KR20100117290A - 기판 세정 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 세정 장치에 관한 것으로, 기판의 이물을 제거하는 기판 세정 장치에 있어서, 기판 이송부에 의해 이송되는 기판의 측면에 배치되어 상기 기판의 측면을 세정하는 측면 세정부를 포함하는 것을 특징으로 하며, 기판의 측면 이물을 제거할 수 있는 기판 세정 장치를 제공한다.

기판, 세정, 클린 롤러, 측면, 브러시, 에어 나이프, 점착 롤러

Description

기판 세정 장치{APPARATUS FOR CLEANING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 세정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 측면 이물을 제거할 수 있는 기판 세정 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 인쇄회로기판은 각종 열경화성 합성수지로 이루어진 보드의 일면 또는 양면에 동선으로 배선한 후, 보드 상에 IC 또는 전자부품들을 배치 고정하고 이들간의 전기적 배선을 구현하여 절연체로 코팅한 것이다.

통상적으로, 인쇄회로기판에 배선패턴을 형성하기 위해서는 배선패턴을 인쇄회로기판에 옮기는 화상 형성 공정, 즉 인쇄회로기판에 감광성 재료를 라미네이션(lamination)하고, 노광 및 현상 공정을 거쳐 배선패턴을 전사하는 과정이 필수적인데, 요구되는 배선패턴이 폭이 점점 좁아지면서 인쇄회로기판에 존재하는 이물에 의한 영향이 점점 커지고 있다. 따라서, 화상 형성 공정을 수행하기 전에 이송되는 기판을 클리닝하는 공정이 실시되고 있으며, 클리닝을 위한 클린 롤러가 일반적으로 사용되고 있다.

도 1은 종래기술에 따른 클린 롤러를 구비한 기판 이송 장치의 개략적인 평 면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 세정 장치의 측면도이다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 종래기술에 따른 클린 롤러를 구비한 기판 이송 장치(10)는 기판의 진행방향으로 구동부에 의해 회전하며, 다수의 이송 롤러(24)가 구비된 회전축(22)으로된 기판 이송부(20), 및 상기 회전축(22) 사이에 배치되어 기판(P)의 이물을 제거하는 클린 롤러(30)를 포함하여 구성된다.

여기서, 기판 이송부(20)는 기판(P)을 이송시키기 위한 것으로서, 회전축(22)의 길이방향으로 다수의 이송 롤러(22)를 구비하며, 기판(P)의 진행방향으로 다수개 배치된다.

클린 롤러(30)는 기판(P)의 클리닝 작업을 위한 것으로서, 클린 롤러 작동구간 내에서 회전축(22) 사이에 다수개 구비된다. 또한, 클린 롤러(30)는 기판(P)의 상부 및 하부의 클리닝 작업이 가능하도록 상부 클린 롤러(30a) 및 하부 클린 롤러(30b)를 포함하여 구성된다. 이때, 클린 롤러(30)는 점착성을 가짐으로써 기판(P)에 묻은 이물(A)을 제거하게 된다.

그러나, 종래기술에 따른 클린 롤러를 구비한 기판 이송 장치(10)는 기판(P)의 상부 및 하부에 대한 클리닝 작업을 수행할 뿐 측면에 대한 클리닝 작업, 즉 측면에 존재하는 이물(A)은 제거하지 않기 때문에, 측면 이물(A)에 의해 화상 형성 공정에 오픈/쇼트(open/short) 불량이 야기되는 문제점이 있었다.

특히, 측면 이물(A)은 기판(P)의 모서리 영역의 화상 형성 공정에 영향을 미치는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 측면 이물을 제거할 수 있는 기판 세정 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 세정 장치는, 기판의 이물을 제거하는 기판 세정 장치에 있어서, 기판 이송부에 의해 이송되는 기판의 측면에 배치되어 상기 기판의 측면을 세정하는 측면 세정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 측면 세정부는 측면 클린 롤러인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 측면 클린 롤러는 실리콘 러버(silicon rubber)로 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 측면 클린 롤러는, 상기 기판의 제1 측면을 세정하는 제1 측면 클린 롤러, 및 상기 기판의 제2 측면을 세정하는 제2 측면 클린 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 측면 클린 롤러에는 접착 테이프가 감긴 측면 점착 롤러가 접촉되게 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 측면 세정부는 에어 나이프(air knife)인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 측면 세정부는 측면 브러시인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 기판 세정 장치는, 상기 기판 이송부에 의해 이송되는 기판의 일 면 또는 양면에 배치되어 상기 기판을 세정하는 수평 클린 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 기판 이송부는 상기 기판의 진행방향으로 배열되는 회전축에 이송롤러가 설치된 구조를 가지며, 상기 수평 클린 롤러는 상기 회전축 사이에 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 수평 클린 롤러에는 접착 테이프가 감긴 수평 점착 롤러가 접촉되게 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

본 발명에 따르면, 측면 세정부에 의해 기판의 측면 이물을 제거함으로써 측면 이물에 의한 화상 형성 공정의 불량을 방지할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 따르면, 측면 세정부로 측면 클린 롤러, 에어 나이프, 또는 측면 브러시를 단독 또는 결합하여 채용함으로써, 다양한 이물을 용이하게 제거할 수 있게 된다.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 "제1", "제2" 등의 용어는 임의의 양, 순서 또는 중요도를 나타내는 것이 아니라 구성요소들을 서로 구별하고자 사용된 것이며, 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 기판 세정 장치의 개략적인 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 기판 세정 장치에 수평 클린 롤러가 추가된 상태를 도시한 도면이다. 이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 제1 실시예에 따른 기판 세정 장치(100a)에 대해 설명하기로 한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 기판 세정 장치(100a)는 기판 이송부(110)에 의해 이송되는 기판(P)의 측면 이물을 제거하기 위한 측면 세정부를 포함하여 구성되되, 측면 세정부가 측면 클린 롤러(120a, 120b)로 구성된 것을 특징으로 한다.

기판 이송부(110)는 수평으로 이송되는 기판(P)의 하부에 배치되어 기판(P)을 이송시키기 위한 것이다.

여기서, 기판 이송부(110)는, 예를 들어 구동부(미도시)에 연결되어 기판(P)의 진행방향으로 배열되는 회전축에 이송 롤러가 설치된 구조를 가질 수 있다. 이때, 이송 롤러는 기판(P)과의 접촉면적을 최대한 감소시키되, 기판(P)을 전체적으로 지지한 상태에서 기판(P)의 이송이 가능하도록, 하나의 회전축 내에 다수개 구비되는 것이 바람직하다. 특히, 이송 롤러는 기판(P)의 더미 영역 내지는 회로패턴이 형성되지 않은 영역을 지지하도록 배치되는 것이 바람직하며, 기판(P)에 따라 그 위치를 변경가능하도록 설치되는 것이 더욱 바람직하다.

측면 클린 롤러(120a, 120b)는 기판(P)의 측면에 접촉 가능하게 설치되어 기판 이송부(110)에 의해 이송되는 기판(P)의 측면에 묻은 이물을 제거하기 위한 것으로, 기판(P)의 제1 측면을 세정하기 위한 제1 측면 클린 롤러(120a) 및 기판(P)의 제2 측면을 세정하기 위한 제2 측면 클린 롤러(120b)를 포함하여 구성된다.

여기서, 측면 클린 롤러(120a, 120b)는 점착성 및 탄성력을 갖는 재질로 형성되며, 예를 들어 실리콘 러버(silicon rubber)로 형성된다.

또한, 측면 클린 롤러(120a, 120b)에 묻은 이물을 제거하기 위한 접착 테이 프가 감긴 측면 점착 롤러(130a, 130b)가 측면 클린 롤러(120a, 120b)에 접촉되게 설치된다. 여기서, 제1 측면 클린 롤러(120a)에는 제1 측면 점착 롤러(130a)가 접촉 가능하게 설치되며, 제2 측면 클린 롤러(120b)에는 제2 측면 점착 롤러(130b)가 접촉 가능하게 설치된다.

한편, 본 실시예에 따른 기판 세정 장치(100a)는 도 4에 도시한 바와 같이 측면 클린 롤러(120a, 120b) 뿐만 아니라, 기판(P)의 상면 및/또는 하면을 세정하기 위한 수평 클린 롤러(140a, 140b)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

여기서, 수평 클린 롤러(140a, 140b)는 기판(P)의 상부 및 하부 모두의 클리닝 작업이 가능하도록 기판 이송부(110)를 통해 이송되는 기판(P)의 상부를 클리닝 하는 상부 수평 클린 롤러(140b) 및 기판(P)의 하부를 클리닝 하는 하부 수평 클린 롤러(140a)를 포함하여 구성된다. 상부 및 하부 수평 클린 롤러(140b, 140a)는 상하 대응하는 위치에 구비되고, 하부 수평 클린 롤러(140a)는 기판 이송부(110)의 다수의 회전축 사이에 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 수평 클린 롤러(140a, 140b)에는 이물(A)을 제거하기 위한 접착 테이프가 감긴 수평 점착 롤러(150a, 150b)가 접촉되게 설치된다. 여기서, 상부 수평 클린 롤러(140b)에는 상부 수평 점착 롤러(150b)가 접착되게 설치되며, 하부 클린 롤러(140a)에는 하부 수평 접착 롤러(150a)가 접착되게 설치된다.

도 5는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 기판 세정 장치의 개략적인 사시도이다. 이하, 도 5를 참조하여, 제2 실시예에 따른 기판 세정 장치(100b)에 대해 설명하기로 한다.

도 5에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 세정 장치(100b)는 기판(P)의 측면 이물을 제거하기 위한 측면 세정부가 에어 나이프(160a, 160b)로 구성된 것을 특징으로 한다. 여기서, 에어 나이프(160a, 160b)(air knife)를 제외하고는 제1 실시예에 다른 기판 세정 장치(100a)와 동일하므로 중복되는 부분에 대한 설명은 생략하기로 한다.

여기서, 에어 나이프(160a, 160b)는 기판(P)의 측면에 에어를 분사함으로써 이물을 제거하는 것으로서, 기판(P)의 양측에 인접하게 및/또는 대칭되도록 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 기판(P)의 제1 측면에 형성된 제1 측면에 배치되는 제1 에어 나이프(160a), 및 기판(P)의 제2 측면에 배치되는 제2 에어 나이프(160b)를 포함하여 구성된다.

이때, 에어 나이프(160a, 160b)는 예를 들어, 외부로부터 공급되는 기체가 유입되는 주입구와, 주입구와 연결되어 유입되는 기체를 저장하는 챔버와, 챔버와 연결되며, 기판을 건조하기 위해 기체가 분사되는 분사구를 포함하여 구성된다. 구체적으로, 에어 나이프(160a, 160b)는 외부로부터 공급되는 기체를 기판(P)의 표면에 분사시켜 기판(P)의 표면에 잔류하는 이물 등을 제거하는 동시에 건조한다.

한편, 본 실시예에 따른 기판 세정 장치(100b)는 기판(P)의 상면 및/또는 하면을 세정하기 위해 도 4에 도시된 수평 클린 롤러(140a, 140b)를 포함하여 구성될 수 있다.

도 6은 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 기판 세정 장치의 개략적인 사시도이다. 이하, 도 6을 참조하여, 제3 실시예에 따른 기판 세정 장치(100c)에 대해 설명하기로 한다.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 세정 장치(100c)는 기판(P)의 측면 이물을 제거하기 위한 측면 세정부가 측면 브러시(170a, 170b)로 구성된 것을 특징으로 한다. 여기서, 측면 브러시(170a, 170b)를 제외하고는 제1 실시예에 다른 기판 세정 장치(100a)와 동일하므로 중복되는 부분에 대한 설명은 생략하기로 한다.

여기서, 측면 브러시(170a, 170b)는 기판(P)의 측면과 접촉한 상태로 이물을 제거하는 것으로서, 기판(P)의 양측에 인접하게 및/또는 대칭되도록 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 기판(P)의 제1 측면에 형성된 제1 측면에 배치되는 제1 측면 브러시(170a), 및 기판(P)의 제2 측면에 배치되는 제2 측면 브러시(170b)를 포함하여 구성된다.

이때, 제1 및 제2 측면 브러시(170a, 170b)는 원통형의 외주면에 탄력성 있는 세정모(예를 들어, 나일론과 같은 합성수지로 된 세정모)들이 형성되어 있는 구조를 가지며, 각각 모터와 같은 액츄에이터에 의해 구동되는 회전축에 장착되어 있어 회전축의 회전에 의해 회전하면서 이동하는 기판(P)의 표면을 세정한다.

한편, 본 실시예에 따른 기판 세정 장치(100c)는 기판(P)의 상면 및/또는 하면을 세정하기 위해 도 4에 도시된 수평 클린 롤러(140a, 140b)를 포함하여 구성될 수 있다.

도 3 내지 도 6에는 각 실시예에 따른 기판 세정 장치(100a, 100b, 100c)가 각각 구비되는 것으로 도시되어 있으나, 필요에 따라 함께 구비되는 것도 가능하다 할 것이다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 기판 세정 장치는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사 상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.

도 1은 종래의 일 예에 따른 클린롤러를 구비한 기판 세정 장치의 개략적인 평면도이다.

도 2는 도 1에 도시된 기판 세정 장치의 측면도이다.

도 3은 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 기판 세정 장치의 개략적인 사시도이다.

도 4는 도 3에 도시된 기판 세정 장치에 수평 클린 롤러가 추가된 상태를 도시한 도면이다.

도 5는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 에어 나이프를 구비한 기판 세정 장치의 개략적인 사시도이다.

도 6은 본 발명의 바람직한 제3 실시예에 따른 브러시를 구비한 기판 세정 장치의 개략적인 사시도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100a, 100b, 100c : 기판 세정 장치

110 : 기판 이송부 120a, 120b : 측면 클린 롤러

130a, 130b : 측면 점착 롤러 140a, 140b : 수평 클린 롤러

150a, 150b : 수평 점착 롤러 160a, 160b : 에어 나이프

170a, 170b : 측면 브러시 P : 기판

Claims (10)

1. 기판의 이물을 제거하는 기판 세정 장치에 있어서,

   기판 이송부에 의해 이송되는 기판의 측면에 배치되어 상기 기판의 측면을 세정하는 측면 세정부를 포함하는 기판 세정 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 측면 세정부는 측면 클린 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 측면 클린 롤러는 실리콘 러버(silicon rubber)로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
4. 청구항 2에 있어서,

   상기 측면 클린 롤러는,

   상기 기판의 제1 측면을 세정하는 제1 측면 클린 롤러; 및

   상기 기판의 제2 측면을 세정하는 제2 측면 클린 롤러

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
5. 청구항 2에 있어서,

   상기 측면 클린 롤러에는 접착 테이프가 감긴 측면 점착 롤러가 접촉되게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
6. 청구항 1에 있어서,

   상기 측면 세정부는 에어 나이프(air knife)인 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
7. 청구항 1에 있어서,

   상기 측면 세정부는 측면 브러시인 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
8. 청구항 1에 있어서,

   상기 기판 세정 장치는,

   상기 기판 이송부에 의해 이송되는 기판의 일면 또는 양면에 배치되어 상기 기판을 세정하는 수평 클린 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
9. 청구항 8에 있어서,

   상기 기판 이송부는 상기 기판의 진행방향으로 배열되는 회전축에 이송롤러가 설치된 구조를 가지며, 상기 수평 클린 롤러는 상기 회전축 사이에 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
10. 청구항 8에 있어서,

    상기 수평 클린 롤러에는 접착 테이프가 감긴 수평 점착 롤러가 접촉되게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.

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