WO2010123097A1 - ノズル回転機構およびそれを備える塗布装置 - Google Patents

Abstract

課題:小型かつ簡易な構造でノズル先端の回転方向位置の正確な位置決めができるノズル回転機構およびそれを備える塗布装置の提供。 解決手段:液体材料を吐出する吐出口を有するノズルと、ノズルおよび液体材料供給源と連通する流路を有するノズルユニットと、ベース部材と、ベース部材に配設され、ノズルユニットを回転させる回動装置とを備えるノズル回転機構であって、前記ノズルを、ノズルの吐出口の中心線とノズルユニットの回転軸中心線とが角度を構成するようにノズルユニットに配設し、前記ノズルユニットを、回動装置に着脱可能に装着したことを特徴とするノズル回転機構およびそれを備える塗布装置。

Description

ノズル回転機構およびそれを備える塗布装置

　本発明は、ノズル回転機構およびそれを備える塗布装置に関し、例えば、モータ中空部に流路を内設したノズルユニットを嵌設し、モータの回転によりノズルユニットおよびそれに装着したノズルが回転する、ノズル回転機構およびそれを備える塗布装置に関する。

　鉛直下向きではない向きに設けられた吐出口より、塗布対象物の外側面や空洞内面へ塗布を行う場合や、曲線部分を含む軌跡に対して一定の断面形状を保つよう塗布する場合において、吐出口の向きを変える回転機構を設けて塗布が行われている。
　例えば、特許文献１には、箱型形状部品の外側面や内面などへ塗布を行う塗布装置において、箱型形状部品を固定可能な固定部と、この固定部を水平および垂直方向へ移動可能な移動部と、塗布流動物を吐出するくの字形のニードルおよびシリンジと、シリンジを回転可能に内挿保持する保持部と、シリンジへチューブを介して加圧可能なディスペンサと、これらの動作を制御する制御部とからなる塗布装置が開示されている。
　また、例えば、特許文献２には、ワークの被塗布面とノズルとを相対移動させながら、ノズルの先端吐出口から材料を被塗布面上の所定の軌跡に沿って塗布する材料塗布装置において、前端部が後端部より軌跡を横切る方向の幅が広くなる輪郭に設けられた先端吐出口を有するノズルを、軌跡のほぼ全域にわたって前端部が後端部よりも先行するように回転制御される塗布装置が開示されている。

特開平４－１００５５８号公報 特開２００３－２１１０４５号公報

　しかしながら、特許文献１の装置のノズル回転機構は、シリンジの保持部とは別にモータを設け、ベルトによりモータの回転を伝達するという複雑で大がかりなものとなっていた。しかも、ベルトは滑りやすいことから吐出口の回転方向位置の正確な位置決めが難しく、シリンジごと回転する構成上モータにかかる負荷が大きかった。加えて、吐出口の向きを変えるためにシリンジごと回転すると、シリンジに接続しているチューブがねじれてスムーズな回転動作を妨げるとともに、ねじれ動作を繰り返し受けることによりチューブの劣化が早まるという問題もあった。

　一方、特許文献２の装置は、先端吐出口の形状に工夫のある鉛直方向に設けられたノズルを回転機構によりシリンジの軸線を中心として回転させるとともに、シリンジを移動機構によりワークに対してＸＹＺ軸方向に相対移動させるものである。しかし、このような構成においては、モータ部を含む回転機構の下にノズルと材料収容本体とからなるシリンジが取り付けられているため、材料補充時にはノズルと材料収容本体をまとめて取り外さなければならず、材料の補充後はノズル先端位置がずれることがあった。
　また、吐出口の向きを変えるためにシリンジごと回転すると、チューブがシリンジに巻き付いてしまうため、ワークの交換毎にシリンジを逆回転させる必要があると考えられる。
　さらに、モータ部がノズル先端から離れているので回転軸線がぶれやすく、ノズル先端の正確な位置決めが難しかった。

　そこで本発明は、小型かつ簡易な構造でノズル先端の回転方向位置の正確な位置決めができるノズル回転機構およびそれを備える塗布装置を提供することを目的とする。

　発明者は、ベルト等の動力伝達手段を介することなくノズルを含む最小限の部品であるノズルユニットのみを回動させる機構を実現するべく、ノズルユニットを回動装置に直に着脱可能に装着するという基本的な思想に基づき本発明の創作をなした。すなわち、

　第１の発明は、液体材料を吐出する吐出口を有するノズルと、ノズルおよび液体材料供給源と連通する流路を有するノズルユニットと、ベース部材と、ベース部材に配設され、ノズルユニットを回転させる回動装置とを備えるノズル回転機構であって、前記ノズルを、ノズルの吐出口の中心線（２０７）とノズルユニットの回転軸中心線（３０６）とが角度を構成するようにノズルユニットに配設し、前記ノズルユニットを、回動装置に着脱可能に装着したことを特徴とするノズル回転機構である。
　第２の発明は、第１の発明において、前記回動装置は、回転軸中心線（３０６）を軸方向に貫通して延在し、ノズルユニットが嵌設される中空部を有するモータを含んで構成されることを特徴とする。
　第３の発明は、第１または２の発明において、前記ノズルユニットの有する流路は、液体材料供給源と連通する側の端部に回転軸中心線（３０６）と同軸に設けられた供給側開口部（２１０）を備えることを特徴とする。
　第４の発明は、第３の発明において、前記供給側開口部に接続された接続管（５０１）と、前記ノズルユニットと離間してベース部材に配設され、接続管を固定する接続管固定部材（５０２）を備えることを特徴とする。
　第５の発明は、第４の発明において、前記接続管（５０１）は実質的に直線状であり、液体材料供給源を直結するための突出部（５０３）を備えることを特徴とする。
　第６の発明は、第１ないし５のいずれかの発明において、前記ノズルユニットに配設された検知用部材と、前記ベース部材に設けられたセンサ部とを含んで構成される回転位置検知機構を備えることを特徴とする。
　第７の発明は、第６の発明において、前記検知用部材は回転軸中心線（３０６）を挟んで、前記ノズルと対向する位置に配設されることを特徴とする。
　第８の発明は、第１ないし７のいずれかの発明において、前記ノズルを、前記吐出口がノズルユニットの外周の内側下方に位置するよう配設したことを特徴とする。
　第９の発明は、第１ないし８のいずれかの発明に係るノズル回転機構と、ノズル回転機構と塗布対象物とを相対移動させる相対移動機構と、液体材料供給源と、制御装置とを備える塗布装置である。

　本発明によれば、ノズルユニットのみが回転するため、例えばシリンジにチューブが接続する場合にもチューブの部分は回転しないので、チューブのねじれや巻き付きが生じることがないので回転動作の方法に制限がなく、チューブを劣化させることもない。
　また、軽量なノズルユニットのみを回転させるので、モータ等の駆動系にかかる負荷が少なく、駆動系とノズルユニットを直線的に配置することでヘッド部の小型化、軽量化が可能となる。
　また、駆動系がそこに装着されたノズルユニットを直接回転するので、ベルトの滑り等による位置ずれがなく、吐出口の回転方向位置の正確な位置決めができ、途中に動力伝達機構を介さないのでエネルギ効率もよい。
　また、ノズルを外すことなく液体材料供給源を取り付けおよび取り外しができるので、材料補充時にノズル位置がずれることはない。
　さらに、ノズルユニットの基準位置を検知する回転位置検知機構を設けることにより、ノズルユニットの基準位置が正確に決まるので、吐出口の回転方向の位置決めを精度よく行うことができ、塗布プログラムの変更のみで容易に塗布パターン或いは塗布対象物の種類の変更に対応が可能である。

本発明に係るノズル回転機構の概略斜視図である。 本発明に係るノズル回転機構の正面図である。 本発明に係るノズル回転機構の側面図である。 本発明に係るノズル回転機構の下面図である。 本発明に係るノズル回転機構の断面図（図２のＡ－Ａ断面図）である。 本発明に係るノズル回転機構の動作を説明する説明図である。 実施例１に係る塗布装置の概略斜視図である。 実施例１に係る塗布装置の塗布時の動作を説明する説明図である。 実施例２に係るノズル回転機構の断面図である。

　以下に、本発明を実施するための形態を、シリンジが直結されるタイプのノズル回転機構の例で説明する。
　［構成］
　本発明に係るノズル回転機構１０１の概略斜視図を図１に示す。また、正面図を図２、側面図を図３、下面図を図４、図２においてＡ－Ａ線で切断したときの断面図を図５に示す。これらの図を参照しながら説明する。

　本発明に係るノズル回転機構１０１は、液体材料９０１を吐出するノズル２０２と、ノズル２０２が装着され、内部に流路（２０３、２０４）を有するノズルユニット２０１と、ノズルユニット２０１を回転させるモータ３０１と、液体材料９０１を貯留し、加圧源からの圧力によりノズルユニット２０１へと液体材料９０１を供給する液体材料供給源４０１と、ノズルユニット２０１のノズル２０２が設置された側とは反対側の流路２０３と液体材料供給源４０１とを連通する接続管５０１と、ノズルユニット２０１の回転方向８０８の基準位置を検知する回転位置検知機構６０１と、を有する。

　ノズルユニット２０１は、一端が液体材料９０１を吐出するノズル２０２に連通し、他端が液体材料供給源４０１と接続する接続管５０１に連通する流路（２０３、２０４）が内設されている。この流路は、接続管５０１に連通している第一の流路２０３と、ノズル２０２に連通している第二の流路２０４との二つの部分からなる。第一の流路２０３の接続管５０１との接続部分には、シール部材２０８が配設され、液体材料９０１が接続管５０１側から漏出することを防いでいる。ノズルユニット２０１には第二の流路２０４側にノズル取付部２０９が存在しており、ノズル取付部２０９を介して第二の流路２０４がノズル２０２の吐出口と連通されている。

　ノズル２０２は、吐出口を含むノズルの中心線２０７と回転軸中心線３０６とが角度を構成する（同心とならない）ようにノズルユニット２０１に配設されており、吐出口が回転中心線３０６を中心に円を描くように回動される。

　モータ３０１は、回転部３０３の中心に貫通して延在する中空部３０２を有している。この回転部３０３は、中空部３０２の開口している二面を除き、ほぼ直方体形状をしたケース３０４に囲まれている。このケース３０４を固定することでモータ３０１は固定される。以下では、このモータ３０１を中空軸モータという。

　液体材料供給源４０１は、本実施の形態では、液体材料９０１を貯留する容器（シリンジ）４０２とこれに接続する図示しない加圧源とからなる。加圧源からの圧力により、液体材料９０１はシリンジ４０２から接続管５０１を通って流路（２０３、２０４）へ流れ込み、そしてノズル２０２より吐出される。液体材料供給源４０１は、本実施の形態のようなシリンジ４０２に限らず、他の構成としてもよい。例えば、ノズル回転機構１０１から離れた位置に設置した液体材料９０１を貯留するタンクから液送チューブを接続管５０１に接続して、加圧源からの圧力により液体材料９０１を供給することも可能である。

　接続管５０１は、液体材料供給源４０１とノズルユニット２０１とを連通する管状部材で、中空軸モータ３０１の回転とともに回転しないよう接続管固定部材５０２により固定されている。その一端は、ノズルユニット２０１のシール部材２０８が配設されるところまで挿入され、他端は、接続管固定部材５０２の上面から突出するよう伸びて突出部５０３を構成する。突出部５０３は、液体材料供給源４０１の接続口４０３に合う形状に形成されている。

　回転検知機構６０１は、ベース板７０１に設けられたセンサ部とノズルユニット２０１に設けられた検知用部材とから構成される。本実施の形態では、センサ部をフォトセンサ６０２で構成し、検知用部材を遮光板６０３で構成したが、この組合せに限定されないことは言うまでもない。遮光板６０３は、鉛直方向の断面がＬ字形をした板状の部材である。遮光板６０３はノズル２０２とモータ回転軸中心線３０６を挟んで対向し、かつ、遮光板６０３の張り出し部６０４がノズルユニット２０１の側面から外側へ略水平方向に延出するように取り付ける。この張り出し部６０４は、フォトセンサ６０２の光軸を遮る位置まで伸びている。フォトセンサ６０２は、ほぼ「コ」の字形をしており、凹部が検知部６０６を構成する。この凹部を張り出し部６０４が通過することができ、かつ、これらが衝突することがない向きと高さに取り付けられる。

　これらの各構成部品は以下に示すように結合され、ノズル機構１０１を構成する。
　ノズルユニット２０１は、第一の流路２０３が内設される部分が中空軸モータ３０１の中空部分３０２に嵌設しており、図示しないネジなどの締結部材で中空部分３０２に着脱自在に取り付けられる。この嵌設している部分では、ノズルユニット２０１内の第一の流路中心線２０５と中空軸モータの回転軸中心線３０６とが一致しており、ノズルユニット２０１が回転しても接続管５０１と連通する第一の流路２０３の供給側開口部２１０の位置は変わらない。よって、固定されて回転しない直線状の接続管５０１を第一の流路２０３に挿入することができ、ひいてはノズルユニット２０１、中空軸モータ３０１およびシリンジ４０２を直線的に配置することを可能としている。

　ノズル２０２の向きは、鉛直下向きではなく、モータ回転軸中心線３０６に対して角度を持って取り付けられている。その角度に合わせて、ノズルユニット２０１内の第二の流路２０４はモータ回転軸中心線３０６に対して傾斜している。流路を傾斜させてノズル２０２ごと向きを変える方が、ノズル自体が例えば「く」の字形に曲がっているものを特別に製作したりせず、一般の塗布作業に用いられるノズルがそのまま使え、部品の互換性の面から有利である。さらに、ノズル２０２を取り付けただけでノズル先端位置が決まるので、上記のようにノズル自体が曲がっているものよりも位置決めが簡単に行える。

　また、ノズル２０２の取付角度と流路２０４の傾斜または屈曲は、塗布対象物８１４の形状や所望とする塗布の状態により任意に変更可能である。その際には、ノズルユニット２０１のみ変更することで簡単に対応できる。ここで、ノズル２０２の高さ方向の取付位置は、回転したとき検知機構６０１に干渉しないよう、検知機構６０１の取付位置より下方であることが好ましい。そうすることで、ノズルユニット２０１は、３６０度以上の回転をすることが可能となる。ノズル２０２を取り付けた際に、吐出口がノズルユニット２０１の外周の内側下方に位置するように構成すると、吐出口がノズルユニットの外縁の外側下方に位置する場合と比べ吐出口の移動距離を短くすることができる。

　上記ノズルユニット２０１を嵌設した中空軸モータ３０１は、回転部３０３を囲むケース３０４をモータ固定部材３０５により固定することでベース板７０１に固設される。したがって、中空軸モータ３０１の回転部３０３が回転することにより、ノズルユニット２０１とそれに装着されたノズル２０２のみが回転する。

　接続管５０１は、固設された中空軸モータ３０１に嵌設しているノズルユニット２０１の第一の流路２０３に先端の一部が挿設される。そして、中空軸モータ３０１の回転とともに回転しないよう、また、接続管中心線５０４と第一の流路中心線２０５が一直線上に位置してずれないよう、ベース板７０１に固設された接続管固定部材５０２でしっかりと固定する。

　接続管固定部材５０２は、下方では、中空軸モータ３０１およびノズルユニット２０１との間に僅かな隙間５０５を設けるようになっている。接触させてしまうと、主に摩擦によって、モータ回転に対する抵抗となったり、切削くずなどが発生したりするからである。そして上方では、接続管５０１の端に設けられた液体材料供給源４０１の接続口４０３に合う形状に形成された突出部５０３が突出するようになっている。接続管５０１は取り外し可能に設けられているので、様々な形状の接続口を形成した接続管５０１を容易に交換することができ、様々な形態の液体材料供給源４０１に対応することができる。

　液体材料供給源４０１の一部をなす貯留容器４０２（シリンジ）は、上記接続管固定部材５０２上方の突出部５０３に接続される。そして、接続部分の上方でベース板７０１に固定された容器保持部材４０４によって支えられている。容器保持部材４０４には調節ネジ４０５が取り付けられており、この調節ネジ４０５により取り外し可能にシリンジ４０２を固定できる。シリンジ４０２の周囲には、容器保持部材４０４以外には機構や部材が存在しないため、シリンジ４０２へ作業を行う際には遮るものがないので、スムーズに作業が行える。また、シリンジ４０２は、接続口４０３で着脱を行うことにより、シリンジ４０２のみの着脱が容易に行えるので、ノズル位置に影響を与えることなく液体材料の補充が行える。

　シリンジ４０２には、アダプタチューブ８１５が取り付けられ、図示しない加圧源から圧縮気体の供給を受ける。この加圧源からの圧力により、液体材料９０１はシリンジ４０２から流路（２０３、２０４）へ流れ込み、そしてノズル２０２より吐出される。シリンジ４０２はノズルユニット２０１の回転に伴って回転することはないため、シリンジ４０２に取り付けられたアダプタチューブ８１５も回転せず、チューブがねじれたり、回転動作を妨げたりすることがない。つまり、液体材料供給源４０１が接続する接続管５０１が回転しないため、シリンジ４０２やアダプタチューブ８１５に限らず液送チューブなどもねじれることなく接続できるのである。

　遮光板６０３は、ノズル回転機構１０１を下から見たとき、中空軸モータ３０１の回転軸中心線３０６を挟んで、液体材料９０１を吐出するノズル２０２と対向する位置に配設されている（図４参照）。言い換えると、遮光板６０３の張り出し部側縁６０５と液体材料９０１を吐出するノズル２０２の中心線２０７とを結ぶ直線が、中空軸モータ３０１の回転軸中心３０６を通り、一直線上に並ぶように遮光板６０３およびノズル２０２が配設されている。そして、フォトセンサ６０２はベース板７０１の下端中央に、その検知部６０６を各構成部品が配設される側へ向けて取り付けられる。遮光板６０３、フォトセンサ６０２、ノズル２０２を上記のような位置関係に配設することで、ノズル２０２先端の基準位置が回転位置検知機構６０１の正面かつ中心という、単純な位置関係になるので、塗布動作をさせる際に塗布経路を考え易くなる。また同様の理由により、直線動作および回転動作の制御も容易になる。

　［動作］
　本発明に係るノズル回転機構１０１の動作を図６を参照しながら説明する。
　電源投入直後や、何らかの理由により回転方向８０８位置がずれた場合など、ノズル２０２先端の回転方向８０８の基準位置を定めるためには、次のように動作させる。なお、この回転方向８０８の基準位置を設定する動作をノズル原点復帰動作ということがある。

　まず、下から見たとき反時計回りにノズルユニット２０１を回転させていく（図６（ａ））。回転方向８０８はこれに限定されるものではなく、遮光板６０３の張り出し部側縁６０５の向きによって決まるものである。そして、ノズルユニット２０１に取り付けた遮光板６０３の張り出し部側縁６０５が、フォトセンサ検知部６０６の光軸を最初に遮った位置を検知して、回転を停止する（図６（ｂ））。この位置をノズル２０２先端の回転方向８０８の基準位置とする。ここで、中空軸モータ３０１の回転速度は、最も遅い速度であるモータの最小分解能程度ずつ回転する速度であることが好ましい。なぜなら、回転速度が速すぎると遮光板６０３をフォトセンサ６０２が検知しても停止しきれずに行き過ぎてしまい、この行き過ぎた位置を回転方向８０８の基準位置としてしまうことがあるからである。

　回転方向８０８の基準位置の設定動作にかかる時間を上記方法より短くしたい場合には、次のように動作させるとよい。まず、ノズルユニット２０１を塗布時の速度と同程度の速度で回転させていき、ノズルユニット２０１に取り付けた遮光板６０３の張り出し部側縁６０５が、フォトセンサ検知部６０６の光軸を最初に遮った位置を検知して、回転を停止する。しかし、上述のように、停止したときには行き過ぎていることが考えられる（図６（ｃ））。そこで、行き過ぎた位置から上述の最小速度で逆回転していき、遮光板６０３がフォトセンサ６０２の光を遮らなくなる位置を検知して、逆回転を停止する（図６（ｄ））。この位置を回転方向８０８の基準位置とすればよい。これにより、最小速度で回転する時間を短縮することができる。

　回転方向８０８の基準位置を設定した後は、モータコントローラ８１２によって中空軸モータ３０１の回転角度を制御し、上記方法により定めた基準位置を原点としてノズル２０２先端の回転方向８０８の位置を制御する。ノズル２０２先端の位置が正確に設定できるので、異なる形状の塗布対象物８１４に塗布を行うときも、或いは同じ塗布対象物８１４に対して異なる塗布パターンで塗布を行うときも、ティーチングをやり直す必要はなく、塗布動作の制御を行う塗布プログラムの変更のみで容易に対応が可能である。

　以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明は何ら実施例により限定されるものではない。

　［塗布装置］
　本実施例に係る塗布装置８０１を図７に示す。
　ノズル回転機構１０１には、液体材料９０１を貯留する貯留容器４０２（シリンジ）が接続され、シリンジ４０２は加圧源からの圧縮気体の供給をアダプタチューブ８１５を通して受けている。このノズル回転機構１０１は、Ｚ軸駆動機構８０４上に設置され、上下方向（図中の符号８０７で示す方向）へ移動可能となっている。Ｚ軸駆動機構８０４は、Ｘ軸駆動機構８０２上に設置され、左右方向（図中の符号８０５で示す方向）へ移動可能である。Ｘ軸駆動機構８０２およびＺ軸駆動機構８０４の下方には、塗布対象物８１４を載置するテーブル８０９が設けられたＹ軸駆動機構８０３が設置され、前後方向（図中の符号８０６で示す方向）に移動可能となっている。
　上述の各機構を制御する制御装置８１０は、ノズル回転機構１０１の中空軸モータ３０１を制御するモータコントローラ８１２と、シリンジ４０２にかかる圧力や圧力がかかる時間などを制御するディスペンスコントローラ８１１と、その他の部分を制御するコントローラ８１３とに分かれている。
　上記では、塗布装置８０１の一つの例を示したが、同様の目的を達成できる構成であれば、上記の構成に限定されるものではない。

　［塗布作業］
　本実施例に係る塗布装置８０１にて塗布作業を行う際の手順を以下に示す。
　まず、ノズル２０２およびシリンジ４０２を取り付けたノズル回転機構１０１を塗布装置８０１のＺ軸駆動機構８０４上に設置する。その後、前述したような方法でノズル回転方向８０８の基準位置設定を行う。そして、塗布対象物８１４をテーブル８０９上に載置し、固定する。次に、ノズル２０２を塗布対象物８１４上へ移動し、塗布が開始される。例えば、塗布対象物８１４の外側面に一周塗布を行う場合、上から見たときに塗布面８１７に対してノズル中心線２０７が垂直となる姿勢を保つよう、ＸＹ方向（８０５、８０６）の動作に対応したノズル回転方向８０８の動作の制御を行う（図８参照）。塗布が終了すると、テーブル８０９およびノズル回転機構１０１を含む部分は各駆動機構（８０２、８０３、８０４）により待機位置へ移動し、一つの塗布対象物８１４に対する塗布作業は終了となる。複数の塗布対象物に対して塗布作業を続ける場合は、既塗布の塗布対象物を未塗布の塗布対象物と交換して上記の作業を繰り返す。

　以上の構成を備える本実施例の塗布装置によれば、シリンジ周囲には機構や部材が存在しないので、シリンジへの作業に際して遮るものはなく、シリンジへの作業が容易に行える。また、シリンジ接続口で着脱を行うことにより、シリンジのみを容易に着脱可能であるので、ノズル位置に影響を与えることなく液体材料の補充が行える。

　本実施例のノズルユニット２０１は、図９に示すように、ノズルの中心線２０７と回転軸中心線３０６とが角度をなす点、ノズルユニット２０１に内設される流路が二つの部分（２０３、２０４）からなる点において、前述のノズル回転機構１０１と同じである。しかし、ノズル先端の吐出口が回転軸中心線３０６上に位置するようノズル２０２を配設し、それに合わせてノズルユニット２０１に内接される流路（第二の流路２０４）がクランク状に形成される点において実施例１と相違する。

　実施例１では、ノズル先端の吐出口は回転軸中心線３０６から離れる方向へ向いていたが、本実施例では、図９に示すように、ノズル先端の吐出口は回転軸中心線３０６上に位置するよう配設される。一方、ノズルユニット２０１に内設される流路を見てみると、液体材料供給源４０１と接続する接続管５０１が供給側開口部２１０に挿設されるため、回転軸中心線３０６と流路中心線２０５が一致するよう、実施例１と同様に、第一の流路２０３を形成する。しかし、上述のように、ノズル先端の吐出口は回転軸中心線３０６に一致するよう配設されているので、ノズル２０２の向きに合わせて、第一の流路２０３からノズル２０２へ至る第二の流路２０４はクランク状に形成している。別の言い方をすれば、供給側開口部２１０から吐出口に至る流路には３箇所の屈曲点がある。

　ノズル先端の吐出口が回転軸中心線３０６側に屈曲していること（すなわち、ノズルユニット２０１の外周の内側下方に位置すること）で、実施例１に比べて小回りがきくので、ＸＹ軸の各駆動機構（８０２、８０３）の可動範囲（ストローク）が小さい装置において特に有効である。例えば、図８と同じ塗布対象物８１４に塗布する場合を考えると、実施例１では移動経路が８１８で示す経路となるが、実施例２では塗布面８１７に沿う移動経路となり、移動範囲が小さく（移動距離が短く）なることがわかる。
　さらには、本実施例の装置では、位置決めの対象となる吐出口が回転軸中心線３０６上にあることから、吐出口が回転軸中心線上にない構成と比べて回転方向の位置決め精度がよい。
　なお上述の実施例は、ノズルユニット２０１を交換するのみで簡単に対応できることは言うまでもない。

　液体材料供給源の代わりに、真空源をノズル回転機構の接続管に接続することで、ウエハから分割された半導体チップをノズルで吸い付け、ウエハ上から基板上の半導体チップ載置位置まで移動する装置にも応用が可能である。

１０１　ノズル回転機構
２０１　ノズルユニット
２０２　ノズル
２０３　第一の流路
２０４　第二の流路
２０５　第一の流路の中心線
２０６　第二の流路の中心線
２０７　ノズル中心線
２０８　シール部材
２０９　ノズル取付部
２１０　供給側開口部
３０１　モータ（中空軸モータ）
３０２　中空部
３０３　回転部
３０４　ケース
３０５　モータ固定部材
３０６　モータ回転軸中心線
４０１　液体材料供給源
４０２　貯留容器（シリンジ）
４０３　接続口
４０４　容器保持部材
４０５　調節ネジ
５０１　接続管
５０２　接続管固定部材
５０３　突出部
５０４　接続管中心線
５０５　間隙
６０１　回転位置検知機構
６０２　フォトセンサ
６０３　遮光板
６０４　張り出し部
６０５　張り出し部側縁
６０６　検知部
７０１　ベース部材（ベース板）
８０１　塗布装置
８０２　Ｘ軸駆動機構
８０３　Ｙ軸駆動機構
８０４　Ｚ軸駆動機構
８０５　Ｘ軸駆動方向
８０６　Ｙ軸駆動方向
８０７　Ｚ軸駆動方向
８０８　ノズル回転方向
８０９　テーブル
８１０　制御装置
８１１　ディスペンスコントローラ
８１２　モータコントローラ
８１３　その他のコントローラ
８１４　塗布対象物
８１５　アダプタチューブ
８１６　加圧源からの圧縮気体の供給
８１７　塗布面
８１８　塗布方向
９０１　液体材料

Claims (9)

1. 　液体材料を吐出する吐出口を有するノズルと、ノズルおよび液体材料供給源と連通する流路を有するノズルユニットと、ベース部材と、ベース部材に配設され、ノズルユニットを回転させる回動装置とを備えるノズル回転機構であって、
   　前記ノズルを、ノズルの吐出口の中心線（２０７）とノズルユニットの回転軸中心線（３０６）とが角度を構成するようにノズルユニットに配設し、
   　前記ノズルユニットを、回動装置に着脱可能に装着したことを特徴とするノズル回転機構。
2. 　前記回動装置は、回転軸中心線（３０６）を軸方向に貫通して延在し、ノズルユニットが嵌設される中空部を有するモータを含んで構成されることを特徴とする請求項１に記載のノズル回転機構。
3. 　前記ノズルユニットの有する流路は、液体材料供給源と連通する側の端部に回転軸中心線（３０６）と同軸に設けられた供給側開口部（２１０）を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のノズル回転機構。
4. 　前記供給側開口部に接続された接続管（５０１）と、前記ノズルユニットと離間してベース部材に配設され、接続管を固定する接続管固定部材（５０２）を備えることを特徴とする請求項３に記載のノズル回転機構。
5. 　前記接続管（５０１）は実質的に直線状であり、液体材料供給源を直結するための突出部（５０３）を備えることを特徴とする請求項４に記載のノズル回転機構。
6. 　前記ノズルユニットに配設された検知用部材と、前記ベース部材に設けられたセンサ部とを含んで構成される回転位置検知機構を備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のノズル回転機構。
7. 　前記検知用部材は回転軸中心線（３０６）を挟んで、前記ノズルと対向する位置に配設されることを特徴とする請求項６に記載のノズル回転機構。
8. 　前記ノズルを、前記吐出口がノズルユニットの外周の内側下方に位置するよう配設したことを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のノズル回転機構。
9. 　請求項１ないし８のいずれかに記載のノズル回転機構と、ノズル回転機構と塗布対象物とを相対移動させる相対移動機構と、液体材料供給源と、制御装置とを備える塗布装置。

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