KR20100059240A - 도포 유닛 및 이를 세정하는 세정 장치 - Google Patents

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Abstract

세정 장치는 세정부 및 세정 용기를 포함한다. 세정부는 노즐의 토출구 부위를 세정액을 통해 세정한다. 세정 용기는 세정부를 수용하고, 세정부에서 세정된 노즐의 토출구 부위에 노즐로부터 예비 토출되는 약액을 도포시키는 도포 유닛을 세정하기 위하여 세정부에서 사용된 세정액을 바닥에 수집한다. 따라서, 노즐의 사이즈가 커질 경우에도 세정액의 량을 감소시키면서 세정이 가능하도록 도포 유닛을 구성할 수 있다.

Description

도포 유닛 및 이를 세정하는 세정 장치{PRIMING UNIT, CLEANING APPARATUS FOR CLEANING THE SAME}
본 발명은 도포 유닛 및 이를 세정하는 세정 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 노즐의 토출구의 부위에 예비 토출되는 약액을 도포시키는 도포 유닛 및 이 유닛을 세정하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 디스플레이 소자는 영상을 표시하는 평판표시장치에 사용되며, 일 예로는 액정을 이용하는 액정표시장치(LCD), 플라즈마를 이용하는 플라즈마 표시장치(PDP), 유기 발광 소자를 이용하는 유기 발광 표시장치(OLED) 등에 사용된다.
상기 디스플레이 소자는 투명한 유리 재질의 기판을 통해 제조된다. 구체적으로, 상기 디스플레이 소자는 상기 기판을 기초로 한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정 등을 통해 제조된다.
이러한 공정들 중 상기 포토리소그래피 공정은 구체적으로, 기판에 감광막을 도포시키는 코팅 공정, 도포한 상기 감광막을 경화시키는 베이크 공정, 경화한 상기 감광막을 마스크를 사이에 두고 자외선광에 노출시켜 패터닝하는 노광 공정, 노 광한 상기 감광막을 상기 패터닝의 패턴에 따라 제거하는 현상 공정 등을 수행한다.
여기서, 상기 코팅 공정에서는 감광액과 같은 약액을 노즐의 토출구를 통해 상기 기판으로 균일하게 토출함으로써, 진행된다. 이때, 상기 노즐의 토출구의 부위에는 예비 롤러를 통하여 상기 약액이 상기 기판에 토출하기 전에 예비 토출시켜 도포된다. 이는, 상기 노즐의 토출구를 통해 상기 기판에 상기 약액을 최초 도포시킬 때 상기 약액이 갈라지는 현상을 방지하기 위해서이다.
이러한 상기 노즐과 상기 프리밍 롤러는 그들에 묻어 있는 상기 약액을 별도의 제1 및 제2 세정부들에서 세정 공정을 진행한다.
그러나, 상기 제1 및 제2 세정부들에서는 세정액을 각각 별도로 사용하여 외부로 배수함으로써, 전체적인 세정액의 사용량이 증가하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 효율적인 세정이 가능하도록 구성된 도포 유닛을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 도포 유닛을 세정하는 세정 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 도포 유닛은 제1 롤러, 제2 롤러 및 박판 벨트를 포함한다.
상기 제1 롤러는 노즐의 토출구에 인접하게 배치된다. 상기 제2 롤러는 상기 제1 롤러와 인접하게 배치되고, 상기 제1 롤러와 평행한 중심축을 갖는다. 상기 박판 벨트는 상기 제1 및 제2 롤러들의 외면에 벨트 연결되고, 상기 토출구에서 예비 토출되는 약액을 상기 토출구 부위에 도포시키기 위하여 상기 제1 및 제2 롤러들과 같이 회전한다.
이에, 상기 도포 유닛은 상기 박판 벨트의 상기 토출구의 상기 약액을 도포시키는 부위와 다른 부위에 결합되어 상기 박판 필름에 묻어 있는 상기 약액을 제거하는 블레이드를 더 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 세정 장치는 세정부 및 세정 용기를 포함한다.
상기 세정부는 노즐의 토출구 부위를 세정액을 통해 세정한다. 상기 세정 용 기는 상기 세정부를 수용하고, 상기 세정부에서 세정된 노즐의 토출구 부위에 상기 노즐로부터 예비 토출되는 약액을 도포시키는 도포 유닛을 세정하기 위하여 상기 세정부에서 사용된 세정액을 바닥에 수집한다.
여기서, 상기 도포 유닛은 상기 세정부에서 세정되어 이동한 노즐의 토출구에 인접하게 배치된 제1 롤러, 상기 제1 롤러의 하부에서 상기 바닥과 인접하게 배치되고 상기 제1 롤러와 평행한 중심축을 갖는 제2 롤러 및 상기 제1 및 제2 롤러들의 외면에 벨트 연결되고 상기 토출구에서 예비 토출되는 약액을 상기 토출구 부위에 도포시키기 위하여 상기 제1 및 제2 롤러들과 같이 회전하는 박판 벨트를 포함한다.
이에, 상기 세정 용기의 바닥은 상기 제2 롤러와 인접한 부위로 오목하게 구성될 수 있다.
한편, 상기 세정 장치는 상기 박판 벨트의 상기 제2 롤러로부터 상기 제1 롤러로 이동하는 부위에 결합되어 상기 박판 벨트에 묻은 세정액을 상기 바닥으로 긁어내리는 블레이드를 더 포함할 수 있다.
이러한 도포 유닛 및 이를 세정하는 세정 장치에 따르면, 약액을 토출하는 노즐의 토출구 부위에 예비 토출되는 상기 약액을 도포시키기 위하여 제1 및 제2 롤러들에 벨트 연결된 박판 벨트로 구성된 도포 유닛을 사용함으로써, 세정부에서 상기 토출구 부위를 세정한 세정액을 세정 용기의 바닥에 수집하여 상기 도포 유닛을 다시 세정할 수 있다.
이와 같이, 상기 세정액을 재활용함으로써, 상기 노즐의 토출구 부위와 상기 도포 유닛을 세정하는데 사용되는 상기 세정액의 전체 사용량을 감소시킬 수 있다. 이로써, 비용 절감 효과를 기대할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 도포 유닛 및 이를 세정하는 세정 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지 다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 유닛을 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 도포 유닛을 옆에서 바라본 도면이며, 도 3은 도 1의 A부분을 확대한 도면이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 유닛(100)은 제1 롤러(300), 제2 롤러(400) 및 박판 벨트(500)를 포함한다.
상기 제1 롤러(300)는 노즐(200)의 토출구(210)와 인접한 위치에 배치된다. 상기 제1 롤러(300)는 상기 노즐(200)의 길이와 같거나 소정의 차이로 길게 배치된다. 상기 제1 롤러(300)는 상기 노즐(200)의 길이 방향과 평행한 제1 중심축(C1)을 기준으로 회전 가능하게 구성된다.
여기서, 상기 노즐(200)은 기판을 대상으로 디스플레이 소자 또는 반도체 소자를 포함하는 집적 회로 소자를 제조하는 공정에서 상기 기판에 약액(L)을 토출하여 도포하는데 사용될 수 있다.
구체적으로, 상기 노즐(200)은 상기 기판의 어느 한 폭을 따라 길게 형성되어 상기 폭을 따라 상기 기판에 상기 약액(L)을 상기 토출구(210)를 통해 일괄적으로 도포할 수 있도록 구성된다.
일 예로, 상기 노즐(200)은 상기 집적 회로 소자를 제조하는 공정 중 포토리소그래피 공정에서 상기 기판에 감광막을 코팅시키기 위하여 감광액과 같은 상기 약액(L)을 상기 기판에 도포하는데 사용될 수 있다. 이에, 상기 약액(L)은 감광성 수지 용액으로 이루어질 수 있다.
이와 달리, 상기 노즐(200)은 상기 포토리소그래피 공정 중 상기 감광액을 마스크를 사이에 두고 노광한 후, 상기 마스크의 패턴에 따라 상기 감광액의 일부를 제거하기 위한 현상액을 상기 기판에 도포하는데 사용될 수 있다. 이럴 경우, 상기 약액(L)은 일 예로, 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드(tetramethyl ammonium hydroxide; TMAH)를 포함할 수 있다.
상기 제2 롤러(400)는 상기 제1 롤러(300)와 인접하게 배치된다. 상기 제2 롤러(400)는 상기 제1 롤러(300)와 대략 동일한 길이로 배치된다. 상기 제2 롤러(400)는 상기 제1 중심축(C1)과 평행한 제2 중심축(C2)을 기준으로 회전 가능하게 구성된다.
상기 박판 벨트(500)는 상기 제1 및 제2 롤러(300, 400)들의 외면에 벨트 형 태로 감겨진다. 상기 박판 벨트(500)는 상기 제1 및 제2 롤러(300, 400)들과 같이 회전한다.
이에 따라, 상기 제1 롤러(300)는 외부의 구동부(10)와 연결되어 회전력을 전달 받는다. 이때, 상기 구동부(10)는 모터를 포함할 수 있다. 이와 달리, 상기 제2 롤러(400)가 상기 구동부(10)와 연결되어 상기 회전력을 전달 받을 수 있다.
상기 박판 벨트(500)는 상기 제1 및 제2 롤러(300, 400)들과 대략 동일한 길이로 감겨진다. 이에, 상기 제1 롤러(300)가 상기 노즐(200)의 토출구(210)와 인접하게 배치되어 있음에 따라, 상기 박판 벨트(500)는 상기 제1 롤러(300)보다 더 상기 토출구(210)와 인접하게 배치된다.
이러한 상기 박판 벨트(500)는 상기 제1 및 제2 롤러(300, 400)들의 회전을 통해 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위에 상기 토출구(210)로부터 예비 토출되는 상기 약액(L)을 도포시킨다.
이에, 상기 박판 벨트(500)는 일 예로, 표면을 매끄럽게 가공하기 쉬우면서 내부식성이 우수한 스테인레스(stainless) 재질로 이루어질 수 있다.
이렇게 상기 박판 벨트(500)를 통하여 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위에 상기 약액(L)을 예비적으로 도포시키는 이유는 상기 노즐(200)의 토출구(210)를 통해 상기 약액(L)을 상기 기판에 최초 도포시킬 때 상기 약액(L)이 갈라지는 현상을 방지하기 위해서이다. 이때, 상기 약액(L)은 어느 정도의 점성을 갖는 것이 일반적이다.
또한, 상기 제2 롤러(400)는 다른 세정 장치와 인접하게 배치되어 상기 박판 벨트(500)에 묻은 상기 약액(L)을 세정할 수 있다.
이에, 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위에 상기 약액(L)을 예비적으로 도포시키기 위하여 상기 제1 및 제2 롤러(300, 400)들을 벨트 형태로 감은 상기 박판 벨트(500)를 사용하게 되면, 상기의 세정 장치와 사이가 멀어질 경우 단순히 상기 제1 및 제2 롤러(300, 400)들의 사이 거리를 멀게 함으로써, 설치 공간이 확장되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 도포 유닛(100)은 상기 토출구(210)의 상기 약액(L)을 도포시키는 부위와 다른 부위에 결합된 블레이드(600)를 더 포함할 수 있다. 이하, 상기 블레이드(600)에 대해서는 도 4를 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 4는 도 1의 B부분을 확대한 도면이다.
도 4를 추가적으로 참조하면, 상기 블레이드(600)는 단부가 상기 박판 벨트(500)에 접촉하는 구조를 갖는다.
이러한 상기 블레이드(600)는 상기 박판 벨트(500)가 상기 약액(L)을 예비적으로 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위에 도포시킴으로써, 상기 박판 벨트(500)에 묻어 있는 상기 약액(L)을 제거할 수 있다.
이때, 상기 블레이드(600)는 상기 약액(L)을 효과적으로 제거하기 위하여 상기 제2 롤러(400)로부터 상기 제1 롤러(300)로 이동하는 부위에 접촉될 수 있다. 이럴 경우, 상기 블레이드(600)는 상기 박판 벨트(500)를 기준으로 상기 제1 롤러(300) 방향으로 기울어지게 배치될 수 있다.
또한, 상기 블레이드(600)는 상기 박판 벨트(500)를 기준으로 상기 제2 롤러(400) 방향의 면이 상기 박판 벨트(500)에 우선 접촉되는 구조를 가질 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 장치(700)는 세정부(800) 및 세정 용기(900)를 포함한다.
상기 세정부(800)는 노즐(200)의 약액(L)이 토출되는 토출구(210) 부위를 세정한다. 예를 들어, 상기 세정부(800)는 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위에 세정액(CL)을 분사하면서 세정할 수도 있고, 상기 토출구(210) 부위를 상기 세정액(CL)에 담가서 세정할 수도 있다. 이에, 상기 세정액(CL)은 일 예로, 신너(thinner)를 포함할 수 있다.
상기 세정 용기(900)는 상기 세정부(800)를 수용한다. 이에 추가적으로, 상기 세정 용기(900)는 상기 세정부(800)와 인접하게 배치된 도포 유닛(100)을 수용한다. 이에, 상기 노즐(200)은 상기 세정부(800)에서 세정된 다음, 상기 도포 유닛(100)으로 이동한다. 상기 도포 유닛(100)은 제1 롤러(300), 제2 롤러(400) 및 박판 벨트(500)를 포함한다.
여기서, 상기 도포 유닛(100)은 상기의 도 1 내지 도 4에 도시된 구성과 동일하므로, 동일한 참조 번호를 사용하며, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 제1 롤러(300)는 상기 세정부(800)에서 세정이 이루어져 이동한 상기 노즐(200)의 토출구(210)와 인접하게 배치된다. 상기 제2 롤러(400)는 상기 제1 롤러(300)의 하부에서 상기 세정 용기(900)의 바닥(910)과 인접하게 배치된다. 상기 세정 용기(900)는 상기 바닥(910)으로 상기 세정부(800)에서 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위를 세정하는데 사용한 상기 세정액(CL)을 수집한다.
이에, 상기 제2 롤러(400)는 상기 바닥(910)과 인접하게 배치되므로, 상기 세정액(CL)에 의해 일부가 담가질 수 있다. 이러면, 상기 제2 롤러(400)의 외면에 감겨진 상기 박판 벨트(500)는 상기 세정액(CL)에 의해서 세정이 이루어진다.
구체적으로, 상기 박판 벨트(500)가 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위에 상기 토출구(210)로부터 예비 토출되는 상기 약액(L)을 도포시킴으로써, 상기 박판 벨트(500)에 묻어 있는 상기 약액(L)은 상기 세정액(CL)에 의해서 세정된다.
이때, 상기 세정 용기(900)의 바닥(910)은 수집되는 상기 세정액(CL)이 상기 제2 롤러(400)에 감겨진 상기 박판 벨트(500)로 향하도록 상기 제2 롤러(400)와 인접한 부위가 오목한 구조를 가질 수 있다.
이에, 상기 세정 장치(700)는 상기 바닥(910)의 오목한 부위로부터 외부로 연장된 배수관(950)을 더 포함할 수 있다. 상기 배수관(950)은 상기 바닥(910)의 오목한 부위에 수집되는 상기 세정액(CL)을 상기 박판 벨트(500)를 세정하면서 주기적으로 외부로 배수시킬 수 있다.
한편, 상기 세정 장치(700)는 상기 박판 벨트(500)의 상기 제2 롤러(400)로부터 상기 제1 롤러(300)로 이동하는 부위에 결합된 블레이드(600)를 더 포함한다.
상기 블레이드(600)는 상기 박판 벨트(500)에 묻어 있는 상기 세정액(CL)을 상기 세정 용기(900)의 바닥(910)으로 긁어내린다. 이러한 상기 블레이드(600)는 도 4에 도시된 구성과 동일한 구조를 가질 수 있다.
이로써, 상기 블레이드(600)는 상기 박판 벨트(500)가 상기 제1 및 제2 롤러(300, 400)들과 같이 회전하는 도중 상기 세정액(CL)이 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 상기 세정액(CL)으로 인하여 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위에 예비적으로 도포되는 상기 약액(L)이 세정되는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 상기 약액(L)을 토출하는 상기 노즐(200)의 토출구(210)의 부위에 상기 약액(L)을 예비적으로 도포시키기 위하여 제1 및 제2 롤러(300, 400)들에 벨트 연결된 박판 벨트(500)로 구성된 도포 유닛(100)을 사용함으로써, 상기 세정부(800)에서 상기 토출구(210) 부위를 세정한 상기 세정액(CL)을 상기 세정 용기(900)의 바닥(910)으로 수집하여 상기 도포 유닛(100)을 다시 세정할 수 있다.
즉, 상기 도포 유닛(100)이 상기 제1 및 제2 롤러(300, 400)들 사이의 충분한 거리를 확보할 수 있으므로, 상기 노즐(200)을 상기 세정부(800)로부터 상기 도포 유닛(100)으로 수평 방향으로 이동하여도 상기 도포 유닛(100)의 설치 공간 확장 없이 세정할 수 있다.
이와 같이, 상기 세정액(CL)을 재활용함으로써, 상기 노즐(200)의 토출구(210) 부위와 상기 도포 유닛(100)을 세정하는데 사용되는 상기 세정액(CL)의 전체 사용량을 감소시킬 수 있다. 이로써, 비용 절감 효과를 기대할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명은 노즐의 토출구 부위를 세정한 세정액을 재활용하여 제1 및 제2 롤러들에 벨트 형태로 감겨진 박판 벨트를 다시 세정함으로써, 세정액의 량을 절감할 수 있는 장치에 이용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 도포 유닛을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 도포 유닛을 옆에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1의 A부분을 확대한 도면이다.
도 4는 도 1의 B부분을 확대한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
L : 약액 CL : 세정액
100 : 도포 유닛 200 : 노즐
210 : 토출구 300 : 제1 롤러
400 : 제2 롤러 500 : 박판 벨트
600 : 블레이드 700 : 세정 장치
800 : 세정부 900 : 세정 용기

Claims (5)

  1. 노즐의 토출구에 인접하게 배치된 제1 롤러;
    상기 제1 롤러와 인접하게 배치되고, 상기 제1 롤러와 평행한 중심축을 갖는 제2 롤러: 및
    상기 제1 및 제2 롤러들의 외면에 벨트 연결되고, 상기 토출구에서 예비 토출되는 약액을 상기 토출구 부위에 도포시키기 위하여 상기 제1 및 제2 롤러들과 같이 회전하는 박판 벨트 포함하는 도포 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 박판 벨트의 상기 토출구의 상기 약액을 도포시키는 부위와 다른 부위에 결합되어 상기 박판 필름에 묻어 있는 상기 약액을 제거하는 블레이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 유닛.
  3. 노즐의 토출구 부위를 세정액을 통해 세정하는 세정부; 및
    상기 세정부를 수용하고, 상기 세정부에서 세정된 노즐의 토출구 부위에 상기 노즐로부터 예비 토출되는 약액을 도포시키는 도포 유닛을 세정하기 위하여 상기 세정부에서 사용된 세정액을 바닥에 수집하는 세정 용기를 포함하고,
    상기 도포 유닛은,
    상기 세정부에서 세정되어 이동한 노즐의 토출구에 인접하게 배치된 제1 롤러;
    상기 제1 롤러의 하부에서 상기 바닥과 인접하게 배치되고, 상기 제1 롤러와 평행한 중심축을 갖는 제2 롤러: 및
    상기 제1 및 제2 롤러들의 외면에 벨트 연결되고, 상기 토출구에서 예비 토출되는 약액을 상기 토출구 부위에 도포시키기 위하여 상기 제1 및 제2 롤러들과 같이 회전하는 박판 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 세정 용기의 바닥은 상기 제2 롤러와 인접한 부위로 오목하게 구성된 것을 특징으로 하는 세정 장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 박판 벨트의 상기 제2 롤러로부터 상기 제1 롤러로 이동하는 부위에 결합되어 상기 박판 벨트에 묻은 세정액을 상기 바닥으로 긁어내리는 블레이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
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