KR960026314A - 기판세정용 브러쉬장치와 브러쉬 자동세척장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판(2)을 세정하는 과정에서 브러쉬(103)의 모(3a)에 기판세정중에 붙게되는 미세한 먼지입자등이 완전히 제거되지 않아 기판(2)에 다시 붙게되어 기판의 완전한 세정작용이 이루어지지 않으므로 브러쉬(103)의 모(3a)에 남아 있는 먼지등을 완전히 제거할 수 있도록 하므로서, 완전한 기판(2)세정이 이루어지도록 하는 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치에 관한 것이다.
종래 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치는 노즐(107)에서 분사되어지는 순수(108)에 의하여 브러쉬(103)에 붙어있게 되는 먼지등을 제거하게 되므로서, 브러쉬(103)의 모(103a)에 붙어있게 되는 먼지등을 완전히 제거하기 위해서는 많은 양의 순수(108)가 필요하게 되며, 또한 브러쉬(103)의 모(103a)에 붙게되는 먼지등을 완전히 제거하지 못하여 브로쉬(103)의 모(103a)가 한번 회전하여 다시 기판(102)에 닿게 될 경우 브러쉬(103)의 모(103a)에 남아 있던 먼지등이 다시 기판(102)에 붙게 되는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 브래킷(11)과 같은 제거수단을 형성하고, 기판(2)의 이송상태를 인식하여 상기의 제거수단은 온·오프시켜 브러쉬(3)의 모(3a)를 적실정도의 양정도 만으로도 충붕하여 순수(7)의 양을 줄일 수 있게 되고, 또한 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있게 되는 먼지등을 완전히 제거할 수 있어, 기판(2)의 세정작용을 완전하게 수행할 수 있게 되는 것이다.

Description

기판세정용 브러쉬장치와 브러쉬 자동세척장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명 기판세정용 브러쉬장치의 구성을 보인 사시도, 제5도의 (가)∼(나)는 본 발명 기판세정용 브러쉬 자동세척장치의 기판 진행에 따른 기판 세정공정을 순서대로 보인 동작상태도.

Claims (3)

  1. 로울러(1)에 의해 이송되어지는 기판(2)과, 상기 기판(2)에 밀착하여 기판(2)상에 묻어있는 미세한 먼지등을 제거하도록 모(3a)를 형성한 브러쉬(3)와, 상기 브러쉬(3)의 중심에 위치하여 모터(4)로부터 회전력을 인가받아 브러쉬(3)를 회전시키는 회전축(5)과, 상기 회전축(5)을 고정지지하는 하우징(6)과, 상기 브러쉬(3)에 옮겨붙은 먼지등을 제거하도록 순수(7)를 브러귀(3)의 표면에 분사하는 노즐(8)로 구성된 기판세정용 브러쉬의 자동세척장치에 있어서, 온·오프 동작하여 커넥팅로드(10)를 왕복이동시키는 구동수단(9)과, 상기 구동수단(9)에 의하여 왕복이동하여 브랫킷(11)을 브러쉬(3)의 중심방향으로 이동하도록 하는 커넥팅로드 (10)와, 상기 커넥팅로드(10)에 의하여 브러귀(3)의 중심방향으로 이동하여 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 미세한 입자의 먼지등을 제거하도록 히는 브래킷(11)으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판세정용 브러쉬장치.
  2. 브러쉬(3)의 모(3a)에 남아있는 먼지를 제거하는 브래킷(11)을 형성한 브러귀장치와, 상기 브러쉬장치의 브래킷(11)을 구동시키는 구동수단(9)과, 상기 구동수단(9)을 제어하는 제어수단(12)과, 기판(2)의 이송상태를 감지하여 제어수단(12)이 기판(2)의 위치를 인식하도록 하는 감지수단(13)으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판세정용 브러쉬 자동세척장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 브러쉬장치는 이송되어져오는 기판(2)의 상측과 하측에 적절히 배치하고, 상기 감지수단(9)은 브러쉬장치의 사이사이에 적당한 간격으로 위치하도록 하고, 상기 제어수단(12)은 기판(2)이 없다고 감지수단(13)에서 감지하면 해당되는 브러쉬장치의 브래킷(11)을 동작시키도록 하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판세정용 브러쉬 자동세척장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940035355A 1994-12-20 1994-12-20 기판세정용 브러쉬 장치와 브러쉬 자동 세척장치 KR0160178B1 (ko)

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