JP4684122B2 - 可動式除塵装置 - Google Patents
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基板が載置される載置台と、
載置台に対して移動可能に支持される除塵ヘッドと、
除塵ヘッドとともに一体に移動するように除塵ヘッドに固定される第1フィルタと、
除塵ヘッドとともに一体に移動するように除塵ヘッドに固定される第2フィルタと、
第1フィルタに一方が固定されて除塵ヘッドの移動に追従しつつ移動する第1金属製給気管と、
この第1金属製給気管の他方に接続され、清浄エアが給気される第1弾性材製給気ホースと、
第2フィルタに一方が固定されて除塵ヘッドの移動に追従しつつ移動する第2金属製給気管と、
この第2金属製給気管の他方に接続され、清浄エアが給気される第2弾性材製給気ホースと、
除塵ヘッドの一方の側に接続されて除塵ヘッドの移動に追従しつつ排気エアが排気される第1金属製排気管と、
この第1金属製排気管に接続される第1弾性材製排気ホースと、
除塵ヘッドの他方の側に接続されて除塵ヘッドの移動に追従しつつ排気エアが排気される第2金属製排気管と、
この第2金属製排気管に接続される第2弾性材製排気ホースと、
を備え、
第1フィルタおよび第2フィルタは除塵ヘッドの上側で長手方向に並べて二個配置されており、
第1金属製給気管の下流であって除塵ヘッドの上流の流路に配置される第1フィルタは、第1弾性材製給気ホースの屈曲時にホース内に発生した異物を捕集して、清浄エアを除塵ヘッドへ給気し、
第2金属製給気管の下流であって除塵ヘッドの上流の流路に配置される第2フィルタは、第2弾性材製給気ホースの屈曲時にホース内に発生した異物を捕集して、清浄エアを除塵ヘッドへ給気し、
載置台の基板の載置面より上側には第1金属製給気管、第2金属製給気管、第1金属製排気管および第2金属製排気管が位置するとともに載置台の基板の載置面より下側に第1金属製給気管と第1弾性材製給気ホースとの接続部、第2金属製給気管と第2弾性材製給気ホースとの接続部、第1金属製排気管と第1弾性材製排気ホースとの接続部、第2金属製排気管と第2弾性材製排気ホースとの接続部、第1弾性材製給気ホース、第2弾性材製給気ホース、第1弾性材製排気ホースおよび第2弾性材製排気ホースが位置するようにして、第1弾性材製給気ホース、第2弾性材製給気ホース、第1弾性材製排気ホースおよび第2弾性材製排気ホースの外表面から発生した異物を載置台の基板の載置面より下側に落下させる、
ことを特徴とする。
請求項1に記載の可動式除塵装置において、
前記第1弾性材製給気ホース、前記第2弾性材製給気ホース、前記第1弾性材製排気ホースおよび前記第2弾性材製排気ホースは、弾性材としてシリコーン材またはポリウレタン材を用い、除塵ヘッドの移動に沿ってJ字状に屈曲箇所を変えつつ移動することを特徴とする。
除塵ヘッド12は、この載置台11に対して移動可能に支持される。具体的には載置台11の両側にリニアモータなどの水平支持駆動部が形成されており、この両側の水平支持駆動部で支持される除塵ヘッド12が矢印X方向に移動するようになされている。なお、除塵ヘッドに形成される噴射口と吸引口とは、例えば、X方向に並んで噴射口の両側を吸引口が挟むVPV構造、X方向に並んで吸引口の両側を噴射口が挟むPVP構造、噴射口と吸引口が並ぶPV構造など各種の構造を採用することができる。本形態ではVPV構造を採用しているものとして説明する。
第1フィルタ13は、除塵ヘッド12に向かって右上側に固定されており、除塵ヘッド12とともに一体に移動するようになされている。この第1フィルタ13は、詳しくはHEPAフィルタであり、清浄エア内に混入した異物等の塵埃を除去する。例えば、0.3μmのパーティクル・塵埃を99.7%除去するというものである。第1金属製給気管14の下流側の流路に配置される。
第1金属製給気管14は、第1フィルタ13に固定されており、除塵ヘッド12とともに一体に移動するようになされている。この第1金属製給気管14は、基板Gよりも充分に低い位置まで下側に伸び、最終的に矢印X方向(移動方向)に開口する。第1弾性材製給気ホース15の下流側の流路に配置される。
これら第1金属製給気管14と第1弾性材製給気ホース15とで第1可撓性給気管を形成する。
第1中継用給気管16は、除塵ヘッド12と第1フィルタ13とを連結する。
右側の給気系では第1弾性材製給気ホース15→第1金属製給気管14→第1フィルタ13→第1中継用給気管16→除塵ヘッド12という流路が形成される。
第2フィルタ17は、除塵ヘッド12に向かって左上側に固定されており、除塵ヘッド12とともに一体に移動するようになされている。この第2フィルタ17は詳しくは上記のようなHEPAフィルタである。第2金属製給気管18の下流側の流路に配置される。
第2金属製給気管18は、第2フィルタ17に固定されており、除塵ヘッド12とともに一体に移動するようになされている。第2金属製給気管18は、基板Gよりも充分に低い位置まで下側に伸び、最終的に矢印X方向(移動方向)に開口する。第2弾性材製給気ホース19の下流側の流路に配置される。
これら第2金属製給気管18と第2弾性材製給気ホース19とで第2可撓性給気管を形成する。
第2中継用給気管20は、除塵ヘッド12と第2フィルタ17とを連結する。
左側の給気系では第2弾性材製給気ホース19→第2金属製給気管18→第2フィルタ17→第2中継用給気管20→除塵ヘッド12という流路が形成される。
第1金属製排気管21は、除塵ヘッド12に固定されており、除塵ヘッド12とともに一体に移動するようになされている。第1金属製排気管21は、基板Gよりも充分に低い位置まで下側に伸び、最終的に矢印X方向(移動方向)に開口する。
第2弾性材製排気ホース22は、第1金属製排気管21に接続されており、除塵ヘッド12とともに追従するようになされている。先に説明したようにJ字状に屈曲した状態で屈曲箇所を変えつつ移動する。ここで弾性材としては、シリコーン材またはポリウレタン材を用いる。
右側の排気系では除塵ヘッド12→第1金属製排気管21→第2弾性材製排気ホース22という流路が形成される。
第2金属製排気管23は、除塵ヘッド12に固定されており、除塵ヘッド12とともに一体に移動するようになされている。第2金属製排気管23は、基板Gよりも充分に低い位置まで下側に伸び、最終的に矢印X方向(移動方向)に開口する。
第2弾性材製排気ホース24は、第2金属製排気管23に接続されており、除塵ヘッド12とともに追従するようになされている。先に説明したようにJ字状に屈曲した状態で屈曲箇所を変えつつ移動する。ここで弾性材としては、シリコーン材またはポリウレタン材を用いる。
左側の排気系では除塵ヘッド12→第2金属製排気管23→第2弾性材製排気ホース24という流路が形成される。
給気側逃がし弁26は、給気エアが所定圧力となるように適宜エアを逃がすことで調整する。
HEPAフィルタ27は、給気エア内に含まれる塵埃等異物を除去して清浄エアとする。例えば、0.3μmのパーティクルを99.7%除去するというものである。このHEPAフィルタ27からの清浄エアが可撓性給気管を介して除塵ヘッド12に供給される。
排気側逃がし弁29は、排気エアが所定圧力となるように適宜エアを逃がすことで調整する。この排気エアがブロワ25へ流入して再度給気エアとして供給される。
ブロワ25から供給された給気エアは、給気側逃がし弁26により予め所定圧力となるように調整された上でHEPAフィルタ27へ流入する。HEPAフィルタ27は給気エア内に含まれる塵埃を除去して清浄エアとする。このHEPAフィルタ27からの清浄エアは、第1弾性材製給気ホース15、第2弾性材製給気ホース19へ共に給気される。一方では第1弾性材製給気ホース15、第1金属製給気管14、第1フィルタ部13、第1中継用給気管16を経て除塵ヘッド12へ流入し、また、他方では第2弾性材製給気ホース19、第2金属製給気管18、第2フィルタ17、第2中継用給気管20を経て除塵ヘッド12へ流入する。このようにして供給された洗浄エアは除塵ヘッド12の噴射口から噴射される。
洗浄エアは、基板Gに噴射される。このとき除塵ヘッド12は、矢印X方向に適度の回数で往復しており、基板Gに付着する塵埃が吹き飛ばされるが、除塵ヘッド12の吸引口へ吸引される。吸引された排気エアは、第1金属製排気管21,第2弾性材製排気ホース22という流路と、また、第2金属製排気管23,第2弾性材製排気ホース24という流路と、を介してそれぞれプレフィルタ28へ送られる。以下、エアは同様の経路を辿りつつ洗浄が行われる。
11:載置台
12:除塵ヘッド
13:第1フィルタ
14:第1金属製給気管
15:第1弾性材製給気ホース
16:第1中継用給気管
17:第2フィルタ
18:第2金属製給気管
19:第2弾性材製給気ホース
20:第2中継用給気管
21:第1金属製排気管
22:第1弾性材製排気ホース
23:第2金属製排気管
24:第2弾性材製排気ホース
25:ブロワ
26:給気側逃がし弁
27:HEPAフィルタ
28:プレフィルタ
29:排気側逃がし弁
G:基板
Claims (2)
- 基板が載置される載置台と、
載置台に対して移動可能に支持される除塵ヘッドと、
除塵ヘッドとともに一体に移動するように除塵ヘッドに固定される第1フィルタと、
除塵ヘッドとともに一体に移動するように除塵ヘッドに固定される第2フィルタと、
第1フィルタに一方が固定されて除塵ヘッドの移動に追従しつつ移動する第1金属製給気管と、
この第1金属製給気管の他方に接続され、清浄エアが給気される第1弾性材製給気ホースと、
第2フィルタに一方が固定されて除塵ヘッドの移動に追従しつつ移動する第2金属製給気管と、
この第2金属製給気管の他方に接続され、清浄エアが給気される第2弾性材製給気ホースと、
除塵ヘッドの一方の側に接続されて除塵ヘッドの移動に追従しつつ排気エアが排気される第1金属製排気管と、
この第1金属製排気管に接続される第1弾性材製排気ホースと、
除塵ヘッドの他方の側に接続されて除塵ヘッドの移動に追従しつつ排気エアが排気される第2金属製排気管と、
この第2金属製排気管に接続される第2弾性材製排気ホースと、
を備え、
第1フィルタおよび第2フィルタは除塵ヘッドの上側で長手方向に並べて二個配置されており、
第1金属製給気管の下流であって除塵ヘッドの上流の流路に配置される第1フィルタは、第1弾性材製給気ホースの屈曲時にホース内に発生した異物を捕集して、清浄エアを除塵ヘッドへ給気し、
第2金属製給気管の下流であって除塵ヘッドの上流の流路に配置される第2フィルタは、第2弾性材製給気ホースの屈曲時にホース内に発生した異物を捕集して、清浄エアを除塵ヘッドへ給気し、
載置台の基板の載置面より上側には第1金属製給気管、第2金属製給気管、第1金属製排気管および第2金属製排気管が位置するとともに載置台の基板の載置面より下側に第1金属製給気管と第1弾性材製給気ホースとの接続部、第2金属製給気管と第2弾性材製給気ホースとの接続部、第1金属製排気管と第1弾性材製排気ホースとの接続部、第2金属製排気管と第2弾性材製排気ホースとの接続部、第1弾性材製給気ホース、第2弾性材製給気ホース、第1弾性材製排気ホースおよび第2弾性材製排気ホースが位置するようにして、第1弾性材製給気ホース、第2弾性材製給気ホース、第1弾性材製排気ホースおよび第2弾性材製排気ホースの外表面から発生した異物を載置台の基板の載置面より下側に落下させる、
ことを特徴とする可動式除塵装置。 - 請求項1に記載の可動式除塵装置において、
前記第1弾性材製給気ホース、前記第2弾性材製給気ホース、前記第1弾性材製排気ホースおよび前記第2弾性材製排気ホースは、弾性材としてシリコーン材またはポリウレタン材を用い、除塵ヘッドの移動に沿ってJ字状に屈曲箇所を変えつつ移動することを特徴とする可動式除塵装置。
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