに上
記洗浄手段と上記ワークの少なくとも一方を上記ワーク
の搬送方向と交差する方向に揺動させる揺動手段が設け
られたため、上記洗浄手段が揺動しない場合に生じてい
たワーク表面の洗浄むらを解消することが可能となり、
そのため上記ワーク表面に付着したパーティクルを良好
に除去することができる。

【００５６】請求項２記載の発明によると、上記洗浄手
段はロールブラシであるため、上記ワーク表面にパーテ
ィクルが付着していても、このロールブラシの回転駆動
によってワーク表面のパーティクルを掻き取ることが可
能となっている。これと相俟って、上記洗浄手段が揺動
可能であるため、ワーク表面に付着したパーティクルを
万遍なく除去することができる。

【００５７】請求項３記載の発明によると、上記洗浄手
段は複数のディスクブラシが一列に並べられてなるた
め、上記ワーク表面との接触面積が大きくなって良好に
洗浄できるとともに、これらディスクブラシが一列に並
べられた洗浄手段が揺動可能に設けられているため、上
記ワークの表面に洗浄むらを生じさせることなく良好に
洗浄できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係わる洗浄処理装置の
構成を示す側断面図。

【図２】同実施の形態に係わる洗浄処理装置の構成を示
す正面断面図。

【図３】同実施の形態に係わる搬送ローラの構成を示す
正面図。

【図４】同実施の形態に係わるロールブラシの構成を示
す側断面図。

【図５】本発明の第二の実施の形態に係わる洗浄処理装
置の構成を示す正面断面図。

【図６】本発明の第三の実施の形態に係わる洗浄処理装
置の構成を示す正面断面図。

【図７】従来の洗浄処理装置の構成を示す側断面図。

【符号の説明】

１０，４０，５０…洗浄処理装置。 １２…ワーク １５…搬送ローラ １６…ロールブラシ ２１…支持部材 ２３…第１のモータ ２９…リニアガイド部 ３０…カムシャフト ３１…第２のモータ ３２…カム ４１…ディスクブラシ ４３…駆動モータ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークに付着したパーティクルを洗浄し
   て除去する洗浄処理装置において、 上記ワークの搬入口および搬出口が設けられた処理チャ
   ンバと、 上記ワークを搬送して上記処理チャンバに搬入、搬出さ
   せる搬送手段と、 回転駆動されるとともに、上記搬送手段により搬送され
   る上記ワークに接触し、このワークに付着したパーティ
   クルを洗浄除去する洗浄手段と、 上記洗浄手段と上記ワークの少なくとも一方を上記ワー
   クの搬送方向と交差する方向に揺動させる揺動手段と、 を具備したことを特徴とする洗浄処理装置。
2. 【請求項２】 上記洗浄手段はロールブラシであること
   を特徴とする請求項１記載の洗浄処理装置。
3. 【請求項３】 上記洗浄手段は複数のディスクブラシが
   一列に並べられてなることを特徴とする請求項１記載の
   洗浄処理装置。