JP2004105849A - 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置 - Google Patents
塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置 Download PDFInfo
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 267
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 267
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 114
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 180
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
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Abstract
【課題】塗布用ダイの先端部にスリット状に設けられた吐出口から塗布液を被塗布体に供給した後、この塗布用ダイの先端部に残留する塗布液が確実に除去されるようにする。
【解決手段】塗布用ダイ１０の先端部に設けられたスリット状の吐出口１２から被塗布体１に塗布液２を供給して被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、上記の塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を除去するにあたり、上記の塗布用ダイの先端部に洗浄液２１を供給する洗浄液供給装置２０と、洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に接触させて塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去する清掃用ブレード３０と、洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って走行させる走行装置５０とを設けた。
【選択図】 図３
【解決手段】塗布用ダイ１０の先端部に設けられたスリット状の吐出口１２から被塗布体１に塗布液２を供給して被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、上記の塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を除去するにあたり、上記の塗布用ダイの先端部に洗浄液２１を供給する洗浄液供給装置２０と、洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に接触させて塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去する清掃用ブレード３０と、洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って走行させる走行装置５０とを設けた。
【選択図】 図３
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス，樹脂フィルム，金属箔等の様々な被塗布体に様々な塗布液を塗布するのに使用する塗布装置に係り、特に、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布するようになった塗布装置において、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液が確実に除去されるようにした点に特徴を有するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、プラズマディスプレーパネル，有機エレクトロルミネッセンスディスプレーパネル，液晶ディスプレーパネル等を製造するにあたって、塗布装置により、ガラス，樹脂フィルム，金属箔等の様々な被塗布体にそれぞれの塗布液を塗布することが行われている。
【０００３】
そして、このような塗布装置としては、一般に図１に示すようなものが用いられている。
【０００４】
ここで、この塗布装置においては、被塗布体１に塗布液２を塗布するにあたり、吸引装置３を備えたテーブル４の上に被塗布体１を吸引装置３により吸引させて保持させるようにする。
【０００５】
そして、この被塗布体１の上において塗布用ダイ１０を所要間隔を介した位置にセットし、塗布液供給タンク５に収容された塗布液２を供給ポンプ６によりこの塗布用ダイ１０に設けられたマニホールド１１に供給し、この塗布液２をマニホールド１１から塗布用ダイ１０の先端部においてスリット状に設けられた吐出口１２に導くようにする。
【０００６】
次いで、この塗布用ダイ１０を上記の被塗布体１上において走行させながら、上記の吐出口１２から塗布液２を被塗布体１に供給して、被塗布体１上に塗布液２を所定の厚みになるように塗布させた後、上記の供給ポンプ６による塗布液２の供給を停止させ、この塗布用ダイ１０を上昇させて上記の被塗布体１上から離すようにする。
【０００７】
しかし、このようにして被塗布体１上に塗布液２を塗布させた場合、上記の塗布用ダイ１０の先端部における吐出口１２の周辺部分に塗布液２が部分的に残留した。
【０００８】
そして、この状態で塗布用ダイ１０により次の被塗布体１上に塗布液２を塗布した場合、上記のように塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２によって次の被塗布体１上に筋状の塗布むらが発生するという問題があった。
【０００９】
そこで、従来においては、上記のように吐出口１２の周辺に残留する塗布液２を除去するために、様々な清掃装置を設けることが行われており、例えば、図２に示すように、吐出口１２が設けられた塗布用ダイ１０の先端部に清掃用ブレード７の先端部を接触させ、この清掃用ブレード７を走行装置８により上記の吐出口１２の長さ方向に沿って塗布用ダイ１０の全長にわたって走行させ、この清掃用ブレード７によって吐出口１２の周辺に残留する塗布液２を塗布用ダイ１０から除去するようにしたものが用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【００１０】
また、従来においては、上記のように清掃用ブレード７により吐出口１２の周辺に残留する塗布液２を塗布用ダイ１０から除去した後、図示していないが、ローラを介して布材を塗布用ダイの先端部に接触させ、これを吐出口の長さ方向に摺擦させて、塗布用ダイの先端部をさらに清掃するようにしたものも提案されている。（例えば、特許文献２参照。）。
【００１１】
しかし、上記のようにして塗布用ダイ１０の先端部を清掃するようにした場合においても、塗布用ダイ１０の先端部に残留した塗布液２を十分に除去することが困難な場合があり、例えば、塗布用ダイ１０の先端部に残留した塗布液２が凝固したような場合には、凝固した塗布液２が塗布用ダイ１０の先端部から適切に除去されずに残り、次の被塗布体１上に塗布液２を塗布した際に、筋状の塗布むらが発生するという問題が依然として存在した。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１１−１４７０６２号公報
【特許文献２】
特開２００１−１１３２１３号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布するようになった塗布装置における上記のような問題を解決することを課題とするものである。
【００１４】
すなわち、この発明は、上記のような塗布装置において、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から塗布液を被塗布体に供給した後、この塗布用ダイの先端部における吐出口の周辺に残留する塗布液を除去して、塗布用ダイの先端部を清掃するにあたり、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液が確実に除去されるようにし、被塗布体上に塗布液を塗布した際に、筋状の塗布むらが発生するのを確実に防止できるようにすることを課題とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明における塗布用ダイの清掃装置においては、上記のような課題を解決するため、塗布液を被塗布体に供給するスリット状になった吐出口が先端部に設けられた塗布用ダイを清掃する塗布用ダイの清掃装置において、吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に接触させて塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去する清掃用ブレードと、上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って走行させる走行装置とを設けるようにしたのである。
【００１６】
そして、この発明においては、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、被塗布体に塗布液を塗布させた後、この塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄するにあたり、上記の浄液供給装置から吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給すると共に、このように洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に清掃用ブレードを接触させるようにし、この状態で走行装置により上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って移動させて、清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させるようにする。
【００１７】
このようにすると、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液が凝固したような場合においても、凝固した塗布液が上記の洗浄液によって塗布用ダイの先端部から離れやすくなり、この塗布液が洗浄液と一緒に上記の清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部から適切に除去されるようになり、次の被塗布体上に塗布液を塗布する際に、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液によって筋状の塗布むらが発生するのが防止されるようになる。
【００１８】
ここで、上記の洗浄液としては、塗布用ダイの先端部に残留して凝固した塗布液を溶解させて、塗布用ダイの先端部から除去されやすくするため、例えば、塗布液に使用する溶媒等を用いるようにすることが好ましい。
【００１９】
また、上記のように塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給して被塗布体に塗布液を塗布させた場合、塗布液が塗布用ダイの先端部における端面だけではなく両側の面に残留することがあるため、上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部における端面だけではなく両側の面に対して設けることが好ましい。
【００２０】
また、上記のように塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させた場合において、除去された塗布液や洗浄液が他の部分にこぼれないようにするため、上記の清掃用ブレードによって塗布用ダイの先端部から除去された残留する塗布液と洗浄液とを吸引する吸引装置を設けるようにすることが好ましい。
【００２１】
さらに、上記の清掃用ブレードによって残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に、塗布液又は洗浄液が供給されたローラを接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させるようにすることも可能である。
【００２２】
ここで、上記のローラに塗布液を供給し、このローラを塗布用ダイの先端部に接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させると、残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に新しい塗布液が均一に塗布されて湿りが与えられ、次の被塗布体上に塗布液を塗布する場合に、塗布液がスムーズに被塗布体上に供給されて、塗布液が被塗布体上により均一に塗布されるようになる。
【００２３】
また、上記のローラに洗浄液を供給し、このローラを塗布用ダイの先端部に接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させると、洗浄液が供給されたローラによって塗布用ダイの先端部がより一層きれいに洗浄されるようになる。
【００２４】
【実施例】
以下、この発明の実施例に係る塗布装置及び塗布用ダイの清掃装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。
【００２５】
この実施例における塗布装置においても、被塗布体１に塗布液２を塗布するにあたっては、前記の図１に示すように、吸引装置３を備えたテーブル４の上に被塗布体１を吸引装置３により吸引させて保持させるようにする。
【００２６】
次いで、この被塗布体１の上において塗布用ダイ１０を所要間隔を介した位置にセットし、塗布液供給タンク５に収容された塗布液２を供給ポンプ６によりこの塗布用ダイ１０に設けられたマニホールド１１に供給し、この塗布液２をマニホールド１１から塗布用ダイ１０の先端部においてスリット状に設けられた吐出口１２に導くようにする。
【００２７】
そして、この塗布用ダイ１０を上記の被塗布体１上において走行させながら、上記の吐出口１２から塗布液２を被塗布体１に供給して、被塗布体１上に塗布液２を所定の厚みになるように塗布させた後、上記の供給ポンプ６による塗布液２の供給を停止させ、この塗布用ダイ１０を上昇させて上記の被塗布体１上から離すようにする。
【００２８】
ここで、この実施例における塗布装置においては、上記のように被塗布体１上に塗布液２を塗布させた後において、この塗布用ダイ１０の先端部における吐出口１２の周辺部分に残留する塗布液２を除去する清掃装置を設けるにあたっては、図４に示すように、塗布液２が残留する塗布用ダイ１０の先端部に洗浄液２１を供給する洗浄液供給装置２０と、洗浄液２１が供給された塗布用ダイ１０の先端部に接触させて塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２を上記の洗浄液２１と一緒に除去する清掃用ブレード３０と、この清掃用ブレード３０によって残留する塗布液２と洗浄液２１とが除去された塗布用ダイ１０の先端部に塗布液２を供給するローラ４０とを、塗布用ダイ１０の先端部に沿って走行駿走行装置５０に設けている。
【００２９】
また、上記の清掃用ブレード３０によって塗布用ダイ１０の先端部から除去された残留する塗布液２と洗浄液２１とを排出させるにあたって、この清掃用ブレード３０と所要間隔を介するようにして受け部材３１を設け、この受け部材３１と清掃用ブレード３０と間の隙間を通して、除去された残留する塗布液２と洗浄液２１とを吸引装置６０により吸引して排出させるようにしている。
【００３０】
また、上記のように塗布液２と洗浄液２１とが除去された塗布用ダイ１０の先端部にローラ４０から塗布液２を供給するにあたっては、このローラ４０の一部を液収容容器４１内に収容された塗布液２中に浸漬させて、このローラ４０の外周面に塗布液２を保持させ、このローラ４０を塗布用ダイ１０の先端部に接触させた状態で回転させ、ローラ４０の外周面に保持された塗布液２を上記の塗布用ダイ１０の先端部に供給し、またこのように塗布液２を塗布用ダイ１０の先端部に供給した後のローラ４０の外周面に残留する塗布液２や異物等をブレード４２によってローラ４０の外周面から除去させて、回収部４３に回収させるようにしている。
【００３１】
そして、この実施例における塗布装置において、上記のように塗布用ダイ１０の吐出口１２から被塗布体１上に塗布液２を供給して、塗布液２を被塗布体１上に塗布した後、この塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２を除去するにあたっては、この塗布用ダイ１０を上記の清掃装置の位置に導き、上記の走行装置５０を塗布用ダイ１０の先端部に沿って走行させながら、上記の洗浄液供給装置２０から塗布用ダイ１０の先端部に洗浄液２１を供給させるようにする。
【００３２】
また、このように洗浄液２１が供給された塗布用ダイ１０の先端部に上記の清掃用ブレード３０を接触させて、塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２を洗浄液２１と一緒に除去し、このように除去させた塗布液２と洗浄液２１とを、受け部材３１と清掃用ブレード３０と間の隙間を通して吸引装置６０により吸引させて排出させるようにする。
【００３３】
また、このように塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２を洗浄液２１と一緒に除去した後は、上記のローラ４０を塗布用ダイ１０の先端部に接触させた状態で回転させ、ローラ４０の外周面に保持された塗布液２を上記の塗布用ダイ１０の先端部に供給させるようにする。このようにすると、前記のように塗布用ダイ１０の先端部に新しい塗布液２が均一に塗布されて湿りが与えられ、次の被塗布体１上に塗布液２を塗布する場合に、塗布液２がスムーズに被塗布体１上に供給されて、塗布液２が被塗布体１上に均一に塗布されるようになる。
【００３４】
また、上記のようにローラ４０から塗布用ダイ１０の先端部に塗布液２を供給するにあたっては、上記のローラ４０の回転速度や、このローラ４０の外周面に保持させる塗布液２の粘度等を調整することによって、塗布用ダイ１０の先端部に供給する塗布液２の量を調整することができる。
【００３５】
なお、この実施例においては、ローラ４０に塗布液２を保持させて塗布用ダイ１０の先端部に供給させるようにしたが、ローラ４０に洗浄液２１を保持させて塗布用ダイ１０の先端部をさらに洗浄させることも可能である。
【００３６】
また、この実施例においては、上記のような清掃装置を塗布用ダイ１０の先端部の端面１０ａに対してだけ設けるようにしたが、図４に示すように、塗布液２が塗布用ダイ１０の先端部における端面１０ａだけではなく両側の面１０ｂにも残留することがあるため、上記のような清掃装置を塗布用ダイ１０の先端部の端面１０ａだけではなく両側の面１０ｂに対しても設けることができる。
【００３７】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明においては、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、この塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を除去するにあたり、洗浄液供給装置から吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給すると共に、このように洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に清掃用ブレードを接触させ、この状態で走行装置により上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って移動させ、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させるようにした。
【００３８】
この結果、この発明によると、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液が凝固したような場合においても、凝固した塗布液が洗浄液によって塗布用ダイの先端部から離れやすくなり、この塗布液が洗浄液と共に上記の清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部から適切に除去されるようになり、次の被塗布体上に塗布液を塗布する際に、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液によって筋状の塗布むらが発生するのが防止され、連続して被塗布体上に塗布液を均一に塗布できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の塗布装置及びこの発明の実施例における塗布装置において、テーブル上に保持された被塗布体に塗布液を塗布する状態を示した概略説明図である。
【図２】従来の塗布装置において、被塗布体上に塗布液を塗布させた後における塗布用ダイの先端部に残留している塗布液を清掃装置によって除去する状態を示した概略説明図である。
【図３】この発明の実施例における塗布装置において、被塗布体上に塗布液を塗布させた後における塗布用ダイの先端部に残留している塗布液を清掃装置によって除去する状態を示した概略説明図である。
【図４】塗布液が塗布用ダイの先端部における端面の他に両側の面にも残留している状態を示した概略説明図である。
【符号の説明】
１ 被塗布体
２ 塗布液
１０ 塗布用ダイ
１０ａ 先端部の端面
１０ｂ 先端部の両側の面
１２ 吐出口
２０ 洗浄液供給装置
２１ 洗浄液
３０ 清掃用ブレード
４０ ローラ
５０ 走行装置
６０ 吸引装置
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス，樹脂フィルム，金属箔等の様々な被塗布体に様々な塗布液を塗布するのに使用する塗布装置に係り、特に、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布するようになった塗布装置において、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液が確実に除去されるようにした点に特徴を有するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、プラズマディスプレーパネル，有機エレクトロルミネッセンスディスプレーパネル，液晶ディスプレーパネル等を製造するにあたって、塗布装置により、ガラス，樹脂フィルム，金属箔等の様々な被塗布体にそれぞれの塗布液を塗布することが行われている。
【０００３】
そして、このような塗布装置としては、一般に図１に示すようなものが用いられている。
【０００４】
ここで、この塗布装置においては、被塗布体１に塗布液２を塗布するにあたり、吸引装置３を備えたテーブル４の上に被塗布体１を吸引装置３により吸引させて保持させるようにする。
【０００５】
そして、この被塗布体１の上において塗布用ダイ１０を所要間隔を介した位置にセットし、塗布液供給タンク５に収容された塗布液２を供給ポンプ６によりこの塗布用ダイ１０に設けられたマニホールド１１に供給し、この塗布液２をマニホールド１１から塗布用ダイ１０の先端部においてスリット状に設けられた吐出口１２に導くようにする。
【０００６】
次いで、この塗布用ダイ１０を上記の被塗布体１上において走行させながら、上記の吐出口１２から塗布液２を被塗布体１に供給して、被塗布体１上に塗布液２を所定の厚みになるように塗布させた後、上記の供給ポンプ６による塗布液２の供給を停止させ、この塗布用ダイ１０を上昇させて上記の被塗布体１上から離すようにする。
【０００７】
しかし、このようにして被塗布体１上に塗布液２を塗布させた場合、上記の塗布用ダイ１０の先端部における吐出口１２の周辺部分に塗布液２が部分的に残留した。
【０００８】
そして、この状態で塗布用ダイ１０により次の被塗布体１上に塗布液２を塗布した場合、上記のように塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２によって次の被塗布体１上に筋状の塗布むらが発生するという問題があった。
【０００９】
そこで、従来においては、上記のように吐出口１２の周辺に残留する塗布液２を除去するために、様々な清掃装置を設けることが行われており、例えば、図２に示すように、吐出口１２が設けられた塗布用ダイ１０の先端部に清掃用ブレード７の先端部を接触させ、この清掃用ブレード７を走行装置８により上記の吐出口１２の長さ方向に沿って塗布用ダイ１０の全長にわたって走行させ、この清掃用ブレード７によって吐出口１２の周辺に残留する塗布液２を塗布用ダイ１０から除去するようにしたものが用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【００１０】
また、従来においては、上記のように清掃用ブレード７により吐出口１２の周辺に残留する塗布液２を塗布用ダイ１０から除去した後、図示していないが、ローラを介して布材を塗布用ダイの先端部に接触させ、これを吐出口の長さ方向に摺擦させて、塗布用ダイの先端部をさらに清掃するようにしたものも提案されている。（例えば、特許文献２参照。）。
【００１１】
しかし、上記のようにして塗布用ダイ１０の先端部を清掃するようにした場合においても、塗布用ダイ１０の先端部に残留した塗布液２を十分に除去することが困難な場合があり、例えば、塗布用ダイ１０の先端部に残留した塗布液２が凝固したような場合には、凝固した塗布液２が塗布用ダイ１０の先端部から適切に除去されずに残り、次の被塗布体１上に塗布液２を塗布した際に、筋状の塗布むらが発生するという問題が依然として存在した。
【００１２】
【特許文献１】
特開平１１−１４７０６２号公報
【特許文献２】
特開２００１−１１３２１３号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布するようになった塗布装置における上記のような問題を解決することを課題とするものである。
【００１４】
すなわち、この発明は、上記のような塗布装置において、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から塗布液を被塗布体に供給した後、この塗布用ダイの先端部における吐出口の周辺に残留する塗布液を除去して、塗布用ダイの先端部を清掃するにあたり、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液が確実に除去されるようにし、被塗布体上に塗布液を塗布した際に、筋状の塗布むらが発生するのを確実に防止できるようにすることを課題とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明における塗布用ダイの清掃装置においては、上記のような課題を解決するため、塗布液を被塗布体に供給するスリット状になった吐出口が先端部に設けられた塗布用ダイを清掃する塗布用ダイの清掃装置において、吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に接触させて塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去する清掃用ブレードと、上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って走行させる走行装置とを設けるようにしたのである。
【００１６】
そして、この発明においては、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、被塗布体に塗布液を塗布させた後、この塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄するにあたり、上記の浄液供給装置から吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給すると共に、このように洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に清掃用ブレードを接触させるようにし、この状態で走行装置により上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って移動させて、清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させるようにする。
【００１７】
このようにすると、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液が凝固したような場合においても、凝固した塗布液が上記の洗浄液によって塗布用ダイの先端部から離れやすくなり、この塗布液が洗浄液と一緒に上記の清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部から適切に除去されるようになり、次の被塗布体上に塗布液を塗布する際に、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液によって筋状の塗布むらが発生するのが防止されるようになる。
【００１８】
ここで、上記の洗浄液としては、塗布用ダイの先端部に残留して凝固した塗布液を溶解させて、塗布用ダイの先端部から除去されやすくするため、例えば、塗布液に使用する溶媒等を用いるようにすることが好ましい。
【００１９】
また、上記のように塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給して被塗布体に塗布液を塗布させた場合、塗布液が塗布用ダイの先端部における端面だけではなく両側の面に残留することがあるため、上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部における端面だけではなく両側の面に対して設けることが好ましい。
【００２０】
また、上記のように塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させた場合において、除去された塗布液や洗浄液が他の部分にこぼれないようにするため、上記の清掃用ブレードによって塗布用ダイの先端部から除去された残留する塗布液と洗浄液とを吸引する吸引装置を設けるようにすることが好ましい。
【００２１】
さらに、上記の清掃用ブレードによって残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に、塗布液又は洗浄液が供給されたローラを接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させるようにすることも可能である。
【００２２】
ここで、上記のローラに塗布液を供給し、このローラを塗布用ダイの先端部に接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させると、残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に新しい塗布液が均一に塗布されて湿りが与えられ、次の被塗布体上に塗布液を塗布する場合に、塗布液がスムーズに被塗布体上に供給されて、塗布液が被塗布体上により均一に塗布されるようになる。
【００２３】
また、上記のローラに洗浄液を供給し、このローラを塗布用ダイの先端部に接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させると、洗浄液が供給されたローラによって塗布用ダイの先端部がより一層きれいに洗浄されるようになる。
【００２４】
【実施例】
以下、この発明の実施例に係る塗布装置及び塗布用ダイの清掃装置を添付図面に基づいて具体的に説明する。
【００２５】
この実施例における塗布装置においても、被塗布体１に塗布液２を塗布するにあたっては、前記の図１に示すように、吸引装置３を備えたテーブル４の上に被塗布体１を吸引装置３により吸引させて保持させるようにする。
【００２６】
次いで、この被塗布体１の上において塗布用ダイ１０を所要間隔を介した位置にセットし、塗布液供給タンク５に収容された塗布液２を供給ポンプ６によりこの塗布用ダイ１０に設けられたマニホールド１１に供給し、この塗布液２をマニホールド１１から塗布用ダイ１０の先端部においてスリット状に設けられた吐出口１２に導くようにする。
【００２７】
そして、この塗布用ダイ１０を上記の被塗布体１上において走行させながら、上記の吐出口１２から塗布液２を被塗布体１に供給して、被塗布体１上に塗布液２を所定の厚みになるように塗布させた後、上記の供給ポンプ６による塗布液２の供給を停止させ、この塗布用ダイ１０を上昇させて上記の被塗布体１上から離すようにする。
【００２８】
ここで、この実施例における塗布装置においては、上記のように被塗布体１上に塗布液２を塗布させた後において、この塗布用ダイ１０の先端部における吐出口１２の周辺部分に残留する塗布液２を除去する清掃装置を設けるにあたっては、図４に示すように、塗布液２が残留する塗布用ダイ１０の先端部に洗浄液２１を供給する洗浄液供給装置２０と、洗浄液２１が供給された塗布用ダイ１０の先端部に接触させて塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２を上記の洗浄液２１と一緒に除去する清掃用ブレード３０と、この清掃用ブレード３０によって残留する塗布液２と洗浄液２１とが除去された塗布用ダイ１０の先端部に塗布液２を供給するローラ４０とを、塗布用ダイ１０の先端部に沿って走行駿走行装置５０に設けている。
【００２９】
また、上記の清掃用ブレード３０によって塗布用ダイ１０の先端部から除去された残留する塗布液２と洗浄液２１とを排出させるにあたって、この清掃用ブレード３０と所要間隔を介するようにして受け部材３１を設け、この受け部材３１と清掃用ブレード３０と間の隙間を通して、除去された残留する塗布液２と洗浄液２１とを吸引装置６０により吸引して排出させるようにしている。
【００３０】
また、上記のように塗布液２と洗浄液２１とが除去された塗布用ダイ１０の先端部にローラ４０から塗布液２を供給するにあたっては、このローラ４０の一部を液収容容器４１内に収容された塗布液２中に浸漬させて、このローラ４０の外周面に塗布液２を保持させ、このローラ４０を塗布用ダイ１０の先端部に接触させた状態で回転させ、ローラ４０の外周面に保持された塗布液２を上記の塗布用ダイ１０の先端部に供給し、またこのように塗布液２を塗布用ダイ１０の先端部に供給した後のローラ４０の外周面に残留する塗布液２や異物等をブレード４２によってローラ４０の外周面から除去させて、回収部４３に回収させるようにしている。
【００３１】
そして、この実施例における塗布装置において、上記のように塗布用ダイ１０の吐出口１２から被塗布体１上に塗布液２を供給して、塗布液２を被塗布体１上に塗布した後、この塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２を除去するにあたっては、この塗布用ダイ１０を上記の清掃装置の位置に導き、上記の走行装置５０を塗布用ダイ１０の先端部に沿って走行させながら、上記の洗浄液供給装置２０から塗布用ダイ１０の先端部に洗浄液２１を供給させるようにする。
【００３２】
また、このように洗浄液２１が供給された塗布用ダイ１０の先端部に上記の清掃用ブレード３０を接触させて、塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２を洗浄液２１と一緒に除去し、このように除去させた塗布液２と洗浄液２１とを、受け部材３１と清掃用ブレード３０と間の隙間を通して吸引装置６０により吸引させて排出させるようにする。
【００３３】
また、このように塗布用ダイ１０の先端部に残留する塗布液２を洗浄液２１と一緒に除去した後は、上記のローラ４０を塗布用ダイ１０の先端部に接触させた状態で回転させ、ローラ４０の外周面に保持された塗布液２を上記の塗布用ダイ１０の先端部に供給させるようにする。このようにすると、前記のように塗布用ダイ１０の先端部に新しい塗布液２が均一に塗布されて湿りが与えられ、次の被塗布体１上に塗布液２を塗布する場合に、塗布液２がスムーズに被塗布体１上に供給されて、塗布液２が被塗布体１上に均一に塗布されるようになる。
【００３４】
また、上記のようにローラ４０から塗布用ダイ１０の先端部に塗布液２を供給するにあたっては、上記のローラ４０の回転速度や、このローラ４０の外周面に保持させる塗布液２の粘度等を調整することによって、塗布用ダイ１０の先端部に供給する塗布液２の量を調整することができる。
【００３５】
なお、この実施例においては、ローラ４０に塗布液２を保持させて塗布用ダイ１０の先端部に供給させるようにしたが、ローラ４０に洗浄液２１を保持させて塗布用ダイ１０の先端部をさらに洗浄させることも可能である。
【００３６】
また、この実施例においては、上記のような清掃装置を塗布用ダイ１０の先端部の端面１０ａに対してだけ設けるようにしたが、図４に示すように、塗布液２が塗布用ダイ１０の先端部における端面１０ａだけではなく両側の面１０ｂにも残留することがあるため、上記のような清掃装置を塗布用ダイ１０の先端部の端面１０ａだけではなく両側の面１０ｂに対しても設けることができる。
【００３７】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明においては、塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、この塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を除去するにあたり、洗浄液供給装置から吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給すると共に、このように洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に清掃用ブレードを接触させ、この状態で走行装置により上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って移動させ、塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去させるようにした。
【００３８】
この結果、この発明によると、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液が凝固したような場合においても、凝固した塗布液が洗浄液によって塗布用ダイの先端部から離れやすくなり、この塗布液が洗浄液と共に上記の清掃用ブレードにより塗布用ダイの先端部から適切に除去されるようになり、次の被塗布体上に塗布液を塗布する際に、塗布用ダイの先端部に残留した塗布液によって筋状の塗布むらが発生するのが防止され、連続して被塗布体上に塗布液を均一に塗布できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の塗布装置及びこの発明の実施例における塗布装置において、テーブル上に保持された被塗布体に塗布液を塗布する状態を示した概略説明図である。
【図２】従来の塗布装置において、被塗布体上に塗布液を塗布させた後における塗布用ダイの先端部に残留している塗布液を清掃装置によって除去する状態を示した概略説明図である。
【図３】この発明の実施例における塗布装置において、被塗布体上に塗布液を塗布させた後における塗布用ダイの先端部に残留している塗布液を清掃装置によって除去する状態を示した概略説明図である。
【図４】塗布液が塗布用ダイの先端部における端面の他に両側の面にも残留している状態を示した概略説明図である。
【符号の説明】
１ 被塗布体
２ 塗布液
１０ 塗布用ダイ
１０ａ 先端部の端面
１０ｂ 先端部の両側の面
１２ 吐出口
２０ 洗浄液供給装置
２１ 洗浄液
３０ 清掃用ブレード
４０ ローラ
５０ 走行装置
６０ 吸引装置
Claims (5)
- 塗布液を被塗布体に供給するスリット状になった吐出口が先端部に設けられた塗布用ダイを清掃する塗布用ダイの清掃装置において、吐出口が設けられた塗布用ダイの先端部に洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、洗浄液が供給された塗布用ダイの先端部に接触させて塗布用ダイの先端部に残留する塗布液を洗浄液と一緒に除去する清掃用ブレードと、上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを塗布用ダイの先端部に沿って走行させる走行装置とを設けたことを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。
- 請求項１に記載した塗布用ダイの清掃装置において、上記の塗布用ダイの先端部における端面及びその両側の面に対して、それぞれ上記の洗浄液供給装置と清掃用ブレードとを設けたことを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。
- 請求項１又は２に記載した塗布用ダイの清掃装置において、上記の清掃用ブレードによって塗布用ダイの先端部から除去された残留する塗布液と洗浄液とを吸引する吸引装置を設けたことを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。
- 請求項１〜３の何れか１項に記載した塗布用ダイの清掃装置において、上記の清掃用ブレードによって残留する塗布液と洗浄液とが除去された塗布用ダイの先端部に、塗布液又は洗浄液が供給されたローラを接触させ、このローラを回転させて塗布用ダイの先端部に沿って移動させるようにしたことを特徴とする塗布用ダイの清掃装置。
- 塗布用ダイの先端部に設けられたスリット状になった吐出口から被塗布体に塗布液を供給し、この塗布用ダイを走行させて被塗布体に塗布液を塗布する塗布装置において、上記の塗布用ダイの先端部を清掃する清掃装置として、上記の請求項１〜４の何れか１項に記載した塗布用ダイの清掃装置を用いたことを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002271613A JP4188043B2 (ja) | 2002-09-18 | 2002-09-18 | 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002271613A JP4188043B2 (ja) | 2002-09-18 | 2002-09-18 | 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004105849A true JP2004105849A (ja) | 2004-04-08 |
| JP4188043B2 JP4188043B2 (ja) | 2008-11-26 |
Family
ID=32268872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002271613A Expired - Fee Related JP4188043B2 (ja) | 2002-09-18 | 2002-09-18 | 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4188043B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100839781B1 (ko) | 2006-12-15 | 2008-06-19 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 도포용 다이의 청소 장치 |
| JP2008149247A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Chugai Ro Co Ltd | 吐出ノズルの清掃装置 |
| JP2009011917A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 洗浄装置、洗浄方法、予備吐出装置、及び塗布装置 |
| JP2009269298A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Japan Steel Works Ltd:The | ダイス表面の清掃装置及び方法 |
| CN102688833A (zh) * | 2012-06-05 | 2012-09-26 | 友达光电(厦门)有限公司 | 基板涂胶设备 |
| JP6430056B1 (ja) * | 2018-07-17 | 2018-11-28 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ノズルの清掃装置 |
-
2002
- 2002-09-18 JP JP2002271613A patent/JP4188043B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100839781B1 (ko) | 2006-12-15 | 2008-06-19 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 도포용 다이의 청소 장치 |
| JP2008149224A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Chugai Ro Co Ltd | 塗布用ダイの清掃装置 |
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| JP6430056B1 (ja) * | 2018-07-17 | 2018-11-28 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ノズルの清掃装置 |
| JP2020011186A (ja) * | 2018-07-17 | 2020-01-23 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ノズルの清掃装置 |
| WO2020017109A1 (ja) * | 2018-07-17 | 2020-01-23 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ノズルの清掃装置 |
| KR20200103817A (ko) * | 2018-07-17 | 2020-09-02 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 도포용 노즐의 청소 장치 |
| CN111801170A (zh) * | 2018-07-17 | 2020-10-20 | 中外炉工业株式会社 | 涂布用喷嘴的清扫装置 |
| CN111801170B (zh) * | 2018-07-17 | 2021-12-07 | 中外炉工业株式会社 | 涂布用喷嘴的清扫装置 |
| KR102354085B1 (ko) | 2018-07-17 | 2022-01-20 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 도포용 노즐의 청소 장치 |
| TWI803629B (zh) * | 2018-07-17 | 2023-06-01 | 日商中外爐工業股份有限公司 | 塗布用管嘴的清掃裝置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4188043B2 (ja) | 2008-11-26 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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