JP4753920B2 - 基板用除塵装置 - Google Patents
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Description
2 除塵ユニット
3 排気ポンプ
4 吸気ポンプ
5 エア排出室
6 噴出用流路
7 エア吸引室
8 吸引用流路
9 回動体
10 異物除去用流路
11 粘着ローラ
12 洗浄液供給部
13 洗浄液回収部
20 基板搬送部
21 回転軸
22,23 支持台
24 搬送ローラ
30 基板
Claims (9)
- 相対移動される基板の表面に清浄エアを噴出する少なくとも1つのエア排出部と、
前記エア排出部に対して前記基板の相対移動方向に沿って配置され、前記清浄エアを吸引する少なくとも1つのエア吸引部と、
前記エア吸引部の吸引力に抵抗する抵抗力を相対移動中の基板に与えるために基板に従動して回動する回動体とを備えた基板用除塵装置において、
前記回動体の表面に付着した異物を除去する異物除去部を備え、
前記異物除去部は、前記エア排出部の清浄エアを、前記基板の表面に噴出させる噴出用流路とは異なる流路で、前記回動体の表面であって前記基板との接触位置とは異なる位置に噴出させ、前記エア吸引部で吸引するように構成されていることを特徴とする基板用除塵装置。 - 排気ポンプが接続されるエア排出室と吸気ポンプが接続されるエア吸引室とをそれぞれ少なくとも1個備えると共に、前記エア排出室及び前記エア吸引室が基板の相対移動方向に沿って配置され、前記エア排出室から噴出用流路を介して前記基板の表面に向けて噴出させた清浄エアを前記エア吸引室に吸引させるように構成した除塵ユニットを備え、
前記除塵ユニットはさらに、前記エア排出室と前記エア吸引室との間に設けられ、前記エア吸引室の吸引力に抵抗する抵抗力を相対移動中の基板に与えるために基板に従動して回動する回動体を備えた基板用除塵装置において、
前記除塵ユニットは、前記エア排出室の清浄エアを、前記回動体の表面であって前記基板との接触位置とは異なる位置に噴出させた後、吸引除去する異物除去用流路を有することを特徴とする基板用除塵装置。 - 請求項2に記載の基板用除塵装置において、
前記異物除去用流路は、前記回動体付近では、流路の中心線が回動体の接線となるように設置されていることを特徴とする基板用除塵装置。 - 請求項2に記載の基板用除塵装置において、
前記異物除去用流路は、エア排出室側の流路面積が、前記噴出用流路の流路面積よりも小さく設定されていることを特徴とする基板用除塵装置。 - 請求項2に記載の基板用除塵装置において、
前記異物除去用流路は、回動体よりも上流側付近の流路面積が、エア排出室側の流路面積よりも小さく設定されていることを特徴とする基板用除塵装置。 - 請求項2〜5のいずれかに記載の基板用除塵装置において、
前記異物除去用流路における回動体より下流側流路は、前記エア吸引室に接続されていることを特徴とする基板用除塵装置。 - 請求項2〜5のいずれかに記載の基板用除塵装置において、
前記異物除去用流路における回動体より下流側流路は、流路面積が前記エア吸引室の流路面積よりも小さく設定されると共に、前記吸気ポンプに直接接続されていることを特徴とする基板用除塵装置。 - 請求項1に記載の基板用除塵装置において、
前記異物除去部は、前記回動体の表面であって前記基板との接触位置とは異なる位置に粘着ローラを接触させて回動体表面の異物を除去するように構成されていることを特徴とする基板用除塵装置。 - 請求項8に記載の基板用除塵装置において、
前記異物除去部は、前記粘着ローラの表面を洗浄液で洗浄して付着した異物を除去すると共に、前記清浄エアを粘着ローラの表面に噴出させて乾燥させることを特徴とする基板用除塵装置。
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