TWI580479B - A nozzle rotating mechanism and a coating device provided with the same - Google Patents

A nozzle rotating mechanism and a coating device provided with the same Download PDF

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TWI580479B
TWI580479B TW099113015A TW99113015A TWI580479B TW I580479 B TWI580479 B TW I580479B TW 099113015 A TW099113015 A TW 099113015A TW 99113015 A TW99113015 A TW 99113015A TW I580479 B TWI580479 B TW I580479B
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Kazumasa Ikushima
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Musashi Engineering Inc
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Description

噴嘴旋轉機構及具備該機構之塗佈裝置
本發明係關於一種噴嘴旋轉機構及具備該機構之塗佈裝置，例如，在馬達中空部中嵌設內設有流路的噴嘴單元，並利用馬達的旋轉而使噴嘴單元及在其上所裝設的噴嘴進行旋轉之噴嘴旋轉機構、及具備該機構之塗佈裝置。
當利用朝向非屬鉛直朝下設置的吐出口，對塗佈對象物的外側面或空洞內面進行塗佈時，或者當對含曲線部分的軌跡依保持一定截面形狀的方式進行塗佈時，設置能改變吐出口方向的旋轉機構而施行塗佈。
例如，專利文獻1有揭示：對箱型形狀零件的外側面與內面等進行塗佈的塗佈裝置，係由：可將箱型形狀零件固定的固定部；使將該固定部朝水平與垂直方向移動的移動部；用以吐出塗佈流動物、且呈「ㄑ」字形的注射針及注射器；可旋轉地內插保持注射器的保持部；經由管可對注射器進行加壓的分注器；以及控制該等動作之控制部；所構成的塗佈裝置。
再者，例如，專利文獻2有揭示：一邊使工件的被塗佈面與噴嘴進行相對移動，一邊從噴嘴的前端吐出口，將材料沿被塗佈面上的既定軌跡進行塗佈之材料塗佈裝置，其中，將前端部具有前端吐出口(其係設置於從後端部橫切軌跡方向的寬度變寬之輪廓)的噴嘴，依軌跡幾乎遍及全域且前端部較後端部先行的方式進行旋轉控制之塗佈裝置。
[先行技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開平4-100558號公報
專利文獻2：日本專利特開2003-211045號公報
然而，專利文獻1所揭示裝置的噴嘴旋轉機構，係在注射器的保持部另行設置馬達，形成利用皮帶傳動馬達旋轉係複雜且龐大物。況且，因為皮帶較容易滑動，因而吐出口在旋轉方向位置的正確定位較為困難，在依每個注射器進行旋轉的構造上，對馬達所造成的負荷較大。除此之外，若為改變吐出口的方向而對每個注射器進行旋轉，則注射器所連接的管會出現扭曲而妨礙順暢的旋轉動作，且因重複承受扭曲動作，亦會有導致管及早出現劣化的問題。
另一方面，專利文獻2所揭示裝置，係使對前端吐出口形狀下工夫且設置在垂直方向的噴嘴，利用旋轉機構以注射器軸線為中心進行旋轉，且使注射器利用移動機構對工件朝XYZ軸方向進行相對移動。但是，在此種構造中，在含有馬達部的旋轉機構下方安裝由噴嘴與材料收容本體所構成的注射器，因而在進行材料補充時，若未將噴嘴與材料收容本體統籌地拆卸，則在材料補充後會有噴嘴前端位置發生偏移的情形。
再者，若為改變吐出口的方向而旋轉每個注射器，則管便會捲繞於注射器上，因而判斷每次進行工件更換時均必須使注射器進行逆向旋轉。
再者，因為馬達部遠離噴嘴前端，因而旋轉軸線容易偏移，導致噴嘴前端的正確定位較為困難。
緣是，本發明目的在於提供一種依小型且簡易構造，便可進行噴嘴前端在旋轉方向位置的正確定位之噴嘴旋轉機構、及具備該機構之塗佈裝置。
發明者係根據為實現不須經由皮帶等動力傳動手段，僅使含噴嘴的最小極限零件之噴嘴單元進行轉動的機構，且將噴嘴單元直接可裝卸地裝設於轉動裝置之基本思想，而完成本發明的創作。即，第1發明的噴嘴旋轉機構，係具備有：具有用以吐出液體材料之吐出口的噴嘴、具有與噴嘴及液體材料供應源相連通之流路的噴嘴單元、基座構件、以及配設於基座構件且使噴嘴單元進行旋轉的轉動裝置者，其特徵在於：將上述噴嘴依噴嘴的吐出口中心線(207)與噴嘴單元的旋轉軸中心線(306)構成角度的方式，配設於噴嘴單元，並將上述噴嘴單元可裝卸地裝設於轉動裝置。
第2發明係就第1發明中，上述轉動裝置係構成含有於軸方向貫通旋轉軸中心線(306)延伸，且具有噴嘴單元所嵌設之中空部的馬達。
第3發明係就第1或2發明中，上述噴嘴單元所具有的流路係具備有在與液體材料供應源相連通側的端部，且與旋轉軸中心線(306)呈同軸設置的供應側開口部(210)。
第4發明係就第3發明中，具備有：連接於上述供應側開口部的連接管(501)；以及與上述噴嘴單元分開而配設於基座構件，並將連接管予以固定的連接管固定構件(502)。
第5發明係就第4發明中，上述連接管(501)係實質呈直線狀，且具備有為直接連結液體材料供應源用的突出部(503)。
第6發明係就第1至5項中任一項發明中，具備有旋轉位置檢測機構，該旋轉位置檢測機構係由：在上述噴嘴單元所配設的檢測用構件；以及在上述基座構件所設置的感測器部所構成。
第7發明係就第6發明中，上述檢測用構件係配設成以旋轉軸中心線(306)為界線，在與上述噴嘴呈相對向位置處。
第8發明係就第1至7項中任一項發明中，將上述噴嘴配設成使上述吐出口位於噴嘴單元外周內側下方。
第9發明的塗佈裝置，係具備有：第1至8項中任一項發明的噴嘴旋轉機構、使噴嘴旋轉機構與塗佈對象物進行相對移動的相對移動機構、液體材料供應源、及控制裝置。
根據本發明，因為僅噴嘴單元進行旋轉，因而例如管連接於注射器的情況，管的部分也不會旋轉，因而不會發生管的扭曲與捲繞情形，故不受旋轉動作方法的限制，且亦不會使管劣化。
再者，因為僅使輕量噴嘴單元進行旋轉，因而對馬達等驅動系統的負荷較少，藉由將驅動系統與噴嘴單元呈直線性配置，便可達噴頭部的小型化、輕量化。
再者，因為驅動系統係直接將在其上所裝設的噴嘴單元進行旋轉，因而不會有因皮帶的滑動等而造成的位置偏移情形，可進行吐出口在旋轉方向位置的正確定位，且因為在途中並不需要介設動力傳動機構，因而能源效率亦佳。
再者，因為可在未拆卸噴嘴的情況下，進行液體材料供應源的安裝與拆卸，因而在材料補充時不會發生噴嘴位置偏移情形。
再者，藉由設置用以檢測噴嘴單元之基準位置用的旋轉位置檢測機構，噴嘴單元的基準位置便可正確地決定，因而可精度佳地執行吐出口的旋轉方向定位，僅變更塗佈程式，便可輕易地因應塗佈圖案或塗佈對象物種類的變更。
以下，就實施本發明的形態，以注射器為直接連結形式的噴嘴旋轉機構例進行說明。
[構造]
圖1表示本發明的噴嘴旋轉機構101之概略立體示意圖。又，正視圖係如圖2所示，側視圖係如圖3所示，底視圖係如圖4所示，沿圖2中A-A線切剖時的剖視圖係如圖5所示。參照該等圖進行說明。
本發明的噴嘴旋轉機構101係具備有：噴嘴202、噴嘴單元201、馬達301、液體材料供應源401、連接管501、及旋轉位置檢測機構601。該噴嘴202係將液體材料901予以吐出。該噴嘴單元201係裝設有噴嘴202，且內部設有流路(203、204)。該馬達301係使噴嘴單元201進行旋轉。該液體材料供應源401係儲存液體材料901，並利用來自加壓源的壓力，將液體材料901供應給噴嘴單元201。該連接管501係將在噴嘴單元201設置噴嘴202側的背後側之流路203、與液體材料供應源401相連通。該旋轉位置檢測機構601係用以檢測噴嘴單元201在旋轉方向808的基準位置。
噴嘴單元201係內設有流路(203、204)，該流路(203、204)係一端連通於將液體材料901吐出的噴嘴202，另一端則連通於與液體材料供應源401相連接的連接管501。該流路係由：連通於連接管501的第一流路203、及連通於噴嘴202的第二流路204等二個部分所構成。在第一流路203與連接管501間的連接部分配設有密封構件208，俾防止液體材料901從連接管501側漏出。在噴嘴單元201中於第二流路204側存在有噴嘴安裝部209，經由噴嘴安裝部209，使第二流路204與噴嘴202的吐出口相連通。
噴嘴202係依包括吐出口的噴嘴中心線207、與旋轉軸中心線306間構成角度(非屬同心)的方式，配設於噴嘴單元201，俾形成使吐出口以旋轉中心線306為中心自動地描繪圓的方式旋動。
馬達301係具有貫穿旋轉部303中心並延伸的中空部302。該旋轉部303除形成中空部302開口的二面之外，其餘均由形成略長方體形狀的箱體304所包圍。藉由將該箱體304固定，而固定馬達301。以下，將該馬達301稱「中空軸馬達」。
液體材料供應源401在本實施形態中係由：用以儲存液體材料901的容器(注射器)402、及用以連接於其未圖示的加壓源所構成。利用來自加壓源的壓力，液體材料901便從注射器402通過連接管501再流入流路(203、204)，然後從噴嘴202吐出。液體材料供應源401並不僅侷限於如本實施形態的注射器402，亦可為其他的構造。例如，亦可從設置於遠離噴嘴旋轉機構101的位置、且用以儲存液體材料901的槽中，將液體輸送管連接於連接管501，再利用來自加壓源的壓力進行液體材料901的供應。
連接管501係利用將液體材料供應源401與噴嘴單元201相連通的管狀構件，依不會隨中空軸馬達301的旋轉而進行旋轉的方式，利用連接管固定構件502予以固定。其一端係插入至噴嘴單元201配設密封構件208之處，另一端係構成依從連接管固定構件502上面突出的方式延伸的突出部503。突出部503係形成吻合液體材料供應源401的連接口403形狀。
旋轉檢測機構601係由：在底板701所設置的感測器部、及在噴嘴單元201所設置的檢測用構件所構成。本實施形態中，感測器部係由光感測器602構成，檢測用構件係由遮光板603構成，但當然並不僅侷限於此種組合。遮光板603係垂直方向截面呈L字形的板狀構件。遮光板603係安裝成以夾住馬達旋轉軸中心線306而與噴嘴202呈對向，且遮光板603的伸出部604依從噴嘴單元201側面朝外側呈略水平方向伸出的狀態。該伸出部604係延伸至可遮住光感測器602的光軸位置。光感測器602呈略「」字形，並由凹部構成檢測部606。將該凹部安裝成可通過伸出部604，且該等不會發生碰撞的方向與高度處。
該等各構成零件係依如下述進行結合，而構成噴嘴機構101。
噴嘴單元201係內設有第一流路203的部分嵌設於中空軸馬達301的中空部分302，並利用未圖示螺絲等鎖緊構件，裝卸自如地安裝於中空部分302中。在該嵌設的部分中，噴嘴單元201內的第一流路中心線205與中空軸馬達的旋轉軸中心線306呈一致，即使噴嘴單元201進行旋轉，但與連接管501相連通的第一流路203之供應側開口部210位置仍不會改變。所以，可將呈固定且不會旋轉的直線狀連接管501插入第一流路203，甚至可將噴嘴單元201、中空軸馬達301及注射器402呈直線性配置。
噴嘴202的方向並非垂直朝下，而是相對於馬達旋轉軸中心線306具角度地安裝。配合該角度，噴嘴單元201內的第二流路204係相對於馬達旋轉軸中心線306呈傾斜。使流路傾斜而改變每個噴嘴202方向的方法，並非特別製作噴嘴自體彎曲呈例如「ㄑ」字形，而是可直接使用一般塗佈作業所使用的噴嘴，就從零件互換性層面而言係屬有利。且，僅利用噴嘴202的安裝便可決定噴嘴前端位置，因而依如上述可較噴嘴自體呈彎曲者更簡單地執行定位。
再者，噴嘴202的安裝角度、與流路204的傾斜或撓曲，係可依照塗佈對象物814的形狀、與所需的塗佈狀態而任意變更。此時，僅藉由變更噴嘴單元201便可簡單地因應。此處，噴嘴202在高度方向的安裝位置，係為能在旋轉時不會干擾檢測機構601，最好位於較檢測機構601的安裝位置更靠下方。依此的話，噴嘴單元201便可進行360度以上的旋轉。當安裝有噴嘴202之際，若構成吐出口位於噴嘴單元201的外周內側下方，相較於吐出口位於噴嘴單元外緣外側下方的情況下，可縮短吐出口的移動距離。
嵌設有上述噴嘴單元201的中空軸馬達301，藉由將用以包圍旋轉部303的箱體304，利用馬達固定構件305進行固定，便可固設於底板701。所以，藉由中空軸馬達301的旋轉部303進行旋轉，僅使噴嘴單元201與在其上所裝設的噴嘴202進行旋轉。
連接管501其前端一部分插設於在經固設的中空軸馬達301所嵌設之噴嘴單元201之第一流路203。然後，為使不會隨中空軸馬達301的旋轉而進行旋轉，且為使連接管中心線504與第一流路中心線205位於一直線上而不會偏移，利用在底板701上所固設的連接管固定構件502進行確實地固定。
連接管固定構件502係下方依在與中空軸馬達301及噴嘴單元201之間僅設置些微隙間505。理由係若使發生接觸，主要會因摩擦而對馬達旋轉成為阻力、或發生切削屑等。然後，上方形成突出設置突出部503狀態。該突出部503係形成吻合在連接管501端所設置之液體材料供應源401的連接口403形狀。因為連接管501係呈可拆卸設置，因而可輕易地更換形成各樣形狀連接口的連接管501，能因應各樣形態的液體材料供應源401。
成為液體材料供應源401其中一部分的儲存容器402(注射器)，係連接於上述連接管固定構件502上方的突出部503。然後，在連接部分的上方，由固定於底板701上的容器保持構件404支撐著。在容器保持構件404中安裝有調節螺絲405，藉由該調節螺絲405便可拆卸地將注射器402固定。在注射器402的周圍，因為除容器保持構件404以外並無存在機構與構件，因而當對注射器402進行作業時便沒有遮蔽物，故可順暢地執行作業。又，注射器402係利用連接口403進行裝卸，可輕易地進行僅注射器402的裝卸，因而能在不致對噴嘴位置造成影響情況下，執行液體材料的補充。
在注射器402上安裝著接管815，並從未圖示加壓源接受壓縮氣體的供應。利用來自該加壓源的壓力，液體材料901便從注射器402流入於流路(203、204)中，然後再利用噴嘴202吐出。因為注射器402並不會隨噴嘴單元201的旋轉而一起進行旋轉，因而在注射器402上所安裝的接管815亦不會旋轉，便不會有管發生扭曲、或妨礙旋轉動作的情況。即，因為液體材料供應源401所連接的連接管501並不會旋轉，因而不僅注射器402與接管815，就連液體輸送管等亦可在不會扭曲的情況下進行連接。
遮光板603係從下方觀看噴嘴旋轉機構101時，以夾住中空軸馬達301的旋轉軸中心線306的方式，配置在與吐出液體材料901的噴嘴202呈相對向位置處(參照圖4)。換言之，依遮光板603的伸出部側緣605與用以吐出液體材料901的噴嘴202之中心線207之連結直線，係通過中空軸馬達301的旋轉軸中心306，且排列於一直線上的狀態，配設遮光板603與噴嘴202。然後，光感測器602係在底板701的下端中央處，將其檢測部606朝向配設各構成零件之一側安裝。藉由將遮光板603、光感測器602、及噴嘴202依如上述位置關係配設，因為成為噴嘴202前端的基準位置，位於旋轉位置檢測機構601的正面且中心之單純位置關係，因而當使進行塗佈動作時，便容易想像出塗佈路徑。且，依同樣的理由，直線動作與旋轉動作的控制亦趨於容易。
[動作]
針對本發明噴嘴旋轉機構101的動作，參照圖6進行說明。
當剛切入電源後，或因某種理由而造成旋轉方向808位置出現偏移等情況時，因為為決定噴嘴202前端的旋轉方向808之基準位置，便使依如下述產生動作。另外，有將用以設定該旋轉方向808的基準位置之動作，稱為「噴嘴原點歸位動作」的情況。
首先，使噴嘴單元201從下方觀看時朝逆時針方向旋轉(圖6(a))。旋轉方向808並不僅侷限於此，可依照遮光板603的伸出部側緣605方向而決定。然後，檢測在噴嘴單元201中所安裝的遮光板603之伸出部側緣605，最初遮蔽到光感測器檢測部606光軸的位置，並停止旋轉(圖6(b))。將該位置設為噴嘴202前端的旋轉方向808之基準位置。此處，中空軸馬達301的旋轉速度最好係每次依馬達最小分解能力程度的最慢速度進行旋轉之速度。理由係若旋轉速度過於快速，即便光感測器602有檢測到遮光板603，但卻仍未停止而衝過頭，導致會有以該衝過頭的位置當作旋轉方向808之基準位置的情況。
當欲使旋轉方向808的基準位置設定動作所耗費時間，較短於上述方法的情況，亦可使進行如下述動作。首先，使噴嘴單元201依與塗佈時的速度為同程度速度進行旋轉，檢測在噴嘴單元201中所安裝的遮光板603之伸出部側緣605，最初遮蔽到光感測器檢測部606之光軸的位置，並停止旋轉。但是，依如上述，判斷在停止時會有衝過頭的情況(圖6(c))。在此，從衝過頭的位置依上述最小速度進行反旋轉，並檢測遮光板603不會遮蔽到光感測器602之光的位置，便停止反旋轉(圖6(d))。若將該位置設為旋轉方向808的基準位置便可。藉此，可縮短依最小速度進行旋轉的時間。
經設定旋轉方向808的基準位置之後，便利用馬達控制器812控制中空軸馬達301的旋轉角度，且以依上述方法所決定的基準位置作為原點，控制噴嘴202前端的旋轉方向808位置。因為可正確地設定噴嘴202前端的位置，因而當對不同形狀的塗佈對象物814進行塗佈時、或對相同塗佈對象物814依不同塗佈圖案進行塗佈時，均不需要重新製作教導(teaching)，僅變更執行塗佈動作控制的塗佈程式，便可輕易地因應。
以下，針對本發明的詳細內容利用實施例進行說明，惟本發明並不受任一實施例的限定。
[實施例1] [塗佈裝置]
本實施例的塗佈裝置801，如圖7所示。
在噴嘴旋轉機構101中連接著用以儲存液體材料901的儲存容器402(注射器)，而注射器402則透過接管815承接來自加壓源的壓縮氣體供應。該噴嘴旋轉機構101係設置於Z軸驅動機構804上，形成可朝上下方向(圖中，元件符號807表示的方向)進行移動。Z軸驅動機構804係設置於X軸驅動機構802上，並可朝左右方向(圖中，元件符號805表示的方向)移動。在X軸驅動機構802與Z軸驅動機構804的下方設置Y軸驅動機構803(其係用以設置塗佈對象物814的機台809所設置處)，形成可朝前後方向(圖中，元件符號806表示的方向)進行移動。
控制著上述各機構的控制裝置810係區分為：馬達控制器812、配料控制器811及控制器813。該馬達控制器812係對噴嘴旋轉機構101的中空軸馬達301進行控制。該配料控制器811係控制著對注射器402所施加的壓力、與壓力施加時間等。該控制器813係對其餘的部分進行控制。
上述僅例示塗佈裝置801之一例而已，在屬於能達成同樣目的之構造的前提下，並不僅侷限於上述構造。
[塗佈作業]
利用本實施例之塗佈裝置801施行塗佈作業時的順序係如下示。
首先，將已安裝有噴嘴202及注射器402的噴嘴旋轉機構101，設置於塗佈裝置801的Z軸驅動機構804上。然後，依照如前述的方法執行噴嘴旋轉方向808的基準位置設定。然後，將塗佈對象物814載置於機台809上，並固定。接著，將噴嘴202朝塗佈對象物814上移動，並開始進行塗佈。例如當在塗佈對象物814外側面施行一周塗佈時，為能從上方觀看時相對於塗佈面817保持與噴嘴中心線207呈垂直的姿勢，而執行對應XY方向(805、806)動作的噴嘴旋轉方向808之動作控制(參照圖8)。若塗佈結束，包含機台809與噴嘴旋轉機構101在內的部分便利用各驅動機構(802、803、804)移動至待機位置，便完成對一個塗佈對象物814的塗佈作業。當對複數塗佈對象物持續進行塗佈作業時，便將已塗佈的塗佈對象物更換為未塗佈的塗佈對象物，並重複上述作業。
根據具備以上構造的本實施例塗佈裝置，因為在注射器周圍並沒有存在機構與構件，因而在對注射器進行作業時無遮蔽物，可輕易地執行對注射器的作業。又，藉由利用注射器連接口執行裝卸，可輕易地僅對注射器進行裝卸，因而可在不致對噴嘴位置造成影響的情況下，執行液體材料的補充。
[實施例2]
本實施例的噴嘴單元201係如圖9所示，就噴嘴中心線207與旋轉軸中心線306間形成角度之處、以及在噴嘴單元201中所內設的流路係由二個部分(203、204)構成之處，如同前述噴嘴旋轉機構101。但是，就噴嘴前端的吐出口依位於旋轉軸中心線306上的方式配設噴嘴202，且配合此情形，將內接於噴嘴單元201的流路(第二流路204)形成曲柄狀之處，係不同於實施例1。
實施例1中，噴嘴前端的吐出口係朝向遠離旋轉軸中心線306的方向，但本實施例則如圖9所示，噴嘴前端的吐出口係依位於旋轉軸中心線306上的方式配設。另一方面，若觀看在噴嘴單元201中內設的流路，因為與液體材料供應源401相連接的連接管501係插設於供應側開口部210，因而為使旋轉軸中心線306與流路中心線205呈一致，便與實施例1同樣地形成第一流路203。但是，依如上述，因為噴嘴前端的吐出口係依與旋轉軸中心線306呈一致的狀態配設，因而配合噴嘴202的方向，從第一流路203起至噴嘴202的第二流路204形成曲柄狀。換言之，在從供應側開口部210起至吐出口的流路中具有3處撓曲點。
藉由噴嘴前端的吐出口朝旋轉軸中心線306側撓曲(即，位於噴嘴單元201的外周內側下方)，相較於實施例1，進行較小的迴轉，因而就XY軸的各驅動機構(802、803)可動範圍(行程)較小之裝置而言特別有效。例如，若考慮如同圖8般對塗佈對象物814施行塗佈時，在實施例1中的移動路徑便成為818所示的路徑，但在實施例2中則成為沿塗佈面817的移動路徑，得知移動範圍縮小(移動距離縮短)。
再者，本實施例的裝置中，因為成為定位對象的吐出口係位於旋轉軸中心線306上，因而相較於吐出口未位於旋轉軸中心線上的構造，旋轉方向的定位精度較佳。
另外，上述實施例當然可簡單地因應僅對噴嘴單元201進行更換。
(產業上之可利用性)
藉由取代液體材料供應源，改為將真空源連接於噴嘴旋轉機構的連接管，亦可應用於將從晶圓上所切割的半導體晶片利用噴嘴進行吸附，且從晶圓上移動至基板上的半導體晶片載置位置之裝置。
101‧‧‧噴嘴旋轉機構
201‧‧‧噴嘴單元
202‧‧‧噴嘴
203‧‧‧第一流路
204‧‧‧第二流路
205‧‧‧第一流路的中心線
206‧‧‧第二流路的中心線
207‧‧‧噴嘴中心線
208‧‧‧密封構件
209‧‧‧噴嘴安裝部
210‧‧‧供應側開口部
301‧‧‧馬達(中空軸馬達)
302‧‧‧中空部
303‧‧‧旋轉部
304‧‧‧箱體
305‧‧‧馬達固定構件
306‧‧‧馬達旋轉軸中心線
401‧‧‧液體材料供應源
402‧‧‧儲存容器(注射器)
403‧‧‧連接口
404‧‧‧容器保持構件
405‧‧‧調節螺絲
501‧‧‧連接管
502‧‧‧連接管固定構件
503‧‧‧突出部
504‧‧‧連接管中心線
505‧‧‧間隙
601‧‧‧旋轉位置檢測機構
602‧‧‧光感測器
603‧‧‧遮光板
604‧‧‧伸出部
605‧‧‧伸出部側緣
606‧‧‧檢測部
701‧‧‧基座構件(底板)
801‧‧‧塗佈裝置
802‧‧‧X軸驅動機構
803‧‧‧Y軸驅動機構
804‧‧‧Z軸驅動機構
805‧‧‧X軸驅動方向
806‧‧‧Y軸驅動方向
807‧‧‧Z軸驅動方向
808‧‧‧噴嘴旋轉方向
809‧‧‧機台
810‧‧‧控制裝置
811‧‧‧配料控制器
812‧‧‧馬達控制器
813‧‧‧其他的控制器
814‧‧‧塗佈對象物
815‧‧‧接管
816‧‧‧來自加壓源的壓縮氣體供應
817‧‧‧塗佈面
818‧‧‧塗佈方向
901‧‧‧液體材料
圖1為本發明的噴嘴旋轉機構之概略立體示意圖。
圖2為本發明的噴嘴旋轉機構之正視圖。
圖3為本發明的噴嘴旋轉機構之側視圖。
圖4為本發明的噴嘴旋轉機構之底視圖。
圖5為本發明的噴嘴旋轉機構之剖視圖(圖2的A-A剖視圖)。
圖6為說明本發明噴嘴旋轉機構之動作的說明圖，(a)為表示使噴嘴單元持續逆時針旋轉之狀態圖；(b)為表示感測器檢測後，停止噴嘴單元旋轉之狀態圖；(c)為表示自衝過頭的位置，持續使噴嘴單元反旋轉之狀態圖；(d)為感測器檢測後，停止噴嘴單元旋轉之狀態圖。
圖7為實施例1的塗佈裝置之概略立體示意圖。
圖8為說明實施例1的塗佈裝置進行塗佈時的動作說明圖。
圖9為實施例2的噴嘴旋轉機構之剖視圖。
101．．．噴嘴旋轉機構
201．．．噴嘴單元
202．．．噴嘴
301．．．馬達(中空軸馬達)
305．．．馬達固定構件
402．．．儲存容器(注射器)
404．．．容器保持構件
405．．．調節螺絲
502．．．連接管固定構件
815．．．接管

Claims (9)

  1. 一種噴嘴旋轉機構，係具備有：具有用於一邊與塗佈對象物進行相對移動、一邊吐出液體材料之吐出口的噴嘴；於內部具有與噴嘴及液體材料供應源相連通之流路的噴嘴單元；基座構件；以及配設於基座構件上且使噴嘴單元進行旋轉的轉動裝置者，其特徵在於：將上述噴嘴依噴嘴的吐出口中心線(207)與噴嘴單元的旋轉軸中心線(306)構成角度的方式，配設於噴嘴單元；將上述噴嘴單元可裝卸地裝設於轉動裝置；上述轉動裝置係構成為含有於軸方向貫通旋轉軸中心線(306)而延伸，且具有嵌設有噴嘴單元之中空部的馬達。
  2. 如申請專利範圍第1項之噴嘴旋轉機構，其中，上述噴嘴單元係在內部具備有與上述旋轉軸中心線(306)呈同軸設置的第一流路、及相對於上述旋轉軸中心線(306)傾斜的第二流路。
  3. 如申請專利範圍第2項之噴嘴旋轉機構，其中，上述噴嘴單元所具有的第一流路係具備有在與液體材料供應源相連通側的端部與旋轉軸中心線(306)呈同軸設置的供應側開口部(210)。
  4. 如申請專利範圍第3項之噴嘴旋轉機構，其中，具備有：連接管(501)，其乃連接於上述供應側開口部；以及連接管固定構件(502)，其乃與上述噴嘴單元分開而配設 於基座構件，並將連接管予以固定。
  5. 如申請專利範圍第4項之噴嘴旋轉機構，其中，上述連接管(501)係實質呈直線狀，且具備有用以直接連結液體材料供應源的突出部(503)。
  6. 如申請專利範圍第1、2、3、4或5項之噴嘴旋轉機構，其中，具備有旋轉位置檢測機構，而該旋轉位置檢測機構係包含下述而構成：檢測用構件，其乃配設於上述噴嘴單元；以及感測器部，其乃設置於上述基座構件。
  7. 如申請專利範圍第6項之噴嘴旋轉機構，其中，上述檢測用構件係夾住旋轉軸中心線(306)，而配設在與上述噴嘴呈相對向位置處。
  8. 如申請專利範圍第1、2、3、4或5項之噴嘴旋轉機構，其中，將上述噴嘴配設成上述吐出口朝旋轉軸中心線(306)側撓曲且上述吐出口位於噴嘴單元外周之內側下方。
  9. 一種塗佈裝置，其特徵在於具備有：申請專利範圍第1、2、3、4或5項之噴嘴旋轉機構；使噴嘴旋轉機構與塗佈對象物進行相對移動的相對移動機構；液體材料供應源；以及控制裝置。
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