KR100840528B1 - 슬릿 코터용 예비토출장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 프라이밍 롤러를 세정액에 침지시켜 세정하기 위한 세정조가 구비되는 슬릿코터의 예비토출장치에 있어서,상기 세정조의 상단이 개방되고, 상기 개방단부가 프라이밍 롤러의 회전중심의 아랫쪽에 위치되도록 설치하는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치.
- 슬릿코터의 예비토출장치에 있어서,슬릿노즐의 예비토출이 이루어지는 프라이밍 롤러;상기 프라이밍 롤러의 상부를 개방하고, 하부를 세정액에 침지시키는 세정조;상기 프라이밍 롤러의 회전축을 지지하는 축지지 플레이트; 및상기 프라이밍 롤러의 회전방향을 따라 설치되어 프라이밍 롤러 표면의 이물을 제거하도록 된 세정모듈;을 포함하여 구성되는 슬릿코터의 예비토출장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 세정조는 상부가 개방된 수조형상으로 제작되고, 저면에 높낮이 조절이 가능한 다수의 다리받침이 설치되는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 세정조 내부를 다수 개의 격벽으로 분리시켜 세정액이 분산 수용되도록 하여 프라이밍 롤러의 단계별 세정이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치.
- 제 2항에 있어서,상기 세정모듈은 프라이밍 롤러가 세정조의 세정액에 침지되기 전에 롤러 표면의 도포액이 1차 제거되도록 하는 상부세정모듈; 및상기 프라이밍 롤러가 세정조의 세정액에 침지되고 난 후에 롤러 표면의 잔류 도포액 및 세정액이 제거되도록 하는 하부세정모듈;을 포함하는 슬릿 코터의 예비토출장치
- 제 5항에 있어서,상기 상부세정모듈은 용매를 프라이밍 롤러로 표면에 적하시켜 프라이밍 롤러 표면에 묻어 있는 도포액을 희석시키기 위한 용매 적하부와, 상기 용매 적하부 에서 희석된 도포액을 프라이밍 롤러 표면으로부터 분리시키기 위한 제1 나이프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬릿 코터의 예비토출장치.
- 제 5항에 있어서,상기 하부세정모듈은 상기 제1 나이프에 의해 도포액이 1차 제거된 프라이밍 롤러의 표면을 세정조 내의 세정액에 침지시킨 후 잔류 도포액을 제거시키도록 하는 제2 나이프; 및 상기 세정조를 벗어난 프라이밍 롤러 표면의 잔류 세정액을 제거하기 위한 제3 나이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치.
- 제 6항에 있어서,상기 용매 적하부와 제1 나이프를 장착하기 위한 세정모듈 지지대가 세정조에 일측에 설치되는 것을 특징으로 하는 슬릿코터의 예비토출장치.
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KR1020070036302A KR100840528B1 (ko) | 2007-04-13 | 2007-04-13 | 슬릿 코터용 예비토출장치 |
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KR1020070036302A KR100840528B1 (ko) | 2007-04-13 | 2007-04-13 | 슬릿 코터용 예비토출장치 |
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KR1020070036302A KR100840528B1 (ko) | 2007-04-13 | 2007-04-13 | 슬릿 코터용 예비토출장치 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100975130B1 (ko) * | 2008-06-27 | 2010-08-11 | 주식회사 디엠에스 | 슬릿 코터 |
CN117548277A (zh) * | 2023-11-14 | 2024-02-13 | 广东瀚秋智能装备股份有限公司 | 一种多用途式的高速涂布设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005322873A (ja) | 2004-04-07 | 2005-11-17 | Tokyo Electron Ltd | 塗布膜形成装置 |
KR20060051708A (ko) * | 2004-10-04 | 2006-05-19 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR20070055308A (ko) * | 2005-11-24 | 2007-05-30 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 토출 노즐의 세정장치 |
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2007
- 2007-04-13 KR KR1020070036302A patent/KR100840528B1/ko active IP Right Grant
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