KR100850122B1 - 패널 세정기 및 세정 방법 - Google Patents

패널 세정기 및 세정 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100850122B1
KR100850122B1 KR1020070042932A KR20070042932A KR100850122B1 KR 100850122 B1 KR100850122 B1 KR 100850122B1 KR 1020070042932 A KR1020070042932 A KR 1020070042932A KR 20070042932 A KR20070042932 A KR 20070042932A KR 100850122 B1 KR100850122 B1 KR 100850122B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
panel
endless belt
cleaning
washing
surface plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020070042932A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070108818A (ko
Inventor
히토시 요시다
Original Assignee
엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. filed Critical 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디.
Publication of KR20070108818A publication Critical patent/KR20070108818A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100850122B1 publication Critical patent/KR100850122B1/ko
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • B08B1/34—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members rotating about an axis parallel to the surface
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0075—Cleaning of glass

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

무단 벨트에 의해 패널을 정반상에 반송하고, 세정 노즐로부터 세정액을 분출함과 함께, 세정 헤드에 의해 패널의 표면으로부터 이물질을 세정 제거하는 패널 세정 장치에 있어서, 패널 표면으로부터 제거된 이물질 중, 무단 벨트의 내면에 체류한 이물질을 세정 제거하기 위해, 패널의 반송 방향에 있어서의 정반의 후단부측상에 세정 노즐 및 배수로가 설치된다.
Figure R1020070042932
패널 세정기, 세정 방법

Description

패널 세정기 및 세정 방법{PANEL WASHING MACHINE AND WASHING METHOD}
도 1은 종래의 패널 세정기의 구성을 도시하는 단면도.
도 2은 본 발명의 제 1의 실시예에 따른 패널 세정기를 도시하는 단면도.
도 3는 본 발명의 제 2의 실시예에 따른 패널 세정기를 도시하는 단면도.
기술분야
본 발명은 액정 패널 등에 사용되는 유리 기판 등의 표면에 부착한 먼지 또는 티끌 등의 이물질을 세정 제거하는 패널 표면의 세정기에 관한 것으로, 특히, 세정 후의 이물질이 패널을 반송하는 무단 벨트에 전달되어 패널을 재차 더럽히는 것을 방지하는데 알맞는 패널 세정기 및 세정 방법에 관한 것이다.
종래기술
액정 패널은 1쌍의 유리 기판 사이에 액정을 밀봉하여 구성된다. 액정 패널의 유리 기판의 표면에는 액정 패널의 제조 공정에서 이물질이 부착하는 경우가 있고, 이로 인해 부착 개소에 표시 불량을 일으키는 원인이 된다. 이 때문에, 액정 패널의 제조 공정에서는 기판상의 이물질을 제거하는 공정을 조립할 필요가 있다.
도 1은 종래의 패널 세정기의 구성을 도시하는 단면도이다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 종래의 패널 세정기는 패널(102)을 지지하기 위한 정반(112)과, 패널(102)을 반송하기 위한 엔드리스 주행 장치(109) 및 반송 롤러(108)와, 패널(102)에 세정액을 토출하는 세정 노즐(101)과, 헤드를 패널 표면에 꽉눌러서, 회전하면서 패널 표면을 주사하여 세정하는 세정 헤드(103)와, 외부로 배수시키기 위한 패널용 세정액 배출로(110)를 구비한다.
엔드리스 주행 장치(109)는 소정의 간격으로 배치된 1쌍의 회전 지지 롤러(107a 및 107b)에 무단 벨트(106)를 걸쳐놓아 구성되어 있다. 무단 벨트(106)상에는 지지판(105)을 통하여 피세정체인 패널(102)이 재치되어 있고, 회전 지지 롤러(107a 및 107b)를 회전 구동시킴으로써, 무단 벨트(106) 및 무단 벨트상에 재치된 패널(102)은 도면중의 반송 방향에 따라 반송된다. 또한, 엔드리스 주행 장치(109)의 양측에는 복수의 반송 롤러(108)가 마련되어 있고, 이 반송 롤러(108)는 패널(102)을 상류 공정으로부터 엔드리스 주행 장치(109)로 이동시키고, 또한, 엔드리스 주행 장치(109)로부터 하류 공정으로 이동시킨다. 무단 벨트(106)에는 복수의 흡착 구멍(120)이 마련되어 있고, 세정시에 정반(112)은 흡착 구멍(120)을 통하여 패널(102)을 흡착·지지한다.
이와 같은 구성의 종래의 패널 세정기에서는 세정 노즐(101)로부터 패널(102)을 향하여 세정액이 분출되고, 세정 헤드(103)를 패널 표면에 꽉누르고, 회전하면서 주사함에 의해 패널(102) 표면을 세정하고, 패널(102) 표면상에 부착한 이물질(104)을 세정액과 함께 씻어낸다. 세정액과 함께 세정 제거된 이물질(104)은 배수(131)로서 흡착 구멍(120)을 통과하고, 무단 벨트(106)의 하방에 마련된 패널용 세정액 배출로(110)에 배출된다.
패널 세정기와는 다르지만, 일본국 특개2005-194060호 공보는 패널 반송 장치의 예를 나타내고, 무단 벨트를 이용한 기판 반송 장치로서, 기판에 대한 이물질의 부착 발생이 억제된 기판 반송 장치가 개시되어 있다. 상기 일본국 특개2005-194060호 공보는 패널 반송 장치의 예를 나타내고, 평행 배치한 1쌍의 무단 벨트 사이에, 무단 벨트의 회동 방향에 대해 길이 방향이 직각의 배치가 되는 복수개의 재치부재 고정축(mounting member anchoring shaft)을 가설하고, 각 재치부재 고정축에 복수개의 기판 재치부재를 마련하고 있다. 그리고, 기판은 기판 재치부재상에 수평으로 지지되고, 재치부재 고정축이 무단 벨트의 회동과 연동하여 수평 이동함으로써, 기판이 반송된다.
또한, 일본국 특공평8-1981호 공보에서는 기판을 세정하는 세정 라인에 마련된 기판 반송 장치의 발진 방지 장치에 관한 종래 기술이 개시되어 있다. 동 종래 기술에서는 기판을 세정하는 처리층 내에, 기판을 반송하는 반송 장치의 구동부의 구동 기어를 세정액으로 세정하는 세정 기구와, 기판을 향하여 기판 세정액을 분출하는 샤워 노즐을 마련한다. 구동 기어의 세정 기구로서는 받이접시에 세정액을 공급하고, 구동 기어를 다소 침지시키도록 지지하고, 구동부의 회전에 의해 받이접시로부터 세정액을 말아올려서 마모 가루를 씻어낸다. 또한, 반송 장치에 마련된 회전축의 부근에, 샤워 노즐로부터 분출된 세정액의 일부로 축받이의 발진을 씻어내고, 축받이를 고정하고 있는 프레임 밖으로 배출하는 처리액 유도부를 마련하고 있 다. 이로써, 구동 기어에 의해 발생한 마모분을 씻어내고, 또한, 축받이로부터 발생하는 마모분을 씻어내고 있다.
그러나, 상술한 종래 기술에는 이하에 나타내는 바와 같은 문제점이 있다.
도 1에 도시하는 종래의 패널 세정기에서는 엔드리스 주행 장치 내로 진입한 이물질의 배출은 무단 벨트 내에 마련된 흡착 구멍으로부터 행해지지만, 흡착 구멍은 작고(직경 약 2㎜) 배출되기 어렵기 때문에, 내부에 체류·축적함으로써, 이물질은 서서히 커진다. 그리고, 축적한 이물질이 무단 벨트 내면에 부착하고, 정반과 무단 벨트의 사이에 남은 경우에는 돌기로 된다. 이 때문에, 패널 세정시에 세정 헤드를 패널 표면에 꽉누른 때, 정반상의 돌기가 패널에의 국소적인 압력 부하가 되어, 액정 패널 등에 대해서는 패널 내 스페이서를 이동시켜서, 패널의 표시 이상을 발생시킨다.
또한, 흡착 구멍을 크게 하면 흡착력이 강해지고, 세정시의 패널에의 집중 하중으로 돌기와 마찬가지로 국소적인 압력 부하가 되어, 액정 패널 등에 대해서는 패널 안의 스페이서를 이동시켜서, 패널의 표시 이상을 발생시킨다.
이와 같이, 종래의 엔드리스 주행 장치를 구비한 패널 세정기에서는 엔드리스 주행 장치 내로 진입한 이물질을 배출하는 기구가 불충분하고, 또한, 엔드리스 주행 장치 내면의 세정 기구는 마련되어 있지 않아, 이물질이 엔드리스 주행 장치 내에 체류하고, 패널의 표시 이상을 발생시킨다는 문제점이 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것이고, 패널을 반송하는 무 단 벨트에 체류한 이물질을 세정 제거하고, 세정기 외부로 배출하는 기구를 구비한 패널 세정기 및 세정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 패널 세정기는 패널을 반송하는 무단 벨트와, 상기 무단 벨트의 내측 하방부터 상기 반송되는 패널을 지지하는 정반과, 상기 패널을 상방부터 세정하는 세정 장치와, 상기 무단 벨트의 내면을 세정하는 세정 노즐을 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 세정 노즐은 상기 정반에 있어서의 상기 패널의 반송 방향 후단부측에서 상기 무단 벨트의 내면에 세정액을 분출할 수 있다.
상기 무단 벨트는 회전축이 수평의 1쌍의 회전 지지 롤러 사이에 걸쳐지고, 그 상방 이동 영역에서, 상기 패널을 반송하는 것으로 할 수 있다.
상기 세정 노즐은 상기 패널의 반송 방향의 후부측의 회전 지지 롤러에서의 상기 무단 벨트가 떨어지는 위치의 상기 무단 벨트의 내면에, 상기 패널 반송 방향의 전방부터 후방 경사 상방을 향하여 세정액을 분사하는 것이 바람직하다.
상기 무단 벨트는 복수개의 관통구멍을 가지며, 상기 정반은 그 상면에 공기 흡인구를 가지며, 상기 관통구멍을 통하여 상기 패널을 흡인함에 의해 상기 패널을 상기 정반에 고정하는 것이면 좋다. 또한, 상기 무단 벨트는 복수쌍의 벨트가 상호 평행하게 배치되어 구성되고, 상기 정반은 그 상면에 공기 흡인구를 가지며, 상기 벨트 사이의 간극을 통하여 상기 패널을 흡인함에 의해 상기 패널을 상기 정반에 고정하는 것이라도 좋다.
상기 세정 장치는 상기 패널의 표면에 세정액을 공급하는 세정 노즐과, 상기 패널의 표면에 접촉하여 주사함에 의해 상기 패널의 표면을 세정하는 세정 헤드를 갖는 것으로서 좋다.
상기 세정액을 회수하고, 배출하는 배출 부재를 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 패널 세정 방법은 패널을 무단 벨트상에서 반송시키고, 상기 패널을 정반에 의해 상기 무단 벨트의 하방부터 지지함과 함께, 상기 정반에 지지된 상기 무단 벨트상의 상기 패널을 그 상방부터 세정 장치에 의해 세정하는 패널의 세정 방법에 있어서, 상기 정반에서의 상기 패널의 반송 방향 후단부측에서 상기 무단 벨트의 내면을 향하여 세정 노즐로부터 세정액을 분사함에 의해, 상기 무단 벨트의 내면에 체류한 이물질을 세정하는 것을 특징으로 한다.
상기 무단 벨트는 회전축이 수평의 1쌍의 회전 지지 롤러 사이에 걸쳐지고, 그 상방 이동 영역에서, 상기 패널을 반송하는 것임과 함께, 상기 세정 노즐은 상기 패널의 반송 방향의 후부측의 회전 지지 롤러에서의 상기 무단 벨트가 떨어지는 위치의 상기 무단 벨트의 내면에, 상기 패널 반송 방향의 전방부터 후방 경사 상방을 향하여 세정액을 분사하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 정반에서의 패널의 반송 방향 후단부측에 세정 노즐을 마련하고, 무단 벨트의 내면을 향하여 세정 노즐로부터 세정액을 분출함에 의해, 무단 벨트 내면에 체류한 이물질을 제거한다. 이로써, 패널에 압력 부하가 가해져서 패널 내의 스페이서가 파손되거나 이동하거나 함으로써 표시 이상이 발생하는 것을 방지한다.
이하, 본 발명의 실시의 형태에 관해, 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 우선, 본 발명의 제 1의 실시예에 관해 설명한다. 도 2은 본 발명의 제 1의 실시예에 관한 패널 세정기를 도시하는 단면도이다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시예의 패널 세정기에서는 무단 벨트(6)를 구비한 엔드리스 주행 장치(9)가 마련되어 있고, 이 엔드리스 주행 장치(9)에 있어서는 회전축이 수평이고 또한 서로 평행하게 되도록 소정의 간격으로 배치된 1쌍의 회전 지지 롤러(7a 및 7b)에 무단 벨트(6)가 걸쳐 놓여있다. 이들의 회전 지지 롤러(7a 및 7b)의 적어도 한쪽은 알맞은 구동 장치에 의해 회전 구동되고, 이로써 무단 벨트(6)는 일방향으로 회동한다. 엔드리스 주행 장치(9)에서의 무단 벨트(6)의 입구측 및 출구측에는 패널(2)을 엔드리스 주행 장치(9)에 반입 및 반출하는 복수의 반송 롤러(8)가 마련되어 있다. 반송 롤러(8)는 그 회전축이 패널의 반송 방향과 수직이 되도록 하여 회전 자유롭게 배치되어 있고, 이 반송 롤러(8)에 의해 패널(2)을 지지하고, 롤러를 회전시킴으로써, 패널(2)을 일방향으로 이동시킨다. 또한, 무단 벨트(6)에는 기판 흡착용의 복수개의 관통구멍인 흡착 구멍(20)이 마련되어 있다. 후술하는 바와 같이, 세정시에는 패널(2)은 이들의 흡착 구멍(20)을 통하여 정반(surface plate)(12)상에 흡착 지지된다.
상방 이동 영역의 무단 벨트(6)의 하방 부근에는 세정시에 패널(2)을 흡인 지지하는 정반(12)이 마련되어 있다. 정반(12)의 윗면에는 복수개의 공기 흡인구(21)가 마련되어 있다. 무단 벨트(6)상에 반송되어 온 피세정체인 패널(2)은 무단 벨트(6)의 흡착 구멍(20)을 통하여 흡인되고, 정반(12)에 패널(2)이 흡인 고정 된다.
상방 이동 영역의 무단 벨트(6)의 상방에는 패널(2)상에 세정액을 분출하여 공급하는 세정 노즐(1)이 마련되어 있다. 도시한 예에서는 세정 노즐(1)의 개수는 2이고, 세정 노즐(1)은 반송 방향 전방 및 후방의 2방향부터 패널(2)에 세정액을 분출한다. 또한, 상방 이동 영역의 무단 벨트(6)의 상방에는 세정 헤드(3)가 마련되어 있고, 이 세정 헤드(3)는 패널(2)의 표면에 헤드를 꽉눌러서 회전하면서 패널(2)상을 주사하고, 패널(2)의 표면을 연마 세정한다. 한편, 하방 이동 영역의 무단 벨트(6)의 하방에는 패널(2)의 표면으로부터 제거된 이물질(4)을 세정액과 함께 배출하는 패널용 세정액 배출로(10)가 마련되어 있다.
정반(12)에 있어서의 패널(2)의 반송 방향 후단부의 부근에는 세정 노즐(13)이 마련되고, 있다. 또한, 세정 노즐(13)의 부근에는 세정 노즐(13)로부터 세정액을 분출함에 의해 세정 제거된 이물질(4) 및 세정액을, 세정기의 외부로 배출하기 위한 배수로(14)가 마련되어 있다. 세정 노즐(13)로부터의 세정액 분출 방향은 패널 반송 방향의 전방부터 후방 경사 상방을 향하는 것이고(도면중, 우경사 상방향), 패널(2)의 반송 방향의 후부측의 회전 지지 롤러(7a)에서의 무단 벨트(6)가 떨어지는 위치의 무단 벨트(6)의 내면을 향하게 하고 있다. 또한, 세정 노즐(13)은 세정액의 분출로가 다혈(多穴)이고, 무단 벨트(6)의 폭방향으로 길다란 가로가 긴 슬릿형상의 세정액을 분출하는 것이 바람직하다. 이로써, 1개의 세정 노즐(13)에 의해, 무단 벨트(6)의 폭방향의 전역(全域)을 세정할 수 있다. 또는 복수개의 세정 노즐을 무단 벨트(6)의 폭방향으로 배치하여, 복수개의 세정 노즐에 의해 무단 벨 트(6)의 폭방향의. 전역을 세정하는 것으로 하여도 좋다.
다음에, 상술하는 바와 같이 구성된 본 실시예의 동작에 관해 설명한다. 우선, 지지판(5)상에 설치된 패널(2)은 도 2의 반송 방향에 따라, 엔드리스 주행 장치(9)에서의 무단 벨트(6)의 입구에 마련된 반송 롤러(8)를 경유하여 상방 이동 영역의 무단 벨트(6)상에 재치되고, 무단 벨트(6)에 의해 정반(12)상에 반송된다. 무단 벨트(6)에는 복수개의 관통구멍인 흡착 구멍(20)이 마련되어 있고, 또한, 정반(12)의 윗면에는 복수개의 공기 흡인구(21)가 마련되어 있기 때문에. 이 정반(12)의 공기 흡인구(21)로부터 흡착 구멍(20)을 통하여 패널(2)을 흡인함에 의해, 패널(2)은 정반(12)에 흡인 고정된다. 다음에, 세정 노즐(1)로부터 패널(2)의 표면에 세정액으로서 물을 토출하고, 물을 패널(2)의 표면에 공급하면서, 세정 헤드(3)를 패널(2)의 표면에 꽉눌러서 회전시키고, 패널 표면을 주사하여 패널 표면의 이물질(4)을 세정 제거한다.
패널(2)의 표면으로부터 세정 제거된 이물질(4) 및 세정액은 상방 이동 영역에 있는 무단 벨트(6)에 마련된 흡착 구멍(20)을 통과하여 하방 이동 영역에 있는 무단 벨트(6)상에 낙하한다. 이들의 이물질(4) 및 세정액은 재차 하방 이동 영역의 무단 벨트(6)의 흡착 구멍(20)으로부터 무단 벨트(6)의 하방으로 낙하하고, 배수(11)로서 패널용 세정액 배출로(10)에 회수되어 배출된다. 그러나, 흡착 구멍(20)의 크기는 작기 때문에(예를 들면, 직경 2㎜), 이물질(4)은 배출되기 어렵고, 이물질(4)의 일부는 흡착 구멍(20)으로부터 외부로 배출되는 일 없이, 무단 벨트(6)의 내면에 부착한다.
한편, 세정이 끝난 패널(2)은 무단 벨트(6)에 의해 반송되고, 엔드리스 주행체(9)에서의 무단 벨트(6)의 출구측에 마련된 반송 롤러(8)로 반출되고, 다음 공정으로 반송된다. 그리고, 다음 패널의 세정 처리 전에 패널을 정반상에 반송할 때, 무단 벨트(6)의 회전과 동시에 세정 노즐(13)로부터 세정액을 회전 지지 롤러(7a)에서의 무단 벨트(6)가 덜어지는 위치의 무단 벨트(6)의 내면을 향하여 사출하고, 무단 벨트(6)의 내면에 부착한 이물질을 세정한다. 보다 상세하게는 세정 노즐(13)로부터의 세정액 분출 방향을, 패널 반송 방향의 전방으로부터 후방 경사 상방으로 하고, 회전 지지 롤러(7a)에 있어서의 무단 벨트(6)가 벌어지는 위치의 무단 벨트(6)의 내면을 향하여 세정액을 분출함으로써, 무단 벨트(6)의 내면에 부착한 이물질(4)을 제거한다. 또한, 세정 노즐(13)로부터의 세정액의 분사의 형상은 예를 들면, 무단 벨트(6)의 폭방향에 관해서는 광각(廣角)의 슬릿형상으로 할 수 있다. 이와 같이, 세정액 사출 방향은 반송 방향의 약간 후방이기 때문에, 무단 벨트(6)와 함께 반송되는 이물질(4)의 이동 방향과는 반대의 방향으로 되어 있다. 그리고, 세정에 의해 제거된 이물질(4)은 세정액과 함께 배수로(14)로부터 세정기의 외부로 배출된다.
다음에, 본 실시예의 효과에 관해 설명한다. 세정 노즐(13) 및 배출로(14)를 정반(12)에서의 패널의 반송 방향 후단부측에 배치하고, 세정 노즐(13)로부터 무단 벨트(6)의 내면에 세정액을 사출하여 세정함에 의해, 패널 표면의 세정에 의해 제거된 이물질중, 무단 벨트(6)에 부착하여 재차, 정반(12)과 패널(2)과의 사이에 침입하려고 하는 이물질(4)을 제거하고, 배수와 함께 배수로(14)를 경유하여 세정기 외부로 배출할 수 있다. 이로써, 무단 벨트(6)의 회전에 의해, 정반(12)상에 이물질(4)이 정체하고, 이물질(4)에 의한 돌기부가, 세정하는 패널에 국소적인 부하를 걸어, 액정 표시 패널 등에 적용한 경우에는 국소적인 표시 이상이 발생하는 것을 방지한다.
또한, 세정에 의해 제거된 이물질(4) 및 배수를 세정기 외로 배출하기 위한 배수로(14)를 마련함으로써, 세정에 의해 제거한 이물질을 효율적으로 배출하고, 무단 벨트(6)의 내면에 부착한 이물질이 커지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 세정 노즐(13)의 배치 위치를, 패널의 반송 방향에서의 정반(12)의 후단부측으로 함으로써, 무단 벨트(6)가 정반(12)의 배설 위치에 들어가기 전에, 무단 벨트(6)의 내면에 부착한 이물질(4)을 제거할 수 있어, 이물질(4)이 정반(12)에 도달하여 돌기가 발생하고, 파넬에 국소적인 부하가 가해져서 국소적인 표시 이상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 세정 노즐(13)로부터의 세정액 분출 방향을 패널 반송 방향의 전방부터 후방 경사 상방으로 함으로써, 세정액 분출 방향과 이물질(4)의 이동 방향이 서로 반대로 되기 때문에, 무단 벨트(6)의 내면에 부착한 이물질(4)을 효과적으로 제거할 수 있다.
또한, 무단 벨트(6)로서는 복수쌍의 벨트를 상호 평행하게 배치하여 구성한 것이라도 좋다. 이 경우는 무단 벨트(6)에는 관통하는 흡착 구멍(20)은 불필요하고, 패널(2)은 각 벨트 사이의 간극을 통하여 흡인됨에 의해 정반(12)에 의해 흡인 고정된다.
또한, 무단 벨트의 내면을 세정하는 세정 노즐(13)의 설치 개소는 패널의 반 송 방향에 있어서의 정반(12)의 후단부측이 바람직하지만, 그 밖의 개소에 설치하고, 무단 벨트(6)의 내면을 세정할 수도 있다.
다음에, 본 발명의 제 2의 실시예에 관해 설명한다. 도 3는 본 발명의 제 2의 실시예에 관한 패널 세정기를 도시하는 단면도이다.
본 실시예와 제 1의 실시예와의 차이점은 본 실시예에서는 무단 벨트(6)의 내면을 세정하는 세정 노즐(13)을 고압 수세화한 점이다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 세정 노즐(13)은 공급관(16)을 통하여 고압 펌프(17) 및 저수조(18)에 접속되어 있다. 이로써, 세정 노즐(13)로부터 고압수(15)을 사출하는 것이 가능해지고, 무단 벨트(6)의 내면의 세정력을 강화하고, 무단 벨트(6)의 내면의 이물질 제거 능력을 강화할 수 있다. 또한, 본 실시예에서의 그 밖의 구성은 제 1의 실시예와 마찬가지이고, 그 때문에, 도 3에서는 도 2과 동일한 구성물에 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 실시예의 그 밖의 동작 및 효과는 제 1의 실시예의 동작 및 효과와 마찬가지이다.
본 발명은 액정 패널의 유리 기판 등의 세정에 알맞게 이용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 정반에서의 패널의 반송 방향 후단부측에 세정 노즐을 마련하고, 무단 벨트의 내면을 향하여 세정 노즐로부터 세정액을 분출함에 의해, 무단 벨트 내면에 체류한 이물질을 제거한다. 이로써, 패널에 압력 부하가 가해져서 패널 내의 스페이서가 파손되거나 이동하거나 함으로써 표시 이상이 발생하는 것을 방지한다.

Claims (10)

  1. 패널 세정기에 있어서,
    패널을 반송하는 무단 벨트와,
    상기 무단 벨트의 내측 하방부터 상기 반송된 패널을 지지하는 정반과,
    상기 패널을 상방부터 세정하는 세정 장치와,
    세정액을 분출하여 상기 무단 벨트의 내면을 세정하는 세정 노즐을 갖는 것을 특징으로 하는 패널 세정기.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 세정 노즐은 상기 정반에 있어서의 상기 패널의 반송 방향 후단부측에서 상기 무단 벨트의 내면에 상기 세정액을 분출하는 것을 특징으로 하는 패널 세정기.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 무단 벨트는 회전축이 수평의 1쌍의 회전 지지 롤러 사이에 걸쳐지고, 그 상방 이동 영역에서, 상기 패널을 반송하는 것을 특징으로 하는 패널 세정기.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 세정 노즐은 상기 패널의 반송 방향의 후부측의 회전 지지 롤러에 있어서의 상기 무단 벨트가 떨어지는 위치의 상기 무단 벨트의 내면에, 상기 패널 반송 방향의 전방부터 후방 경사 상방을 향하여 세정액을 분사하는 것을 특징으로 하는 패널 세정기.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 무단 벨트는 복수개의 관통구멍을 가지며,
    상기 정반은 그 상면에 공기 흡인구를 가지며,
    상기 관통구멍을 통하여 상기 패널이 흡인됨에 의해 상기 패널이 상기 정반에 고정되는 것을 특징으로 하는 패널 세정기.
  6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 무단 벨트는 복수쌍의 벨트가 상호 평행하게 배치되어 구성되고,
    상기 정반은 그 상면에 공기 흡인구를 가지며,
    상기 벨트 사이의 간극을 통하여 상기 패널을 흡인함에 의해 상기 패널을 상기 정반에 고정하는 것을 특징으로 하는 패널 세정기.
  7. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 세정 장치는 상기 패널의 표면에 세정액을 공급하는 세정 노즐과,
    상기 패널의 표면에 접촉하여 주사함에 의해 상기 패널의 표면을 세정하는 세정 헤드를 갖는 것을 특징으로 하는 패널 세정기.
  8. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 세정액을 회수하고, 배출하는 배출 부재를 더 갖는 것을 특징으로 하는 패널 세정기.
  9. 패널을 무단 벨트상에서 반송시키고, 상기 패널을 정반에 의해 상기 무단 벨트의 하방부터 지지함과 함께, 상기 정반에 지지된 상기 무단 벨트상의 상기 패널을 그 상방부터 세정 장치에 의해 세정하는 패널의 세정 방법에 있어서, 상기 정반에서의 상기 패널의 반송 방향 후단부측에서 상기 무단 벨트의 내면을 향하여 세정 노즐로부터 세정액을 분사함에 의해, 상기 무단 벨트의 내면에 체류한 이물질을 세정하는 것을 특징으로 하는 패널 세정 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 무단 벨트는 회전축이 수평의 1쌍의 회전 지지 롤러 사이에 걸쳐지고, 그 상방 이동 영역에서, 상기 패널을 반송하고,
    상기 세정 노즐은 상기 패널의 반송 방향의 후부측의 회전 지지 롤러에서의 상기 무단 벨트가 떨어지는 위치의 상기 무단 벨트의 내면에, 상기 패널 반송 방향의 전방부터 후방 경사 상방을 향하여 세정액을 분사하는 것을 특징으로 하는 패널 세정 방법.
KR1020070042932A 2006-05-08 2007-05-03 패널 세정기 및 세정 방법 Expired - Fee Related KR100850122B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2006-00129164 2006-05-08
JP2006129164A JP4796889B2 (ja) 2006-05-08 2006-05-08 パネル洗浄機及び洗浄方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070108818A KR20070108818A (ko) 2007-11-13
KR100850122B1 true KR100850122B1 (ko) 2008-08-04

Family

ID=38683976

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070042932A Expired - Fee Related KR100850122B1 (ko) 2006-05-08 2007-05-03 패널 세정기 및 세정 방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20070261717A1 (ko)
JP (1) JP4796889B2 (ko)
KR (1) KR100850122B1 (ko)
CN (1) CN100555563C (ko)
TW (1) TWI382882B (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103157628B (zh) * 2011-12-16 2015-09-30 宸鸿科技(厦门)有限公司 无机元件的清洗装置及其清洗方法
KR101962083B1 (ko) * 2012-04-03 2019-03-25 가부시키가이샤 니콘 패턴 형성 장치
CN102641874B (zh) * 2012-05-09 2014-04-16 河北工业大学 一种平面清洗装置
CN103586235A (zh) * 2013-11-19 2014-02-19 张家港市超声电气有限公司 吸盘传输带式薄片清洗装置
JP6544539B2 (ja) * 2015-06-29 2019-07-17 株式会社村田製作所 噴射加工装置および被加工物の表面加工方法
CN105081930B (zh) * 2015-08-12 2017-05-17 京东方科技集团股份有限公司 面板抛光装置和面板清洁设备
CN105193237A (zh) * 2015-10-21 2015-12-30 苏州市灵通玻璃制品有限公司 一种电饭煲控制面板玻璃清洁装置
FR3049943B1 (fr) * 2016-04-06 2020-08-28 Saint Gobain Dispositif de convoyage et de maintien de feuilles de verre notamment dans une installation de lavage, et procede de mise en oeuvre
WO2018090303A1 (zh) * 2016-11-17 2018-05-24 深圳市柔宇科技有限公司 传送装置和玻璃清洗装置
CN106829309A (zh) * 2017-01-17 2017-06-13 优居优住家居装饰（北京）有限公司 饰面板输送的设备
CN107170667B (zh) * 2017-05-25 2020-07-28 昆山国显光电有限公司 基板湿制程工艺方法及基板湿制程工艺装置
CN107385389B (zh) * 2017-08-23 2019-06-18 苏州鑫河镜业有限公司 一种用于光学镜片的镀膜前清洗设备
CN112044867B (zh) * 2020-09-05 2021-07-27 张家港市盛港绿色防火建材有限公司 一种用于缺陷板材的双向除尘设备及双向除尘方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010051079A (ko) * 1999-10-19 2001-06-25 히가시 데쓰로 기판처리장치 및 기판처리방법
JP2005194060A (ja) * 2004-01-08 2005-07-21 Takatori Corp 基板搬送装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4919976B1 (ko) * 1970-10-27 1974-05-21
US3868272A (en) * 1973-03-05 1975-02-25 Electrovert Mfg Co Ltd Cleaning of printed circuit boards by solid and coherent jets of cleaning liquid
JPS61216789A (ja) * 1985-03-20 1986-09-26 株式会社　白興商会 マツト洗滌装置
US4989346A (en) * 1989-06-05 1991-02-05 Frank Hamachek Machine Company Dryer for pieces of food
US5103846A (en) * 1989-08-30 1992-04-14 Vitronics Corporation Apparatus for cleaning mechanical devices using terpene compounds
JPH0593583U (ja) * 1992-05-12 1993-12-21 北川精機株式会社 板状物のクリーニング装置
JPH07230973A (ja) * 1994-02-18 1995-08-29 Toshiba Corp 半導体処理装置
DE69806615T2 (de) * 1997-04-01 2003-03-27 Anglo American Research Laboratories (Proprietary) Ltd., Gauteng Teilchentrenneinrichtung mit einer kontinuierlichen linie von trennpfannen
US6383303B1 (en) * 1999-12-20 2002-05-07 St Assembly Test Services Pte Ltd High volume fluid head

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010051079A (ko) * 1999-10-19 2001-06-25 히가시 데쓰로 기판처리장치 및 기판처리방법
JP2005194060A (ja) * 2004-01-08 2005-07-21 Takatori Corp 基板搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN100555563C (zh) 2009-10-28
KR20070108818A (ko) 2007-11-13
TWI382882B (zh) 2013-01-21
JP4796889B2 (ja) 2011-10-19
US20070261717A1 (en) 2007-11-15
JP2007301427A (ja) 2007-11-22
CN101071761A (zh) 2007-11-14
TW200800423A (en) 2008-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20070108818A (ko) 패널 세정기 및 세정 방법
US7419046B2 (en) Method and device for washing conveyor belts
KR100890503B1 (ko) 예비 토출장치
JP4013207B2 (ja) 洗浄システム及び洗浄方法
JP5303335B2 (ja) 搬送ベルトのクリーニング機構及びそれを備えたインクジェット記録装置
KR100825575B1 (ko) 컨베이어벨트 배면의 이물질 제거장치
JPH10189528A (ja) 基板洗浄装置および基板洗浄方法
JP5641989B2 (ja) フィルタ洗浄装置
JPS6034389A (ja) 洗浄装置
US7077260B2 (en) Device for cleaning corrugator belts
JP2000254605A (ja) 可撓性基板の洗浄装置
KR101261290B1 (ko) 기판 코터 장치 및 이를 이용한 코팅 방법
JP2002239485A (ja) 基板の洗浄装置及び洗浄方法
KR101746548B1 (ko) 열교환기의 열판 세척 장치
JPH11290803A (ja) 超音波洗浄機
JP5415981B2 (ja) フィルタ洗浄装置及びフィルタ洗浄方法
JP2000024564A (ja) 塗装ラインのスカム処理装置
KR100764683B1 (ko) 기판처리장치
JP4444474B2 (ja) 板状基板の処理装置及び処理方法
CN222519369U (zh) 一种轴承加工用轴承圈清洗装置
JP3234875B2 (ja) 窓ガラス清掃装置
JPH11290804A (ja) 超音波洗浄機
JP2009056378A (ja) 基板用除塵装置
KR200324632Y1 (ko) 불판 세척기
CN118629894A (zh) 狭缝喷嘴、基板处理装置及基板处理方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130705

Year of fee payment: 6

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140716

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150626

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160630

Year of fee payment: 9

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20170730

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20170730

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000