KR102378984B1 - 프라이밍 유닛 및 이를 포함하는 약액 도포 장치 - Google Patents

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Abstract

약액 도포 장치는 기판이 놓이는 스테이지; 상기 스테이지에 놓인 기판에 약액을 도포하는 도포 노즐; 및 상기 기판 상에 약액을 토출하기 이전에 상기 도포 노즐의 토출부로부터 상기 약액이 균일하게 토출되도록 상기 도포 노즐의 토출부에 대한 프라이밍 처리를 수행하는 프라이밍 유닛을 포함하고, 상기 프라이밍 유닛은 세정액을 수용하는 세정조; 상기 세정조의 세정액에 일부가 침지되고, 상기 도포 노즐의 토출부로부터 토출되는 상기 약액이 부착되는 외주면을 갖는 프라이밍 롤러; 상기 프라이밍 롤러를 회전시키는 회전부; 상기 프라이밍 롤러의 일측에 배치되고, 상기 프라이밍 롤러의 외주면에 부착되는 상기 약액을 제거하는 블레이드; 및 상기 블레이드의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출되게 상기 프라이밍 롤러와 마주하는 상기 블레이드의 단부 내측에 배치되고, 상기 노출시 외부로 신호를 제공하도록 구비되는 신호 제공부를 포함한다.

Description

프라이밍 유닛 및 이를 포함하는 약액 도포 장치{Priming unit and Apparatus for coating chemical having the same}
본 발명은 프라이밍 유닛 및 이를 포함하는 약액 도포 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 도포 노즐의 토출부로부터 약액이 균일하게 토출되도록 도포 노즐의 토출부에 대한 프라이밍 처리를 수행하는 프라이밍 유닛 및 이를 포함하는 약액 도포 장치에 관한 것이다.
평판표시장치(flat panel display : FPD) 등과 같은 집적회로소자의 제조에서는 기판 상에 포토레지스트(photoresist) 등과 같은 약액을 도포하는 도포 공정을 빈번하게 수행한다. 상기 도포 공정은 도포 노즐을 사용하여 스테이지에 놓이는 기판 상에 약액을 도포함에 의해 이루어진다.
상기 도포 공정에서는 상기 기판 상에 약액이 균일하게 도포되어야 한다. 이는 상기 도포 공정에서 상기 기판 상에 약액이 균일하게 도포되지 않을 경우에는 불량을 일으키는 원인으로 작용하기 때문이다. 이에, 상기 약액의 균일한 도포를 위한 일환으로써 상기 도포 공정을 수행하기 이전에 상기 약액이 토출되는 상기 도포 노즐의 토출부에 대한 프라이밍 처리를 수행하고 있다.
상기 프라이밍 처리는 프라이밍 롤러의 일부가 세정액에 침지된 상태에서 상기 프라이밍 롤러가 회전하고, 그리고 회전하는 상기 프라이밍 롤러의 외주면으로 상기 도포 노즐의 토출부로부터 상기 약액이 토출됨에 의해 달성된다. 상기 프라이밍 처리시 상기 프라이밍 롤러의 외주면에 부착되는 상기 약액은 상기 세정액에 의해 세정됨과 아울러 상기 프라이밍 롤러의 외주면과 접촉하는 블레이드에 의해 제거된다. 아울러 상기 블레이드에 의해 상기 프라이밍 롤러의 부착되는 이물질 등도 함께 제거된다.
상기 블레이드는 주로 실리콘 고무로 형성되고, 상기 프라이밍 롤러와 접촉하기 때문에 계속적인 사용에 의해 마모된다. 상기 블레이드가 어느 정도 마모될 경우 상기 세정액 및 상기 이물질의 제거가 용이하게 이루어지지 않기 때문에 상기 블레이드는 일정 시간을 기준으로 주기적으로 교체하고 있다. 그러나 상기 블레이드는 마모에 대한 확인이 어렵기 때문에 실제 공정에서는 상기 블레이드의 주기적인 교체 이전에 상기 블레이드의 마모로 인한 불량이 빈번하게 발생하는 문제점이 있다.
본 발명의 일 목적은 블레이드의 마모에 대한 확인을 용이하게 할 수 있는 프라이밍 유닛을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 블레이드의 마모에 대한 확인을 용이하게 할 수 있는 프라이밍 유닛을 포함하는 약액 도포 장치를 제공하는데 있다.
언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 프라이밍 유닛은 기판 상에 약액을 토출하기 이전에 도포 노즐의 토출부로부터 상기 약액이 균일하게 토출되도록 상기 도포 노즐의 토출부에 대한 프라이밍 처리를 수행하는 프라이밍 유닛에 있어서, 상기 프라이밍 유닛은, 세정액을 수용하는 세정조; 상기 세정조의 세정액에 일부가 침지되고, 상기 도포 노즐의 토출부로부터 토출되는 상기 약액이 부착되는 외주면을 갖는 프라이밍 롤러; 상기 프라이밍 롤러를 회전시키는 회전부; 상기 프라이밍 롤러의 일측에 배치되고, 상기 프라이밍 롤러의 외주면에 부착되는 상기 약액을 제거하는 블레이드; 및 상기 블레이드의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출되게 상기 프라이밍 롤러와 마주하는 상기 블레이드의 단부 내측에 배치되고, 상기 노출시 외부로 신호를 제공하도록 구비되는 신호 제공부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프라이밍 유닛에서, 상기 노출시 전기적 특성 변화로 상기 신호를 제공할 수 있도록 상기 블레이드는 절연체로 이루어지고, 상기 신호 제공부는 도전체로 이루어질 수 있다.
언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치는 기판이 놓이는 스테이지; 상기 스테이지에 놓인 기판에 약액을 도포하는 도포 노즐; 및 상기 기판 상에 약액을 토출하기 이전에 상기 도포 노즐의 토출부로부터 상기 약액이 균일하게 토출되도록 상기 도포 노즐의 토출부에 대한 프라이밍 처리를 수행하는 프라이밍 유닛을 포함하고, 상기 프라이밍 유닛은, 세정액을 수용하는 세정조; 상기 세정조의 세정액에 일부가 침지되고, 상기 도포 노즐의 토출부로부터 토출되는 상기 약액이 부착되는 외주면을 갖는 프라이밍 롤러; 상기 프라이밍 롤러를 회전시키는 회전부; 상기 프라이밍 롤러의 일측에 배치되고, 상기 프라이밍 롤러의 외주면에 부착되는 상기 약액을 제거하는 블레이드; 및 상기 블레이드의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출되게 상기 프라이밍 롤러와 마주하는 상기 블레이드의 단부 내측에 배치되고, 상기 노출시 외부로 신호를 제공하도록 구비되는 신호 제공부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치에서, 상기 노출시 전기적 특성 변화로 상기 신호를 제공할 수 있도록 상기 블레이드는 절연체로 이루어지고, 상기 신호 제공부는 도전체로 이루어질 수 있다.
본 발명의 프라이밍 유닛 및 약액 도포 장치는 블레이드의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출되게 블레이드의 단부 내측에 신호 제공부를 구비한다. 이에, 본 발명의 프라이밍 유닛 및 약액 도포 장치는 상기 신호 제공부를 구비함으로서 상기 블레이드의 마모로 인하여 상기 신호 제공부의 노출시 외부로 신호를 제공할 수 있다.
따라서 본 발명의 프라이밍 유닛 및 약액 도포 장치는 상기 블레이드의 마모에 대한 확인을 용이하게 할 수 있기 때문에 상기 블레이드를 안정적으로 교체할 수 있고, 그 결과 상기 블레이드의 마모로 인하여 발생할 수 있는 불량을 사전에 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 2는 도 1의 약액 도포 장치에 구비되는 프라이밍 유닛을 설명하기 위한 도면이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 프라이밍 유닛에 구비되는 신호 제공부를 설명하기 위한 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 약액 도포 장치 및 프라이밍 유닛에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치를 개략적으로 나타내는 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 약액 도포 장치는 스테이지(12), 도포 노즐(14), 프라이밍 유닛(20) 등을 포함할 수 있다.
먼저, 본 발명의 약액 도포 장치는 기판(10) 상에 포토레지스트 등과 같은 약액을 도포하는 도포 공정을 수행할 수 있다.
그리고 상기 스테이지(12)는 상기 도포 공정시 상기 기판(10)이 놓이는 부재이다. 특히, 본 발명에서는 상기 기판(10)이 사각형의 구조를 갖는 유리 기판 등으로 이루어지기 때문에 상기 스테이지(12)도 사각형의 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
상기 도포 노즐(14)은 상기 스테이지(12)에 놓이는 상기 기판(10)에 상기 약액을 도포하기 위한 것으로써, 상기 기판(10)과 마주하는 단부에는 상기 약액을 토출하는 토출부(18)를 구비할 수 있다. 이에, 상기 도포 노즐(14)의 토출부(18)를 통하여 상기 기판(10)으로 상기 약액을 토출시킴에 의해 상기 기판(10) 상에 상기 약액을 도포할 수 있는 것이다. 또한, 본 발명에서는 상기 도포 노즐(14)의 경우 상기 기판(10) 전면(whole face)에 상기 약액을 도포해야 하기 때문에 상기 기판(10)의 폭을 충분하게 커버할 수 있는 슬릿 노즐의 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 도포 노즐(14)은 상기 기판(10)의 폭보다 긴 길이를 갖는 바(bar) 형상의 슬릿 노즐의 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
본 발명의 약액 도포 장치의 경우 상기 스테이지(12)는 고정된 상태에서 상기 도포 노즐(14)이 이동함에 따라 상기 스테이지(12)에 놓이는 상기 기판(10) 상에 약액을 도포할 수 있다. 이에, 상기 도포 노즐(14)은 상기 도포 노즐(14)을 이동시킬 수 있는 구동부(도시되지 않음)와 연결될 수 있다.
그리고 상기 도포 노즐(14)을 구비하는 본 발명의 약액 도포 장치를 사용한 도포 공정에서는 언급한 바와 같이 상기 도포 노즐(14)이 상기 기판(10)의 폭 방향과 동일한 방향으로 배치되기 때문에 상기 도포 노즐(14)이 상기 기판(10)의 길이 방향을 따라 이동하는 구조를 가질 수 있다.
도 2는 도 1의 약액 도포 장치에 구비되는 프라이밍 유닛을 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 상기 프라이밍 유닛(20)은 상기 기판(10) 상에 상기 약액을 토출하기 이전에 상기 도포 노즐(14)의 토출부(18)로부터 상기 약액이 균일하게 토출되도록 상기 도포 노즐(14)의 토출부(18)에 대한 프라이밍 처리를 수행할 수 있다.
상기 프라이밍 유닛(20)은 세정조(23), 프라이밍 롤러(25), 회전부(도시되지 않음), 블레이드(27), 신호 제공부(31) 등을 구비할 수 있다.
상기 세정조(23)는 세정액(21)을 수용하기 위한 부재로써, 상부가 개방되는 박스 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 세정액(21)은 상기 프라이밍 롤러(25)에 부착되는 상기 약액 및 이물질 등을 세정하도록 신너 등을 포함할 수 있다. 상기 프라이밍 롤러(25)는 상기 도포 노즐(14)의 토출부(18)로부터 토출되는 상기 약액이 부착되는 외주면을 갖도록 구비되는 것으로써, 일부가 상기 세정조(23)의 세정액(21)에 침지되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 회전부(도시되지 않음)는 상기 프라이밍 롤러(25)를 회전시킬 수 있도록 구비되는 것으로써, 주로 모터 등과 같은 부재를 포함할 수 있다.
이에, 상기 프라이밍 롤러(25)가 상기 세정조(23)의 세정액(21)에 침지되면서 회전에 의해 노출되어 상기 도포 노즐(14)의 토출부(18)를 세정시킬 수 있고, 그 결과 상기 도포 노즐(14)의 토출부(18)로부터 상기 약액이 균일하게 토출되도록 상기 도포 노즐(14)의 토출부(18)에 대한 프라이밍 처리가 이루어지는 것이다.
상기 블레이드(27)는 상기 프라이밍 롤러(25)의 외주면에 부착되는 상기 약액을 제거하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 블레이드(27)는 상기 프라이밍 롤러(25)의 외주면과 접촉하게 상기 프라이밍 롤러(25)의 일측에 구비될 수 있다.
이에, 상기 블레이드(27)를 사용하여 상기 프라이밍 롤러(25)의 외주면에 부착되는 약액을 계속적으로 제거함으로써 보다 안정적으로 상기 도포 노즐(14)의 토출부(18)를 세정할 수 있고, 그리고 프라이밍 처리를 수행할 수 있는 것이다. 이때, 상기 블레이드(27)는 상기 약액 뿐만 아니라 상기 프라이밍 롤러(25)의 외주면에 부착되는 이물질 등도 함께 제거할 수 있다.
그리고 상기 신호 제공부(31)는 상기 블레이드(27)의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출되게 상기 프라이밍 롤러(25)와 마주하는 상기 블레이드(27)의 단부 내측에 배치되고, 상기 노출시 외부로 신호를 제공하도록 구비될 수 있다.
특히, 상기 노출시 전기적 특성 변화로 상기 신호를 제공할 수 있도록 상기 블레이드(27)는 절연체로 이루어지고, 상기 신호 제공부(31)는 도전체로 이루어질 수 있다. 이에, 상기 블레이드(27)는 실리콘 고무 등과 같은 절연체로 이루어질 수 있고, 상기 신호 제공부(31)는 구리 동전과 같은 도전체로 이루어질 수 있다.
그리고 상기 신호 제공부(31)는 저항 계측부재 또는 전류 계측부재 등과 연결될 수 있는 것으로써, 상기 노출시 상기 저항 계측부재에 의한 저항값이 변화되는 것을 측정하여 신호를 제공하거나 또는 상기 전류 계측부재에 의한 전류값이 변화되는 것을 측정하여 신호를 제공하도록 구비될 수 있다.
도 3 및 도 4는 도 2의 프라이밍 유닛에 구비되는 신호 제공부를 설명하기 위한 도면들이다.
도 3을 참조하면, 상기 신호 제공부(31)가 노출되기 이전의 블레이드(27)로써 상기 프라이밍 롤러(25)의 외주면에 부착되는 상기 약액 및 이물질 등을 별다른 문제없이 제거할 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 블레이드(27)의 계속적인 사용에 따라 상기 블레이드(27)의 단부 부분이 마모됨에 의해 상기 블레이드(27)의 단부 내측에 구비되는 상기 신호 제공부(31)가 노출되는 상황이다.
그리고 도 4에서와 같이, 상기 신호 제공부(31)가 노출된 상황의 블레이드(31)를 사용하여 상기 프라이밍 처리를 수행할 경우에는 불량이 발생한다.
이에, 본 발명에서는 상기 신호 제공부(31)를 구비함으로써 상기 신호 제공부(31)가 노출됨에 따라 외부로 신호가 제공되고, 작업자가 상기 블레이드(27)를 교체하면 된다.
이와 같이, 본 발명에서는 상기 블레이드(27)의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출되게 상기 블레이드(27)의 단부 내측에 상기 신호 제공부(31)를 구비하고, 상기 블레이드(27)의 마모로 인하여 상기 신호 제공부(31)의 노출시 외부로 신호를 제공함으로써 상기 블레이드(27)의 마모에 대한 확인을 보다 용이하게 할 수 있고, 그리고 상기 블레이드(27)를 보다 안정적으로 교체할 수 있다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 프라이밍 유닛 및 약액 도포 장치는 블레이드의 마모에 대한 확인을 용이하게 할 수 있기 때문에 블레이드를 안정적으로 교체할 수 있고, 그리고 블레이드의 마모로 인하여 발생할 수 있는 불량을 사전에 방지할 수 있다.
이에, 본 발명의 프라이밍 유닛 및 약액 도포 장치를 사용하는 도포 공정을 안정적으로 수행할 수 있고, 그 결과 생산상의 향상을 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 12 : 스테이지
14 : 도포 노즐 18 : 토출부
20 : 프라이밍 유닛 21 : 세정액
23 : 세정조 25 : 프라이밍 롤러
27 : 블레이드 31 : 신호 제공부

Claims (8)

  1. 기판 상에 약액을 토출하기 이전에 도포 노즐의 토출부로부터 상기 약액이 균일하게 토출되도록 상기 도포 노즐의 토출부에 대한 프라이밍 처리를 수행하는 프라이밍 유닛에 있어서,
    상기 프라이밍 유닛은,
    세정액을 수용하는 세정조; 상기 세정조의 세정액에 일부가 침지되고, 상기 도포 노즐의 토출부로부터 토출되는 상기 약액이 부착되는 외주면을 갖는 프라이밍 롤러; 상기 프라이밍 롤러를 회전시키는 회전부; 상기 프라이밍 롤러의 일측에 배치되고, 상기 프라이밍 롤러의 외주면에 부착되는 상기 약액을 제거하는 블레이드; 및 상기 블레이드의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출되게 상기 프라이밍 롤러와 마주하는 상기 블레이드의 단부 내측에 배치되고, 상기 블레이드의 마모로 인하여 노출될 경우 상기 블레이드의 교체를 통하여 상기 블레이드의 마모로 인하여 발생할 수 있는 불량을 사전에 차단할 수 있게 상기 블레이드의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출시 외부로 신호를 제공하도록 구비되는 신호 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프라이밍 유닛.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 노출시 전기적 특성 변화로 상기 신호를 제공할 수 있도록 상기 블레이드는 절연체로 이루어지고, 상기 신호 제공부는 도전체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프라이밍 유닛.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 전기적 특성 변화는 상기 신호 제공부가 노출됨에 따라 측정되어질 수 있는 저항값 또는 전류값인 것을 특징으로 하는 프라이밍 유닛.
  4. 제2 항에 있어서, 상기 절연체는 상기 프라이밍 롤러의 외주면과의 접촉으로 인하여 마모될 수 있는 실리콘 고무를 포함하는 것을 특징으로 하는 프라이밍 유닛.
  5. 기판이 놓이는 스테이지;
    상기 스테이지에 놓인 기판에 약액을 도포하는 도포 노즐; 및
    상기 기판 상에 약액을 토출하기 이전에 상기 도포 노즐의 토출부로부터 상기 약액이 균일하게 토출되도록 상기 도포 노즐의 토출부에 대한 프라이밍 처리를 수행하는 프라이밍 유닛을 포함하고,
    상기 프라이밍 유닛은, 세정액을 수용하는 세정조; 상기 세정조의 세정액에 일부가 침지되고, 상기 도포 노즐의 토출부로부터 토출되는 상기 약액이 부착되는 외주면을 갖는 프라이밍 롤러; 상기 프라이밍 롤러를 회전시키는 회전부; 상기 프라이밍 롤러의 일측에 배치되고, 상기 프라이밍 롤러의 외주면에 부착되는 상기 약액을 제거하는 블레이드; 및 상기 블레이드의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출되게 상기 프라이밍 롤러와 마주하는 상기 블레이드의 단부 내측에 배치되고, 상기 블레이드의 마모로 인하여 노출될 경우 상기 블레이드의 교체를 통하여 상기 블레이드의 마모로 인하여 발생할 수 있는 불량을 사전에 차단할 수 있게 상기 블레이드의 계속적인 사용에 따라 마모함에 의해 노출시 외부로 신호를 제공하도록 구비되는 신호 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 노출시 전기적 특성 변화로 상기 신호를 제공할 수 있도록 상기 블레이드는 절연체로 이루어지고, 상기 신호 제공부는 도전체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 전기적 특성 변화는 상기 신호 제공부가 노출됨에 따라 측정되어질 수 있는 저항값 또는 전류값인 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  8. 제6 항에 있어서, 상기 절연체는 상기 프라이밍 롤러의 외주면과의 접촉으로 인하여 마모될 수 있는 실리콘 고무를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
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