JP2011056424A - ペースト塗布装置 - Google Patents
ペースト塗布装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011056424A JP2011056424A JP2009209840A JP2009209840A JP2011056424A JP 2011056424 A JP2011056424 A JP 2011056424A JP 2009209840 A JP2009209840 A JP 2009209840A JP 2009209840 A JP2009209840 A JP 2009209840A JP 2011056424 A JP2011056424 A JP 2011056424A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- column
- paste
- substrate stage
- gantry
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】 各塗布ヘッド20が基板ステージ12に対してX軸方向とY軸方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッド20のノズルから吐出されるペーストが基板ステージ12の上の基板1に塗布されるペースト塗布装置において、全ての塗布ヘッド20がX軸方向に関して基板ステージ12の外側にまで移動し得るようにコラム13のガイドレール18が延在されてなるもの。
【選択図】 図3
Description
(a)架台11の上に設けたコラム13に複数の塗布ヘッド20を有するペースト塗布装置10において、全ての塗布ヘッド20がX軸方向に関して基板ステージ12の外側のメンテナンス範囲にまで移動し得るようにコラム13のガイドレール18が延在されてなるものにした。従って、各塗布ヘッド20の新旧容器22を交換等するため、それらの塗布ヘッド20をコラム13の横架部15に設けたガイドレール18に沿う移動限にまで移動すると、全ての塗布ヘッド20がコラム13のガイドレール18に沿って基板ステージ12の上の基板1に対する塗布動作範囲を超え、基板ステージ12の外側のメンテナンス範囲にまで移動して新旧容器22の交換等のメンテナンスを施され得るものになる。このため、架台11まわりにおけるコラム13の脚部14近くに位置するオペレータにとって、基板ステージ12の外側に位置付けられる全ての塗布ヘッド20に手を及ぼし易くするものになり、メンテナンス作業性を向上できる。
10 ペースト塗布装置
11 架台
12 基板ステージ
13 コラム
14 脚部
15 横架部
15A 横架本体部
15B 突出部
18 ガイドレール
20 塗布ヘッド
22 容器
23 ノズル
Claims (5)
- 架台と、架台の上に設けられる基板ステージと、第1の方向に延びる横架部を備え、架台の上に設けられて基板ステージを第1の方向に跨ぐ門型のコラムと、コラムの横架部に設けられる複数の塗布ヘッドとを有し、
基板ステージとコラムが第1の方向と直交する第2の方向に沿って相対移動可能にされ、複数の塗布ヘッドがコラムの横架部に上記第1の方向に延在するガイドレールを介して移動可能にされ、
各塗布ヘッドが基板ステージに対して第1の方向と第2の方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッドのノズルから吐出されるペーストが基板ステージの上の基板に塗布されるペースト塗布装置において、
全ての塗布ヘッドが第1の方向に関して基板ステージの外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなることを特徴とするペースト塗布装置。 - 前記塗布ヘッドのうちの少なくとも1つが、第1の方向に関して架台の外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなる請求項1に記載のペースト塗布装置。
- 前記コラムの横架部が架台に立脚する脚部よりも第1の方向の外側に突き出る突出部を付帯して備え、コラムのガイドレールが上記突出部まで延在されてなる請求項1又は2に記載のペースト塗布装置。
- 前記コラムの横架部が第1の方向の両外側に前記突出部を付帯して備える請求項3に記載のペースト塗布装置。
- 前記架台の上に2個のコラムが並設されてなる請求項1〜4のいずれかに記載のペースト塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009209840A JP2011056424A (ja) | 2009-09-10 | 2009-09-10 | ペースト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009209840A JP2011056424A (ja) | 2009-09-10 | 2009-09-10 | ペースト塗布装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014103842A Division JP2014195805A (ja) | 2014-05-19 | 2014-05-19 | ペースト塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011056424A true JP2011056424A (ja) | 2011-03-24 |
JP2011056424A5 JP2011056424A5 (ja) | 2012-10-25 |
Family
ID=43944707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009209840A Pending JP2011056424A (ja) | 2009-09-10 | 2009-09-10 | ペースト塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011056424A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007038141A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Toppan Printing Co Ltd | 塗工方法と塗工装置 |
JP2008080204A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置 |
JP2008182002A (ja) * | 2007-01-24 | 2008-08-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法 |
WO2008132833A1 (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Musashi Engineering, Inc. | 作業装置および作業装置用カバー |
JP2009136773A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Seiko Epson Corp | パターン形成装置 |
-
2009
- 2009-09-10 JP JP2009209840A patent/JP2011056424A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007038141A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Toppan Printing Co Ltd | 塗工方法と塗工装置 |
JP2008080204A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置 |
JP2008182002A (ja) * | 2007-01-24 | 2008-08-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法 |
WO2008132833A1 (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Musashi Engineering, Inc. | 作業装置および作業装置用カバー |
JP2009136773A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Seiko Epson Corp | パターン形成装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4315295B2 (ja) | ペースト塗布装置 | |
US8176870B2 (en) | Liquid material application device | |
TWI580479B (zh) | A nozzle rotating mechanism and a coating device provided with the same | |
JP4911761B2 (ja) | 変形可能なガントリー型作業装置 | |
JP2014092397A (ja) | 位置補正機能を有する作業装置および作業方法 | |
TWI465793B (zh) | Substrate processing device and substrate carrying method | |
KR101505891B1 (ko) | 작업 장치 및 작업 장치용 커버 | |
JP2014195805A (ja) | ペースト塗布装置 | |
CN101614960B (zh) | 具备喷嘴唇口清洗装置的狭缝式涂敷装置 | |
JP2011056424A (ja) | ペースト塗布装置 | |
CN102211068A (zh) | 涂敷装置 | |
US20140345120A1 (en) | Printed board working apparatus | |
KR101723376B1 (ko) | 유체토출장치의 헤드유닛 | |
JP2013017985A (ja) | 液体塗布装置 | |
KR101496118B1 (ko) | 오일 분사 장치 및 프레스 가공 장치 | |
KR20110042736A (ko) | 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법 | |
JP2009208852A (ja) | ペースト塗布装置 | |
JP2010075877A (ja) | ペースト塗布装置 | |
CN209559782U (zh) | 一种检测台 | |
CN214717935U (zh) | 一种容积式螺杆泵点胶机 | |
JP2013159540A (ja) | スクライブ装置 | |
CN204843412U (zh) | 一种挡料装置 | |
JP5733745B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP2014192289A (ja) | スリットノズル、基板処理装置およびスリットノズルの製造方法 | |
KR20130136901A (ko) | 전자 부품 실장 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120910 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140114 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140218 |