JP3131258U - 基板清掃装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】清掃ボックス110の内部にはブラシユニット130と間欠イオン化空気噴射ユニット140が配置されている。清掃ボックス110の内部に搬入された基板113の表面はブラシユニット130によりブラシ掛けされ、さらに、間欠イオン化空気噴射ユニット140によりイオン化空気が噴射される。基板113の表面から吹き飛ばされた塵埃は、ファンが形成する清掃ボックス110内の空気流に乗って、第二フィルター160に捕獲される。
【選択図】図3
Description
110 本清掃ボックス
111 第一の側面
112 基板入り口
113 基板
114 第二の側面
115 基板出口
116 上面
117 第一開口部
118 底面
119 第二開口部
121 基板
130 ブラシユニット
140 間欠イオン化空気噴射ユニット
150 第一フィルター
160 第 二フィルター
170 ファン
180 気密通路
Claims (1)
- 基板の表面に付着した異物を除去する基板清掃装置であって、
横向きまたは縦向きに配列された基板を導入する基板入り口が形成された第一の側面と、前記第一の側面と対向し、かつ、基板出口が形成された第二の側面と、第一開口部が形成された上面と、第二開口部が形成された底面とを有する清掃ボックスと、
前記基板を前記基板入り口から前記基板出口まで搬送する基板搬送ユニットと、
前記清掃ボックス内に配置され、前記基板の表面及び裏面の少なくとも一方に対してブラシ掛けをする少なくとも一つのブラシユニットと、
前記基板の進行方向において前記ブラシユニットの下流側に配置され、前記基板の表面及び裏面の少なくとも一方に対して間欠的にイオン化空気を噴射する少なくとも一つの間欠イオン化空気噴射ユニットと、
前記第一開口部を覆う第一フィルターと、
前記第二開口部を覆う第二フィルターと、
前記第二フィルターを介して前記清掃ボックスから排出された空気を吸引し、前記第一フィルターを介して前記清掃ボックスの内部に送風するファンと、
前記ファンと前記第一フィルターとを気密状態において連結する気密通路と、
からなる基板清掃装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007000862U JP3131258U (ja) | 2007-02-14 | 2007-02-14 | 基板清掃装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007000862U JP3131258U (ja) | 2007-02-14 | 2007-02-14 | 基板清掃装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3131258U true JP3131258U (ja) | 2007-04-26 |
Family
ID=43282057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007000862U Expired - Lifetime JP3131258U (ja) | 2007-02-14 | 2007-02-14 | 基板清掃装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3131258U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010099550A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Miyago Kogyo Kk | 基板洗浄装置 |
JP2012130828A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Asahi Sunac Corp | 粉体塗装装置 |
-
2007
- 2007-02-14 JP JP2007000862U patent/JP3131258U/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010099550A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Miyago Kogyo Kk | 基板洗浄装置 |
JP2012130828A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Asahi Sunac Corp | 粉体塗装装置 |
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