TWI483785B - Operating device and operating device cover - Google Patents

Description

作業裝置及作業裝置用外蓋

本發明係關於具有在框架的延伸方向可移動之作業頭(working head)的龍門型(高架型gantry)作業裝置，且關於可容易實施前述作業頭的維修作業之作業裝置及作業裝置用外蓋。

又，在本說明書中「液材」係指包含自溶劑、水溶液之低黏度的液體至滑脂(grease)、黏合材等黏稠狀體廣泛黏性範圍之液體材料，包含具有填料、固體粒子之液體材料，包含銀糊、焊糊等漿料(paste)的流動體。

又，在本說明書中「吐出」包含使液體自噴嘴離開前接觸工件型式的吐出及使液材自噴嘴離開後接觸工件型式的吐出。

具有：載置工件之工作台；及，具有作業頭的框架(frame)(亦稱為梁架(beam)或龍門架，gantry frame)；如此之作業裝置，一般被稱為龍門型作業裝置。對於和作業頭相對移動之工件為了實施所希望作業之龍門型作業裝置，例如有，在液晶顯示面板之製造中的密封劑塗佈之裝置、太陽電池面板之圖案形成裝置及半導體裝置之缺陷檢查裝置等。

此種裝置，隨著工件之大型化其裝置本體也有變成大型化之傾向，例如，第8代之液晶顯示面板用的玻璃基板之尺寸為2160mm×2400mm，而作業裝置則必須具有可載置此 一基板之工作台。

門型構造之龍門型液材塗佈裝置，例如在專利文獻1中揭示一種使保持形成漿料圖案的基板之基板保持機構僅在一方向保持可移動，而在基板上各別設置塗佈漿料之塗佈頭，並使前述塗佈頭對前述基板的移動方向可在直角方向可移動如此所構成之塗佈頭支持機構被設置2組，一邊的塗佈頭支持機構固定在台座上，而另一邊的塗佈頭支持機構則可移動地設於前述基板的移動方向，如此所成之裝置。

又，在專利文獻2中則揭示一種對搭載於工作台上的基板上塗佈描畫所希望形狀的漿料圖案之漿料塗佈機中，其具有：在被塗佈描畫基板的漿料圖案面之平行面內，在一方向可移動且延伸至和此一方向不同方向之框架；及，被配列在框架上，被設有在框架的延伸方向可移動之線性馬達，且設有漿料收容筒與具有可吐出被充填於此漿料收容筒的漿料吐出口的噴嘴之複數個塗佈頭；及，在相對向於搭載漿料吐出口之工作台的基板之範圍內，對工作台可使框架移動，同時，對框架一面使複數個塗佈頭移動，一面控制自複數個塗佈頭的漿料吐出口吐出的漿料之控制手段；而藉由複數個塗佈頭在基板上塗佈描畫所希望形狀的漿料圖案，如此所構成之裝置。

專利文獻1：日本專利第3701882號公報 專利文獻2：日本專利特開2003－225606號公報

如專利文獻1例示之裝置，作業頭被安裝在框架內側之龍門型裝置，由於使框架移動之作業頭平常位於台座的內側，因此，要維修作業頭時，作業者必須大大地伸出手以實施作業。特別是在框架具有複數個作業頭之多頭型裝置中，則從台座的外部手亦有無法伸至作業頭，而不得不在維修時必須登上台座上以實施作業的情形。

但是，由於在台座上配置有載置工件之工作合等，作業者在其附近或其上方實施維修作業並不佳。特別是對被要求高清淨度之裝置，除了在工作台附近等實施維修不佳外，依照情況亦有必須在工作台等上覆蓋薄膜(sheet)等而實施作業之情形。

又，裝置本體如被配置在外蓋內時，則有更深刻的問題。在維修時，作業者必須將上半身伸入外蓋內而實施維修，其作業性惡劣，且在必須清淨環境之裝置內其會帶入灰塵或污垢等之粒子或人體所生的發塵物而不佳，又，在維修作業中亦有發生工具等之接觸或落下而使工作台等破損之問題。

而且，在維修時所生的粒子會滯留在外蓋內，反而會有損及清淨性之問題。

鑑於上述問題，本發明之目的為提供一種容易維修作業頭，且不會有損清淨性而實施維修之作業裝置及作業裝置用外蓋。

為了提高作業頭之維修性其解決手段之一，可考慮將作業頭安裝在框架的外側。但是，在設置複數個使作業頭安裝在框架的外側之框架構造之裝置的情形，則必須使各框架構成可移動，而在一個框架之作業中，必須控制各別的動作而不會使其妨礙到另外的框架之作業。

因此，本發明人開發一種即使框架被固定之構造或構成作業頭之全部組件或一部份被安裝在框架內側之構造，其亦具有良好的維修性，而框架被延伸至台座的外方，且作業頭被位於台座的外方，如此之新穎的構造。要使框架延伸至台座的外方之態樣，雖然亦可考慮使框架之兩端延伸至台座的外側之態樣，但如考慮僅能在一個部位實施維修作業時，則僅使框架的單側被伸出較佳。特別是當在外蓋內配置裝置本體時，因其可使外蓋之開口部的數目成為最小限度，因此較佳。

又，上述構造中，由於不須要登上台座上之作業，因此，其可使框架的高度本身構成作業者可容易作業之位置，而可有設計自由度較高之有利的效果。如考慮到作業性，則如在維修區域使作業頭構成可上下動作或使作業頭呈可卸下之構造，如此亦可。

又，即使在以作業裝置用外蓋覆蓋之構造中，作業頭位於維修區域時(以下亦稱為「維修位置」)，亦可藉內在其附近設置開口用門扇，如此而使作業頭之維修可容易地實施。

具有以上特徵之本發明的作業裝置，其構成如下。

亦即，第1發明係，使設在台座之工作台與和該工作台相對向之作業頭相對移動，而在被載置於工作台上的工件上實施所希望的作業之作業裝置，其特徵為，其具備有：被配設於前述台座上之複數個支持體；及，被支持在該支持體上，被延伸至第一方向的框架；及，可移動自如地被配設在該框架之第一方向的作業頭；而前述框架其端部被構成比前述台座的外緣延伸至更外側，前述工作台在比前述台座的外緣之更外側可移動，如此之作業裝置。

第2發明係，在第1項之發明中，其特徵為，前述框架其一端被構成比前述台座的外緣延伸至更外側，而另一端則被構成不自前述台座的外緣露出。

第3發明係，在第1或2項之發明中，其特徵為，前述作業頭，其構成組件之全部或一部份被安裝於框架側面的前述台座之中央側。

第4發明係，在第1至3項任一項之發明中，其特徵為，前述框架係有複數個。

第5發明係，在第4項之發明中，其特徵為，鄰接框架的作業頭係被相對向配設。

第6發明係，在第1至5項任一項之發明中，其特徵為，前述框架配設有複數個作業頭。

第7發明係，在第1至6項任一項之發明中，其特徵為，前述支持體係構成在和第一方向不同的第二方向移動自如之構成。

第8發明係，在第1至7項任一項之發明中，其特徵為， 前述作業頭，係自噴嘴的前端吐出液材之液材吐出頭。

第9發明係，在第1至8項任一項之發明中，其特徵為，前述作業頭在移動至比前述台座之外緣的更外側之狀態，更具有可控制前述工件之搬入/或搬出之控制部。

第10發明係覆蓋申請專利範圍第1至9項中任一項的作業裝置之外蓋，其特徵為，在比前述框架的前述台座之外緣延伸至更外側之端部附近設置具有開口門扇之外蓋。

第11發明係，在第10項之發明中，前述開口門扇被構成作業者可進入前述外蓋的內部。

第12發明係，在第10或11項之發明中，其特徵為，使前述外蓋內區劃為：位於比前述框架的前述台座之外緣更延伸至外側的部份之維修區域；及，位於前述台座之作業區域；而設置具有作業頭通過口之內壁。

第13發明係，在第12項之發明中，其特徵為，前述作業區域比前述維修區域具有正壓之風扇機構。

第14發明係一種作業裝置用外蓋，其具備有：設有工作台之台座；及，被配設於該台座上之複數個支持體；及，被支持在該支持體上，延伸至第一方向之框架；及，可移動自如地被配設於該框架之第一方向之作業頭；而使設於台座之工作台與和該工作台相對向的作業頭相對移動，而覆蓋載置於工作台上的工件以實施所希望之作業的作業裝置之外蓋，其特徵為，區劃實施前述作業頭作業之作業區域及實施前述作業頭維修之維修區域，且設置具有作業頭通過口之內壁，如此之作業裝置用外蓋。

第15發明係，第14項之發明中，其特徵為，前述作業區域比前述維修區域具有正壓之風扇機構。

根據本發明，作業裝置之作業頭的維修容易，且不會損及清淨性而可實施維修。

又，由於框架係可動者，因此無需對設置作業頭之位置有作講究之限制，因而可提高設計之自由度。

實施本發明用之最佳形態的作業裝置，係使設在台座之工作台與對向於該工作台之複數個作業頭相對移動，而在載置於工作台上的工件上實施所希望之作業，如此的作業裝置，其特徵為，其具備有：被配設於前述台座上之複數個支持體；及，被支持在該支持體上，延伸至第一方向之複數個框架；及，在該框架上可移動自如地配設於第一方向之作業頭；而前述框架，其端部被構成比前述台座的外緣延伸至更外側，且前述作業頭，在比前述台座的外緣之更外側上可移動。

前述作業頭，其構成組件之全部或一部份被配設於框架內側，而鄰接框架的作業頭被對向配設，且藉由線性馬達或旋轉馬達等之驅動源而可作位置控制。

作業頭，係例如藉空氣壓力使貯存於貯存容器之液材加壓而使自噴嘴前端吐出的液材在工作上附著塗佈之吐出裝置，或在貯存於貯存容器之液材的上方藉使密著在貯存容器的內壁面而滑動之柱塞急速地停止移動，而自噴嘴前 端使液材離開後在工件表面上塗佈之噴射注射裝置，或在工件表面上檢查被描畫為點狀或線狀的描畫形狀之至少高度、寬度、剖面積、缺損等任一者之檢查裝置。同種類的裝置可被配設複數個，或不同種類之裝置被組合配設亦可。

前述支持體，可移動自如地被設在和第一方向不同的第二方向，而在第二方向上可使1個以上的框架移動自如。

當作業裝置被要求高清淨度時，則以外蓋覆蓋作業裝置為佳。即使以外蓋覆蓋之構成，如在比前述框架之前述台座的外緣更延伸至外側之端部附近設置開口門扇，則可更容易地實施維修作業。

又，在框架不能移動之型式的作業裝置中，如在外蓋的內部設置作業者可進入之開口門扇而確保其作業性，如此亦可。

具有以上構成之本發明的最佳形態之裝置，例如，係在液晶面板製造步驟中被利用於防止液晶漏出之密封材料的塗佈。當自玻璃基板作成複數張面板，而在所謂拼板方法中，雖然可自1張玻璃基板可作成複數個面板，例如，4面(2×2)、9面(3×3)、20面(4×5)等，但在此處係對每面板單位以密封材料而描畫形成長方形圖案。例如，自1張玻璃基板作成4×5個面板時，則配設5個塗佈頭，以5個塗佈頭同時描畫第1列的5個圖案，而在第1列塗佈終了後，將塗佈頭移動至第2列以後的塗佈位置，同樣以5個塗佈頭同時描畫5個圖案。

但是，本發明之技術思想並不受限於上述之塗佈裝置，只要是所謂龍門型之作業裝置則均可適用。

以下雖然本發明之詳細以實施例來說明，但本發明並不受限於此等實施例。

[實施例1]

(構造)

本實施例之液材塗佈裝置，如圖1至圖4所示，其設有：具有可載置工件的工作台12之台座1；及，被固設在台座1上之一對支持體2；及，與台座1之上表面分開地由支持體2所支持，而橫跨台座1之短邊方向(X方向)的固定框架3。

在固定框架3的側面被配設固定元件4，在固定元件4藉由可動元件5而在X方向可移動自如地安裝複數個作業頭6。作業頭6，係藉由未圖示之公知的驅動機構而可移動自如地被構成在Z方向。而且，作業頭6係構成為僅由一個框架3所支持。

工作台12係藉由X導軌11可移動自如地被構成在X方向。又，工作台12藉被配設在X導軌11的下方之Y滑件9及Y導軌8而可移動自如地被設在Y方向。又，在工作台12，如設置使工件在θ軸方向移動既定角度而用來定位之θ旋轉機構，如此亦可。

X方向及Y方向之導軌，雖然被例示具有線性馬達用磁鐵及線性導軌之構造，但其並不受限於此一構成，例如，在滑座上設置馬達及與馬達聯動旋轉之滾珠螺桿，或在滑件上設置聯動於滾珠螺桿之旋轉而直線前進移動之螺母，如此之構成亦可。

如圖5及圖6所示，本實施例之液材塗佈裝置，被配置於大略L字形狀的外蓋30內。

外蓋30係為了防止灰塵或污垢等附著於工件之密閉空間，而在背面設有可搬入或搬出工件的開口部33，且在正面設有為了維修裝置本體之開口部34及門扇31a、31b，以及，為了維修作業頭6之門扇32。又，在外蓋30之正面的面板上，則設有可操作未圖示之主控制部的操作面板38。構成外蓋30之各面板中，被設置一對把手可用來開閉。

大致呈L字形狀的外蓋30，在門扇32之對向位置被構成位於自框架3的台座1延伸出之部份。自此框架3之台座1延伸出之部份，係在作業頭6之維修時可構成作業頭6之維修位置。亦即，在作業頭6之維修時，如圖3及圖4所示，作業頭6位於自固定框架3的台座1延伸出之部份，此時作業頭6和門扇32相對向而被構成外蓋30。

又，被搭載於一個框架3之作業頭6的數目雖然可適當地增減，但全部的作業頭6如構成在比台座1的外緣之更外側而可移動，如此較佳。

在圖4及圖5中，以一點鏈線表示區劃作業區域40與維修區域60之內壁50。在內壁50設有作業頭6可往復之作業頭通過口51。內壁50及作業頭通過口51雖然不受限於本實施例之態樣，但至少其被設成作業頭6不會妨礙作業區域40與維修區域60的移動之態樣。在此內壁50，藉區劃為自框架3的台座1延伸出之部份及台座1 時，則可使在維修區域60所發生之粉塵等粒子進入作業區域40限於最小之限度，藉此則可消除品質劣化之問題，且可提高成品率。

本實施例中，在作業區域40設有風扇機構，自上部朝向下部使清淨空氣經常流動。由此，由於塵埃等不希望的物質可從外蓋30的下部被排出至外部，因此，不希望的物質等則不會殘留在外蓋30內，而其可經常地在清淨環境下實施塗佈作業。此時，如併用空氣清淨機時，或藉由HEPA(High Efficiency Particulate Air Filter)等之濾器而將外氣引入作業區域則較佳。

又，當使作業區域40比維修區域60具有正壓時，則自作業區域40可形成朝向維修區域60之空氣流。此一空氣流具有可防止在維修區域60所發生之粒子進入作業區域40的功能。

又，外蓋30之較佳態樣可例如藉SUS或鋁框架等之金屬框架上以金屬製之壁面或透過性的樹脂等之壁面所構成的外蓋。樹脂製之壁面雖然有透明(無色透明)、黃色、深咖啡色、紅色、深灰色、灰煙色(灰色)等各種顏色，但可因應於使用液材的用途(例如，不喜歡紫外線等)而選擇利用最適當之顏色。圖6中，斜線部份為透明者。

在外蓋30的下方部被設有未圖示之通訊用插座，藉由網路纜線而連接至PC等的外部終端機時，則可對裝置作遙控。雖然也可用操作面板38來作操作，但在打開正面或側面的面板而在實施維修作業中，要對操作面板38作 操作則有困難，因此，遙控操作較為有效。又使用可攜式之專用終端機連接網路而實施遙控操作，或搭載無線LAN等的通訊裝置而以無線遙控操作，如此亦可。

(動作) 藉由機器人等自動搬送機，而從背面的開口部33搬入工件，並在工作台12上載置工件。此時，作業頭6移動至圖3及圖4所示之等待位置(和維修位置相同的位置)，成為不會妨礙工件搬入之狀態。

當對工作台12上載置工件完了時，未圖示之主控制部使X方向滑座11及Y方向滑座8可動而將工作台移動，而可動元件5可動並使作業頭6和工件相對向而配置於所希望之位置，再藉由具有作業頭6之Z方向移動機構使作業頭6下降，而對工件實施液材之塗佈。此時，藉X方向滑座11及Y方向滑座8而使工件和作業頭6作相對移動如此即可描畫出所希望的形狀。

塗佈作業終了後，為了不會妨礙工件之搬出，將作業頭6再度移動至等待位置。當作業頭6移動完了後，自動搬送機自開口部33將工件搬出。

要對作業頭6實施維修作業時，則使作業頭6移動至維修區域，將外蓋30的門扇32開放而實施。如圖3及圖4所示，維修位置係在作業頭6靠近固定框架3的端部，由於其位於自門扇32所構成之開口部而作業頭6可容易到達之範圍，因此，其可容易地實施消耗品之交換等之維修作業。

維修用之門扇的位置及片數可被適當地變更。例如，在固定框架3的背面側移動自如地安裝作業頭6之構造的情形下，在外蓋30的背面側設置和門扇32對向的門扇，如此之構造亦可。

[實施例2]

(構造) 本實施例之液材塗佈裝置，如圖7至圖9所示，其具備有：橫跨台座1之短邊方向(X方向)的固定框架3；及，同樣橫跨台座1的X方向之可動框架21。

固定框架3和實施例1同樣，被支持在固設於台座1上之一對支持體2上。可動框架21被支持於配設在框架用滑座22之一對可動支持體23上，在Y方向移動自如地被構成。又，如使固定框架3構成可動亦可。

固定框架3及可動框架21配設有被設在各框架的內側面之固定元件4，在固定元件4上藉由可動元件5而使複數個作業頭6移動自如地被安裝在X方向上。作業頭6和實施例1係相同之構成，其移動自如地被設在Z方向上。

工作台12藉由Y導軌8而可移動自如地被構成在Y方向，而使作業頭6與工作台12相對地移動。

內壁50被設成至少固定框架3之作業頭6及可動框架21之作業頭6不會妨礙到作業區域40與維修區域60移動之態樣。此處，上述作業頭6自作業區域40向維修區域60移動之時間帶，係可動框架21位於維修時之等待位置的時間。因此，可動框架21不位於維修時之等待位置 的時間帶，如使作業區域40與維修區域60之空間的連繫成為最小限度時，自防止粒子等侵入之而言係較佳者。例如，如圖12所示，其揭示僅在對應於維修時之等待位置的作業頭6之位置的部位設置作業頭6通過之空間。又，本發明之技術思想亦包含作業頭通過口51形狀在動態變化時之態樣。

本實施例之液材塗佈裝置，如圖10及圖11所示，被配置於方形的外蓋30內(又內壁50之圖示被省略)。

外蓋30在背面設有可搬出或搬入工件之開口部33，而在正面設有開口部35及其構成之門扇33a、33b。又，和實施例相同，其設有緊急停止按鈕37及未圖示之可控制主控制部的操作面板38，而構成外蓋30之各面板中，其被安裝一對把手可用來開閉。

本實施例之外蓋30，在正面設有延伸至腳下之縱長的長方形之門扇33a、33b，而使此等門扇構成兩面開時，作業者則可進入內部。又，固定框架3及可動框架21的台座1所延伸出之部份被構成位於門扇33a、33b的附近。自各框架的台座1所延伸出之部份，自形成於內壁50之作業頭通過口51朝向門扇33a、33b側延伸，則即使不卸下內壁50亦可實施維修。

(動作) 藉由機器人等之自動搬送機，工作被從背面的開口部33搬入，而工件被載置於工作台12上。此時，如圖9所示，可動框架21移動至台座1之外緣附近，作業頭6則 移動至等待位置(和維修位置相同之位置)，而不會妨礙到工件之搬入。

當工件載置在工作台12上完了時，未圖示之主控制部，則使架用滑座22、可動元件5及Y方向滑座8可動，而將作業頭6配置於和工件相對向之所希望的位置，具有作業頭6之Z。方向移動機構則使作業頭6下降，而對工件實施液材之塗佈。此時，藉可動元件5及Y方向滑座8而使工件與作業頭6作相對移動如此即可描畫所希望的形狀。

塗佈作業終了後，為了不會妨礙工件之搬出，可動框架21及作業頭6再度被移動至等待位置。可動框架21及作業頭6移動完了後，自動搬送機藉由開口部33而搬出工件。

對作業頭6實施維修作業時係使作業頭6移動至維修位置，而開放外蓋30的門扇33a、33b。如圖9所示，維修位置係作業頭6靠近固定框架3及可動框架21的端部，而自門扇33a、33b所構成之開口部35可容易達到作業頭6之範圍，因此，其可容易地實施消耗品之交換等之維修作業。

在本實施例中，維修用之門扇位置及片數亦可適當地被變更。例如，在固定框架3及/或可動框架21之背面側安裝可移動自如之作業頭6時，在外蓋30的側面(亦即，鄰接於設有門扇33a、33b的面)亦可設置維修用之門扇，如此之構造亦可。在此構造中，當於比台座1更接近門扇 33a、33b側設置維修用門扇時，由於其可使維修時的作業位置集中，因此較佳。

(產業上之可利用性)

本發明也可適用於搭載液材吐出頭以外的作業頭之作業裝置。例如，可舉出為了使塗佈在工件上之UV黏著劑硬化用之具有UV光源的UV照射頭，或為了判定．檢查工作表面的污垢、傷痕或藉液材判定．檢查所描畫的塗佈線之好壞的感測器類或搭載具有CCD等攝影機的檢查頭之作業裝置。

又，本發明也可適用於搭載具有鑽頭等刀具的加工裝置之加工頭的作業裝置。

又，本發明也可適用於使液晶滴下至密封材料形成於工件上長方形圖案內之作業裝置。

1‧‧‧台座

2‧‧‧支持體

3‧‧‧固定框架

4‧‧‧固定元件

5‧‧‧可動元件

6‧‧‧作業頭

7‧‧‧Y馬達

8‧‧‧Y導軌(Y方向滑座)

9‧‧‧Y滑件

10‧‧‧X馬達

11‧‧‧X導軌(X方向滑座)

12‧‧‧工作台(作業台)

21‧‧‧可動框架

22‧‧‧框架用滑座

23‧‧‧可動支持體(滑件)

30‧‧‧外蓋

31~33‧‧‧門扇

33a、33b‧‧‧門扇

34~36‧‧‧開口部

37‧‧‧緊急停止按鈕

38‧‧‧操作面板

40‧‧‧作業區域

50‧‧‧內壁(隔板)

51‧‧‧作業頭通過口

60‧‧‧維修區域

圖1係實施例1之液材塗佈裝置的斜視圖。

圖2係在實施例1之液材塗佈裝置中，作業頭在等待狀態說明用之斜視圖。

圖3係在實施例1之液材塗佈裝置中，作業頭在等待狀態說明用之前視圖。

圖4係在實施例1之液材塗佈裝置中，作業頭在等待狀態說明用之頂視圖。

圖5係實施例1中收容液材塗佈裝置的外蓋之斜視圖。

圖6係實施例1之外蓋的背面圖。

圖7係實施例2之液材塗佈裝置的斜視圖。

圖8係在實施例2之液材塗佈裝置中，作業頭在等待狀態說明用之斜視圖。

圖9係在實施例2之液材塗佈裝置中，作業頭在等待狀態說明用之頂視圖。

圖10係實施例2中收容液材塗佈裝置的外蓋之斜視圖。

圖11係在實施例2之液材塗佈裝置中，開放門扇之狀態說明用的斜視圖。

圖12係實施例2中被設在收容液材塗佈裝置的外蓋之內壁的一態樣之圖。

1‧‧‧台座

2‧‧‧支持體

3‧‧‧固定框架

4‧‧‧固定元件

7‧‧‧Y馬達

8‧‧‧Y導軌(Y方向滑座)

12‧‧‧工作台(作業台)

Claims (15)

1. 一種作業裝置，係可使設在台座之工作台與和該工作台相對向之複數個作業頭進行相對移動，而對被載置於工作台上的工件實施所希望的作業之作業裝置，其特徵為，其具備有：被配設於前述台座上之複數個支持體；及，被支持在該支持體上而於第一方向延伸的框架；及，配設在該框架上而於第一方向可移動自如之前述複數個作業頭；前述複數個作業頭包含可吐出液材之液材吐出頭，前述框架係延伸至比前述台座的外緣更外側而構成，且被構成為可將前述作業頭的全部移動至比前述台座的外緣更外側的長度，前述作業頭係僅由一個框架所支持，並被安裝於前述框架側面的前述台座之中央側，且可移動至比前述台座的外緣更外側，站在前述台座的側面且延伸至比前述台座的外緣更外側之前述框架的正面，可對移動至比前述台座的外緣更外側之前述作業頭進行維修。
2. 如申請專利範圍第1項之作業裝置，其中，前述框架其一端係延伸至比前述台座的外緣更外側而構成，另一端則被構成為不自前述台座的外緣露出。
3. 如申請專利範圍第1項之作業裝置，其中，前述框架係有複數個。
4. 如申請專利範圍第3項之作業裝置，其中，相鄰之框 架的作業頭被相對向地配設。
5. 如申請專利範圍第1項之作業裝置，其中，前述支持體被構成為可在和第一方向不同的第二方向移動自如。
6. 如申請專利範圍第1項之作業裝置，其中，更具備有控制部，其在前述作業頭移動至比前述台座的外緣更外側之狀態下，可控制前述工件之搬入及/或搬出。
7. 一種作業裝置，其特徵為，其具備有可覆蓋申請專利範圍第1至6項中任一項的作業裝置之外蓋(30)，該外蓋在移動至比前述框架的前述台座的外緣延伸至更外側之端部的前述作業頭附近具有開口門扇。
8. 如申請專利範圍第7項之作業裝置，其中，前述開口門扇被構成為作業者可進入前述外蓋的內部。
9. 如申請專利範圍第7項之作業裝置，其中，其具備有內壁，該內壁係將前述外蓋內區隔為延伸至比前述框架的前述台座的外緣更外側的部份所位處之維修區域及前述台座所位處之作業區域，並具有作業頭通過口。
10. 如申請專利範圍第9項之作業裝置，其中，其具備有調壓機構，使前述作業區域相較於前述維修區域為正壓。
11. 如申請專利範圍第7項之作業裝置，其中，其具有調壓機構，使前述台座所位處之作業區域相較於延伸至比前述框架的前述台座的外緣更外側的部份所位處之維修區域為正壓。
12. 如申請專利範圍第1項之作業裝置，其中，前述框 架係與前述台座之上表面分開地由被配設於前述台座之複數個支持體所支持。
13. 如申請專利範圍第1項之作業裝置，其中，其係使用於液晶面板製造步驟中的作業裝置。
14. 一種作業裝置用外蓋，係可覆蓋申請專利範圍第2項的作業裝置且呈大致L字形狀之外蓋，其特徵為，其具備有：開口門扇，係與移動至自前述框架的前述台座延伸出之端部的前述作業頭相對向；及，調壓機構，使前述台座所位處之作業區域相較於延伸至比前述框架的前述台座的外緣更外側的部份所位處之維修區域為正壓。
15. 如申請專利範圍第14項之作業裝置用外蓋，其中，其具備有內壁，該內壁係將前述外蓋內區隔為延伸至比前述框架的前述台座的外緣更外側的部份所位處之維修區域及前述台座所位處之作業區域，並具有作業頭通過口。