JPWO2008132833A1 - 作業装置および作業装置用カバー - Google Patents

Abstract

課題：作業ヘッドのメンテナンスが容易であり、かつ、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる、作業装置および作業装置用カバーの提供。解決手段：架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、前記架台上に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸されたフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された作業ヘッドとを備え、前記フレームは、その端部が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、前記作業ヘッドは、前記架台の外縁よりも外側に移動可能であることを特徴とする作業装置および作業装置用カバー。

Description

本発明は、フレームの延伸方向に移動可能な作業ヘッドを有するガントリー型の作業装置に関し、前記作業ヘッドのメンテナンス作業を容易にする作業装置および作業装置用カバーに関する。
なお、本明細書における「液材」には、溶剤、水溶液といった低粘度の液体から、グリス、接着材といった粘稠状体に至る広範な粘性範囲に含まれる液体材料のことであり、フィラー、固体粒子を含む液体材料を含み、銀ペースト、半田ペーストといったペースト状の流動体が含まれる。
また、本明細書における「吐出」には、液材をノズルから離間する前にワークに接触させるタイプの吐出および液材をノズルから離間した後にワークに接触させるタイプの吐出が含まれる。

ワークが載置されるテーブルと、作業ヘッドを有するフレーム（ビームまたはガントリーフレームとも言う。）を有する作業装置があり、一般にガントリー型作業装置と呼ばれる。作業ヘッドと相対動するワークに対して所望の作業を行うためのガントリー型の作業装置としては、例えば、液晶表示パネルの製造におけるシール剤を塗布する装置、太陽電池パネルのパターニング装置、半導体デバイスの欠陥検査装置等がある。
この種の装置は、ワークの大型化に伴い装置本体そのものが大型化される傾向にあり、例えば、第８世代と呼ばれる液晶表示パネル用のガラス基板のサイズは２１６０ｍｍ×２４００ｍｍであり、作業装置はこれを載置できるワークテーブルを備える必要がある。

門型構造のガントリー型液材塗布装置としては、例えば特許文献１に、ペーストパターンが形成される基板を保持する基板保持機構が一方方向にのみ移動可能に保持され、基板上にペーストを塗布する塗布ヘッドをそれぞれ備え、前記塗布ヘッドを前記基板の移動方向に対して直角方向に移動可能に構成したヘッド支持機構を２組設け、一方のヘッド支持機構は架台に固定し、他方のヘッド支持機構は前記基板の移動方向に移動可能に構成する装置が開示されている。

また、特許文献２には、テーブル上に搭載した基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画するペースト塗布機において、基板のペーストパターンが塗布描画される面に平行な面内で一方向に移動可能で、かつこの一方向とは異なる方向に伸延するフレームと、フレームに配列されて、フレームの伸延方向に移動可能にリニアモータが設けられ、かつペースト収納筒とこのペースト収納筒に充填されたペーストを吐出するペースト吐出口を有するノズルとが設けられた複数の塗布ヘッドと、ペースト吐出口がテーブルに搭載された基板に対向する範囲内で、テーブルに対してフレームを移動させるとともに、フレームに対して複数の塗布ヘッドを移動させながら、複数の塗布ヘッドのペースト吐出口からペーストを吐出させる制御をする制御手段とを備え、複数の塗布ヘッドによって基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画する構成の装置が開示されている。
特許第３７０１８８２号公報 特開２００３−２２５６０６号公報

特許文献１の装置に例示される装置のように、作業ヘッドがフレームの内側に取り付けられたガントリー型装置では、フレームを移動する作業ヘッドが常に架台の内側に位置するため、作業ヘッドをメンテナンスするためには、作業者が手を大きく伸ばしたりして作業を行う必要があった。特に、フレームに複数のヘッドを有するマルチヘッドタイプの装置においては、架台の外からは作業ヘッドに手が届かないものもあり、メンテナンスのために架台上に乗り上がって作業を行わざるを得ない場合もあった。
しかしながら、架台上にはワークが載置されるテーブル等が配置されるため、作業者がその付近ないしはその上方でメンテナンス作業を行うことは好ましくない。特に、高いクリーン度が要求される装置においては、テーブル付近等でのメンテナンスは好ましくなく、場合によってはテーブル等をシート等を被せて作業を行わなくてはならなかった。

また、装置本体がカバー内に配置される場合には、より課題は深刻であった。メンテナンスに際しては、カバー内に作業者が上半身を乗り入れてメンテナンスを行う必要があるが、作業性が悪く、クリーンな環境を要する装置内にほこりやゴミといったパーティクルや人体から生じる発塵物を持ち込むため好ましくなく、また、メンテナンス作業中に工具等の接触や落下によりテーブル等を破損させるという問題もあった。
しかも、メンテナンス時に生じたパーティクルがカバー内に滞留してしまい、かえってクリーン性が損なわれるという問題もあった。

上記課題を鑑み、本発明は、作業ヘッドのメンテナンスが容易であり、かつ、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる、作業装置および作業装置用カバーを提供することを目的とする。

作業ヘッドのメンテナンス性を向上させるための一つの解決手段としては、作業ヘッドをフレームの外側に取り付けることが考えられる。しかしながら、作業ヘッドをフレームの外側に取り付けたフレームを複数設けた構造の装置の場合、各フレームを可動に構成し、一のフレームの作業中、他のフレームが作業を邪魔しないように、夫々の作動を制御する必要が生ずる。

そこで、発明者は、フレームが固定された構造や、作業ヘッドを構成する部品の全部または一部がフレームの内側に取り付けられた構造においても、メンテナンス性を良好とすべく、フレームを架台の外方に延出し、作業ヘッドを架台の外方に位置される新規な構造を開発した。フレームを架台の外方に延出させる態様としては、フレームの両端を架台の外側に延出させる態様も考えられるが、メンテナンス作業を一箇所で行えることを考慮すると、フレームの片側のみを延出させるのが好ましい。特にカバー内に装置本体を配置する場合には、カバーの開口部の数を最小限にすることができるので好ましい。

また、上記の構造では、架台に乗り上げて作業が不要となったため、フレームの高さ自体を作業者の作業しやすい位置に構成することが可能であり、設計の自由度が高まるという有利な効果をも奏する。作業性を考慮して、メンテナンスエリアで作業ヘッドを上下可動としたり、作業ヘッドを取り外し可能に構成してもよい。

また、作業装置カバーで覆う構成においても、作業ヘッドがメンテナンスエリアに位置する際（以下、「メンテナンス位置」という場合がある。）、その近傍に開口用扉を設けることにより、作業ヘッドのメンテナンスを容易に行うことが可能である。

以上の特徴を備える、本発明の作業装置は次のように構成されている。
すなわち、第１の発明は、架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、前記架台上に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸されたフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された作業ヘッドとを備え、前記フレームは、その端部が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、前記作業ヘッドは、前記架台の外縁よりも外側に移動可能であることを特徴とする作業装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記フレームは、一端が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、他端が前記架台の外縁からはみ出さないように構成されることを特徴とする。
第３の発明は、第１または２の発明において、前記作業ヘッドは、構成部品の全部または一部が、フレームの側面であって前記架台の中央側に取り付けられることを特徴とする。
第４の発明は、第１ないし３のいずれかの発明において、前記フレームが複数あることを特徴とする。
第５の発明は、第４の発明において、隣り合うフレームの作業ヘッドが対向して配設されることを特徴とする。
第６の発明は、第１ないし５のいずれかの発明において、前記フレームは、複数の作業ヘッドが配設されることを特徴とする。
第７の発明は、第１ないし６のいずれかの発明において、前記支持体は、第一の方向と異なる第二の方向に移動自在に構成されることを特徴とする。
第８の発明は、第１ないし７のいずれかの発明において、前記作業ヘッドは、ノズルの先端から液材を吐出する液材吐出ヘッドであることを特徴とする。
第９の発明は、第１ないし８のいずれかの発明において、前記作業ヘッドが前記架台の外縁よりも外側に移動した状態で、前記ワークの搬入および／または搬出を行うように制御する制御部をさらに備えることを特徴とする。
第１０の発明は、第１ないし９のいずれかの発明に係る作業装置を覆うカバーであって、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した端部の近傍に開口扉を有するカバーを備えることを特徴とする作業装置である。
第１１の発明は、第１０の発明において、前記開口扉は、前記カバーの内部に作業者が進入可能に構成されることを特徴とする。
第１２の発明は、第１０または１１の発明において、前記カバー内を、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと、前記架台が位置する作業エリアとに区切り、ヘッド通過口を有する内壁を備えることを特徴とする。
第１３の発明は、第１２の発明において、前記作業エリアを前記メンテナンスエリアと比べ陽圧とするファン機構を備えることを特徴とする。
第１４の発明は、テーブルが設けられた架台と、該架台上に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸されたフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された作業ヘッドとを備え、架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置を覆うカバーであって、前記作業ヘッドが作業を行う作業エリアと、前記作業ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンスエリアとを区切り、ヘッド通過口を有する内壁を備えることを特徴とする作業装置用カバーである。
第１５の発明は、第１４の発明において、前記作業エリアを前記メンテナンスエリアと比べ陽圧とするファン機構を備えることを特徴とする。

本発明によれば、作業装置の作業ヘッドのメンテナンスが容易となり、しかも、クリーン性を損なわずにメンテナンスを行うことができる。
また、フレームを可動としたり、作業ヘッドを設ける位置を工夫するなどの制限が無いため、設計の自由度を高めることができる。

実施例１に係る液材塗布装置の斜視図である。 実施例１に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避した状態を説明するための斜視図である。 実施例１に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避させた状態を説明するための正面図である。 実施例１に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避させた状態を説明するための平面図である。 実施例１に係る液材塗布装置を収納したカバーの斜視図である。 実施例１に係るカバーの背面図である。 実施例２に係る液材塗布装置の斜視図である。 実施例２に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避した状態を説明するための斜視図である。 実施例２に係る液材塗布装置において、作業ヘッドを待避した状態を説明するための平面図である。 実施例２に係る液材塗布装置を収納したカバーの斜視図である。 実施例２に係る液材塗布装置において、扉を開放した状態を説明するための斜視図である。 実施例２に係る液材塗布装置を収納したカバーに設けられた内壁の一態様を説明するための図面である。

符号の説明

図面に用いた主な凡例を以下に示す。
１ 架台／２ 支持体／３ 固定フレーム／４ 固定子／５ 可動子／６ 作業ヘッド／７ Ｙモータ／８ Ｙガイドレール（Ｙ方向スライドベース）／９ Ｙスライダー／１０ Ｘモータ／１１ Ｘガイドレール（Ｘ方向スライドベース）／１２ 作業テーブル／２１ 可動フレーム／２２ フレーム用スライドベース／２３ 可動支持体（スライダー）／３０ カバー／３１〜３３ 扉／３４〜３６ 開口部／３７ 非常停止ボタン／３８ 操作パネル／４０ 作業エリア／５０ 内壁（仕切パネル）／５１ ヘッド通過口／６０ メンテナンスエリア

本発明を実施するための最良の形態の作業装置は、架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する複数の作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、前記架台上に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸された複数のフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された作業ヘッドとを備え、前記フレームは、その端部が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、前記作業ヘッドは、前記架台の外縁よりも外側に移動可能であることを特徴とする。

前記作業ヘッドは、構成部品の全部または一部がフレームの内側に配設され、隣り合うフレームの作業ヘッドが対向して配設され、リニアモータや回転モータ等の駆動源により、位置制御することが可能である。
作業ヘッドとしては、例えば、エアー圧力によって貯留容器に貯留された液材を加圧してノズル先端から吐出された液材をワークに付着させて塗布する吐出装置、貯留容器に貯留された液材の上方に貯留容器の内壁面に密着して摺動するプランジャーを急速に移動停止させることにより、ノズル先端から液材を離間させた後にワーク表面に塗布する飛滴装置、ワーク表面に点状または線状に描画された描画形状の少なくとも高さ、幅、断面積、欠損のいずれかを検査する検査装置などである。同種の装置を複数配設してもよいし、異なる種類の装置を組み合わせて配設してしてもよい。

前記支持体は、第一の方向と異なる第二の方向に移動自在に構成され、一以上のフレームを第二の方向に移動自在とする。
作業装置に高いクリーン度が要求される場合には、作業装置をカバーで覆うのが好ましい。カバーで覆う構成においても、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した端部の近傍に開口扉を設けることで、メンテナンス作業を容易に行うことが可能である。
また、フレームが移動しないタイプの作業装置においては、カバーの内部に作業者が進入可能に構成された開口扉を設け、作業性を確保してもよい。

以上の構成を有する本発明の最良の形態の装置は、例えば、液晶パネル製造工程において、液晶漏出を防止するシール材の塗布に用いられる。ガラス基板から複数枚のパネルを作成する、いわゆる多面取り工法においては、一枚のガラス基板から、例えば、４面（２×２）、９面（３×３）、２０面（４×５）等、複数のパネルが作成されるが、ここではパネル単位にシール材による長方形パターンが描画形成される。例えば、４×５のパネルを一枚のガラス基板から作成する場合には、５つの塗布ヘッドを配設し、１行目の５つのパターンを５つの塗布ヘッドで同時に描画し、１行目の塗布が終了した後は、２行目以降の塗布位置に塗布ヘッドを移動し、同様に５つのパターンを５つの塗布ヘッドで同時に描画する。
但し、本発明の技術思想は、上記のような塗布装置に限定されず、いわゆるガントリー型の作業装置であれば適用可能である。

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。

《構造》
本実施例の液材塗布装置は、図１〜図４に示すように、ワークが載置されるテーブル１２を有する架台１と、架台１上に固設された一対の支持体２と、支持体２に支持され、架台１の短手方向（Ｘ方向）を横断する固定フレーム３とを備える。
固定フレーム３の側面には、固定子４が配設されており、固定子４には可動子５を介して複数の作業ヘッド６がＸ方向に移動自在に取り付けられている。作業ヘッド６は、図示しない公知の駆動機構により、Ｚ方向に移動自在に構成されている。

テーブル１２は、Ｘガイドレール１１によりＸ方向に移動自在に構成されている。また、テーブル１２は、Ｘガイドレール１１の下方に配設されたＹスライダー９およびＹガイドレール８によりＹ方向に移動自在に構成されている。なお、テーブル１２に、ワークをθ軸方向に移動させて所定の角度に位置決めするためのθ回転機構を設けてもよい。
Ｘ方向およびＹ方向のガイドレールとしては、リニアモータ用マグネットおよび直動ガイドを備える構成が例示されるが、この構成に限定されず、例えば、スライドベースにモータとモータに連動して回転するボールねじを備え、スライダーにボールねじの回転に連動して直進移動するナットを備える構成としてもよい。

本実施例の液材塗布装置は、図５および図６に示すように、略Ｌ字形状のカバー３０内に配置される。
カバー３０は、ゴミやほこりがワークに付着するのを防ぐための閉空間であり、背面にはワークを搬入出する開口部３３が、正面には装置本体をメンテナンスするための開口部３４および扉３１ａ、３１ｂ、並びに、作業ヘッド６をメンテナンスするための扉３２が設けられている。また、カバー３０の正面のパネルには、図示しない主制御部を操作するための操作パネル３８が設けられている。カバー３０を構成する各パネルのうち、一対の取手が設けられているものは開閉することができる。
略Ｌ字形状のカバー３０は、扉３２の対向位置にフレーム３の架台１から延出した部分が位置するよう構成されている。このフレーム３の架台１から延出した部分は、作業ヘッド６のメンテナンス時における作業ヘッド６のメンテナンス位置を構成している。すなわち、作業ヘッド６のメンテナンス時には、図３および図４に示すように、作業ヘッド６が固定フレーム３の架台１から延出した部分に位置し、この際に作業ヘッド６が扉３２と対向するようにカバー３０は構成されている。
なお、一つのフレーム３に搭載される作業ヘッド６の数は適宜増減することができるが、全ての作業ヘッド６が架台１の外縁より外側に移動できるように構成することが好ましい。

図４および図５において、一点鎖線で示したのは、作業エリア４０とメンテナンスエリア５０を区切る内壁５０である。内壁５０には、作業ヘッド６が往復するためのヘッド通過口５１が設けられている。内壁５０およびヘッド通過口５１は、本実施例の態様に限定されないが、少なくとも作業ヘッド６が作業エリア４０とメンテナンスエリア５０を移動するのを妨げないような態様で設置する。この内壁５０で、フレーム３の架台１から延出した部分と、架台１とを区切ることにより、メンテナンスエリア６０で発生する粉塵等のパーティクルが、作業エリア４０に進入することを最小限にすることができ、これにより品質劣化の問題を解消し、歩留まりを向上させることができる。

本実施例では、作業エリア４０にファン機構を設け、上部から下部に向かってクリーンなエアーを常流させている。これによりほこり等の不要物がカバー３０の下部から外部に排出されるため、カバー３０内に不要物が残留せず、常にクリーンな環境下で塗布作業が行うことができる。この際、空気清浄機を併用すること、或いは、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）等のフィルターを介して外気を作業エリアに取り込むことが好ましい。
また、作業エリア４０をメンテナンスエリア６０と比べ陽圧とすることにより、作業エリア４０からメンテナンスエリア６０へ向かうエアの流れを形成することができる。この流れが、メンテナンスエリア６０で発生したパーティクルが作業エリア４０に進入することを防ぐ役割をする。

また、カバー３０の好ましい態様としては、ＳＵＳやアルミフレーム等による金属枠に金属製の壁または透過性の樹脂等の壁で構成されるものが例示される。樹脂製の壁は、クリア（無色透明）、黄、濃茶、赤、ダークグレー、スモーク（灰色）の場合など様々であるが、使用する液材の用途（例えば、紫外線を嫌う場合等）に応じて最適なものを選択して利用することができる。図６中、斜線部分は透明である。

カバー３０の下方部には、図示しない通信用ソケットが設けられており、ネットワークケーブルを介してＰＣ等の外部端末と接続することにより、装置の遠隔操作を可能としている。操作パネル３８より操作を行うこともできるが、正面または側面のパネルを開いてのメンテナンス作業中に、操作パネル３８を操作することは困難であるため、遠隔操作が効果的である。携帯型の専用端末をネットワーク接続して遠隔操作を行ってもよいし、無線ＬＡＮ等の通信装置を搭載して無線により遠隔操作できるようにしてもよい。

≪作動≫
ロボット等の自動搬送機により、背面の開口部３３からワークが搬入され、テーブル１２上にワークが載置される。この際、作業ヘッド６は、図３および図４に示す待避位置（メンテナンス位置と同じ位置）に移動しており、ワークの搬入を妨げないようになっている。
テーブル１２上へのワーク載置が完了すると、図示しない主制御部がＸ方向スライドベース１１およびＹ方向スライドベース８を可動してテーブルを移動し、可動子５を可動して作業ヘッド６をワークと対向する所望位置に配置し、作業ヘッド６が備えるＺ方向移動機構により作業ヘッド６を下降させ、ワークへの液材塗布を行う。この際、Ｘ方向スライドベース１１およびＹ方向スライドベース８によりワークと作業ヘッド６を相対移動させて所望する形状に描画することができる。
塗布作業終了後、ワークの搬出を妨げないように作業ヘッド６は再び待避位置に移動する。作業ヘッド６の移動完了後、開口部３３より自動搬送機がワークを搬出する。

作業ヘッド６に対するメンテナンス作業は、作業ヘッド６をメンテナンス位置に移動し、カバー３０の扉３２を開放して行う。図３および図４に示すように、メンテナンス位置では、作業ヘッド６が固定フレーム３の端部に寄っており、扉３２により構成された開口部から作業ヘッド６が容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
メンテナンス用の扉の位置および枚数は適宜変更することが可能である。例えば、固定フレーム３の背面側にも作業ヘッド６を移動自在に取り付ける構成の場合、カバー３０の背面側に扉３２と対向する扉を設ける構成とすることができる。

《構造》
本実施例の液材塗布装置は、図７〜図９に示すように、架台１の短手方向（Ｘ方向）を横断する固定フレーム３と、同じく架台１のＸ方向を横断する可動フレーム２１を備える。
固定フレーム３は、実施例１と同様に、架台１上に固設された一対の支持体２に支持される。可動フレーム２１は、フレーム用スライドベース２２に配設された一対の可動支持体２３に支持され、Ｙ方向に移動自在に構成されている。なお、固定フレーム３を可動に構成してもよい。
固定フレーム３および可動フレーム２１は、各フレームの内側面に設けられた固定子４が配設されており、固定子４には可動子５を介して複数の作業ヘッド６がＸ方向に移動自在に取り付けられている。作業ヘッド６は、実施例１と同様の構成であり、Ｚ方向に移動自在に構成されている。
テーブル１２は、Ｙガイドレール８によりＹ方向に移動自在に構成されており、作業ヘッド６とテーブル１２を相対移動させることができる。
内壁５０は、少なくとも固定フレーム３の作業ヘッド６および可動フレーム２１の作業ヘッド６が作業エリア４０とメンテナンスエリア６０を移動するのを妨げないような態様で設置する。ここで、上記の作業ヘッド６が作業エリア４０からメンテナンスエリア６０へ移動する時間帯は、可動フレーム２１がメンテナンス時の待機位置に位置する時間である。したがって、可動フレーム２１がメンテナンス時の待機位置に位置しない時間帯には、作業エリア４０とメンテナンスエリア６０との空間的なつながりを最小限とすることがパーティクルの侵入防止等の観点からは好ましい。例えば、図１２に示すように、メンテナンス時の待機位置のヘッド６の位置に対応する箇所のみ、ヘッド６が通過するための空間を設けることが開示される。なお、本発明の技術思想にはヘッド通過口５１の形状が動的に変化する態様も含まれる。

本実施例の液材塗布装置は、図１０および図１１に示すように、方形状のカバー３０内に配置される（なお、内壁５０は図示省略）。
カバー３０は、背面にワークを搬入出する開口部３３が、正面には開口部３５およびそれを構成する扉３３ａ、３３ｂが設けられている。また、実施例と同様に、非常停止ボタン３７と図示しない主制御部を操作するための操作パネル３８が設けられており、カバー３０を構成する各パネルのうち、一対の取手が設けられているものは開閉することができる。
本実施例のカバー３０は、正面に足下まで伸びる縦長の長方形の扉３３ａ、３３ｂが設けられており、これらを観音開きすることで、作業者が中に入ることもできる。また、扉３３ａ、３３ｂの近傍には、固定フレーム３および可動フレーム２１の架台１から延出した部分が位置するよう構成されている。各フレームの架台１から延出した部分は、内壁５０に形成されたヘッド通過口５１から扉３３ａ、３３ｂ側へ延出されており、内壁５０を取り外さなくとも、メンテナンスを行うことができる。

≪作動≫
ロボット等の自動搬送機により、背面の開口部３３からワークが搬入され、テーブル１２上にワークが載置される。この際、図９に示すように、可動フレーム２１は架台１の外縁近傍に移動し、作業ヘッド６は待避位置（メンテナンス位置と同じ位置）に移動することで、ワークの搬入を妨げないようになっている。
テーブル１２上へのワーク載置が完了すると、図示しない主制御部が、フレーム用スライドベース２２、可動子５およびＹ方向スライドベース８を可動して、作業ヘッド６をワークと対向する所望位置に配置し、作業ヘッド６が備えるＺ方向移動機構により作業ヘッド６を下降させ、ワークへの液材塗布を行う。この際、可動子５およびＹ方向スライドベース８によりワークと作業ヘッド６を相対移動させて所望する形状に描画することができる。
塗布作業終了後、ワークの搬出を妨げないように可動フレーム２１および作業ヘッド６は再び待避位置に移動する。可動フレーム２１および作業ヘッド６の移動完了後、開口部３３より自動搬送機がワークを搬出する。

作業ヘッド６に対するメンテナンス作業は、作業ヘッド６をメンテナンス位置に移動し、カバー３０の扉３３ａ、３３ｂを開放して行う。図９に示すように、メンテナンス位置では、作業ヘッド６が固定フレーム３および可動フレーム２１の端部に寄っており、扉３３ａ、３３ｂにより構成された開口部３５から作業ヘッド６が容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
本実施例においても、メンテナンス用の扉の位置および枚数は適宜変更することが可能である。例えば、固定フレーム３および／または可動フレーム２１の背面側に作業ヘッド６を移動自在に取り付ける構成の場合、カバー３０の側面（すなわち、扉３３ａ、３３ｂの設けられた面と隣接する面）にメンテナンス用の扉を設ける構成とすることができる。この構成においては、架台１よりも扉３３ａ、３３ｂに近い側にメンテナンス用の扉を設けると、メンテナンス時の作業位置を集中できるので好ましい。

本発明は、液材吐出ヘッド以外の作業ヘッドを搭載した作業装置にも適用することができる。例えば、ワーク上に塗布されたＵＶ接着剤を硬化させるためのＵＶ光源を有するＵＶ照射ヘッド、または、ワーク表面の汚れ、傷若しくは液材により描画された塗布線の良否を判定・検査するためのセンサ類若しくはＣＣＤ等のカメラを具備した検査ヘッドを搭載した作業装置が挙げられる。
また、本発明は、ドリル等の刃具を有する加工装置を具備した加工ヘッドを搭載した作業装置にも適用可能である。
また、本発明は、ワーク上に形成されたシール材による長方形パターン内に液晶を滴下する作業装置にも適用可能である。

【００１０】
延出した部分が位置するよう構成されている。このフレーム３の架台１から延出した部分は、作業ヘッド６のメンテナンス時における作業ヘッド６のメンテナンス位置を構成している。すなわち、作業ヘッド６のメンテナンス時には、図３および図４に示すように、作業ヘッド６が固定フレーム３の架台１から延出した部分に位置し、この際に作業ヘッド６が扉３２と対向するようにカバー３０は構成されている。
なお、一つのフレーム３に搭載される作業ヘッド６の数は適宜増減することができるが、全ての作業ヘッド６が架台１の外縁より外側に移動できるように構成することが好ましい。
［００２４］
図４および図６において、一点鎖線で示したのは、作業エリア４０とメンテナンスエリア６０を区切る内壁５０である。内壁６０には、作業ヘッド６が往復するためのヘッド通過口５１が設けられている。内壁５０およびヘッド通過口５１は、本実施例の態様に限定されないが、少なくとも作業ヘッド６が作業エリア４０とメンテナンスエリア６０を移動するのを妨げないような態様で設置する。この内壁５０で、フレーム３の架台１から延出した部分と、架台１とを区切ることにより、メンテナンスエリア６０で発生する粉麈等のパーティクルが、作業エリア４０に進入することを最小限にすることができ、これにより品質劣化の問題を解消し、歩留まりを向上させることができる。
［００２５］
本実施例では、作業エリア４０にファン機構を設け、上部から下部に向かってクリーンなエアーを常流させている。これによりほこり等の不要物がカバー３０の下部から外部に排出されるため、カバー３０内に不要物が残留せず、常にクリーンな環境下で塗布作業が行うことができる。この際、空気清浄機を併用すること、或いは、ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）等のフィルターを介して外気を作業エリアに取り込むことが好ましい。
また、作業エリア４０をメンテナンスエリア６０と比べ陽圧とすることにより、作業エリア４０からメンテナンスエリア６０へ向かうエアの流れを形

Claims (15)

1. 架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置であって、
   前記架台上に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸されたフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された作業ヘッドとを備え、
   前記フレームは、その端部が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、
   前記作業ヘッドは、前記架台の外縁よりも外側に移動可能であることを特徴とする作業装置。
2. 前記フレームは、一端が前記架台の外縁よりも外側に延出して構成され、他端が前記架台の外縁からはみ出さないように構成されることを特徴とする請求項１の作業装置。
3. 前記作業ヘッドは、構成部品の全部または一部が、フレームの側面であって前記架台の中央側に取り付けられることを特徴とする請求項１または２の作業装置。
4. 前記フレームが複数あることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの作業装置。
5. 隣り合うフレームの作業ヘッドが対向して配設されることを特徴とする請求項４の作業装置。
6. 前記フレームは、複数の作業ヘッドが配設されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかの作業装置。
7. 前記支持体は、第一の方向と異なる第二の方向に移動自在に構成されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかの作業装置。
8. 前記作業ヘッドは、ノズルの先端から液材を吐出する液材吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかの作業装置。
9. 前記作業ヘッドが前記架台の外縁よりも外側に移動した状態で、前記ワークの搬入および／または搬出を行うように制御する制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかの作業装置。
10. 請求項１ないし９のいずれかの作業装置を覆うカバーであって、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した端部の近傍に開口扉を有するカバーを備えることを特徴とする作業装置。
11. 前記開口扉は、前記カバーの内部に作業者が進入可能に構成されることを特徴とする請求項１０の作業装置。
12. 前記カバー内を、前記フレームの前記架台の外縁よりも外側に延出した部分が位置するメンテナンスエリアと、前記架台が位置する作業エリアとに区切り、ヘッド通過口を有する内壁を備えることを特徴とする請求項１０または１１の作業装置。
13. 前記作業エリアを前記メンテナンスエリアと比べ陽圧とするファン機構を備えることを特徴とする請求項１２の作業装置。
14. テーブルが設けられた架台と、該架台上に配設された複数の支持体と、該支持体に支持され、第一の方向に延伸されたフレームと、該フレームに第一の方向に移動自在に配設された作業ヘッドとを備え、架台に設けられたテーブルと該テーブルに対向する作業ヘッドとを相対移動させて、テーブル上に載置されたワークに所望の作業をする作業装置を覆うカバーであって、
    前記作業ヘッドが作業を行う作業エリアと、前記作業ヘッドのメンテナンスを行うメンテナンスエリアとを区切り、ヘッド通過口を有する内壁を備えることを特徴とする作業装置用カバー。
15. 前記作業エリアを前記メンテナンスエリアと比べ陽圧とするファン機構を備えることを特徴とする請求項１４の作業装置用カバー。