KR20120005577A - 마스크용 세정기 - Google Patents
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Abstract
마스크용 세정기가 개시된다. 상기 마스크용 세정기는 마스크가 인출입되는 프레임; 상기 프레임에 구비되며 마스크로 세정액을 분사시키는 세정노즐; 상기 세정노즐과 이격 설치되며, 상기 세정액이 적셔진 마스크를 브러싱하는 브러시; 및 상기 브러시와 이격 설치되며, 상기 브러싱되는 마스크를 건조시키는 에어노즐을 포함한다.
Description
본 발명은 마스크용 세정기에 관한 것이다.
인쇄회로기판을 제조하는 공정은 아래와 같다. 절연기판 상에 소정물질을 박막으로 증착한 후 포토리소그래피 공정을 통해서 박막의 일부를 노출시키고 식각 공정에서 박막의 노출된 부분만을 제거하여 패터닝하는 과정을 수 차례 반복한다.
이중 포토리소그래피 공정은 미리 증착된 박막 상에 드라이필름 레지스트 등의 감광물질을 도포하는 단계와, 드라이필름 레지스트 상부로 마스크를 대면시키고 빛을 조사함으로서 패턴 이미지를 전사하는 노광단계와, 드라이필름 레지스트 중 빛을 받은 부분(positive type) 또는 이를 제외한 나머지 부분(negative type)을 제거하여 박막 일부를 노출시키는 현상단계를 포함한다.
이때, 노광 단계에서 사용되는 마스크는 투명한 쿼츠 재질로 이루어진 판 형상을 띠며 이의 일면에는 크롬과 같은 금속물질로 목적하는 패턴이 형성되어 있는 데, 마스크의 청결상태는 결국 박막패턴의 정밀도에 직결되므로 매우 세심한 주의가 요구된다. 따라서 마스크 사용 후에는 반드시 세정을 통해 잔류 드라이필름 레지스트 등의 불순물을 제거 함으로서 높은 청결도가 유지되도록 해야 한다.
특히, 기판 상에 형성되는 패턴이 미세화되고, 패턴의 종횡비(aspect ratio)가 커짐에 따라 점차 세정 공정의 중요도가 커지고 있다.
마스크의 세정은 작업자가 천에 세정액을 묻히고 마스크의 양면을 문지름으로써 이루어진다. 이러한 수작업은 작업자의 피로도를 높이고 작업자의 능숙도에 따라 세정편차를 발생할 우려가 있다.
본 발명은 작업자의 피로도를 낮추고 세정편차를 줄일 수 있는 마스크용 세정기를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 마스크가 인출입되는 프레임; 상기 프레임에 구비되며 마스크로 세정액을 분사시키는 세정노즐; 상기 세정노즐과 이격되게 상기 프레임에 설치되며, 상기 마스크를 브러싱하는 브러시; 및 상기 브러시와 이격 설치되며, 상기 브러싱되는 마스크를 건조시키는 에어노즐을 포함하는 마스크용 세정기가 제공된다.
여기서, 상기 브러시 및 상기 에어노즐은 상기 마스크가 인출입되는 경로를 따라 일렬로 구비될 수 있다.
여기서, 상기 세정액은 이소프로필(IP)알코올일 수 있다.
여기서, 상기 브러시는 상기 마스크의 양면을 브러싱하도록 한 쌍으로 구비될 수 있다.
여기서, 상기 브러시는 스폰지를 포함하여 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 브러시는 지면에 대하여 수직하게 배치될 수 있다.
여기서, 상기 프레임에 구비되며, 상기 세정노즐로 세정액을 공급하는 저장부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 프레임은 상기 저장부와 상기 브러시를 구획하는 격벽을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 마스크를 세정한 폐액을 수거하도록 상기 격벽과 연통되게 상기 격벽의 하부에는 폐수거부가 더 포함될 수 있다.
여기서, 세정영역과 건조영역으로 구분하도록 상기 세정노즐과 상기 에어노즐 사이에는 액절롤이 더 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 마스크용 세정기를 이용하여 반자동으로 마스크를 세정하므로, 작업자별 세정 편차 및 피로 누적으로 인한 교대 과정에서 불량이 산발적으로 발생되는 것을 방지할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크용 세정기를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크용 세정기를 도시한 개념도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크용 세정기를 도시한 개념도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다"등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 마스크용 세정기의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크용 세정기(100)를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크용 세정기를 도시한 개념도이다.
도 1을 참조하면, 마스크용 세정기(100), 프레임(110), 도어(111), 격벽(115), 세정노즐(130), 저장부(160), 브러시(120), 액절롤(140), 에어노즐(150), 저장부(160) 및 폐수거부(170)가 도시되어 있다.
인쇄회로기판을 제조하는 포토리소그래피 공정을 수행하는 과정 중에 마스크(80)와 드라이필름 레지스트가 도포된 기판이 접촉하면서 제품에서 발생하는 이물이 마스크(80)에 전이되어, 고정성 불량이 발생할 수 있다. 마스크(80)에 부착되는 이물질에 의한 불량 발생을 방지하기 위해 주기적으로 마스크(80)을 세정한다.
작업자가 마스크(80)를 세정 시, 작업자의 능숙도와 관계없이 세정이 고르게 형성되며, 작업자의 피로도를 줄이기 위해, 아래와 같은 마스크용 세정기(100)를 적용할 수 있다.
마스크용 세정기(100)는 프레임(110), 브러시(120), 세정노즐(130), 액절롤(140) 및 에어노즐(150)을 포함할 수 있다. 그리고 마스크용 세정기(100)는 저장부(160) 및 폐수거부(170)를 더 포함할 수 있다.
프레임(110)은 세정노즐(130), 브러시(120) 및 에어노즐(150)을 지지하는 지지물로서, 세정노즐(130), 브러시(120) 및 에어노즐(150)이 설치될 수 있다.
일 예로, 사각형상의 마스크(80)의 왼쪽 단부와 오른쪽 단부가 골고루 세정되도록, 브러시(120), 세정노즐(130), 액절롤(140) 및 에어노즐(150)은 프레임(110)의 입구 측에 치우쳐지게 배치될 수 있다.
그리고 프레임(110)은 브러시(120)가 구비되어 마스크(80)를 세정하는 세정공간과 폐수거부(170)를 수용하는 수용공간을 구획하는 격벽(115)을 포함할 수 있다. 격벽(115)은 프레임의 중앙부에 가로 방향으로 배치되어 상부와 하부를 구획하고, 상부에는 세정공간이 형성되며 하부에는 수용공간이 형성될 수 있다. 일 예로 프레임(110)의 좌측은 개방되어 입구를 형성고 프레임(110)의 정면에는 도어(111)가 개폐 가능하게 설치될 수 있다. 프레임(110)의 정면에는 도어(111)가 구비되어 사용자의 선택에 따라 프레임(110)의 내측을 살필 수 있으므로, 프레임(110) 내측에 구비되는 세정노즐(130), 브러시(120) 및 에어노즐(150)의 점검이 용이하게 이루어질 수 있다. 이와 달리, 프레임(110)은 일측이 개방된 직육면체 형상일 수 있고, 개방된 프레임(110)의 일측은 마스크(80)가 인출입될 수 있다.
여기서, 마스크(80)는 두께가 60㎛인 얇은 막의 아트워크필름이며, 이러한 마스크(80)가 지지력을 가져 흐느적거림 없이 브러시(120) 외주면에 맞닿아 전후진 가능하도록, 마스크(80)를 지지하기 위해 지그(90)가 별도로 구비될 수 있다. 일 예로, 지그(90)는 중앙부에 홀이 형성되는 사각틀 형상으로 이루어 질 수 있으며, 관통되는 홀의 내측에 마스크(80)가 위치되어 마스크(80)의 더미 영역과 지그(90)과 접착 테이프 등에 의해 고정될 수 있다.
작업자가 프레임(110)의 입구로 마스크(80)를 삽입하고 빼내는 한 번의 동작을 통해, 반자동으로 마스크(80)를 세정하고 건조시킬 수 있다. 이때, 프레임(110)의 입구로 마스크(80)가 빠져나올 때 건조과 이루어 지도록, 에어노즐(150)이 입구에 구비되고, 액절롤(140), 세정노즐(130) 및 브러시(120)가 순차적으로 프레임(110)에 구비될 수 있다. 즉, 프레임(110)의 입구에서 가장 안쪽에서 입구까지 순차적으로 브러시(120), 세정노즐(130), 액절롤(140) 및 에어노즐(150)이 마스크(80)의 인출입 경로를 따라 일렬로 구비될 수 있다. 이로써, 마스크(80)는 세정이 이루어진 후 건조되어 프레임(110)의 외측으로 나올 수 있다.
여기서, 액절롤(140)은 세정영역과 건조영역으로 구분하도록 세정노즐(130)과 에어노즐(150) 사이에 구비될 수 있다. 액절롤(140)이 세정영역과 건조영역을 구분하여, 세정된 마스크(80)로 세정액이 튀는 것을 방지할 수 있다.
세정노즐(130)은 브러시(120)를 세정액으로 적시기 위한 구성으로, 세정노즐(130)이 세정액을 분사시켜 브러시(120)를 적시는데, 일 예로, 세정노즐(130)의 분출구와 마주하도록 브러시(120)가 프레임(110)에 설치되어 브러시(120)로 세정액을 분사시킬 수 있다. 여기서, 세정액은 이소프로필(IP)알코올일 수 있다. 세정 공정의 조건에 따라 이소프로필(IP)알코올 이외의 물질이 혼합된 세정액이 사용될 수 있다. 그리고 세정액은 세정하려는 대상에 따라 달라질 수 있다.
세정노즐(130)의 하부에는 세정액을 저장하는 저장부(160)가 구비될 수 있다. 세정노즐(130)은 저장부(160)로부터 세정액을 공급받아 브러시(120)를 세정액으로 적실 수 있다.
이러한 세정노즐(130)에 의해 브러시(120)는 세정액으로 적셔진 상태가 된다.
그리고 브러시(120)는 마스크(80)를 브러싱한다. 브러시(120)는 모터(미도시)로부터 구동력을 전달받아 회전함으로써, 마스크(80)를 문지를 수 있다. 마스크(80)가 프레임(110)의 내측으로 이동되면, 브러시(120)에 의해 마스크(80)는 브러싱될 수 있다.
브러시(120)는 원기둥 형상으로 이루어져 지면에 대하여 수직하게 배치될 수 있다. 브러시(120)는 마스크(80)의 양면을 브러싱하도록, 마스크(80)가 이동하는 경로에 한 쌍으로 회전 가능하게 구비될 수 있다. 여기서, 브러시(120)는 마스크(80)를 문지를 수 있도록 스폰지를 포함하여 이루어질 수 있다.
이와 같은 브러시(120)가 마스크(80)의 양면과 접촉하며 마스크(80)의 전후진 이동에 따라 회전하여, 마스크(80)에 부착된 이물을 제거한다. 즉, 브러시(120)가 회전하면서 세정액이 적셔진 마스크(80)를 문지르게 됨으로써, 마스크(80)에 부착된 이물이 브러시(120)에 흡착되거나 마스크(80)에서 이탈되어 브러시(120)의 하부로 떨어질 수 있다.
격벽(115)의 하부에는 폐수거부(170)가 구비될 수 있다. 마스크(80)를 세정한 후 발생되는 폐액은 브러시(120)의 하부인 프레임(110)의 격벽(115) 상부에 고이고, 프레임(110)의 격벽(115)과 연통되는 폐수거부(170)로 수거될 수 있다.
그리고 브러시(120)에 의해 이물이 제거된 마스크(80)를 건조시키도록 에어노즐(150)이 브러시(120)와 이격되게 프레임(110)에 설치된다. 에어노즐(150)은 브러싱되는 마스크(80)를 건조시키도록 마스크(80)로 공기를 분사시킬 수 있다.
이러한 마스크용 세정기는 반자동으로 세정작업이 이루어져, 작업자별 세정 편차 및 피로 누적으로 인한 교대 과정에서 불량이 산발적으로 발생되는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
100: 마스크용 세정기 110: 프레임
120: 브러시 130: 세정노즐
140: 액절롤 150: 에어노즐
120: 브러시 130: 세정노즐
140: 액절롤 150: 에어노즐
Claims (10)
- 마스크가 인출입되는 프레임;
상기 프레임에 구비되며 세정액을 분사시키는 세정노즐;
상기 세정노즐과 이격되게 상기 프레임에 설치되며, 상기 마스크를 브러싱하는 브러시; 및
상기 브러시와 이격 설치되며, 상기 브러싱되는 마스크를 건조시키는 에어노즐을 포함하는 마스크용 세정기.
- 제1항에 있어서,
상기 브러시 및 상기 에어노즐은 상기 마스크가 인출입되는 경로를 따라 일렬로 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
- 제1항에 있어서,
상기 세정액은 이소프로필(IP)알코올인 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
- 제1항에 있어서,
상기 브러시는 상기 마스크의 양면을 브러싱하도록 한 쌍으로 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
- 제1항에 있어서,
상기 브러시는 스폰지를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
- 제1항에 있어서,
상기 브러시는 지면에 대하여 수직하게 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
- 제1항에 있어서,
상기 프레임에 구비되며, 상기 세정노즐로 세정액을 공급하는 저장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
- 제7항에 있어서,
상기 프레임은 상기 저장부와 상기 브러시를 구획하는 격벽을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
- 제8항에 있어서,
상기 마스크를 세정한 폐액을 수거하도록 상기 격벽과 연통되게 상기 격벽의 하부에는 폐수거부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
- 제1항에 있어서,
세정영역과 건조영역으로 구분하도록 상기 세정노즐과 상기 에어노즐 사이에는 액절롤이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크용 세정기.
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| KR1020100063584A KR20120005577A (ko) | 2010-07-01 | 2010-07-01 | 마스크용 세정기 |
Applications Claiming Priority (1)
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ID=45611585
Family Applications (1)
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| KR1020100063584A KR20120005577A (ko) | 2010-07-01 | 2010-07-01 | 마스크용 세정기 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103978784A (zh) * | 2014-05-23 | 2014-08-13 | 湖州博仁纺织品有限公司 | 一种印花网板的清洗装置 |
| KR20190092137A (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 미르텍알앤디 주식회사 | 포토마스크 고정부가 구비된 포토마스크 세정장치 |
| KR20190092132A (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 미르텍알앤디 주식회사 | 포토마스크 세정장치 |
| KR20220018335A (ko) | 2020-08-06 | 2022-02-15 | (주) 디바이스이엔지 | 분사형 세정 건조 장치 |
-
2010
- 2010-07-01 KR KR1020100063584A patent/KR20120005577A/ko not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103978784A (zh) * | 2014-05-23 | 2014-08-13 | 湖州博仁纺织品有限公司 | 一种印花网板的清洗装置 |
| CN103978784B (zh) * | 2014-05-23 | 2016-05-18 | 湖州博仁纺织品有限公司 | 一种印花网板的清洗装置 |
| KR20190092137A (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 미르텍알앤디 주식회사 | 포토마스크 고정부가 구비된 포토마스크 세정장치 |
| KR20190092132A (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 미르텍알앤디 주식회사 | 포토마스크 세정장치 |
| KR20220018335A (ko) | 2020-08-06 | 2022-02-15 | (주) 디바이스이엔지 | 분사형 세정 건조 장치 |
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